專(zhuān)利名稱(chēng)：微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法以及微型探針單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種配置有尺寸較小的微型探針導(dǎo)向裝置、以及將微型探針配置于微型探針導(dǎo)向裝置的微型探針單元。特別是涉及一種微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法、使用微型探針導(dǎo)向裝置的微型探針單元以及曲折狀配置型微型探針單元。
背景技術(shù)：
為了使探針接觸到半導(dǎo)體晶片或者液晶顯示元件上的電極端子，以檢查在該半導(dǎo)體晶片上所制作的IC芯片或液晶顯示元件的電路特性，通常使用所謂的探針卡。
例如，日本特開(kāi)平6-222079號(hào)公報(bào)中闡述了這樣一種結(jié)構(gòu)在中央設(shè)有開(kāi)口部的盤(pán)狀探針卡上進(jìn)行印刷布線，并分別將探針的基端與印刷布線的各端子連接固定。該些各探針的前端分別朝向半導(dǎo)體晶片的電極臺(tái)或液晶顯示元件的電極臺(tái)而延伸。并且，在半導(dǎo)體晶片的電極臺(tái)的配置或液晶顯示元件等電極臺(tái)的配置形成高密度的同時(shí)，由多個(gè)探針構(gòu)成的探針組自身也必須實(shí)現(xiàn)細(xì)致的高精度配置，從各探針前端向基端呈扇型展開(kāi)。另外，使構(gòu)成探針組的各個(gè)探針的高度不一致，以采用多層構(gòu)造配置。除此之外，將鄰近的探針的前端位置配置成曲折狀，這也是眾所周知的。
此外，在日本特開(kāi)2002-257859號(hào)公報(bào)中，公開(kāi)了嵌入探針的方法利用硅基板的(100)面比(111)面更快地被蝕刻，使用K OH溶液等在硅基板上形成凹槽，并采用無(wú)電解電鍍法將探針嵌入該凹槽。

發(fā)明內(nèi)容
如上所述，關(guān)于探針卡上所配置的探針的間距密集，已提出各種方案。但是，在日本特開(kāi)平6-222079號(hào)公報(bào)所介紹的曲折狀配置或多層構(gòu)造配置中，作為以保持密集的間距固定探針的具體方法，采用對(duì)探針卡的印刷布線粘結(jié)固定的方式。因此，為了高精度的配置各探針的前端位置，需要用于精確地保護(hù)各探針配置的精密夾具。另外，在日本特開(kāi)2002-257859號(hào)公報(bào)中，闡述了在硅基板上嵌入探針的方法，但是該方法對(duì)探針的材料、形狀等有限制。
本發(fā)明的目的在于提供一種微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，該裝置可以高精度地保護(hù)配置各探針，以使各探針的前端配置的間距密集化成為可能。另外，本發(fā)明還提供了一種微型探針單元，該微型探針單元使用了按照上述方法制造的微型探針導(dǎo)向裝置。此外，又提供了一種微型探針單元，該微型探針單元呈曲折狀配置，并應(yīng)用了按照上述方法制造的微型探針導(dǎo)向裝置。
本發(fā)明通過(guò)應(yīng)用半導(dǎo)體制造工藝流程中所使用的蝕刻技術(shù)和膜堆積技術(shù)等，可實(shí)現(xiàn)將微小的機(jī)構(gòu)嵌入硅等技術(shù)應(yīng)用在探針卡上。該種嵌入微小機(jī)構(gòu)的技術(shù)，作為所謂的MEMS(Micro Electro MechanicalSystems微小電氣機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)或微型機(jī)械技術(shù)已被公開(kāi)。具體而言，在半導(dǎo)體工藝流程技術(shù)所適用的材料上，例如在硅基板等基板上實(shí)施非均質(zhì)蝕刻等技術(shù)，使之形成深且細(xì)長(zhǎng)的凹槽，并以此作為微型探針的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。在此，所謂的非均質(zhì)蝕刻指的是相對(duì)于蝕刻罩幕的尺寸來(lái)說(shuō)，幾乎沒(méi)有側(cè)面蝕刻，而是以與罩幕尺寸相同的形狀來(lái)形成深孔或凹槽的蝕刻。這樣，在以深且細(xì)長(zhǎng)的凹槽為導(dǎo)向的情況下，微型探針便能夠采用通常的材料、并采用眾所周知的機(jī)械加工技術(shù)或蝕刻技術(shù)來(lái)制作。另外，用于微型探針定位的定位孔或開(kāi)口也可以通過(guò)微型機(jī)械技術(shù)來(lái)完成。
這樣，本發(fā)明所述的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，為一種保護(hù)細(xì)長(zhǎng)微型探針的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，其特征在于，包括通過(guò)非均質(zhì)蝕刻在基板上形成微型探針導(dǎo)向凹槽的工序，該微型探針導(dǎo)向凹槽具有與微型探針寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及為該槽寬2倍以上的槽深。
另外，本發(fā)明所述的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，其特征在于包括第一項(xiàng)工序和第二項(xiàng)工序。作為第一項(xiàng)工序，在軸部的某一部位具有定位用凸部的保護(hù)細(xì)長(zhǎng)微型探針的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法中，通過(guò)非均質(zhì)蝕刻在基板上形成微型探針導(dǎo)向凹槽，其中，該微型探針導(dǎo)向凹槽具有與微型探針寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及為該槽寬2倍以上的槽深。并且，作為第二項(xiàng)工序，在金屬板的微型探針導(dǎo)向槽槽底的某一部位，形成與微型探針用凸部相對(duì)應(yīng)的凹陷或開(kāi)口。
