專利名稱：檢測探針磨耗的方法與探針的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢測探針磨耗的方法與探針，特別是涉及一種簡單、不易誤判并
且可以線上即時(shí)檢測探針磨耗的方法與探針。
背景技術(shù)：
電子元件在制作完成后，通常需要經(jīng)過晶片測試(circuit probetest)，用以在封 裝前區(qū)分晶粒的良莠，確認(rèn)晶粒的品質(zhì)以進(jìn)行封裝，避免對于品質(zhì)不良的晶粒進(jìn)行封裝而 造成不必要的浪費(fèi)。而在封裝后需要進(jìn)行成品測試(final test)，以確定封裝過程中晶片 未受損傷，以及晶片在封裝后仍符合規(guī)格。然而無論是上述何種測試，在測試時(shí)皆需要探針 做為電子元件與測試機(jī)臺之間的電性連接，而傳遞測試訊號。 —般來說為了應(yīng)付大量的測試需求以及增加測試效能，因此，在測試廠內(nèi)的測試 機(jī)臺幾乎是以日以繼夜、不間斷的方式進(jìn)行測試，往往一批的電子產(chǎn)品就有上千、上萬、甚 至幾十萬的量需要測試。因此，探針也必需一再地與電子產(chǎn)品接觸甚至碰撞，而導(dǎo)致在經(jīng)過 大量的電子產(chǎn)品測試后，探針特別是針頭的部分會產(chǎn)生磨耗與損傷，而影響探針與電子產(chǎn) 品的電性連接，導(dǎo)致測試的誤差與錯(cuò)誤，甚至失敗。 有鑒于此，一般在測試一段時(shí)間之后或是測試出現(xiàn)錯(cuò)誤時(shí)，往往對探針進(jìn)行檢測 以確保其可以繼續(xù)使用。但是一般目前所使用探針磨耗檢測方式，都是需要將測試機(jī)臺 停機(jī)，而將探針取下，再藉由人工配合光學(xué)顯微鏡的方式來檢測其磨耗情形，特別是探針尖 端，即針頭部分的磨損程度。然而，由于探針的尖端多為內(nèi)切或是外切的形式，因此，當(dāng)光線 照射在探針的尖刃處，容易產(chǎn)生光線折射，加上光學(xué)顯微鏡的景深不像電子顯微鏡一樣廣 角，所以常常會有誤判的情形發(fā)生而將還可以繼續(xù)使用的探針進(jìn)行更換，造型測試成本的 提升。此外，探針也可能因?yàn)檎瓷吓K污或是沾錫，而同樣導(dǎo)致測試出誤差與錯(cuò)誤甚至失敗， 因而增加判定探針是否磨耗需要更換的困難度，而需要花費(fèi)時(shí)間進(jìn)一步仔細(xì)檢測。因此，常 常發(fā)生誤判而更換不需更換的探針，造成測試成本的增加。 另外，由于在檢測探針是否磨耗時(shí)，需要測試機(jī)臺停機(jī)，而將探針取下在光學(xué)顯微 鏡下一根根地檢測，待檢測完再將其裝回測試機(jī)臺而繼續(xù)進(jìn)行測試，而導(dǎo)致測試效能的降 低。此外，更因檢測與判定的困難而導(dǎo)致需花費(fèi)相當(dāng)多的時(shí)間，并且易誤判而更換不需更換 的探針，造成測試成本的增加，或是未更換已磨損的探針，導(dǎo)致測試錯(cuò)誤或是失敗。因此，亟 需要一種更簡單、更易判定并且可以在線上即時(shí)檢測探針磨耗的方法，或是可以輕易判斷 其損耗程度的探針，以增加判斷的正確性與測試效能，并且減少檢測的時(shí)間、誤判的可能性 以及測試成本。 由此可見，上述現(xiàn)有的檢測探針磨耗的方法在方法及使用上，顯然仍存在有不便 與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述存在的問題，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來謀求 解決之道，但長久以來一直未見適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，而一般方法又沒有適切的方法能 夠解決上述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新的檢測探針 