專利名稱：錯(cuò)誤顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)在具有加工工件的機(jī)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)等各種驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的裝置中發(fā)生的異常、故障等錯(cuò)誤進(jìn)行顯示的錯(cuò)誤顯示裝置。
背景技術(shù)：
公知有這樣的顯示裝置在具有進(jìn)行工件的加工、輸送的各種驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的裝置、組合這些驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的工序中，向操作者示出在各驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中發(fā)生的異常、故障等錯(cuò)誤。例如，具有這樣的顯示器在IC的輸送裝置中，在IC經(jīng)由從裝載機(jī)到卸載機(jī)之間的各處理機(jī)構(gòu)被輸送的過(guò)程中發(fā)生了輸送錯(cuò)誤的情況下，可以容易地確定其錯(cuò)誤發(fā)生部位。
該顯示器顯示從裝載機(jī)到卸載機(jī)之間的主要工序，并在發(fā)生了錯(cuò)誤的情況下，使該發(fā)生了錯(cuò)誤的工序部分閃爍。此外，在顯示區(qū)域的下方分別顯示錯(cuò)誤信息(參照日本特開平6-148251號(hào)公報(bào)(圖1))。
然而，以往的顯示裝置中存在著以下問(wèn)題。
即，以往的顯示裝置對(duì)于確定發(fā)生錯(cuò)誤的工序是有效的。但是，作為了解該工序的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在什么樣的狀態(tài)下成為錯(cuò)誤的手段，僅是顯示裝置上所顯示的文字信息。因此，存在著這樣的問(wèn)題要在短時(shí)間內(nèi)根據(jù)其文字信息確定在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的哪個(gè)部位上發(fā)生了錯(cuò)誤，非熟練的操作者則不能做到。
特別是，隨著近年來(lái)裝置的自動(dòng)化的發(fā)展，逐漸使得操作者不需要進(jìn)行常時(shí)管理，所以熟練的操作者減少，存在錯(cuò)誤發(fā)生時(shí)的修復(fù)要花費(fèi)較多時(shí)間這樣的問(wèn)題。
此外，在進(jìn)行了修復(fù)處置后，對(duì)該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是否恢復(fù)到能夠正常地工作的狀態(tài)的確認(rèn)，實(shí)際上需要一邊使其整個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)工作一邊目視進(jìn)行動(dòng)作確認(rèn)，修復(fù)作業(yè)變得繁雜。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是著眼于這種實(shí)際情況而作出的，主要目的在于提供一種錯(cuò)誤顯示裝置，該錯(cuò)誤顯示裝置可容易確定在工件的加工、輸送工序中在該工序中所包括的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的錯(cuò)誤發(fā)生部位，和容易確認(rèn)該確定部位的正常工作狀態(tài)。
本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)這種目的，采取以下的構(gòu)成。
一種錯(cuò)誤顯示裝置，其是顯示包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中發(fā)生的異常、故障等錯(cuò)誤的錯(cuò)誤顯示裝置，上述裝置包括以下的構(gòu)成要素顯示單元，其顯示包括上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作狀況等的各種信息；檢測(cè)單元，其檢測(cè)出上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中發(fā)生的錯(cuò)誤，將該檢測(cè)結(jié)果作為檢測(cè)信號(hào)發(fā)送；存儲(chǔ)單元，其使在上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中可能發(fā)生的錯(cuò)誤內(nèi)容，與由上述檢測(cè)單元檢測(cè)出的錯(cuò)誤內(nèi)容和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的錯(cuò)誤發(fā)生部位的圖像數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)，將它們作為錯(cuò)誤信息予以存儲(chǔ)；錯(cuò)誤信息選擇單元，其從上述存儲(chǔ)單元選擇性地讀出與從上述檢測(cè)單元發(fā)送的檢測(cè)信號(hào)對(duì)應(yīng)的錯(cuò)誤信息，使上述顯示單元顯示基于該錯(cuò)誤信息中所包含的錯(cuò)誤內(nèi)容和圖像數(shù)據(jù)的圖像；工作狀態(tài)確認(rèn)單元，其使上述顯示單元顯示由上述錯(cuò)誤信息選擇單元顯示的錯(cuò)誤的發(fā)生部位是否在正常工作的狀態(tài)。