此外，本發(fā)明所述的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，為一種保護(hù)細(xì)長(zhǎng)微型探針的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，其特征在于包括通過(guò)非均質(zhì)蝕刻在硅基板上形成微型探針導(dǎo)向凹槽的工序，該微型探針導(dǎo)向凹槽具有與微型探針寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及為該槽寬2倍以上的槽深。另外，本發(fā)明所述的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，其特征在于包括第一項(xiàng)工序和第二項(xiàng)工序。作為第一項(xiàng)工序，在軸部的某一部位具有定位用凸部的保護(hù)細(xì)長(zhǎng)微型探針的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法中，通過(guò)非均質(zhì)蝕刻在硅基板上形成微型探針導(dǎo)向凹槽，其中，該微型探針導(dǎo)向凹槽具有與微型探針寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及為該槽寬2倍以上的槽深。并且，作為第二項(xiàng)工序，在基板的微型探針導(dǎo)向槽槽底的某一部位，形成與微型探針用凸部相對(duì)應(yīng)的凹陷或開(kāi)口。
再者，本發(fā)明所述的微型探針單元，具有微型探針和微型探針導(dǎo)向裝置。并且，微型探針呈細(xì)長(zhǎng)狀，且具有高度是寬度2倍以上的矩形剖面的軸部。另外，微型探針導(dǎo)向裝置整列配置有多個(gè)微型探針導(dǎo)向槽；該種微型探針導(dǎo)向槽具有與微型探針的軸部矩形剖面寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及與軸部矩形剖面高度相對(duì)應(yīng)的槽深。并且，微型探針單元分別將微型探針導(dǎo)入各個(gè)微型探針導(dǎo)向槽。
另外，在本發(fā)明所述的微型探針單元中，微型探針應(yīng)進(jìn)一步在其軸部的某一部位設(shè)有定位用凸部。并且，微型探針單元也進(jìn)一步在微型探針導(dǎo)向槽槽底的某一部位設(shè)有與微型探針的定位用凸部相對(duì)應(yīng)的凹陷或開(kāi)口。
此外，在本發(fā)明所述的微型探針單元中，優(yōu)選為，微型探針為一種兩端彎曲型的微型探針。該微型探針的一側(cè)端相對(duì)于軸部?jī)A斜并延伸，而形成一側(cè)端部；另一側(cè)端相對(duì)于軸部朝向與上述一側(cè)端傾斜方向相反的方向傾斜并延伸，從而其前端形成另一側(cè)端部。微型探針導(dǎo)向裝置具有與兩端彎曲型微型探針的軸部長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)的凹槽長(zhǎng)度。由凹槽的一側(cè)端相對(duì)于槽底，在下側(cè)露出微型探針的彎曲的一側(cè)端部；由凹槽的另一端相對(duì)于槽底，在上側(cè)露出微型探針的彎曲的另一側(cè)端部。
另外，在本發(fā)明所述的微型探針單元中，相對(duì)于微型探針的軸部一側(cè)端部的前端高度與相對(duì)于軸部的另一側(cè)端部的高度相比，只是因微型探針導(dǎo)向裝置的厚度部分而有所不同。
再者，在本發(fā)明的微型探針單元中，微型探針導(dǎo)向裝置優(yōu)選為一種具有多個(gè)微型探針導(dǎo)向凹槽的硅基板。
另外，本發(fā)明所述的曲折狀配置型微型探針單元，其特征在于將兩端彎曲的微型探針?lè)謩e配置到擁有多個(gè)微型探針導(dǎo)向凹槽的微型探針導(dǎo)向裝置的各導(dǎo)向凹槽上；微型探針單元的兩端彎曲型微型探針的兩端從凹槽的兩端突出來(lái)，把具有該種構(gòu)造的微型探針單元兩兩背對(duì)組合，并用托架固定。并且，相鄰的兩端彎曲型微型探針的前端分別在微型探針導(dǎo)向裝置兩端互相呈曲折狀配置。在這里，兩端彎曲型微型探針具有細(xì)長(zhǎng)的軸部、以及其一側(cè)端部和另一側(cè)端部；其中細(xì)長(zhǎng)的軸部具有高度是寬度2倍以上的矩形剖面。其一側(cè)端部為軸部的一端相對(duì)于軸部而傾斜延伸的端部，其另一側(cè)端部為軸部的另一端相對(duì)于軸部朝向與上述一端的傾斜相反的方向傾斜并延伸，相對(duì)于其前端的軸部的高度與相對(duì)于一側(cè)端部的前端的軸部的高度相比，只因微型探針導(dǎo)向裝置的厚度部分而有所不同。另外，各個(gè)微型探針導(dǎo)向凹槽具有與軸部?jī)啥螐澢偷奈⑿吞结樀妮S部矩形剖面的寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、與軸部矩形剖面的高度相對(duì)應(yīng)的槽深、以及與軸部的長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)的槽長(zhǎng)。并且，該槽深，可由凹槽的一側(cè)端相對(duì)于槽底，在下側(cè)露出兩端彎曲型微型探針的一側(cè)端部；由凹槽的另一端相對(duì)于槽底，在上側(cè)露出兩端彎曲型微型探針的另一側(cè)端部。另外，利用托架將一側(cè)的微型探針單元與另一側(cè)的探針單元相互背對(duì)組合，以進(jìn)行固定。此時(shí)，可在微型探針導(dǎo)向凹槽的間隔方向相互錯(cuò)開(kāi)任意距離，在微型探針導(dǎo)向凹槽的長(zhǎng)度方向，相鄰的微型探針的前端錯(cuò)開(kāi)間隔的任意距離進(jìn)行配置，并進(jìn)行固定。并且，通過(guò)該固定，相鄰的微型探針的前端分別在微型探針導(dǎo)向裝置兩端互相呈曲折狀配置。
此外，在本發(fā)明所述的曲折狀配置型微型探針單元中，微型探針導(dǎo)向裝置應(yīng)為一種具有多個(gè)微型探針導(dǎo)向凹槽的硅基板。
根據(jù)上述構(gòu)成，微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法為，通過(guò)非均質(zhì)蝕刻，在基板上形成微型探針導(dǎo)向凹槽，該微型探針導(dǎo)向凹槽具有與微型探針寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及槽寬2倍以上的槽深。這樣，因?yàn)椴捎昧嗽诎雽?dǎo)體工藝流程中所使用的非均質(zhì)蝕刻，便可以在基板上以微小的尺寸精度精確地制作出細(xì)長(zhǎng)的凹槽。