磨耗的方法、探針與其制作方法，實(shí)屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一，亦成為當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的目標(biāo)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的檢測探針磨耗的方法存在的缺陷，而提供一種新 的檢測探針磨耗的方法，所要解決的技術(shù)問題是使其解決現(xiàn)行檢測探針磨耗的方法需要花 費(fèi)大量時(shí)間以及易造成誤判的，以及現(xiàn)行探針判定因過于細(xì)小或是沾粘臟污或是沾錫所造 成的判斷困難度提升高的問題，以及因上述問題所導(dǎo)致的測試成本增加與測試能降低等問 題，非常適于實(shí)用。 本發(fā)明的另一目的在于，克服現(xiàn)有的探針存在的缺陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的探 針，所要解決的技術(shù)問題是使線上人員可以輕易判斷探針的損耗程度，并且減少檢測的時(shí) 間、誤判的可能性以及測試成本，非常適于實(shí)用。 本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。由以上技術(shù)方案可知，本發(fā) 明的主要技術(shù)內(nèi)容如下 為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種探針，其包含具有至少一針頭的探針主體、包 覆針頭或是整個(gè)探針主體的檢測層、以及一形成于檢測層上并且包覆檢測層的耐沖擊層。 此一探針藉由探針磨損時(shí)會導(dǎo)致外層的耐沖擊層磨損而裸露出具有醒目顏色的檢測層，而 使使線上人員不需將探針拆下，僅需以人眼或搭配放大鏡而簡單判定探針的磨耗程度以及 是否需要更換。 另外，為達(dá)到上述目的，本發(fā)明還提供了一種制作探針的方法，制作一種可以簡單 判定其磨耗程度的探針。首先，提供一至少包含一針頭的探針主體，接著，以涂布或電鍍方 式形成一檢測層包覆針頭或是整個(gè)探針主體，最后再藉由電鍍或是其他方式，形成一耐沖 擊層于檢測層上并且包覆檢測層，用以保護(hù)針頭或是整個(gè)探針主體而避免其發(fā)生氧化。此 一方法藉由在探針內(nèi)部形成一色彩明顯的檢測層，并且藉由此一檢測層在探針上的裸露程 度而可以輕易判斷探針的磨耗程度與是需要更換。 再者，為達(dá)到上述目的，本發(fā)明再提供了一種檢測探針磨耗的方法，而可以更簡 單、更易判定并且可以在線上即時(shí)檢測探針的磨耗程度。首先，提供一內(nèi)部具有一層檢測層 的探針、接著，進(jìn)行測試，再檢視每一探針的檢測層是否裸露，從而判斷探針磨耗程度而判 定是否更換該探針。 上述三種技術(shù)手段皆藉由在探針內(nèi)部制作一顏色醒目的檢測層，并藉由探針外層 不同程度的磨損而導(dǎo)致檢測層產(chǎn)生不同的裸露，而使探針呈現(xiàn)不同程度的顯目顏色，即呈 現(xiàn)出不同大小的裸露檢測層區(qū)域，而可以簡單、不易誤判并且可以線上即時(shí)地檢測探針磨 耗程度，而不需停機(jī)。 借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明檢測探針磨耗的方法、探針與其制作方法至少具有下 列優(yōu)點(diǎn)及有益效果本發(fā)明對比先前技術(shù)的功效在于提供一種檢測探針磨耗的方法、探針 與其制作方法，可以更簡單、更易判定并且可以在線上即時(shí)檢測探針磨耗的方法，或是可以 輕易判斷其損耗程度的探針，以增加判斷的正確性與測試效能，并且減少檢測的時(shí)間、誤判 的可能性以及測試成本。 綜上所述，本發(fā)明是有關(guān)于一種檢測探針磨耗的方法與探針，特別是有關(guān)于線上 即時(shí)檢測探針磨耗的方法、探針與其制作方法。其藉由在探針內(nèi)部制作一顏色醒目的檢測