根據(jù)本發(fā)明的錯(cuò)誤顯示裝置，在各種驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中發(fā)生的錯(cuò)誤被檢測(cè)單元檢測(cè)出，基于該檢測(cè)信號(hào)的錯(cuò)誤內(nèi)容與發(fā)生部位的圖像數(shù)據(jù)由錯(cuò)誤信息選擇單元從存儲(chǔ)單元讀出。然后，作為所讀出的錯(cuò)誤信息的錯(cuò)誤內(nèi)容與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的圖像被顯示在顯示單元。因此，可從顯示單元所顯示的內(nèi)容容易確定錯(cuò)誤發(fā)生部位。即，不論是否是熟練的操作者都可以容易地確定錯(cuò)誤發(fā)生部位，所以可以在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行修復(fù)處理。
此外，當(dāng)在施行錯(cuò)誤發(fā)生部位的修復(fù)處理后，操作工作狀態(tài)確認(rèn)單元時(shí)，可以利用顯示單元的畫面容易地確認(rèn)該錯(cuò)誤發(fā)生部位是否處于正常的工作狀態(tài)。
此外，最好是上述發(fā)明裝置，還如下這樣構(gòu)成。
存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)的圖像數(shù)據(jù)是第1圖像數(shù)據(jù)和第2圖像數(shù)據(jù)，該第1圖像數(shù)據(jù)在表示上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖像上示出上述檢測(cè)單元的位置，該第2圖像數(shù)據(jù)用于以包含檢測(cè)出錯(cuò)誤的上述檢測(cè)單元和由該檢測(cè)單元確定的錯(cuò)誤發(fā)生部位的文字信息的狀態(tài)、對(duì)錯(cuò)誤發(fā)生進(jìn)行警告的強(qiáng)調(diào)顯示，上述錯(cuò)誤顯示裝置還包括圖像數(shù)據(jù)生成單元和切換單元，其中，該圖像數(shù)據(jù)生成單元利用由上述錯(cuò)誤選擇單元選擇的錯(cuò)誤信息生成一對(duì)圖像數(shù)據(jù)，使得在基于上述第1圖像數(shù)據(jù)所輸出顯示的第1圖像上重疊基于第2圖像數(shù)據(jù)所輸出顯示的第2圖像；該切換單元在上述顯示單元顯示了基于由上述圖像數(shù)據(jù)生成單元生成的圖像數(shù)據(jù)的圖像時(shí)，將顯示在顯示單元中的圖像從上層的第2圖像切換成下層的第1圖像，上述錯(cuò)誤顯示裝置構(gòu)成為在由上述切換單元把顯示在上述顯示單元中的圖像切換成第1圖像的狀態(tài)下操作上述工作狀態(tài)確認(rèn)單元時(shí)，錯(cuò)誤發(fā)生部位的檢測(cè)單元工作而進(jìn)行動(dòng)作確認(rèn)，在上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)處于正常的工作狀態(tài)時(shí)、或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)依然為錯(cuò)誤發(fā)生狀態(tài)時(shí)的任一情況下，對(duì)顯示在第1圖像上的上述檢測(cè)單元的位置進(jìn)行強(qiáng)調(diào)顯示。
根據(jù)該構(gòu)成，在任一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中發(fā)生錯(cuò)誤時(shí)，則在顯示單元強(qiáng)調(diào)顯示作為表示錯(cuò)誤的發(fā)生內(nèi)容的文字信息的第2圖像。然后，操作者操作切換單元而使顯示單元的畫面從第2圖像切換顯示成第1圖像時(shí)，則在表示驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖像上顯示檢測(cè)到錯(cuò)誤發(fā)生的檢測(cè)單元的位置。因此，錯(cuò)誤發(fā)生部位的確定變得更加容易。
此外，在顯示第2圖像的狀態(tài)下，操作工作狀態(tài)確認(rèn)單元時(shí)，則由檢測(cè)單元確認(rèn)錯(cuò)誤發(fā)生部位是否正常工作。而且，在正常狀態(tài)或錯(cuò)誤發(fā)生狀態(tài)的任一情況下，在顯示單元上所示出的在發(fā)生錯(cuò)誤的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上檢測(cè)單元的位置顯示被強(qiáng)調(diào)顯示。因此，操作者不需要一邊使驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作一邊目視錯(cuò)誤發(fā)生部位的動(dòng)作而進(jìn)行確認(rèn)，僅靠看顯示單元就可以容易地確認(rèn)動(dòng)作狀況。
另外，最好是本發(fā)明中的顯示單元，是通過(guò)與所顯示的圖像的規(guī)定部分接觸而進(jìn)行圖像指定的觸摸板式。此外，最好在上述第2圖像上的規(guī)定部分設(shè)置圖像用戶接口。而且，最好是，工作狀態(tài)確認(rèn)單元在第1圖像上的規(guī)定部分上設(shè)置圖像用戶接口，并且被構(gòu)成為每次與該第1圖像上的圖像用戶接口的顯示形態(tài)接觸而交替地切換強(qiáng)調(diào)顯示與非強(qiáng)調(diào)顯示。
根據(jù)該構(gòu)成，則僅靠顯示單元的圖像的顯示區(qū)域內(nèi)，就可以進(jìn)行所有的確認(rèn)操作。因此，可以消除不需要的動(dòng)作而謀求提高處理作業(yè)的效率。此外，由于當(dāng)操作切換單元時(shí)顯示形態(tài)成為強(qiáng)調(diào)顯示，所以可以確認(rèn)到顯示單元正常動(dòng)作，并且可以容易地確認(rèn)錯(cuò)誤發(fā)生部位是否正常。
此外，作為錯(cuò)誤發(fā)生部位的文字信息，例如，構(gòu)成為至少表示驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的名稱與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的錯(cuò)誤內(nèi)容的警告文，或者構(gòu)成為包含有在操作手冊(cè)或修復(fù)手冊(cè)中登記的錯(cuò)誤內(nèi)容及與錯(cuò)誤內(nèi)容相關(guān)聯(lián)的錯(cuò)誤編號(hào)之中的、至少錯(cuò)誤編號(hào)。