另外，根據(jù)上述構(gòu)成，微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法為，可進(jìn)一步地在金屬板的微小探針導(dǎo)向槽槽底的某一部位形成與微型探針的定位用凸部相對(duì)應(yīng)的凹陷或開(kāi)口。該工序與凹槽形成的工序相同，也可以通過(guò)非均質(zhì)蝕刻法來(lái)進(jìn)行。另外，根據(jù)凹陷或開(kāi)口的尺寸，也可以使用均質(zhì)蝕刻。
此外，根據(jù)上述構(gòu)成，微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法為，由于在硅基板上采用了非均質(zhì)干蝕刻，因此可采用眾所周知的微型機(jī)械技術(shù)，即可精確地嵌入微型探針導(dǎo)向裝置的深槽內(nèi)?？梢允褂美鏢iCl4，Cl2，CBrF3等的蝕刻氣體。另外，同樣地在微型探針導(dǎo)向凹槽的槽底的某一部位可嵌入與微型探針定位用凸部相對(duì)應(yīng)的凹陷或開(kāi)口。
另外，根據(jù)上述構(gòu)成，微型探針單元中，作為微型探針可采用具有高度是寬度兩倍以上的矩形剖面軸部的細(xì)長(zhǎng)物；并且使用微型探針導(dǎo)向裝置，該微型探針導(dǎo)向裝置具有微型探針導(dǎo)向凹槽，其中，該微型探針導(dǎo)向凹槽具有與該矩形剖面的寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及與其高度相對(duì)應(yīng)的槽深。例如可通過(guò)由基板制作出具有縱長(zhǎng)剖面的微型探針，并利用具有與縱長(zhǎng)剖面相對(duì)應(yīng)的凹槽的微型探針導(dǎo)向裝置，可以精確地對(duì)微型探針進(jìn)行導(dǎo)向。具有深槽的微型探針導(dǎo)向裝置，可以通過(guò)微型機(jī)械技術(shù)等而得到。
同樣地，根據(jù)上述構(gòu)成，微型探針單元在微型探針上設(shè)計(jì)定位用凸部時(shí)，對(duì)此，在微型探針導(dǎo)向裝置中，在微型探針導(dǎo)向凹槽槽底的某一部位設(shè)計(jì)凹陷或開(kāi)口。由此，便可以精確地定位、保護(hù)微型探針。
另外，根據(jù)上述構(gòu)成，在微型探針單元中，作為微型探針在使用兩端彎曲型微型探針時(shí)，將微型探針導(dǎo)向裝置的槽長(zhǎng)設(shè)為兩端彎曲型微型探針的軸部長(zhǎng)度，由凹槽的一側(cè)端相對(duì)于槽底，在下側(cè)露出微型探針的彎曲的一側(cè)端部；由凹槽的另一端相對(duì)于槽底，在上側(cè)露出微型探針的彎曲的另一側(cè)端部。由此，可以可將面對(duì)測(cè)定對(duì)象的測(cè)定用端部、以及連接測(cè)定部的連接用端部上下分開(kāi)，可實(shí)現(xiàn)精確地導(dǎo)向。此外，根據(jù)上述構(gòu)成，在微型探針單元中，與兩端彎曲型微型探針的軸部相對(duì)應(yīng)的一側(cè)端部的前端的高度與對(duì)應(yīng)于軸部的另一側(cè)端部的前端高度相比，只因微型探針導(dǎo)向裝置的厚度部分而有所不同。因此，將配置有該種形態(tài)的兩端彎曲型微型探針的微型探針單元背對(duì)著進(jìn)行組合，并在微型探針單元的兩端，分別使從上側(cè)微型探針單元露出的微型探針的前端與從下側(cè)微型探針單元的前端的高度保持一致。由此，通過(guò)將該種形狀的微型探針單元背對(duì)著疊加組合，可將由軸部到測(cè)定對(duì)象的高度不同微型探針層疊配置。由此，可便于將多列的探針在較窄的間隔內(nèi)配置，或?qū)⑾噜彽奶结樀那岸伺渲贸汕蹱睢?br> 根據(jù)上述構(gòu)成，在曲折狀配置型微型探針單元中，采用了兩端彎曲型微型探針，該微型探針的與另一側(cè)端部的前端的軸部相對(duì)應(yīng)的高度與對(duì)應(yīng)于一側(cè)端的前端的軸部的高度相比，只因微型探針導(dǎo)向裝置的厚度部分而有所不同。并且，將微型探針單元背對(duì)著進(jìn)行安裝組合，其中，該微型探針單元中已將所述形狀的兩端彎曲型微型探針配置于微型探針導(dǎo)向裝置。此時(shí)，將一側(cè)的微型探針單元與另一側(cè)的探針單元相互背對(duì)組合，并在微型探針導(dǎo)向凹槽的間隔方向相互錯(cuò)開(kāi)任意距離，在微型探針導(dǎo)向凹槽的長(zhǎng)度方向，相鄰的微型探針的前端錯(cuò)開(kāi)間隔的任意距離進(jìn)行配置。通過(guò)該種結(jié)構(gòu)，在微型探針導(dǎo)向裝置的兩端，分別將相鄰的微型探針的前端互相成曲折狀配置。這樣，多個(gè)探針的相鄰的前端呈曲折狀，以便能夠精確的引導(dǎo)各微型探針。由此，可精確地引導(dǎo)探針、也可使各探針的前端配置形成間距密集化。


圖1是表示適用于本發(fā)明所述的實(shí)施例的微型探針單元的液晶顯示面板點(diǎn)燈檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本發(fā)明所述的實(shí)施例中接觸式探針的斜視圖。
圖3a是本發(fā)明所述的實(shí)施例中接觸式探針的詳細(xì)側(cè)面圖。
圖3b是與圖3a相對(duì)應(yīng)的平面圖。
圖3c是與圖3a相對(duì)應(yīng)的剖面圖。
圖4是表示在本發(fā)明所述的實(shí)施例中，構(gòu)成曲折狀配置型微型探針單元的兩個(gè)微型探針單元背對(duì)著進(jìn)行安裝組合的示意圖。
圖5a是表示在本發(fā)明所述的實(shí)施例中、上側(cè)微型探針單元和下側(cè)微型探針單元背對(duì)著安裝組合以形成曲折狀配置型微型探針單元的詳細(xì)平面圖。
圖5b是與圖5a相對(duì)應(yīng)的側(cè)面圖。
圖5c是與圖5a相對(duì)應(yīng)的底面圖。
圖6a是本發(fā)明所述的實(shí)施例中微型探針的詳細(xì)俯視圖。
圖6b是與圖6a相對(duì)應(yīng)的側(cè)面圖以及其兩側(cè)的立體圖。
圖6c是與圖6a相對(duì)應(yīng)的仰視圖。
圖7a是表示本發(fā)明所述的實(shí)施例中微型探針導(dǎo)向裝置的俯視圖。
圖7b是與圖7a相對(duì)應(yīng)的側(cè)面圖。
圖7c是與圖7a相對(duì)應(yīng)的仰視圖。
圖8是表示本發(fā)明所述的實(shí)施例中將微型探針導(dǎo)向裝置背對(duì)組合時(shí)的示意圖。