4層，以使探針磨耗后會裸露出檢測層，而藉由檢測層的探針醒目顏色成為一標(biāo)記，使得線上 人員可以輕易并且時(shí)地判斷探針是否已磨損。本發(fā)明在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，具有明顯的 積極效果，誠為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。 上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段， 而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠 更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。


圖1是本發(fā)明一實(shí)施例的探針的結(jié)構(gòu)的剖面示意圖。 圖2A是本發(fā)明另一實(shí)施例的探針的結(jié)構(gòu)的剖面示意圖。 圖2B是本發(fā)明又一實(shí)施例的探針的結(jié)構(gòu)的剖面示意圖。 圖3是本發(fā)明一實(shí)施例的制作探針的方法的流程圖。 圖4是本發(fā)明一實(shí)施例的檢測探針磨耗的方法的流程圖。 圖5A與圖5B分別是本發(fā)明的探針在測試座上為磨耗與已磨耗的示意圖, 圖6A與圖6B分別是已磨耗的探針立體示意圖。 10、 IOA、 IOB、 10a、 10b :探針 11 :探針主體 12 :針頭 14:耐沖擊層 15、16:檢測層 16':第二檢測層 18 :保護(hù)層 20 :測試座 300 :提供一探針主體步驟 302 :形成一檢測層包覆探針主體步驟 304 :形成一保護(hù)層包覆檢測層步驟 400:提供一探針步驟 402:進(jìn)行測試步驟 404 :檢視該檢測層是否裸露步驟 406 :停止測試步驟 408 :繼續(xù)測試步驟
具體實(shí)施例方式
為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合 附圖及較佳實(shí)施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的檢測探針磨耗的方法與探針的具體實(shí)施方式
、方 法、步驟、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。 本發(fā)明的一些實(shí)施例詳細(xì)描述如下。然而，除了該詳細(xì)描述外，本發(fā)明還可以廣泛 地在其他的實(shí)施例施行。亦即，本發(fā)明的范圍不受已提出的實(shí)施例的限制，而以本發(fā)明提出 的申請專利范圍為準(zhǔn)。其次，當(dāng)本發(fā)明的實(shí)施例圖示中的各元件或結(jié)構(gòu)以單一元件或結(jié)構(gòu) 描述說明時(shí)，不應(yīng)以此作為有限定的認(rèn)知，即如下的說明未特別強(qiáng)調(diào)數(shù)目上的限制時(shí)本發(fā) 明的精神與應(yīng)用范圍可推及多數(shù)個(gè)元件或結(jié)構(gòu)并存的結(jié)構(gòu)與方法上。再者，在本說明書中， 各元件的不同部分并沒有完全依照尺寸繪圖，某些尺度與其他相關(guān)尺度相比或有被夸張或 是簡化，以提供更清楚的描述以增進(jìn)對本發(fā)明的理解。而本發(fā)明所沿用的現(xiàn)有技藝，在此僅 做重點(diǎn)式的引用，以助本發(fā)明的闡述。 請參閱圖1所示，，是本發(fā)明的一實(shí)施例的探針結(jié)構(gòu)的剖面圖，此一探針10包含一探針主體11、一耐沖擊層14、一檢測層16以及一保護(hù)層18。 