此外，第1圖像上所顯示的檢測(cè)單元的位置及第2圖像的警告的強(qiáng)調(diào)顯示，例如是該部分的光的強(qiáng)度變化。
此外，本發(fā)明裝置為了實(shí)現(xiàn)這種目的，最好是還具有以下的構(gòu)成。
具有顯示控制單元，該顯示控制單元進(jìn)行控制，使得在規(guī)定的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中同時(shí)在多個(gè)部位發(fā)生了錯(cuò)誤的情況下，比較基于從各檢測(cè)單元發(fā)送的檢測(cè)信號(hào)的錯(cuò)誤內(nèi)容，考慮修復(fù)處理的順序，以將表示優(yōu)先度高的錯(cuò)誤內(nèi)容的圖像層疊在表示優(yōu)先度低的錯(cuò)誤內(nèi)容的圖像上的狀態(tài)顯示在上述顯示單元中。
根據(jù)該構(gòu)成，則在發(fā)生了多個(gè)錯(cuò)誤的情況下，由顯示控制單元在顯示單元上最先顯示應(yīng)該優(yōu)先進(jìn)行修復(fù)處理的錯(cuò)誤部位的信息。因此，不會(huì)弄錯(cuò)修復(fù)處理的順序而給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、要處置的工件等造成損傷。
此外，顯示控制單元也可以構(gòu)成為進(jìn)行控制，使得在規(guī)定的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中同時(shí)在多個(gè)部位發(fā)生了錯(cuò)誤的情況下，按從各檢測(cè)單元發(fā)送的檢測(cè)信號(hào)的順序，從最下層起層疊表示該錯(cuò)誤內(nèi)容的圖像并將其顯示在上述顯示單元中。
為了說(shuō)明發(fā)明而圖示了當(dāng)前認(rèn)為最佳的幾個(gè)實(shí)施方式，但是希望理解本發(fā)明不限定于所圖示那樣的構(gòu)成和方案。
圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的保護(hù)帶粘貼裝置的整體的立體圖，圖2是表示粘貼單元的概略構(gòu)成的側(cè)視圖，圖3是表示本實(shí)施例的保護(hù)帶粘貼裝置的電構(gòu)成的框圖，圖4是表示錯(cuò)誤顯示處理順序的流程圖，圖5是表示對(duì)準(zhǔn)臺(tái)的概略構(gòu)成的側(cè)視圖，圖6是表示第1錯(cuò)誤內(nèi)容的第1圖像的圖，圖7是表示第1錯(cuò)誤內(nèi)容的第2圖像的圖，
圖8是表示第2錯(cuò)誤內(nèi)容的第1圖像的圖，圖9是表示第2錯(cuò)誤內(nèi)容的第2圖像的圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照
本發(fā)明的一實(shí)施例。
另外，在本實(shí)施例中，是以在將保護(hù)帶粘貼到半導(dǎo)體晶圓的保護(hù)帶粘貼裝置具有錯(cuò)誤顯示裝置的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。
圖1是表示保護(hù)帶粘貼裝置的整體構(gòu)成的立體圖。
該保護(hù)帶粘貼裝置包括裝有收容作為貼合對(duì)象物的半導(dǎo)體晶圓W(以下，簡(jiǎn)稱為“晶圓W”)的盒C1、和收容保護(hù)帶粘貼后的晶圓W′的盒C2的晶圓供給·回收部1；具有機(jī)械手2的晶圓輸送機(jī)構(gòu)3；對(duì)準(zhǔn)臺(tái)4；放置晶圓W并對(duì)其進(jìn)行吸附保持的卡盤臺(tái)5；向晶圓W供給保護(hù)帶T的帶供給部6；從由帶供給部6供給的帶有分離片的保護(hù)帶T剝離并回收分離片s1的分離片回收部7；將保護(hù)帶T粘貼到放置于卡盤臺(tái)5而被吸附保持的晶圓W的粘貼單元8；沿晶圓W的外形沖裁切斷粘貼于晶圓W的保護(hù)帶T的帶切斷機(jī)構(gòu)9；剝離粘貼于晶圓W并進(jìn)行了切斷處理后的不需要的帶T′的剝離單元10；纏繞回收由剝離單元10所剝離的不需要的帶T′的帶回收部11；進(jìn)行帶供給速度等各種保護(hù)帶粘貼條件等的設(shè)定輸入等的操作部13等。以下說(shuō)明關(guān)于各構(gòu)成部及機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)。
在晶圓供給·回收部1可并列裝入盒C1及盒C2這兩個(gè)盒。在盒C1中呈多層地以水平姿勢(shì)插入收容使布線圖案面朝上的多張晶圓W。此外，在盒C2中呈多層地以水平姿勢(shì)插入收容保護(hù)帶粘貼后的晶圓W′。此外，在晶圓供給·回收部1具有檢測(cè)各盒C1及盒C2的位置的傳感器。該傳感器在不能檢測(cè)各盒C1、C2的位置的情況下，向后述的控制部25發(fā)送信號(hào)。
晶圓輸送機(jī)構(gòu)3所具有的機(jī)械手2被構(gòu)成為能夠沿水平進(jìn)退移動(dòng)，并且成為整體能夠進(jìn)行驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)及升降。而且，在機(jī)械手2的前端具有未圖示的做成馬蹄形的真空吸附式的保持部，把保持部插入到在各盒C1、C2中以多層收容的晶圓W彼此間的間隙中而抽出晶圓將其輸送到各機(jī)構(gòu)，或把保持部插入到粘貼了保護(hù)帶后的晶圓W′彼此間的間隙中而進(jìn)行收容。
在本實(shí)施例的情況下，機(jī)械手2從盒C1中取出了晶圓W時(shí)，按對(duì)準(zhǔn)臺(tái)4、卡盤臺(tái)5、及盒C2的順序輸送晶圓W。另外，機(jī)械手2在驅(qū)動(dòng)部、吸附機(jī)構(gòu)等處具有檢測(cè)其工作狀況的傳感器。來(lái)自該傳感器的檢測(cè)信號(hào)被發(fā)送到后述的控制部25。
對(duì)準(zhǔn)臺(tái)4進(jìn)行形成于晶圓W周緣上的V形槽口、定位平面等檢測(cè)部位的位置檢測(cè)?；谄浣Y(jié)果進(jìn)行對(duì)位。即，如圖3所示，具有檢測(cè)晶圓W的位置的傳感器26。該傳感器26的檢測(cè)信號(hào)被發(fā)送到后述的控制部25。