圖9a是表示在本發(fā)明所述的實(shí)施例中，說(shuō)明微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法的用于形成凹槽的罩幕工序的示意圖。
圖9b接著圖9a，是說(shuō)明凹槽形成工序的示意圖。
圖9c接著圖9b，是說(shuō)明用于形成開(kāi)口的罩幕工序的示意圖。
圖9d接著圖9c，是說(shuō)明開(kāi)口形成工序的示意圖。
圖10是表示本發(fā)明所述的實(shí)施例中，在液晶顯示面板側(cè)形成間距S2、在帶狀線纜側(cè)形成間距S4的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖對(duì)本發(fā)明所述的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。下面以液晶顯示面板的點(diǎn)燈檢查裝置來(lái)說(shuō)明微型探針單元所適用的裝置。當(dāng)然，其他裝置也可，只要是以多個(gè)探針接觸測(cè)定對(duì)象來(lái)進(jìn)行測(cè)定等的裝置即可。例如即可以是液晶顯示裝置的測(cè)定裝置，也可以是半導(dǎo)體晶片的檢查裝置。另外，也可以是使測(cè)定對(duì)象對(duì)于多個(gè)探針產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)的所謂探針裝置此外，下面所述的尺寸只是用于說(shuō)明的一個(gè)例子，其他的尺寸也可以。
圖1是液晶顯示面板的點(diǎn)燈檢查裝置示意圖。在這里，不是液晶顯示面板點(diǎn)燈檢查裝置10的構(gòu)成要素，而是檢查對(duì)象即液晶顯示面板8及其端子延伸部9的示意圖。液晶顯示面板點(diǎn)燈檢查裝置10由以下部件構(gòu)成載物臺(tái)12，用于承載液晶顯示面板8并使其在任意位置移動(dòng)；探針保護(hù)部14，其相對(duì)載物臺(tái)12位于固定位置；點(diǎn)燈檢查器16；機(jī)械手18，其安裝于探針保護(hù)部14；接觸式探針20，其安裝于機(jī)械手18前端；以及帶狀數(shù)據(jù)線22等，其連接在接觸式探針20和點(diǎn)燈檢查器16之間。
圖2是接觸式探針20的斜視圖。接觸式探針20具有將多個(gè)微型探針50、51整列配置、固定的功能，相當(dāng)于廣義上的探針卡。接觸式探針20包含曲折狀配置型微型探針單元40。曲折狀配置型微型探針單元40將多個(gè)微型探針以雙層構(gòu)造的方式進(jìn)行整列配置，分別在朝向液晶顯示面板8的一端側(cè)A以及與帶狀數(shù)據(jù)線22相連接的另一端側(cè)B中，相鄰的微型探針50、51的前端部呈曲折狀配置。即，無(wú)論在一端側(cè)A還是另一側(cè)B中，相鄰的微型探針50、51的前端在沿著微型探針50、51較長(zhǎng)的方向以S1的間距，沿著微型探針50、51的列間距方向以S2的間隔，呈曲折狀進(jìn)行配置。
圖3a、圖3b、圖3c是接觸式探針20的詳圖。圖3a為側(cè)面圖，圖3b為平面圖，圖3c為剖面圖。剖面圖表示連通定位銷(xiāo)30和固定螺栓32的平面的剖面。接觸式探針20由以下部件構(gòu)成曲折狀配置型微型探針單元40；用于固定曲折狀配置型微型探針單元40的機(jī)械手底座24；支承臺(tái)26；以及壓板28。壓板28和支承臺(tái)26通過(guò)定位銷(xiāo)30進(jìn)行定位并固定。組合之后，作為保護(hù)曲折狀配置型微型探針單元40的門(mén)型部件而形成一體。與壓板28已形成一體化的支承臺(tái)26和機(jī)械手底座24通過(guò)固定螺栓32進(jìn)行適當(dāng)緊固，同時(shí)在相對(duì)面之間夾持曲折狀配置型微型探針單元40，從而固定曲折狀配置型微型探針單元40。之所以采用定位銷(xiāo)30而不使用固定螺栓，是為了使接觸式探針20的小型化。即，因?yàn)楣潭菟ǖ念^部尺寸相對(duì)較大，若把它放在定位銷(xiāo)30的位置，接觸式探針20的寬度將會(huì)增大。
曲折狀配置型微型探針單元40是將兩個(gè)相同構(gòu)造的微型探針單元背對(duì)組合在一起。圖4是構(gòu)成曲折狀配置型微型探針單元40的兩個(gè)微型探針單元背對(duì)組合的示意圖。在這里，上側(cè)微型探針單元42與下側(cè)微型探針單元44以背對(duì)的方式配置。在上側(cè)微型探針單元42中，將微型探針50配置到微型探針導(dǎo)向裝置70所設(shè)的凹槽中；在下側(cè)微型探針單元44中，將微型探針51配置到微型探針導(dǎo)向裝置71所設(shè)的凹槽中。微型探針50、51是一種兩端彎曲型的微型探針，其一端相對(duì)于軸部?jī)A斜并延伸形成一側(cè)端部，另一端相對(duì)于軸部朝向與上述一端傾斜方向相反側(cè)傾斜并延伸，形成另一側(cè)端部。圖4表示一側(cè)端部的前端54、55與另一側(cè)端部的前端56、57。關(guān)于微型探針導(dǎo)向裝置70、71及微型探針50、51的詳細(xì)結(jié)構(gòu)將在后文中闡述。在這里，上側(cè)微型探針單元42和下側(cè)微型探針單元44背對(duì)組合時(shí)，在圖4的下側(cè)，上側(cè)微型探針單元42的一側(cè)端部的前端54與下側(cè)微型探針單元44的另一側(cè)端部的前端57進(jìn)行配置。同樣地，在圖4的上側(cè)，上側(cè)微型探針單元42的另一側(cè)端部的前端56和下側(cè)微型探針單元44的一側(cè)端部的前端55進(jìn)行配置。
這樣一來(lái)，上側(cè)微型探針單元42的一側(cè)端部的前端54和下側(cè)微型探針單元44的另一側(cè)端部的前端57，便被設(shè)定在相同的高度。并且，上側(cè)微型探針單元42的另一側(cè)端部的前端56和下側(cè)微型探針單元44的一側(cè)端部的前端55也同樣設(shè)定在相同的高度，微型探針50、51的一側(cè)端部的高度和另一側(cè)端部的高度便由此設(shè)定。即，如圖4所示，基于微型探針50、51軸部的一側(cè)端部的高度h1、與基于軸部的另一側(cè)端部的高度h2相比，只高出微型探針導(dǎo)向裝置50，51的厚度t部分。因此，上側(cè)微型探針單元42和下側(cè)微型探針單元44背對(duì)組合時(shí)，在圖4的下側(cè)，上側(cè)微型探針單元42的一側(cè)端部的前端54和下側(cè)微型探針單元44的另一側(cè)端部的前端57，便形成相同的高度。并且，在圖4的上側(cè)，上側(cè)微型探針單元42的另一側(cè)端部的前端56和下側(cè)微型探針單元44的一側(cè)端部的前端55也同樣地形成相同的高度。