上述的探針主體11具至少一個(gè)針頭(plunger) 12，而在本實(shí)施例中探針10具有 兩個(gè)針頭(即雙動(dòng)針)，但是在本發(fā)明其他實(shí)施例中，探針也可以僅具有一個(gè)針頭(即單動(dòng) 針)。 上述的檢測層16是形成于探針10的表面上，而上述的耐沖擊層14則形成于檢測 層16的表面上，用以提升與增加探針的耐沖擊度，其通常為一鎳(Ni)層，但也可使用其他 可以強(qiáng)化探針硬度或耐沖擊度的材質(zhì)，例如其他硬度較高金屬材質(zhì)。 在圖1中，檢測層16形成于針頭12的表面之上，而包覆針頭12使針頭12不外露， 或者在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，檢測層可以形成于整個(gè)探針表面上(包含探針主體與針頭 的表面上)，或是僅包覆針頭與電子元件或是測試機(jī)臺接觸的部分。 上述的保護(hù)層18則形成于耐沖擊層14上并且包覆耐沖擊層14而使其不外露，用 以保護(hù)探針10而避免探針10發(fā)生氧化現(xiàn)象而影響探針的可靠度與使用壽命，保護(hù)層18可 以為一具有良好抗氧化特性的材質(zhì)，例如金(Au)等具有良好抗氧化特性的金屬，或是其他 材質(zhì)。 此外，檢測層16具有與耐沖擊層14具有不同的顏色，甚至是與耐沖擊層14顏色 呈現(xiàn)巨大反差甚至對比的顏色，并且最好為一醒目的顏色，例如紅色，但不以此為限，只要 是可以使肉眼清晰分別其與周圍環(huán)境、探針顏色、耐沖擊層14顏色，甚至是保護(hù)層18的差 異的顏色都可以使用。因此，檢測層16可以為一有色染料層，或是為一可以發(fā)出螢光的螢 光染料層，或者也可以是一納米涂料層，或是一可以依據(jù)粒子大小而呈現(xiàn)不同顏色的納米 涂料層，例如二氧化鈦(TiO》，甚至可以為一具有染料粒子的膜層，例如具有染料粒子的鎳 層，只要是具有醒目顏色但不會影響探針功能與可靠度的材質(zhì)皆可以使用于本發(fā)明的探針 中。 如圖1所示，在此實(shí)施例中雖然探針10的檢測層16是介于耐沖擊層14與針頭 12，但是也可以依需求而將檢測層設(shè)置于耐沖擊層與探針表面之間，甚至在本發(fā)明其他實(shí) 施例中，如圖2A所示，檢測層15與耐沖擊層為同一層，例如皆為具有染料粒子的膜層或是 具有染料粒子的鎳層等膜層，即檢測層15同時(shí)具有做為探針I(yè)OA磨耗的檢測標(biāo)的與做為增 加探針耐沖擊度的膜層。或者，在其他實(shí)施例中，如圖2B所示，探針I(yè)OB更包含一第二檢測 層16'介于耐沖擊層14與保護(hù)層18之間，第二檢測層16'可以與檢測層16具有相同或是 不同的顏色，但其與耐沖擊層14與保護(hù)層18則具有不同顏色，而第二檢測層16'可以采用 前述檢測層16所使用的任一材質(zhì)，故在此不再贅述。此外，雖然檢測層為避免影響探針的 導(dǎo)電性與可靠度，而使用一具有導(dǎo)線性是較佳的選擇，但由于檢測層的厚度很薄，因此，在 一些對精確度與精密度要求比較不高的低階電子產(chǎn)品，也可以使用一不具導(dǎo)電性的材質(zhì)， 因其對于探針的導(dǎo)電性與可靠度影響不大而在可接受的范圍內(nèi)。 然而，無論是圖1、圖2A、圖2B或是本發(fā)明其他實(shí)施例所揭示的探針，皆在探針磨 耗的固定厚度時(shí)(即耐沖擊層與保護(hù)層磨耗到固定厚度時(shí))會裸露出檢測層，而使探針上 磨耗到一定程度的區(qū)域呈現(xiàn)出檢測層本身的顏色或螢光，指磨耗到前述固定厚度甚至超 過此一固定厚度的區(qū)域。