卡盤臺(tái)5對(duì)從晶圓輸送機(jī)構(gòu)3轉(zhuǎn)移并以規(guī)定的對(duì)位姿勢(shì)放置的晶圓W進(jìn)行真空吸附。此外，為了使后述的帶切斷機(jī)構(gòu)9所具有的切刀12沿晶圓W的外形旋轉(zhuǎn)移動(dòng)來(lái)切斷保護(hù)帶T，在該卡盤臺(tái)5的上表面上形成有切刀行進(jìn)槽。另外，卡盤臺(tái)5具有監(jiān)視吸附機(jī)構(gòu)的工作·停止?fàn)顟B(tài)的傳感器。
如圖2所示，帶供給部6被構(gòu)成為把從供給繞軸14陸續(xù)放出的帶有分離片s1的保護(hù)帶T纏繞引導(dǎo)到導(dǎo)輥15組，把剝離了分離片s1的保護(hù)帶T引導(dǎo)到粘貼單元8，對(duì)供給繞軸14施加適度的旋轉(zhuǎn)阻力而使之不進(jìn)行過(guò)度的帶放出。另外，帶供給部6具有進(jìn)行保護(hù)帶T的陸續(xù)放出的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)本身具有監(jiān)視工作·停止?fàn)顟B(tài)的傳感器。
分離片回收部7驅(qū)動(dòng)纏繞從保護(hù)帶T剝離下的分離片s1的回收繞軸16沿纏繞方向旋轉(zhuǎn)。
粘貼單元8向前水平地具有粘貼輥17。該粘貼輥17借助氣缸的伸縮動(dòng)作，在推壓保護(hù)帶將其粘貼于晶圓W的作用位置、與上方的待機(jī)位置之間上下移動(dòng)而進(jìn)行升降驅(qū)動(dòng)，并且被未圖示的滑動(dòng)引導(dǎo)機(jī)構(gòu)及絲杠進(jìn)給式的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿圖中左右水平進(jìn)行往復(fù)驅(qū)動(dòng)。另外，如圖2所示，在粘貼單元8具有檢測(cè)粘貼輥17是否在待機(jī)位置與作用位置之間上下移動(dòng)而正常地進(jìn)行升降驅(qū)動(dòng)的第1傳感器27與第2傳感器28的組。來(lái)自這些第1傳感器27及第2傳感器28的檢測(cè)信號(hào)被發(fā)送到后述的控制部25。
位于作用位置的第1傳感器27檢測(cè)粘貼輥17在粘貼保護(hù)帶T時(shí)是否正常地下降到規(guī)定高度。
位于待機(jī)位置的第2傳感器28檢測(cè)粘貼輥17在結(jié)束了保護(hù)帶T的粘貼后，是否上升返回到待機(jī)位置。
在剝離單元10向前水平地具有剝離輥19，借助未圖示的滑動(dòng)引導(dǎo)機(jī)構(gòu)及絲杠進(jìn)給式的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)而被沿左右水平地往復(fù)驅(qū)動(dòng)。
帶回收部11的纏繞不需要的帶T′的回收繞軸20被沿纏繞方向驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。另外，在帶回收部11逐次由纏繞傳感器37檢測(cè)該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)狀態(tài)及不需要的帶T′的纏繞是否纏滿。另外，來(lái)自纏繞傳感器37的檢測(cè)信號(hào)被發(fā)送到后述的控制部25。
帶切斷機(jī)構(gòu)9被構(gòu)成為在能夠驅(qū)動(dòng)升降的未圖示的可動(dòng)臺(tái)的下部，并列裝有能夠繞著位于卡盤臺(tái)5中心上的縱軸心P驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的一對(duì)支承臂，并在該支承臂的自由端側(cè)所具有的切刀單元23上安裝有刀刃朝下的切刀12，通過(guò)支承臂22繞著縱軸心P旋轉(zhuǎn)而使切刀12沿著晶圓W的外周行進(jìn)來(lái)切斷保護(hù)帶T。
另外，帶切斷機(jī)構(gòu)9具有檢測(cè)切刀單元23是否在切斷保護(hù)帶T的作用位置、與上方的待機(jī)位置之間上下移動(dòng)而正常地進(jìn)行升降驅(qū)動(dòng)的傳感器、和監(jiān)視旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)狀況的傳感器。來(lái)自這些傳感器的檢測(cè)信號(hào)被發(fā)送到后述的控制部25。
操作部13由觸摸板式的液晶顯示裝置構(gòu)成，由操作者通過(guò)在畫面上顯示的圖形文字來(lái)進(jìn)行操作的接口(以下簡(jiǎn)稱為GUI(圖像用戶接口))來(lái)構(gòu)成。
如圖3所示，控制部25總括地控制晶圓供給·回收部1、輸送機(jī)構(gòu)3、對(duì)準(zhǔn)臺(tái)4、卡盤臺(tái)5、粘貼單元8、帶切斷機(jī)構(gòu)9、及帶回收部11的動(dòng)作，并接收從該各部分上具有的各傳感器所發(fā)送的信號(hào)，監(jiān)視各部的動(dòng)作狀況。從各傳感器發(fā)送來(lái)表示異常的錯(cuò)誤信號(hào)時(shí)，則從存儲(chǔ)部選擇與該錯(cuò)誤內(nèi)容相應(yīng)的各信息并顯示于操作部13的液晶顯示裝置。另外，關(guān)于控制部25的具體處理，將在下文述及。
在本實(shí)施例的情況下，上述各部分具有的傳感器相當(dāng)于本發(fā)明的檢測(cè)單元。
接下來(lái)，基于圖3所示的裝置結(jié)構(gòu)的框圖、圖4所示的流程圖、和圖5～9所示的顯示畫面的圖，對(duì)在使用上述實(shí)施例裝置把保護(hù)帶T粘貼到晶圓W上的過(guò)程中，在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分中發(fā)生異常、故障等錯(cuò)誤，到修復(fù)為止的錯(cuò)誤顯示裝置的處理進(jìn)行說(shuō)明。