此外，對(duì)上側(cè)微型探針單元42和下側(cè)微型探針單元44進(jìn)行定位，以使相鄰的微型探針50、51的前端部相互呈曲折狀配置。例如，在圖4的下側(cè)，上側(cè)微型探針單元42的一側(cè)端部的前端54和下側(cè)微型探針單元44的另一側(cè)端部的前端57，沿著微型探針50、51的較長(zhǎng)的方向形成S1的間隔進(jìn)行定位配置；此外，沿著微型探針50、51的整列間距方向形成S2的間隔進(jìn)行定位配置。由于上側(cè)微型探針單元42和下側(cè)微型探針單元44是同一構(gòu)造，此時(shí)，在圖4的上側(cè)，上側(cè)微型探針單元42的另一側(cè)端部的前端56和下側(cè)微型探針單元44的一側(cè)端部的前端55，沿著微型探針50、51的較長(zhǎng)的方向形成S1的間隔，沿著微型探針50、51的整列間距方向形成S2的間隔。
圖5a、圖5b、圖5c是上側(cè)微型探針單元42與下側(cè)微型探針單元44以背對(duì)的方式組合在一起，而形成曲折狀配置型微型探針單元40的示意圖。圖5a是從上側(cè)微型探針單元42側(cè)所見(jiàn)的平面圖，圖5b是側(cè)面圖，圖5c是從下側(cè)微型探針單元44側(cè)所見(jiàn)的仰視圖。
如這些圖所示，上側(cè)微型探針單元42由具有的多個(gè)凹槽72的微型探針導(dǎo)向裝置70和分別配置在各凹槽72內(nèi)的微型探針50構(gòu)成。此外，下側(cè)微型探針單元44由具有的多個(gè)凹槽72的微型探針導(dǎo)向裝置71和分別配置在各凹槽72內(nèi)的微型探針51所構(gòu)成。在這里，微型探針導(dǎo)向裝置70和微型探針導(dǎo)向裝置71是相同的構(gòu)造，微型探針50和微型探針51是相同的構(gòu)造。但是，上側(cè)微型探針單元42與下側(cè)微型探針單元44以背對(duì)的方式組合時(shí)，左右關(guān)系相反。
在此，基于微型探針50，51軸部的一側(cè)端部的高度h1、基于軸部的另一側(cè)端部的高度h2、以及微型探針導(dǎo)向裝置70、71的厚度之間，存在h1＝h2+t的這種關(guān)系。因此，在圖5b下側(cè)，上側(cè)微型探針單元42的一側(cè)端部的前端54和下側(cè)微型探針單元44的另一側(cè)端部的前端57位于相同高度上。同樣，在圖5b上側(cè)，上側(cè)微型探針單元42的另一側(cè)端部的前端56和下側(cè)微型探針單元44的一側(cè)端部的前端55位于相同高度。
此外，如圖5b所示，在圖的下側(cè)，上側(cè)微型探針單元42的一側(cè)端部的前端54和下側(cè)微型探針單元44的另一側(cè)端部的前端57沿著微型探針50、51的較長(zhǎng)的方向形成S1的間隔進(jìn)行定位配置。同樣的，在圖的上側(cè)，上側(cè)微型探針單元42的另一側(cè)端部的前端56和下側(cè)微型探針單元44的一側(cè)端部的前端55，沿著微型探針50、51的較長(zhǎng)的方向形成S1的間隔進(jìn)行定位配置。間隔S1能把相鄰的微型探針的前端設(shè)定在充分間隔的任意距離。例如可以設(shè)定到0.1mm左右。
此外，在圖5a的俯視圖中，上側(cè)微型探針單元42的另一側(cè)端部的前端56和下側(cè)微型探針單元44的一側(cè)端部的前端55沿著微型探針50、51的配置間距方向形成S2的間隔而配置。同樣的，在圖5c的底面圖中，上側(cè)微型探針單元42的一側(cè)端部的前端54和下側(cè)微型探針單元44的另一側(cè)端部的前端57沿著微型探針50、51的配置間距方向形成S2的間隔而配置。由圖可以了解，該種情況下的間隔S2是微型探針50、51的配置間距p的1/2。即，上側(cè)微型探針單元42與下側(cè)微型探針單元44相互錯(cuò)開(kāi)位置配置，以將微型探針51配置在微型探針50的配置中間。在使間隔S2形成為微型探針50、51配置間距p的1/2時(shí)，前端54、57便可在微型探針50、51的配置間距方向以互相等間距的關(guān)系順次配置。當(dāng)然，也可以不等間距。即，可以把前端54、57的間隔在微型探針50、51的配置間距的方向上設(shè)定為任意距離。此時(shí)，從前端54到相鄰的兩個(gè)前端57的間隔便可以分別不同?；蛘哒f(shuō)，從前端57到相鄰的兩個(gè)前端54的間隔可以分別不同。
因?yàn)槲⑿吞结?0、51均是同樣的構(gòu)造，作為代表，在圖6a、圖6b、圖6c上表示微型探針50的詳圖。在這里，圖6a表示俯視圖，圖6b表示正視圖及其兩側(cè)的側(cè)視圖，圖6c表示仰視圖。微型探針50、51是具有細(xì)長(zhǎng)軸部52的兩端彎曲型微型探針。軸部52的一端對(duì)應(yīng)軸部52傾斜并延伸而形成一側(cè)端部；另一端相對(duì)于軸部52朝向與上述一側(cè)端傾斜方向相反的方向傾斜并延伸，從而其前端形成另一側(cè)端部。軸部52具有高H、寬W的矩形剖面形狀。如前所述，基于一側(cè)端部的前端54的軸部52的高度h1與基于另一側(cè)端部的前端56軸部的高度h2相比，僅高出微型探針導(dǎo)向裝置70、71的厚度t部分。即，設(shè)定h1、h2，以使h1＝h2+t。
微型探針50、51在細(xì)長(zhǎng)軸部中間的某一部位設(shè)有定位用的用凸部64。該凸部64，在微型探針50、51配置到微型探針導(dǎo)向裝置70、71上時(shí)，不會(huì)在軸向上產(chǎn)生錯(cuò)位。因此，微型探針導(dǎo)向裝置70、71對(duì)應(yīng)該凸部64而設(shè)有凹陷或開(kāi)口。另外，在本例中，凸部的數(shù)量是一個(gè)，凸部的數(shù)量是兩個(gè)也可以。在這種情況下，與該凸部相對(duì)應(yīng)，微型探針導(dǎo)向裝置70、71上也設(shè)有多個(gè)凹陷或開(kāi)口。
圖6b中，在從軸部52向下方彎曲并延伸的一端的前端54偏上部所設(shè)置的突起60是一個(gè)位置標(biāo)記突起。該標(biāo)記是用于了解微型探針50、51配置到微型探針導(dǎo)向裝置70、71上時(shí)的位置。
