專利名稱：確認(rèn)維修站及用以標(biāo)記基板為缺陷的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種確認(rèn)維修站及用以標(biāo)記基板為缺陷的方法，且特別是關(guān)于一種利用激光以燒蝕掉基板上具有缺陷部分的線路的確認(rèn)維修站以及用以標(biāo)記基板為缺陷的方法。
背景技術(shù)：
自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)(Automatic Optical Inspection，AOI)是利用光學(xué)方式對(duì)待檢測(cè)的物件進(jìn)行掃描，并將掃描后所得到的圖像儲(chǔ)存于資料庫(kù)中；之后，藉由將所得到的圖象資料與一參考圖案相比較，以找到缺陷所在的位置。自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)目前主要是應(yīng)用于檢測(cè)印刷電路板(PCB)、平面顯示面板(FPD)等材料，以于制造及組裝期間，檢測(cè)物件不同方面的特征，例如導(dǎo)體的完整性(是否有斷裂、短路、破裂等情形)及尺寸、絕緣體或基板的完整性及尺寸、開孔的尺寸及配置、導(dǎo)體間距、線寬及線長(zhǎng)等。
由于自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)所采用的測(cè)試方式為邏輯比較，通常會(huì)存在一些誤判的缺陷。因此，在經(jīng)過自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的檢測(cè)后，基板通常會(huì)被輸送至一確認(rèn)維修站(Verification and Repair Station，VRS)，以藉由人工的方式確認(rèn)所偵測(cè)到的缺陷是屬于真實(shí)缺陷或只是誤警(falsealarm)。
當(dāng)操作員辨識(shí)到此基板中的某個(gè)基板單元具有真實(shí)缺陷時(shí)，則會(huì)用筆刀將此基板單元連接至電鍍線的銅線路畫斷。如此，在后續(xù)進(jìn)行鍍金制程時(shí)，由于此基板單元的銅線路已被截?cái)?，因而無法在銅線路上鍍金。所以，之后在進(jìn)行外觀檢測(cè)(Automated Visual Inspection，AVI)時(shí)，操作員即可由銅線與金線的色差，而辨識(shí)出此基板單元是具有缺陷的元件。
然而，在操作員用筆刀將銅線路畫斷的過程中，被畫斷的銅線路會(huì)產(chǎn)生些微的銅屑，這些銅屑可能會(huì)跳到鄰近基板單元的線路上，而使其他線路產(chǎn)生短路的情形，進(jìn)而降低產(chǎn)品的良率。此外，以人工方式進(jìn)行銅線路的切割亦會(huì)浪費(fèi)其作業(yè)時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種用以標(biāo)記基板為缺陷的方法，此方法是于確認(rèn)維修站確認(rèn)一待檢測(cè)基板上的缺陷為一真實(shí)缺陷時(shí)，利用一激光燒蝕掉此基板上連接于此缺陷的線路。如此，即可避免現(xiàn)有技術(shù)中由操作員以筆刀將線路畫斷，而產(chǎn)生銅屑掉落的問題，且可縮短其作業(yè)時(shí)間。
本發(fā)明提供一種確認(rèn)維修站，此確認(rèn)維修站的特點(diǎn)是包括一激光裝置。當(dāng)確認(rèn)維修站確認(rèn)一待檢測(cè)基板上的缺陷為一真實(shí)缺陷時(shí)，則利用激光裝置燒蝕掉基板上連接于電鍍線的線路，以避免產(chǎn)生銅屑掉落的情形。
本發(fā)明提出一種用以標(biāo)記基板為缺陷的方法，包括下列步驟。首先，提供一待檢測(cè)的基板，此基板的一表面具有一電鍍線以及連接于此電鍍線的一線路。之后，利用一自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)此基板，并將基板上所偵測(cè)到的一缺陷儲(chǔ)存于一計(jì)算機(jī)中。接下來，將基板傳輸至一確認(rèn)維修站，此確認(rèn)維修站將所偵測(cè)到的缺陷與一參考影像相比對(duì)，以確認(rèn)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)所偵測(cè)到的缺陷是否為一真實(shí)缺陷。最后，當(dāng)確認(rèn)此缺陷為真實(shí)缺陷時(shí)，利用一激光燒蝕掉基板上連接于上述電鍍線的線路。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，此基板為一印刷電路板或一平面顯示面板。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，此缺陷為二相鄰線路之間短路之處。