對(duì)保護(hù)帶粘貼裝置的初始設(shè)定完成，從控制部25發(fā)出工作指令時(shí)，自動(dòng)地重復(fù)進(jìn)行這樣的處理由晶圓輸送機(jī)構(gòu)3取出收容于盒C1的晶圓W，對(duì)晶圓W粘貼了保護(hù)帶T后，直到再次把晶圓W回收于某個(gè)盒為止(步驟S1)。
具體地說(shuō)，機(jī)械手2被向放置裝填于晶圓供給·回收部1的盒C1移動(dòng)，前端的保持部吸附保持收容于C1的晶圓W并將其取出。機(jī)械手2把取出的晶圓W移放到對(duì)準(zhǔn)臺(tái)4。
在對(duì)準(zhǔn)臺(tái)4進(jìn)行所放置的晶圓W的對(duì)位。晶圓W的對(duì)位結(jié)束時(shí)，機(jī)械手2再次吸附保持著晶圓W對(duì)其進(jìn)行輸送，將該晶圓W放置于卡盤臺(tái)5上。
在卡盤臺(tái)5上，粘貼單元的粘貼輥17下降，在保護(hù)帶T上進(jìn)行推壓滾動(dòng)，把該保護(hù)帶T逐漸粘貼到晶圓W。粘貼輥17達(dá)到粘貼結(jié)束端時(shí)就上升。然后，帶切斷機(jī)構(gòu)9的切刀單元23下降到切斷作用位置，由其前端具有的切刀12沿著晶圓W的外周切斷保護(hù)帶T。切斷結(jié)束時(shí)則切刀單元23就上升而返回到待機(jī)位置。
當(dāng)切刀單元23返回到待機(jī)位置時(shí)，剝離單元10向圖中右方移動(dòng)而剝離切斷后的不需要的帶T′。當(dāng)剝離單元10到達(dá)剝離結(jié)束端時(shí)，該剝離單元10與粘貼單元8返回到粘貼初始位置。此時(shí)，上升了的粘貼輥17返回到待機(jī)位置。
被粘貼了保護(hù)帶T的晶圓W由機(jī)械手2吸附輸送，回收到盒C1或盒C2。在該保護(hù)帶T被粘貼于晶圓W上的期間，作為下一個(gè)保護(hù)帶粘貼對(duì)象的晶圓W被機(jī)械手2從盒中取出而放置到對(duì)準(zhǔn)臺(tái)4上。重復(fù)進(jìn)行這一系列的處理。
在該處理過(guò)程中，例如，假定以發(fā)生作為粘貼輥17的升降異常的第1錯(cuò)誤(步驟S2)、發(fā)生作為對(duì)準(zhǔn)臺(tái)4上的晶圓W的位置檢測(cè)異常的第2錯(cuò)誤(步驟S3)的順序，大致同時(shí)發(fā)生了錯(cuò)誤時(shí)，則從檢測(cè)到錯(cuò)誤的各傳感器依次發(fā)送錯(cuò)誤信號(hào)到控制部25的錯(cuò)誤信息選擇部29。即，經(jīng)過(guò)以下的處理，錯(cuò)誤內(nèi)容顯示在液晶顯示裝置13的畫面上。另外，錯(cuò)誤信息選擇部29相當(dāng)于本發(fā)明的錯(cuò)誤信息選擇單元。
首先，在步驟S1，粘貼輥17在進(jìn)入保護(hù)帶T的粘貼動(dòng)作前從待機(jī)位置下降到作用位置。但是，在第1傳感器27無(wú)法檢測(cè)到從開始下降時(shí)刻起在規(guī)定時(shí)間內(nèi)下降到作用位置這一情況的情況下，該第1傳感器27把錯(cuò)誤信號(hào)發(fā)送到控制部25的錯(cuò)誤信息選擇部29。
此外，在把被先行處理的晶圓W放置到卡盤臺(tái)5后，機(jī)械手2從盒C1中取出新的晶圓W將其放置到對(duì)準(zhǔn)臺(tái)4的保持臺(tái)。
當(dāng)放置有晶圓W時(shí)，構(gòu)成對(duì)準(zhǔn)臺(tái)4的保持臺(tái)30以吸附保持著晶圓W的狀態(tài)繞中心縱軸線P旋轉(zhuǎn)。在該旋轉(zhuǎn)過(guò)程中進(jìn)行晶圓W的槽口的檢測(cè)處理。即，傳感器26是受光傳感器，如圖5所示，該傳感器26與保持臺(tái)繞著中心縱軸線P旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)連動(dòng)地工作，在隔著晶圓W與光源31相對(duì)配置的位置接受從上方的光源31向晶圓外周照射的光。因此，與從控制部25向保持臺(tái)30發(fā)送旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的同時(shí)傳感器26進(jìn)行工作，把由傳感器26受光的光強(qiáng)度的信號(hào)發(fā)送到控制部25。
控制部25根據(jù)該信號(hào)通過(guò)比較運(yùn)算求出光強(qiáng)度變化的位置。在運(yùn)算的結(jié)果是無(wú)法求出光強(qiáng)度的變化的情況下，判斷為保持臺(tái)30的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作錯(cuò)誤，把錯(cuò)誤信號(hào)發(fā)送到錯(cuò)誤信息選擇部29(步驟S2)。
錯(cuò)誤信息選擇部29從預(yù)先存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部32的錯(cuò)誤信息選擇讀出與接收的錯(cuò)誤信號(hào)相應(yīng)的信息。即，在存儲(chǔ)部32中預(yù)先存儲(chǔ)著表示基于來(lái)自裝置具有的各傳感器的錯(cuò)誤信號(hào)確定的錯(cuò)誤內(nèi)容與錯(cuò)誤發(fā)生部位的圖像數(shù)據(jù)。(步驟S3)。另外，存儲(chǔ)部32相當(dāng)于本發(fā)明的存儲(chǔ)單元。
由錯(cuò)誤信息選擇部29讀出的兩個(gè)錯(cuò)誤信息被送到顯示控制部33。相當(dāng)于顯示控制單元的顯示控制部33判斷應(yīng)該優(yōu)先修復(fù)哪個(gè)錯(cuò)誤。在該情況下，例如，從驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有的各傳感器取得驅(qū)動(dòng)部的當(dāng)前位置信息，判斷若按哪種順序修復(fù)則不會(huì)有驅(qū)動(dòng)部彼此間接觸而遭受損傷等。在本實(shí)施例的情況下，判斷為在粘貼輥17發(fā)生的錯(cuò)誤的優(yōu)先度比在對(duì)準(zhǔn)臺(tái)4發(fā)生的錯(cuò)誤的優(yōu)先度高(步驟S4)。