此外，在從軸部52朝向一側(cè)端部彎曲之前，設(shè)有高度H稍低的錐度58。同樣，在從軸部52朝向另一側(cè)端部彎曲之前，設(shè)有高度H稍低的錐度62。該錐度58、62是為了使微型探針50、51具有彈性而能夠變形。即，由于配置在微型探針導(dǎo)向裝置70、71，并通過(guò)在圖3a等中所說(shuō)明的機(jī)械手底部24和支承臺(tái)26夾持時(shí)，在軸部52的更高的位置上，微型探針50、51朝向微型探針導(dǎo)向裝置底部被壓制并受約束。這時(shí)，通過(guò)錐度58，62，確保了在機(jī)械手底部24的受壓面或者是支承臺(tái)26的受壓面與微型探針50、51之間存有間隙。在該間隙范圍內(nèi)，微型探針50、51可彈性變形，由此，可在微型探針50、51的前端和測(cè)定對(duì)象之間進(jìn)行適當(dāng)?shù)难簤骸?br> 所述的微型探針50、51可采用通過(guò)沖壓加工或蝕刻加工將鎢、銅、磷青銅等探針用導(dǎo)體材料形成特定的形狀。作為尺寸的一個(gè)例子，針對(duì)于軸部52，可以將高度H設(shè)為250μm，把寬度W設(shè)為約25μm。在此，應(yīng)為高度H/寬度W＝10，至少H/W值在2以上。此外，例如可以把微型探針導(dǎo)向裝置70，71的厚度t設(shè)定為約400μm、把基于一側(cè)端部的前端54的軸部52的高度h1設(shè)定為約800μm、把基于另一側(cè)端部的前端56的軸部的高度h2設(shè)定為約400μm。
因?yàn)槲⑿吞结槍?dǎo)向裝置70、71均是相同的構(gòu)造，作為代表，將微型探針導(dǎo)向裝置70表示在圖7a，圖7b，圖7c上。在這里，圖7a表示俯視圖，，圖7b表示側(cè)視圖，圖7c表示仰視圖。微型探針導(dǎo)向裝置70、71將微型探針50、51以指定的配置間距P進(jìn)行配置，其為一種具有進(jìn)行定位引導(dǎo)功能的部件。因此，可采用將多個(gè)凹槽以間距P配置在平板狀基板上、且在該槽底設(shè)定定位用凹陷或開(kāi)口的部件。即，將具有與兩端彎曲型的微型探針50、51的軸部52的矩形剖面的寬度W相對(duì)應(yīng)的槽寬、與軸部52的矩形剖面的高度H相對(duì)應(yīng)的槽深、與軸部52的長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)的槽長(zhǎng)的凹槽72，以間距P配置。并且，在凹槽底部，與微型探針50、51的定位用凸部64相對(duì)應(yīng)，設(shè)有開(kāi)口84。此外，在凹槽72的一端，為了突出兩端彎曲型的微型探針50、51的一側(cè)端部，在凹槽底部設(shè)有開(kāi)口，也就是缺口部74。此外，凹槽72的另一端端相對(duì)于槽底，在上側(cè)設(shè)置有豎直壁76，其用于對(duì)突出于兩端彎曲型的微型探針的另一側(cè)端部進(jìn)行保護(hù)。
圖8是將微型探針導(dǎo)向裝置70、71背對(duì)組合時(shí)的示意圖。并且，圖8是圖7b中從C方向所見(jiàn)的圖，將縱橫的比例正確的進(jìn)行組合。在該例子中，使微型探針導(dǎo)向裝置70的厚度稍小于400μm，針對(duì)于凹槽72而言，由于凹槽間距P是50μm，因此可使槽寬稍稍大于25μm，例如可以設(shè)為28μm。此外，將凹槽深度設(shè)定為稍大于250μm，開(kāi)口84的寬度也稍大于25μm，例如，可以設(shè)定為28μm。開(kāi)口84中，微型探針導(dǎo)向裝置70的底部完全脫離。在微型探針導(dǎo)向裝置71中，凹槽73、開(kāi)口85等的各部分的尺寸也相同。并且，微型探針導(dǎo)向裝置70和微型探針導(dǎo)向裝置71沿著凹槽配置間距的方向以S2＝P/2的間距相互錯(cuò)開(kāi)配置。此外，在沿著凹槽的較長(zhǎng)的方向上，如圖4、圖5b所說(shuō)明的那樣，只以S1的間距錯(cuò)開(kāi)配置。
曲折狀配置型微型探針單元40如圖8所示，微型探針導(dǎo)向裝置70、71背對(duì)組合并進(jìn)行定位后安裝，之后，微型探針50、51插入凹槽72，73中，各微型探針導(dǎo)向裝置70、71的定位用凸部分別定位于開(kāi)口84，85，即可得到。
圖9a、圖9b、圖9c、圖9d是用于說(shuō)明微型探針導(dǎo)向裝置70、71的制造方法的流程圖。在圖9a、圖9b、圖9c、圖9d的各圖中，分別表示各工程的平面圖和剖面圖。另外，圖9c中的剖面圖表示沿該平面圖D D線的剖面圖，圖9d中的剖面圖表示沿該平面圖E-E線的剖面圖。
制作最初設(shè)定厚度的硅基板90(硅基板制作工程)。例如，將硅晶片加工為厚度約400μm。對(duì)加工后的硅晶片進(jìn)行充分的清洗。此后，在硅基板90上設(shè)計(jì)適當(dāng)?shù)恼帜?，在罩幕上除去凹槽形狀的部?用于凹槽形成的罩幕工序)，作為罩幕，可以采用適當(dāng)?shù)臒o(wú)機(jī)絕緣膜或有機(jī)絕緣膜。采用無(wú)機(jī)絕緣膜時(shí)，可例如使硅酸化膜，硅氮化膜堆積，通過(guò)光蝕刻技術(shù)，蝕刻成指定的形狀，便可以形成用于凹槽形成的罩幕。使用有機(jī)絕緣膜時(shí)，涂上光刻膠膜，通過(guò)使用適當(dāng)?shù)穆豆庹帜坏穆豆?顯像技術(shù)，便可以形成用于凹槽形成的罩幕92。圖9a是在硅基板90上形成用于凹槽形成的罩幕92的示意圖。罩幕的開(kāi)口可設(shè)定為與所希望形成的槽寬、槽長(zhǎng)相同的尺寸。
其次，通過(guò)干蝕法形成凹槽72(凹槽形成工序)。作為側(cè)面蝕刻法，可以采用反應(yīng)性離子蝕刻法?；蛘呖梢圆捎梅Q(chēng)之為離子束蝕刻法或者是濺射蝕刻法。這些方法主要是通過(guò)物理性沖擊除去硅基板90而形成設(shè)定形狀的非均質(zhì)蝕刻法。與采用通過(guò)蝕刻液等發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的均質(zhì)性蝕刻法相比，側(cè)面蝕刻相對(duì)較少。因此，可以大致按照罩幕的形狀以形成較深的凹槽或開(kāi)口。作為反應(yīng)氣體，可以使用SiCl4、Cl2、CBrF3等。凹槽深度的調(diào)整例如可以通過(guò)反應(yīng)時(shí)間來(lái)進(jìn)行。圖9b是表示凹槽72形成后的示意圖。
然后，將已形成凹槽72的硅基板反過(guò)來(lái)，在里面設(shè)計(jì)適當(dāng)?shù)恼帜?，并除去罩幕中開(kāi)口形狀的部分(用于開(kāi)口形成的罩幕工序)。罩幕形成的詳細(xì)內(nèi)容與用于凹槽形成的罩幕工序是相同的。但是，開(kāi)口形成的罩幕需要進(jìn)行相對(duì)于凹槽72的定位。這種定位可以采用適當(dāng)?shù)钠ヅ淠Ｊ降葋?lái)進(jìn)行。圖9c表示用于在凹槽72所形成的硅基板的內(nèi)側(cè)制作開(kāi)口的罩幕94在形成后的狀態(tài)。