因此，因檢測層的醒目顏色或螢光，使得已有磨耗的探針具有一 肉眼可見的標(biāo)示，而使線上人員可以在不需將探針由測試機(jī)臺拆下，甚至不需停機(jī)的狀態(tài) 下(即線上即時(shí)地(on-line))，可以直接藉由肉眼會僅搭配簡單的放大鏡觀察探針的磨耗狀況，而不需使用光學(xué)顯微鏡，而減少檢測的時(shí)間與成本，進(jìn)而降低測試成本與提升測試效 能，并且又不易因探針沾錫或是沾粘臟污而造成誤判。 另外，在本發(fā)明中，探針主體上的檢測層可以由數(shù)層具有不同顏色或是不同顏色 螢光的膜層，在探針主體的表面上依序堆疊而成，使得探針在不同程度的磨耗會在產(chǎn)生磨 耗區(qū)域呈現(xiàn)不同顏色，因此，線上人員可以輕易得知探針的磨耗程度。 前述固定厚度為探針上耐沖擊層與保護(hù)層的厚度總和(如圖1所示的探針10)，或 是探針上保護(hù)層的厚度(如圖2A所示的探針I(yè)OA)，或是檢測層上包覆于其上除了測試層 之外所有膜層的厚度總和。此外，可以藉由此一探針上檢測層裸露的程度或是裸露的表面 積，而輕易判定探針的磨耗程度，并且可以依據(jù)不同探針的特性，決定是否只要探針裸露出 檢測層即需進(jìn)行更換，或是依探針上檢測層裸露的程度或是裸露的表面積超過一預(yù)設(shè)的臨 界值，而決定更換探針。 本發(fā)明提供一制作前述探針的方法，請參閱圖3所示，其是本發(fā)明的一實(shí)施例的 制作探針的方法的流程圖。此一探針制作方法，首先，提供一探針主體(步驟300)，此一探 針主體具有至少一針頭；接著，再形成一檢測層包覆針頭、或是僅包覆針頭與電子在測試時(shí) 與其他元件或裝置接觸的部分，例如電子產(chǎn)品與測試機(jī)臺等接觸的部分，或是包覆整個(gè)探 針主體(步驟302);接著，在檢測層上形成一耐沖擊層而包覆檢測層(步驟304)，例如形成 一鎳層，甚至包覆整個(gè)針頭或是探針主體，并且其與檢測層具有不相同的顏色。甚至，可以 將檢測層制作成同時(shí)具有做為探針磨耗的檢測標(biāo)的與做為增加探針耐沖擊度的膜層，而不 需額外制作一耐沖擊層。 形成一檢測層步驟(步驟302)是藉由涂布、無電鍍方式、浸鍍、旋涂、蒸鍍、或復(fù)合
電鍍方式形成一有色染料層、螢光染料層、納米涂料層、或是具有染料粒子的膜層于針頭或
探針主體上。其中，檢測層所使用的材質(zhì)與顏色已在前文描述，而在此不再贅述。 此外，此一制作探針的方法更可以包含一形成保護(hù)層步驟，用以形成一保護(hù)層
(例如金層)于該耐沖擊層上并且包覆該耐沖擊層，用以保護(hù)該針頭或是整個(gè)探針主體而
避免其發(fā)生氧化，如圖l所示。另外，在形成一檢測層步驟(步驟302)更可以包含制作依
序數(shù)層不同顏色的檢測層，使得探針在不同程度的磨耗會在產(chǎn)生磨耗區(qū)域呈現(xiàn)不同顏色，
因此，線上人員可以輕易得知探針的磨耗程度。而在本發(fā)明其他實(shí)施例中，更可以形成一第
二檢測層介于耐沖擊層與保護(hù)層(如圖2B所示)，用以與檢測層分別標(biāo)示不同程度的磨耗。
第二檢測層可以與檢測層具有相同或是不同的顏色，但其與耐沖擊層與保護(hù)層則具有不同
顏色，而第二檢測層可以采用前述檢測層所使用的任一材質(zhì)，故在此不再贅述。 本發(fā)明更提供一檢測探針磨耗的方法，使得線上人員可以以更簡單、準(zhǔn)確且不易
誤判的方法，線上即時(shí)地對探針的磨耗程度與更換與否做出判斷。請參閱圖4所示，其是本
發(fā)明的一實(shí)施例的檢測探針磨耗的方法的流程圖。在此一檢測探針磨耗的方法中，首先，提
供至少一用以對電子產(chǎn)品執(zhí)行測試的探針(步驟400)，此一探針內(nèi)部具有一層檢測層，其
結(jié)構(gòu)與材質(zhì)如同前文所述的探針結(jié)構(gòu)，因此在此不再贅述。 接著，使用上述探針對電子產(chǎn)品進(jìn)行測試(步驟402)，然后檢視探針中的檢測層 是否已裸露(步驟404)，藉由檢測層具有與保護(hù)層顏色不同的醒目顏色，或是檢測層所發(fā) 出的螢光，使得已有磨耗的探針具有一肉眼可見的標(biāo)示，而檢視探針是否有磨耗情形。
