專利名稱：加速度傳感器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于一般測量的敏感器件傳感器， 尤其是一種加速度傳感器。二背景技術：
已有的傳感器，其位移以負加速度的大小而異， 加工工藝要求高，滑動摩擦力較大，給精度帶來的影響大。而金屬應 變式采用膠粘劑粘接，有遲滯、重復性差，體積大等缺點。壓電式的 輸出阻抗高，信號放大前需要進行阻抗變換，且無法測量恒定加速度。 硅壓阻式雖然克服了上述缺陷，但是其存在的不足是設備投資大，制 造工藝復雜，生產(chǎn)周期長，產(chǎn)品成本較高。三
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、安裝簡便不僅具有硅壓阻式的優(yōu)點，同時設備投資少，制造工藝簡單，生產(chǎn)周期 短，產(chǎn)品成本低。加速度傳感器包括金屬外殼1和金屬外殼1相封接的 金屬支架6，在金屬支架6上設有引線管腳7，在金屬外殼1內(nèi)設有底板5,在底板5上設有墊塊3，墊塊3上設有條形ALA陶瓷懸臂梁4, 陶瓷懸臂梁4上設有構(gòu)成惠斯通電橋的厚膜電阻9, ALA陶瓷底板5與 金屬支架6連接，ALA陶瓷底板5上印制有銀鈀導帶或者金導帶10。 采用上述結(jié)構(gòu)以后，當傳感器受到加速度力作用時，上述陶瓷彈性梁產(chǎn) 生震動，該運動在彈性梁上形成的應力使彈性梁上的厚膜電阻產(chǎn)生壓阻 效應，并通過惠斯通電橋形成電壓信號輸出。上述產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝大部 分兼容厚膜生產(chǎn)工藝，因而設備投資小，生產(chǎn)工藝簡單，產(chǎn)品生產(chǎn)周期短，產(chǎn)品成本低，因而工作性能優(yōu)良。四

附圖l為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖2為圖1的A-A剖視圖。附圖3為厚膜電阻惠斯通電橋電路連接圖。五、具體實施例以下結(jié)合附圖進一步說明。圖1和圖2所示加速度傳感器包括金屬外殼1,金屬外殼1內(nèi)充有甲基硅油2，陶瓷底板5連接在金屬支架6上，在金屬支架6上設有 引線管腳7 ，在底板5上設有墊塊3，墊塊3上設有條形AL203陶瓷懸 臂梁4,陶瓷懸臂梁4上設有構(gòu)成惠斯通電橋的厚膜電阻9， ALA陶瓷 底板5上印制有銀鈀導帶或者金導帶10，用于同厚膜電阻9構(gòu)成惠斯通 電橋的相關電路連接，其陶瓷懸臂梁4、墊塊3、陶瓷底板5的連接方式 可由低溫玻璃燒結(jié)，或者用印制的銀鈀導帶焊接，或者膠結(jié)。圖3的a 圖b圖分別為厚膜電阻惠斯通電橋的不同連接方式。
權利要求
1、一種加速度傳感器，其特征在于包括金屬外殼(1)和金屬外殼(1)相封接的金屬支架(6)，在金屬支架(6)上設有引線管腳(7)，在金屬外殼(1)內(nèi)設有底板.(5)，在底板(5)上設有墊塊(3)，墊塊(3)上設有條形AL2O3陶瓷懸臂梁(4)，陶瓷懸臂梁(4)上設有構(gòu)成惠斯通電橋的厚膜電阻(9)，AL2O3陶瓷底板(5)與金屬支架(6)連接，AL2O3陶瓷底板(5)上印制有銀鈀導帶或者金導帶(10)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于一般測量的敏感器件傳感器，尤其是一種加速度傳感器。其提供了一種結(jié)構(gòu)簡單、安裝簡便的加速度傳感器。其包括金屬外殼1和金屬外殼1相封接的金屬支架6，在金屬支架6上設有引線管腳7，在金屬外殼1內(nèi)設有底板5，在底板5上設有墊塊3，墊塊3上設有條形Al₂O₃陶瓷懸臂梁4，陶瓷懸臂梁4上設有構(gòu)成惠斯通電橋的厚膜電阻9，陶瓷底板5與金屬支架6連接，陶瓷底板5上有銀鈀導帶或者金導帶10。采用上述結(jié)構(gòu)以后，設備投資小，生產(chǎn)工藝簡單，產(chǎn)品成本低，因而工作性能優(yōu)良。
文檔編號G01P15/12GK101101305SQ20071001588
公開日2008年1月9日 申請日期2007年6月8日 優(yōu)先權日2007年6月8日
發(fā)明者劉雁冰, 李春燕, 汪良紅, 胡金衛(wèi) 申請人:胡金衛(wèi)