本發(fā)明另提出一種確認(rèn)維修站，適于確認(rèn)一待檢測(cè)基板上的缺陷是否為一真實(shí)缺陷，此待檢測(cè)的基板的一表面具有一電鍍線以及連接于上述電鍍線的一線路，其特征在于此確認(rèn)維修站包括一激光裝置，當(dāng)確認(rèn)維修站確認(rèn)此缺陷為真實(shí)缺陷時(shí)，則利用激光裝置燒蝕掉基板上連接于上述電鍍線的線路。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，此基板為一印刷電路板或一平面顯示面板。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，此真實(shí)缺陷為二相鄰線路之間短路之處。
本發(fā)明所提出的確認(rèn)維修站及用以標(biāo)記基板為缺陷的方法，是于確認(rèn)維修站確認(rèn)一待檢測(cè)基板上的缺陷為一真實(shí)缺陷時(shí)，利用一激光燒蝕掉此基板上連接于此缺陷的線路，而不致產(chǎn)生銅屑掉落的問題，以提升產(chǎn)品的良率，且亦可縮短其作業(yè)時(shí)間。
為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下。


圖1繪示為根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的一種用以標(biāo)記基板為缺陷的方法流程圖。
圖2繪示為當(dāng)待檢測(cè)的基板置放于確認(rèn)維修站上，以確認(rèn)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)所偵測(cè)到的缺陷是否為一真實(shí)缺陷的示意圖。
步驟110提供一待檢測(cè)的基板步驟120利用一自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)此基板，并將基板上所偵測(cè)到的一缺陷儲(chǔ)存于一計(jì)算機(jī)中步驟130將基板傳輸至一確認(rèn)維修站，此確認(rèn)維修站將所偵測(cè)到的缺陷與一參考影像相比對(duì)，以確認(rèn)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)所偵測(cè)到的缺陷是否為一真實(shí)缺陷步驟140當(dāng)確認(rèn)此缺陷為真實(shí)缺陷時(shí)，利用一激光燒蝕掉此基板上連接于此缺陷的線路200確認(rèn)維修站210激光裝置220鏡頭 300基板單元310缺陷 310a影像具體實(shí)施方式
圖1繪示為根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的一種用以標(biāo)記基板為缺陷的方法流程圖。請(qǐng)參考圖1，首先，提供一待檢測(cè)的基板(步驟110)，此基板包含多個(gè)基板單元以及一電鍍線，且各基板單元的表面上具有一連接于此電鍍線的線路。每個(gè)基板單元可為一完成電路制作的印刷電路板或是一平面顯示面板。之后，利用一自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)各個(gè)基板單元，并將各個(gè)基板單元上所偵測(cè)到的一缺陷儲(chǔ)存于一計(jì)算機(jī)中(步驟120)。舉例而言，此自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)可用以檢測(cè)各基板單元此上的導(dǎo)體的完整性(是否有斷裂、短路、破裂等情形)及尺寸、絕緣體或基板的完整性及尺寸、開孔的尺寸及配置、導(dǎo)體間距、線寬及線長(zhǎng)等。
由于所偵測(cè)到的缺陷可能為誤警或是確實(shí)屬于真實(shí)缺陷。因此，當(dāng)完成自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的檢測(cè)后，需將此基板傳輸至一確認(rèn)維修站，此確認(rèn)維修站會(huì)將所偵測(cè)到的缺陷與一參考影像相比對(duì)，以確認(rèn)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)所偵測(cè)到的缺陷是否為真實(shí)缺陷(步驟130)。最后，當(dāng)確認(rèn)此缺陷為真實(shí)缺陷時(shí)，則利用激光燒蝕掉此基板單元上連接于電鍍線的線路(步驟140)。由于以激光燒蝕掉基板單元上連接于電鍍線的線路并不會(huì)有任何銅屑產(chǎn)生，因此，即可避免現(xiàn)有技術(shù)中因采用筆刀將銅線畫斷而產(chǎn)生銅屑掉落的情形。