使用該罩幕，通過(guò)干蝕刻法形成開(kāi)口(開(kāi)口形成工序)。在此，也可以采用與凹槽形成工序相同的非均質(zhì)蝕刻法。在對(duì)開(kāi)口尺寸沒(méi)嚴(yán)格要求的情況，也可以采用使用蝕刻液的濕蝕刻。圖9d是在凹槽72的底部形成開(kāi)口84、74的示意圖。這樣，由硅基板90，通過(guò)非均質(zhì)的干蝕刻法，便可以得到微型探針導(dǎo)向裝置。
如上所述，將在上側(cè)微型探針單元42上所采用的微型探針導(dǎo)向裝置70、以及在下側(cè)微型探針單元44上所采用的微型探針導(dǎo)向裝置71作為相同的部件進(jìn)行說(shuō)明。在這里，微型探針導(dǎo)向裝置70、71背對(duì)組合時(shí)，各凹槽72以P/2＝S2的間距平行配置。也就是說(shuō)，作為曲折狀配置型微型探針單元40進(jìn)行組合時(shí)，各微型探針50、51以P/2＝S2的間距平行配置。圖10為各微型探針50、51不平行，而是使液晶顯示面板8側(cè)間距為S2、帶狀數(shù)據(jù)線22側(cè)間距為S4，從而斜行配置的微型探針單元102、104的示意圖。此時(shí)，微型探針導(dǎo)向裝置106、108并非為同一種部件，各凹槽以相反的關(guān)系設(shè)置，微型探針50、51可以選用相同的部件。
液晶顯示面板8側(cè)形成間距S2，帶狀數(shù)據(jù)線22側(cè)形成間距S4，在兩端形成不同間距的理由為如下所述。即，液晶顯示面板8在電燈檢查之后，在端子延伸部9上進(jìn)行薄膜封裝(TCP)而形成產(chǎn)品化。液晶顯示面板8經(jīng)由該TCP輸入輸出信號(hào)，所以在該液晶顯示面板8的制造工序的檢查中，使用該TCP即可。從此觀點(diǎn)來(lái)看，帶狀數(shù)據(jù)線22可采用TCP用的帶狀數(shù)據(jù)線。TCP通過(guò)熱壓法而接合在液晶顯示面板8的端子延伸部9上。因?yàn)橛捎跓釅簳r(shí)所產(chǎn)生的熱量會(huì)使尺寸有所延伸，因此在熱壓連接時(shí)的溫度下所形成的樣式，應(yīng)適合于液晶顯示面板8的端子延伸部9的間距。由此，常溫時(shí)的TCP的端子間距S4比液晶顯示面板8的端子延伸部9的間距S2短。因此，帶狀數(shù)據(jù)線22側(cè)的間距S4比液晶顯示面板8的端子延伸部9的間距S2短。
這樣，在將TCP用的帶狀數(shù)據(jù)線22應(yīng)用于液晶顯示面板8時(shí)，需要將微型探針50、51的間距在液晶顯示面板8側(cè)和帶狀數(shù)據(jù)線22側(cè)設(shè)為不同。此時(shí)，通過(guò)將干蝕刻工序中的罩幕采用該種方法，因此可采用該種方法很容易制作出微型探針導(dǎo)向裝置106、108。
權(quán)利要求
1.本發(fā)明提供一種微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，其為一種保護(hù)細(xì)長(zhǎng)微型探針的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，其特征在于，包括通過(guò)非均質(zhì)蝕刻在基板上形成微型探針導(dǎo)向凹槽的工序，該微型探針導(dǎo)向凹槽具有與微型探針寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及為該槽寬2倍以上的槽深。
2.本發(fā)明提供一種微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，在軸部的某一部位具有定位用凸部的保護(hù)細(xì)長(zhǎng)微型探針的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法中，其特征在于包括第一項(xiàng)工序和第二項(xiàng)工序。第一項(xiàng)工序，通過(guò)非均質(zhì)蝕刻在基板上形成微型探針導(dǎo)向凹槽，其中，該微型探針導(dǎo)向凹槽具有與微型探針寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及為該槽寬2倍以上的槽深；第二項(xiàng)工序，在金屬板的微型探針導(dǎo)向槽槽底的某一部位，形成與微型探針用凸部相對(duì)應(yīng)的凹陷或開(kāi)口。
3.本發(fā)明提供一種微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，其為一種保護(hù)細(xì)長(zhǎng)微型探針的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，其特征在于包括通過(guò)非均質(zhì)蝕刻在硅基板上形成微型探針導(dǎo)向凹槽的工序，該微型探針導(dǎo)向凹槽具有與微型探針寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及為該槽寬2倍以上的槽深。
4.本發(fā)明提供一種微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法，在軸部的某一部位具有定位用凸部的保護(hù)細(xì)長(zhǎng)微型探針的微型探針導(dǎo)向裝置的制造方法中，其特征在于包括第一項(xiàng)工序和第二項(xiàng)工序。第一項(xiàng)工序，通過(guò)非均質(zhì)蝕刻在硅基板上形成微型探針導(dǎo)向凹槽，其中，該微型探針導(dǎo)向凹槽具有與微型探針寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及為該槽寬2倍以上的槽深。第二項(xiàng)工序，在基板的微型探針導(dǎo)向槽槽底的某一部位，形成與微型探針用凸部相對(duì)應(yīng)的凹陷或開(kāi)口。