接著，若檢測到探針已有磨耗，而在因檢測層在部分區(qū)域的裸露呈現(xiàn)出檢測層本身的顏色，如圖5B所示的探針10b，則停止測試(步驟406)，用以進(jìn)行探針的更換或進(jìn)一步 判斷探針是否可以繼續(xù)使用。反之，若無發(fā)現(xiàn)探針因檢測層在部分區(qū)域的裸露呈現(xiàn)出檢測 層本身的顏色，即代表檢測到探針并無磨耗，如圖5A所示的探針10a，則繼續(xù)進(jìn)行測試(步 驟408)。 此外，在因檢測層在部分區(qū)域的裸露呈現(xiàn)出檢測層本身的顏色，而檢測到探針已 有磨耗，之后更包含一判定步驟，用以判定已裸露出檢測層的探針是否已經(jīng)不堪使用，而需 要進(jìn)行更換，此一步驟可以在檢視檢測層到已裸露并停止測試后進(jìn)行，或是直接在測試中 進(jìn)行(其上電子產(chǎn)品被拾取時(shí)進(jìn)行)。此一判定步驟藉由探針中檢測層所裸露的程度或是 裸露的表面積來判定探針的磨耗程度，如圖6A與圖6B所示的已磨耗的探針上，因保護(hù)層18 與耐沖擊層14已被部分磨除而裸露出的檢測層表面積。并且判定該探針上檢測層所裸露 的程度或是裸露的表面積是否超過一預(yù)設(shè)的臨界值或臨界值范圍，而判定探針已磨耗過度 而不堪使用而需要更換，若是超過臨界值或臨界值范圍，則進(jìn)行一探針更換步驟，而將磨耗 過度的探針進(jìn)行更換。其中，前述預(yù)設(shè)的臨界值或臨界值范圍可以一探針的種類、測試的方 式、測試的產(chǎn)品以及測試的需求而有所不同。 另外，此一方法更包含一將探針裝置于測試座步驟(如圖5A所示)，探針10其在 測試座(socket)20依照電子產(chǎn)品電性接點(diǎn)的排列而進(jìn)行相同的排列。此外更包含一將已 裝置好探針10的測試座20裝置于測試機(jī)臺的步驟。 本發(fā)明的探針與檢測探針磨耗的方法藉由探針內(nèi)部制作一顏色醒目的檢測層，使 得探針在磨損到一定程度，會自動(dòng)因裸露出檢測層而使磨耗的區(qū)域呈現(xiàn)檢測層本身的醒目 顏色或螢光，使得已有磨耗的探針具有一肉眼可見的標(biāo)示，而使線上人員可以在不需將探 針由測試機(jī)臺拆下，甚至不需停機(jī)的狀態(tài)下(即線上即時(shí)地(on-line))，可以直接藉由肉 眼會僅搭配簡單的放大鏡觀察探針的磨耗狀況，而不需使用光學(xué)顯微鏡，而減少檢測的時(shí) 間與成本，進(jìn)而降低測試成本與提升測試效能，并且又不易因探針沾錫或是沾粘臟污而造 成誤判。因此，可以更簡單、更易判定并且可以在線上即時(shí)檢測探針磨耗的方法，或是可以 輕易判斷其損耗程度的探針，以增加判斷的正確性與測試效能，并且減少檢測的時(shí)間、誤判 的可能性以及測試成本。 以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖 然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人 員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾 為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對 以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