圖2繪示為當(dāng)待檢測(cè)的基板置放于確認(rèn)維修站上，以確認(rèn)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)所偵測(cè)到的缺陷是否為真實(shí)缺陷的示意圖。確認(rèn)維修站200是以人工的方式確認(rèn)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)所偵測(cè)到的缺陷310是屬于真實(shí)缺陷或只是誤警。而此確認(rèn)維修站200的特點(diǎn)即在于其包含一激光裝置210，若操作員確認(rèn)所偵測(cè)到的缺陷310實(shí)屬真實(shí)缺陷時(shí)，則可利用激光裝置210所產(chǎn)生的激光將基板單元300上連接于電鍍線的線路燒蝕掉，以避免現(xiàn)有技術(shù)中因采用筆刀將缺陷部分的線路畫斷，而產(chǎn)生銅屑掉落的情形。
更進(jìn)一步而言，當(dāng)基板放置于確認(rèn)維修站200時(shí)，確認(rèn)維修站200的鏡頭220會(huì)擷取出基板單元300的可能缺陷310的影像310a，并將影像310a顯示于一熒幕中。之后，操作員會(huì)將此影像310a與一參考影像相比對(duì)，以確認(rèn)此缺陷310是否為一真實(shí)缺陷。當(dāng)操作員確認(rèn)此缺陷310確實(shí)為真實(shí)缺陷時(shí)，則利用設(shè)置于確認(rèn)維修站200上的激光裝置210將基板單元300上連接于電鍍線的線路燒蝕掉，以避免產(chǎn)生銅屑掉落的情形。
綜上所述，本發(fā)明所提出的確認(rèn)維修站是于傳統(tǒng)的確認(rèn)維修站上加裝一激光裝置。當(dāng)確認(rèn)維修站確認(rèn)一待檢測(cè)基板上的缺陷為一真實(shí)缺陷時(shí)，則利用激光裝置燒蝕掉基板上連接于此缺陷的線路。由于以激光燒蝕掉具有缺陷部分的線路并不會(huì)有任何銅屑產(chǎn)生，因此，可避免現(xiàn)有技術(shù)中由操作員以筆刀將線路畫斷，而產(chǎn)生銅屑掉落的問題。此外，由于此操作系屬于自動(dòng)化作業(yè)，因此，亦可縮短其作業(yè)時(shí)間。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視后附的申請(qǐng)權(quán)利要求所界定為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種用以標(biāo)記基板為缺陷的方法，其特征在于包括以下步驟提供一待檢測(cè)的基板，該基板的一表面具有一電鍍線以及連接于該電鍍線的一線路；利用一自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)該基板，并將該基板上所偵測(cè)到的一缺陷儲(chǔ)存于一計(jì)算機(jī)中；將該基板傳輸至一確認(rèn)維修站，該確認(rèn)維修站將所偵測(cè)到的該缺陷與一參考影像相比對(duì)，以確認(rèn)該自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)所偵測(cè)到的該缺陷是否為一真實(shí)缺陷；以及當(dāng)確認(rèn)該缺陷為該真實(shí)缺陷時(shí)，利用一激光燒蝕掉該基板上連接于該電鍍線的該線路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以標(biāo)記基板為缺陷的方法，其特征在于其中該基板為一印刷電路板或一平面顯示面板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用以標(biāo)記基板為缺陷的方法，其特征在于其中該缺陷為二相鄰線路之間短路之處。
4.一種確認(rèn)維修站，適于確認(rèn)一待檢測(cè)基板上的缺陷是否為一真實(shí)缺陷，該待檢測(cè)的基板的一表面具有一電鍍線以及連接于該電鍍線的一線路，其特征在于該確認(rèn)維修站包括一激光裝置，當(dāng)該確認(rèn)維修站確認(rèn)該缺陷為真實(shí)缺陷時(shí)，利用該激光裝置燒蝕掉該基板上連接于該電鍍線的該線路。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的確認(rèn)維修站，其特征在于其中該基板為一印刷電路板或一平面顯示面板。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的確認(rèn)維修站，其特征在于其中該真實(shí)缺陷為二相鄰線路之間短路之處。
全文摘要
一種確認(rèn)維修站，適于確認(rèn)一待檢測(cè)基板上的缺陷是否為一真實(shí)缺陷，其特征在于此確認(rèn)維修站包括一激光裝置，當(dāng)確認(rèn)維修站確認(rèn)此缺陷為真實(shí)缺陷時(shí)，利用此激光裝置燒蝕掉基板上連接于此缺陷的線路。
文檔編號(hào)G01R31/308GK101042356SQ200710096919
公開日2007年9月26日 申請(qǐng)日期2007年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月16日
發(fā)明者蘇洹漳 申請(qǐng)人:日月光半導(dǎo)體制造股份有限公司