5.本發(fā)明提供一種微型探針單元，其具有微型探針和微型探針導(dǎo)向裝置，并且，微型探針單元分別將微型探針導(dǎo)入各個(gè)微型探針導(dǎo)向槽；微型探針呈細(xì)長(zhǎng)狀，且具有高度是寬度2倍以上的矩形剖面的軸部；微型探針導(dǎo)向裝置整列配置有多個(gè)微型探針導(dǎo)向槽，該種微型探針導(dǎo)向槽具有與微型探針的軸部矩形剖面寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、以及與軸部矩形剖面高度相對(duì)應(yīng)的槽深。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微型探針單元，其特征在于，微型探針進(jìn)一步在其軸部的某一部位設(shè)有定位用凸部；微型探針導(dǎo)向裝置也進(jìn)一步在微型探針導(dǎo)向槽槽底的某一部位，設(shè)有與微型探針的定位用凸部相對(duì)應(yīng)的凹陷或開(kāi)口。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微型探針單元，其特征在于，微型探針為一種兩端彎曲型的微型探針，該微型探針的一側(cè)端相對(duì)于軸部?jī)A斜并延伸，從而形成一側(cè)端部；另一側(cè)端相對(duì)于軸部朝向與上述一側(cè)端傾斜方向相反的方向傾斜并延伸，從而其前端形成另一側(cè)端部；微型探針導(dǎo)向裝置具有與兩端彎曲型微型探針的軸部長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)的凹槽長(zhǎng)度；由凹槽的一側(cè)端相對(duì)于槽底，在下側(cè)露出微型探針的彎曲的一側(cè)端部；由凹槽的另一端相對(duì)于槽底，在上側(cè)露出微型探針的彎曲的另一側(cè)端部。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微型探針單元，其特征在于，微型探針為一種兩端彎曲型的微型探針，該微型探針的一側(cè)端相對(duì)于軸部?jī)A斜并延伸，而形成一側(cè)端部；另一側(cè)端相對(duì)于軸部朝向與上述一側(cè)端傾斜方向相反的方向傾斜并延伸，從而其前端形成另一側(cè)端部；微型探針導(dǎo)向裝置具有與兩端彎曲型微型探針的軸部長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)的凹槽長(zhǎng)度；由凹槽的一側(cè)端相對(duì)于槽底，在下側(cè)露出微型探針的彎曲的一側(cè)端部；由凹槽的另一端相對(duì)于槽底，在上側(cè)露出微型探針的彎曲的另一側(cè)端部。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微型探針單元，其特征在于，相對(duì)于微型探針的軸部一側(cè)端部的前端高度與相對(duì)于軸部的另一側(cè)端部的高度相比，只因微型探針導(dǎo)向裝置的厚度部分而有所不同。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微型探針單元，其特征在于，相對(duì)于微型探針的軸部一側(cè)端部的前端高度與相對(duì)于軸部的另一側(cè)端部的高度相比，只因微型探針導(dǎo)向裝置的厚度部分而有所不同。
11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微型探針單元，其特征在于，微型探針導(dǎo)向裝置為一種具有多個(gè)微型探針導(dǎo)向凹槽的硅基板。
12.本發(fā)明提供一種曲折狀配置型微型探針單元，其特征在于將兩端彎曲的微型探針?lè)謩e配置到擁有多個(gè)微型探針導(dǎo)向凹槽的微型探針導(dǎo)向裝置的各導(dǎo)向凹槽上；微型探針單元的兩端彎曲型微型探針的兩端從凹槽的兩端突出來(lái)，把具有該種構(gòu)造的微型探針單元兩兩背對(duì)組合，并用托架固定。并且，相鄰的兩端彎曲型微型探針的前端分別在微型探針導(dǎo)向裝置兩端互相呈曲折狀配置；兩端彎曲型微型探針具有細(xì)長(zhǎng)的軸部、以及其一側(cè)端部和另一側(cè)端部；其中，細(xì)長(zhǎng)的軸部具有高度是寬度2倍以上的矩形剖面；其一側(cè)端部為軸部的一端相對(duì)于軸部而傾斜延伸的端部；其另一側(cè)端部為軸部的另一端相對(duì)于軸部朝向與上述一端的傾斜相反的方向傾斜并延伸，相對(duì)于其前端的軸部的高度與相對(duì)于一側(cè)端部的前端的軸部的高度相比，只因微型探針導(dǎo)向裝置的厚度部分而有所不同；各個(gè)微型探針導(dǎo)向凹槽具有與軸部?jī)啥螐澢偷奈⑿吞结樀妮S部矩形剖面的寬度相對(duì)應(yīng)的槽寬、與軸部矩形剖面的高度相對(duì)應(yīng)的槽深、以及與軸部的長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)的槽長(zhǎng)。并且，該槽長(zhǎng)可由凹槽的一側(cè)端相對(duì)于槽底，在下側(cè)露出兩端彎曲型微型探針的一側(cè)端部；由凹槽的另一端相對(duì)于槽底，在上側(cè)露出兩端彎曲型微型探針的另一側(cè)端部。利用托架將一側(cè)的微型探針單元與另一側(cè)的探針單元相互背對(duì)組合，并在微型探針導(dǎo)向凹槽的間隔方向相互錯(cuò)開(kāi)任意距離，在微型探針導(dǎo)向凹槽的長(zhǎng)度方向，相鄰的微型探針的前端錯(cuò)開(kāi)間隔的任意距離進(jìn)行配置，并進(jìn)行固定；相鄰的微型探針的前端分別在微型探針導(dǎo)向裝置兩端互相呈曲折狀配置。
全文摘要
曲折狀配置型微型探針單元(40)由上側(cè)微型探針單元(42)和下側(cè)微型探針單元(44)背對(duì)組合構(gòu)成；上側(cè)微型探針單元(42)由具有多個(gè)凹槽(72)的微型探針導(dǎo)向裝置(70)、以及分別配置于各凹槽(72)的微型探針(50)所構(gòu)成，下側(cè)微型探針單元(44)也為同樣的結(jié)構(gòu)。具有多個(gè)凹槽(72)的微型探針導(dǎo)向裝置(70)、(71)采用非均質(zhì)蝕刻的方法，在硅板上以與微型探針(50)、(51)的軸部高度和寬度相對(duì)應(yīng)的槽深、槽寬，形成細(xì)長(zhǎng)的深槽。
文檔編號(hào)G01R1/073GK101051056SQ20071009582
公開(kāi)日2007年10月10日 申請(qǐng)日期2007年4月5日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月5日
發(fā)明者淵山正毅, 大貝努, 卞秀龍, 李芝弘 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東京陰極研究所