由顯示控制部33確定錯(cuò)誤顯示的優(yōu)先度時(shí)，則該優(yōu)先信息被發(fā)送到圖像數(shù)據(jù)生成部34。圖像數(shù)據(jù)生成部34基于存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部32的錯(cuò)誤信息和優(yōu)先信息，對(duì)每個(gè)錯(cuò)誤信號(hào)生成由文字顯示錯(cuò)誤警告的第1圖像、和表示錯(cuò)誤發(fā)生部位的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的概略構(gòu)成的第2圖像組成的一組圖像。即，如圖6所示，在液晶顯示裝置13的畫面上，第1圖像35a是例如在用紅色強(qiáng)調(diào)的面上顯示為“錯(cuò)誤”的文字、錯(cuò)誤編號(hào)(圖中的1507)、錯(cuò)誤發(fā)生部位與作為內(nèi)容的“粘貼輥下降錯(cuò)誤”的文字、以及檢測(cè)出錯(cuò)誤的傳感器編號(hào)(L091)。另外，錯(cuò)誤編號(hào)是被登記過(guò)的，使得在欲更詳細(xì)地了解錯(cuò)誤內(nèi)容時(shí)，可以從操作·修復(fù)手冊(cè)等進(jìn)行參照。
此外，在第1畫面內(nèi)設(shè)有多個(gè)GUIa～g，接觸這些部位時(shí)，則畫面切換而在畫面上顯示適當(dāng)?shù)男畔?。在這些GUI之中，當(dāng)接觸右上的記載為“消息區(qū)”的GUIa時(shí)，則由錯(cuò)誤警告顯示，顯示第2圖像36a，該第2圖像36a是圖7所示的、顯示錯(cuò)誤發(fā)生部位的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的概略構(gòu)成、和設(shè)在各驅(qū)動(dòng)部的傳感器的位置。另外，記載為“消息區(qū)”的GUIa相當(dāng)于本發(fā)明的切換單元。
具體地說(shuō)，在中央顯示粘貼單元8的構(gòu)成，顯示有設(shè)于粘貼輥17上的第1傳感器27和第2傳感器28、以及用于檢測(cè)不需要的帶T′的纏繞成為纏滿狀態(tài)的情況的傳感器37。另外，由于粘貼單元8因發(fā)生錯(cuò)誤而停止驅(qū)動(dòng)，所以這些各傳感器的顯示為空白顯示。在各機(jī)構(gòu)正常動(dòng)作著的情況下，傳感器部分例如強(qiáng)調(diào)顯示為紅色。
此外，在畫面的左右，顯示有各驅(qū)動(dòng)部分的名稱與編碼編號(hào)，編碼編號(hào)成為GUI顯示(步驟S5)。
操作者看著在第2圖像36a顯示的錯(cuò)誤發(fā)生部位的粘貼輥17的位置和第1傳感器27的位置來(lái)確定錯(cuò)誤發(fā)生部位，著手修復(fù)作業(yè)(步驟S6)。
在操作者判斷為完成了修復(fù)作業(yè)時(shí)，則從設(shè)在液晶顯示裝置13的畫面下區(qū)域的具有文字顯示的GUI的“錯(cuò)誤”、“CORRECT(更正)”、“主”及“前頁(yè)”之中，選擇接觸“CORRECT”。該部分在每次接觸時(shí)被交替地切換成內(nèi)部背景色為紅色的強(qiáng)調(diào)顯示、與空白的非強(qiáng)調(diào)顯示。即，進(jìn)行接觸操作時(shí)，則工作信號(hào)被從控制部25發(fā)送到粘貼單元8，粘貼單元8進(jìn)行工作。同時(shí)，當(dāng)各驅(qū)動(dòng)部正常工作時(shí)，則傳感器被強(qiáng)調(diào)顯示成紅色。若是，即使操作“CORRECT”，檢測(cè)出錯(cuò)誤發(fā)生部位的第2傳感器36也未被強(qiáng)調(diào)顯示的情況下，意味著在第2傳感器部分非強(qiáng)調(diào)顯示的狀態(tài)下，修復(fù)尚未完成。因此，重復(fù)進(jìn)行修復(fù)處理及修復(fù)確認(rèn)的操作(步驟S7)。另外，該記載為“CORRECT”的GUI相當(dāng)于本發(fā)明的工作狀態(tài)確認(rèn)單元。
確認(rèn)到粘貼輥17的下降錯(cuò)誤的修復(fù)完成時(shí)，則通過(guò)控制部25具有的判定部38，在經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間后、例如幾秒后完全消除關(guān)于粘貼單元7的錯(cuò)誤內(nèi)容的顯示畫面，在液晶顯示裝置13的畫面上顯示下一個(gè)錯(cuò)誤內(nèi)容。即，如圖8所示，在強(qiáng)調(diào)顯示成紅色的面上顯示記載有“錯(cuò)誤”的文字、錯(cuò)誤編號(hào)、錯(cuò)誤發(fā)生部位與內(nèi)容、以及檢測(cè)出錯(cuò)誤的傳感器編號(hào)的第1圖像35b(步驟S8)。
與上述步驟S5同樣，若接觸記載為“消息區(qū)”的GUIa時(shí)，則顯示表示對(duì)準(zhǔn)臺(tái)的構(gòu)成與傳感器位置的第2圖像36b。操作者根據(jù)該第2圖像36b確定錯(cuò)誤發(fā)生部位，著手修復(fù)作業(yè)(步驟S9)。
在操作者判斷為修復(fù)作業(yè)完成了時(shí)，操作設(shè)在液晶顯示裝置的畫面下區(qū)域的“CORRECT”來(lái)確認(rèn)是否修復(fù)正常了。在該時(shí)刻，若錯(cuò)誤的修復(fù)完成，則通過(guò)判定部38在數(shù)秒后完全消除液晶顯示裝置13的畫面上所顯示的錯(cuò)誤內(nèi)容。然后，返回到通常的自動(dòng)運(yùn)行的畫面，開始粘貼保護(hù)帶T的自動(dòng)運(yùn)行。然后，確認(rèn)作為保護(hù)帶T的粘貼對(duì)象的晶圓W是否達(dá)到規(guī)定數(shù)量(步驟S10)。若達(dá)到規(guī)定數(shù)量則結(jié)束粘貼處理，若未達(dá)到規(guī)定數(shù)，則繼續(xù)自動(dòng)運(yùn)行的處理。通過(guò)以上，完成了錯(cuò)誤發(fā)生時(shí)的一系列的錯(cuò)誤警告顯示和修復(fù)處理。
