專利名稱：高精度可調(diào)節(jié)精密氣電傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種測量裝置，尤其涉及一種氣動測量裝置。
背景技術(shù)：
精密氣動測量是利用壓縮空氣為介質(zhì)對工件尺寸進行非接 觸測量的一種技術(shù)，它是根據(jù)噴氣測頭靠近工件表面時氣路中的壓力發(fā)生 變化，壓力傳感器把該壓力變化轉(zhuǎn)變成電信號，變化的電信號經(jīng)過信號放 大電路放大后傳送給計算機進行分析、處理并顯示測量結(jié)果。由于該技術(shù) 為非接觸測量，因此特別適合用于測量公差要求小于IO微米的工件。目前，國內(nèi)的高精度氣動測量裝置大多仍然停留在實驗室階段，且結(jié) 構(gòu)比較復(fù)雜；如授權(quán)公告號為"CN2656690Y"中國專利公開了名稱為"氣 動測量實驗裝置"的實用新型專利，該專利的缺陷是氣路比較復(fù)雜，所需的傳感器、計算機等零部件較多，成本較高。發(fā)明內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷，本實用新型旨在提供一 種結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠、實用性強、測量精度高的高精度可調(diào)節(jié)精密氣電 傳感器。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案它包括氣泵、穩(wěn) 壓器、噴氣測頭、傳感器、以及氣路和信號放大電路；底座上設(shè)有氣室， 設(shè)置在該室中并由氣室蓋板密閉的壓電晶片傳感器通過所述的信號放大電 路與計算機電連接；在底座內(nèi)設(shè)有進氣道、測量氣道以及排氣道，進氣道和排氣道各通過一個節(jié)流孔與測量氣道并聯(lián)連通，排氣道通過下氣道與氣室的底部連通、進氣道通過上氣道以及設(shè)置在氣室蓋板內(nèi)的氣道與氣室的 頂部連通，排氣道的出口端設(shè)有另一個節(jié)流孔；氣泵通過穩(wěn)壓器接于進氣 道的入口處，噴氣測頭接于測量氣道的出口處。 在排氣道的出口處接有過濾器。與現(xiàn)有技術(shù)比較，本實用新型由于采用了上述技術(shù)方案，因此具有性 能穩(wěn)定、抗干擾能力強，結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕，測量精度高、實用性強、成本低等優(yōu)點，可直接安裝在機床上實現(xiàn)在會
圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；' 圖2是圖1中的A—A剖視圖； 圖3是圖1中的B—B剖視圖； 圖4是圖1中的C一C剖視圖； 圖5是圖1中的D—D剖視圖； 圖6是本實用新型的氣路原理圖； 圖7是本實用新型的電路原理圖。.圖中底座l 排氣道2 氣室蓋板3 下氣道4 過濾器5 噴氣測頭6 氣泵7 穩(wěn)壓器8 進氣道9,道10:氣道u 節(jié)流孔12 分流氣道13 氣室14 壓電晶片傳感器15 上氣道16 儀器放大器17 精密電壓發(fā)生器18 橋式等效電路19 末端放大器20 精密偏置電壓發(fā)生器21 電阻矩陣開關(guān)電路2具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體的實施例對本實用新型作進一步說明在圖1 6中，底座1上設(shè)有氣室14，該氣室由氣室蓋板3密閉；設(shè) 置在氣室14中的壓電晶片傳感器15由導(dǎo)線通過信號放大電路連接與計算 機連接；計算機對放大后的電信號進行分析、處理并顯示測量結(jié)果。在底 座1內(nèi)設(shè)有進氣道9、測量氣道11以及排氣道2，進氣道9和排氣道2的 一端各設(shè)有一個節(jié)流孔12，兩節(jié)流孔12通過分流氣道13與測量氣道11 并聯(lián)連通；排氣道2通過下氣道4與氣室14的底部連通、進氣道9通過上 氣道16以及設(shè)置在氣室蓋板3內(nèi)的氣道10與氣室14的頂部連通，排氣道 2的出口端設(shè)有另一個節(jié)流孔12。氣泵7通過穩(wěn)壓器8接于進氣道9的入 口處，噴氣測頭6接于測量氣道11的出口處。為了在停機時防止外界的空 氣倒流而污染氣路，在排氣道2的出口處接有過濾器5。在圖7中，壓電晶片傳感器15由橋式等效電路19構(gòu)成，精密電壓發(fā) 生器18為壓電晶片傳感器15提供精確穩(wěn)定的供電電壓，壓電晶片傳感器 15輸出的電信號經(jīng)儀器放大器17放大以后再經(jīng)R." C,o濾波后進入由運算 放大器組成的末端放大器20。電阻矩陣開關(guān)電路22用于電路增益的選擇， Cu和L組成低通濾波器在末端放大器20中將信號放大、濾波后輸出。精 密偏置電壓發(fā)生器21輸出電壓進入儀器放大器17，偏置調(diào)整整個電路的 偏置電壓，即對零點進行調(diào)整。
權(quán)利要求1.一種高精度可調(diào)節(jié)精密氣電傳感器，包括氣泵、穩(wěn)壓器、噴氣測頭、傳感器、以及氣路和信號放大電路；其特征在于底座(1)上設(shè)有氣室(14)，設(shè)置在該室中并由氣室蓋板(3)密閉的壓電晶片傳感器(15)通過所述的信號放大電路與計算機電連接；在底座(1)內(nèi)設(shè)有進氣道(9)、測量氣道(11)以及排氣道(2)，進氣道(9)和排氣道(2)各通過一個節(jié)流孔(12)與測量氣道(11)并聯(lián)連通，排氣道(2)通過下氣道(4)與氣室(14)的底部連通、進氣道(9)通過上氣道(16)以及設(shè)置在氣室蓋板(3)內(nèi)的氣道(10)與氣室(14)的頂部連通，排氣道(2)的出口端設(shè)有另一個節(jié)流孔(12)；氣泵(7)通過穩(wěn)壓器(8)接于進氣道(9)的入口處，噴氣測頭(6)接于測量氣道(11)的出口處。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度可調(diào)節(jié)精密氣電傳感器，其特征在于 在排氣道(2)的出口處接有過濾器(5)。
專利摘要本實用新型公開了一種高精度可調(diào)節(jié)精密氣電傳感器，屬于測量儀器；旨在提供一種性能可靠、測量精度高的氣動測量裝置。它包括氣泵、穩(wěn)壓器、噴氣測頭、傳感器、氣路和信號放大電路；氣室(14)中的壓電晶片傳感器(15)通過信號放大電路與計算機連接；底座(1)內(nèi)設(shè)有進、排氣道(9、2)和測量氣道(11)，進、排氣道(9、2)通過節(jié)流孔(12)與測量氣道(11)并聯(lián)，排氣道(2)由下氣道(4)與氣室(14)底連通、進氣道(9)通過上氣道(16)以及氣道(10)與氣室(14)頂連通；氣泵(7)通過穩(wěn)壓器(8)與進氣道(9)連通，噴氣測頭(6)與測量氣道(11)連通。本實用新型可廣泛用于精密機械加工等多種行業(yè)。
文檔編號G01B13/02GK201094008SQ20072017417
公開日2008年7月30日 申請日期2007年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月30日
發(fā)明者浩 蒙, 蒙錫龍 申請人:蒙錫龍