一種探針，其特征在于其包含一探針主體，該探針主體至少包含一針頭；一檢測層，包覆該針頭或是整個(gè)探針主體；以及一耐沖擊層，形成于該檢測層上并且包覆該檢測層，用以增加該探針的耐沖擊度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于其中所述的檢測層具有與該耐沖擊層不相 同的顏色。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于其中所述的檢測層為一有色染料層、螢光 染料層、納米涂料層或是具有染料粒子的膜層。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于其更包含一保護(hù)層形成于該耐沖擊層上并 且包覆該耐沖擊層，用以保護(hù)該針頭或是整個(gè)該探針主體而避免其發(fā)生氧化。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針，其特征在于其更包含一第二檢測層，介于該保護(hù)層與 該耐沖擊層之間。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于其中所述的耐沖擊層與該檢測層為同一層。
7. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針，其特征在于其中所述的探針在磨耗至固定厚度后會裸 露出部分該檢測層，而呈現(xiàn)該檢測層的顏色，其中該檢測層裸露的程度或表面積代表該探 針的磨耗程度，并且該檢測層裸露的程度或表面積超過一預(yù)設(shè)的臨界值，該探針已不能再 使用。
8. —種檢測探針磨耗的方法，其特征在于包含以下步驟 提供一探針，用以執(zhí)行測試，該探針內(nèi)部具有一層檢測層； 進(jìn)行測試；以及檢視該檢測層是否裸露。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測探針磨耗的方法，其特征在于其中所述的探針包含 一探針主體，該探針主體至少包含一針頭； 一檢測層，包覆該針頭或是整個(gè)探針主體；以及一耐沖擊層，形成于該檢測層上并且包覆該檢測層，用以增加該探針的耐沖擊度，其中 該檢測層具有與該耐沖擊層不相同的顏色。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢測探針磨耗的方法，其特征在于其更包含一保護(hù)層形成 于該耐沖擊層上并且包覆該耐沖擊層，用以保護(hù)該針頭或是整個(gè)該探針主體而避免其發(fā)生 氧化。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測探針磨耗的方法，其特征在于其中所述的檢視該檢測 層是否裸露的步驟是以肉眼或以放大鏡直接觀察該探針表面是否顯現(xiàn)該檢測層的顏色，若 發(fā)現(xiàn)該探針已裸露出該檢測層則停止測試，反之，則繼續(xù)測試。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢測探針磨耗的方法，其特征在于其更包含一判定步驟， 藉由該檢測層裸露的程度或表面積來判定該探針的磨耗程度，并比對該檢測層裸露的程度 或表面積是否超出一預(yù)設(shè)的臨界值，而判定該探針是否需更換。
全文摘要
本發(fā)明是有關(guān)于一種檢測探針磨耗的方法與探針，特別是有關(guān)于線上即時(shí)檢測探針磨耗的方法、探針與其制作方法。該探針包含一探針主體，該探針主體至少包含一針頭；一檢測層，包覆該針頭或是整個(gè)探針主體；以及一耐沖擊層，形成于該檢測層上并且包覆該檢測層，用以增加該探針的耐沖擊度。其藉由在探針內(nèi)部制作一顏色醒目的檢測層，以使探針磨耗后會裸露出檢測層，而藉由檢測層的探針醒目顏色成為一標(biāo)記，使得線上人員可以輕易并且實(shí)時(shí)地判斷探針是否已磨損。
文檔編號G01B21/00GK101750036SQ20081018077
公開日2010年6月23日 申請日期2008年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月2日
發(fā)明者趙本善, 陳家進(jìn) 申請人:京元電子股份有限公司