如上所述，在任何一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中發(fā)生故障、異常引起的錯(cuò)誤時(shí)，則在液晶顯示裝置13的畫面在第1圖像中顯示文字信息的錯(cuò)誤內(nèi)容及檢測(cè)出錯(cuò)誤發(fā)生的傳感器。在用該第1圖像確認(rèn)了錯(cuò)誤內(nèi)容后，通過(guò)切換成位于第1圖像下層的第2圖像，由于發(fā)生了錯(cuò)誤的部位在表示驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的圖案之中示出，所以即使是不熟練的操作者也可以容易地確定錯(cuò)誤的發(fā)生部位。
此外，進(jìn)行了錯(cuò)誤發(fā)生部位的修復(fù)作業(yè)后，若操作液晶顯示裝置13的畫面上所顯示的“CORRECT”的GUI，則驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)成為工作狀態(tài)，錯(cuò)誤發(fā)生部位的傳感器進(jìn)行錯(cuò)誤發(fā)生部位的動(dòng)作確認(rèn)。該動(dòng)作確認(rèn)的結(jié)果是修復(fù)成正常的情況下，由于傳感器的部分被強(qiáng)調(diào)顯示，所以操作者沒(méi)有必要目視驅(qū)動(dòng)裝置本身進(jìn)行錯(cuò)誤的修復(fù)是否正常地完成的動(dòng)作檢查。即，操作者僅靠操作液晶顯示裝置13就能夠容易地確認(rèn)錯(cuò)誤內(nèi)容及修復(fù)完成，并且可以縮短處理時(shí)間而謀求作業(yè)效率的提高。
另外，在本實(shí)施例中，第1圖像35a、35b相當(dāng)于本發(fā)明的第2圖像，第2圖像36a、36b相當(dāng)于第1圖像。
本發(fā)明也能以以下的方式實(shí)施。
(1)在上述各實(shí)施例中，在同時(shí)在多個(gè)部位發(fā)生了錯(cuò)誤的情況下，考慮修復(fù)的優(yōu)先度而確定錯(cuò)誤的顯示順序，但是不限于該形態(tài)，例如，也可以是錯(cuò)誤的發(fā)生順序。
(2)在上述實(shí)施例中，以在保護(hù)帶粘貼裝置中具有錯(cuò)誤顯示裝置的情況下為例進(jìn)行了說(shuō)明，但是也可以適用于具有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的其他裝置。
(3)在上述實(shí)施例中，第1圖像35a、35b和第2圖像36a、36b的強(qiáng)調(diào)顯示用顏色變化表示，但是不限于該方式。例如，也可以構(gòu)成為使強(qiáng)調(diào)顯示的部分的光強(qiáng)度變化。
在不脫離本發(fā)明的思想或本質(zhì)的情況下，能以其他的具體的方式來(lái)實(shí)施本發(fā)明，因此，表示發(fā)明的范圍的，不是以上的說(shuō)明，而應(yīng)該參照所附的權(quán)利要求書。
權(quán)利要求
1.一種錯(cuò)誤顯示裝置，其是顯示包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中發(fā)生的異常、故障等錯(cuò)誤的錯(cuò)誤顯示裝置，上述裝置包括以下的構(gòu)成要素顯示單元，其顯示包括上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作狀況等的各種信息；檢測(cè)單元，其檢測(cè)出上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中發(fā)生的錯(cuò)誤，將該檢測(cè)結(jié)果作為檢測(cè)信號(hào)發(fā)送；存儲(chǔ)單元，其使在上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中可能發(fā)生的錯(cuò)誤內(nèi)容，與由上述檢測(cè)單元檢測(cè)出的錯(cuò)誤內(nèi)容和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的錯(cuò)誤發(fā)生部位的圖像數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)，將它們作為錯(cuò)誤信息予以存儲(chǔ)；錯(cuò)誤信息選擇單元，其從上述存儲(chǔ)單元選擇性地讀出與從上述檢測(cè)單元發(fā)送的檢測(cè)信號(hào)對(duì)應(yīng)的錯(cuò)誤信息，使上述顯示單元顯示基于該錯(cuò)誤信息中所包含的錯(cuò)誤內(nèi)容和圖像數(shù)據(jù)的圖像；工作狀態(tài)確認(rèn)單元，其使上述顯示單元顯示由上述錯(cuò)誤信息選擇單元顯示的錯(cuò)誤的發(fā)生部位是否在正常工作的狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錯(cuò)誤顯示裝置，其中，上述存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)的圖像數(shù)據(jù)是第1圖像數(shù)據(jù)和第2圖像數(shù)據(jù)，該第1圖像數(shù)據(jù)在表示上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖像上示出上述檢測(cè)單元的位置，該第2圖像數(shù)據(jù)用于以包含檢測(cè)出錯(cuò)誤的上述檢測(cè)單元和由該檢測(cè)單元確定的錯(cuò)誤發(fā)生部位的文字信息的狀態(tài)、對(duì)錯(cuò)誤發(fā)生進(jìn)行警告的強(qiáng)調(diào)顯示，上述錯(cuò)誤顯示裝置還包括圖像數(shù)據(jù)生成單元和切換單元，其中，該圖像數(shù)據(jù)生成單元利用由上述錯(cuò)誤選擇單元選擇的錯(cuò)誤信息，生成一對(duì)圖像數(shù)據(jù)使得在基于上述第1圖像數(shù)據(jù)所輸出顯示的第1圖像上重疊基于第2圖像數(shù)據(jù)所輸出顯示的第2圖像；該切換單元在上述顯示單元顯示了基于由上述圖像數(shù)據(jù)生成單元生成的圖像數(shù)據(jù)的圖像時(shí)，將顯示在顯示單元中的圖像從上層的第2圖像切換成下層的第1圖像，上述錯(cuò)誤顯示裝置構(gòu)成為在由上述切換單元把顯示在上述顯示單元中的圖像切換成第1圖像的狀態(tài)下操作上述工作狀態(tài)確認(rèn)單元時(shí)，錯(cuò)誤發(fā)生部位的檢測(cè)單元工作而進(jìn)行動(dòng)作確認(rèn)，在上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)處于正常的工作狀態(tài)時(shí)、或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)依然為錯(cuò)誤發(fā)生狀態(tài)時(shí)的任一情況下，對(duì)顯示在第1圖像上的上述檢測(cè)單元的位置進(jìn)行強(qiáng)調(diào)顯示。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的錯(cuò)誤顯示裝置，其中，上述顯示單元是通過(guò)接觸與所顯示的圖像對(duì)應(yīng)的部分而進(jìn)行圖像指定的觸摸板式，上述切換單元作為圖像用戶接口而設(shè)置在上述第2圖像上的規(guī)定部分，上述工作狀態(tài)確認(rèn)單元作為圖像用戶接口而設(shè)置在上述第1圖像上的規(guī)定部分上，并且被構(gòu)成為每次與該第1圖像上的規(guī)定部分的圖像用戶接口接觸而交替地切換強(qiáng)調(diào)顯示與非強(qiáng)調(diào)顯示。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的錯(cuò)誤顯示裝置，其中，上述錯(cuò)誤發(fā)生部位的文字信息構(gòu)成為至少表示驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的名稱和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的錯(cuò)誤內(nèi)容的警告文。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的錯(cuò)誤顯示裝置，其中，上述錯(cuò)誤發(fā)生部位的文字信息構(gòu)成為包含有在操作手冊(cè)或修復(fù)手冊(cè)中登記的錯(cuò)誤內(nèi)容及與錯(cuò)誤內(nèi)容相關(guān)聯(lián)的錯(cuò)誤編號(hào)之中的、至少錯(cuò)誤編號(hào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的錯(cuò)誤顯示裝置，其中，上述第2圖像的強(qiáng)調(diào)顯示及第1圖像上所顯示的上述檢測(cè)單元的位置的強(qiáng)調(diào)顯示，是表示檢測(cè)單元的部分的顏色變化。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的錯(cuò)誤顯示裝置，其中，上述第1圖像上所顯示的上述檢測(cè)單元的位置及上述第2圖像的警告的強(qiáng)調(diào)顯示，是該部分的光的強(qiáng)度變化。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錯(cuò)誤顯示裝置，還包括顯示控制單元，該顯示控制單元進(jìn)行控制，使得在規(guī)定的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中同時(shí)在多個(gè)部位發(fā)生了錯(cuò)誤的情況下，比較基于從各檢測(cè)單元發(fā)送的檢測(cè)信號(hào)的錯(cuò)誤內(nèi)容，考慮修復(fù)處理的順序，以將表示優(yōu)先度高的錯(cuò)誤內(nèi)容的圖像層疊在表示優(yōu)先度低的錯(cuò)誤內(nèi)容的圖像上的狀態(tài)顯示在上述顯示單元中。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的錯(cuò)誤顯示裝置，還包括顯示控制單元，該顯示控制單元進(jìn)行控制，使得在規(guī)定的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中同時(shí)在多個(gè)部位上發(fā)生了錯(cuò)誤的情況下，按從各檢測(cè)單元發(fā)送的檢測(cè)信號(hào)的順序，將表示該錯(cuò)誤內(nèi)容的圖像從最下層起層疊地顯示在上述顯示單元中。
全文摘要
本發(fā)明提供一種錯(cuò)誤顯示裝置，當(dāng)傳感器檢測(cè)出在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中發(fā)生的故障等錯(cuò)誤時(shí)，把錯(cuò)誤信號(hào)發(fā)送到控制部?？刂撇繌拇鎯?chǔ)單元選擇讀出表示與錯(cuò)誤信號(hào)對(duì)應(yīng)的錯(cuò)誤內(nèi)容的文字信息、和表示錯(cuò)誤發(fā)生的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有的傳感器的位置的圖像，在液晶顯示裝置上顯示將文字信息的第1圖像與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的錯(cuò)誤發(fā)生部位的圖案的第2圖像疊合而做成一組的錯(cuò)誤信息。在修復(fù)后，通過(guò)與畫面的GUI接觸，進(jìn)行驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作確認(rèn)。
文檔編號(hào)G01R31/26GK1967271SQ20061014547
公開日2007年5月23日 申請(qǐng)日期2006年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月18日
發(fā)明者山本雅之, 長(zhǎng)田典祥 申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社