專利名稱:氣敏裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種用于氣體分析的氣敏裝置,所述裝置特別地,但不是專門地,可用于分析汽車廢氣排放物、或其它內(nèi)燃機的排放物。鑒于其可適用于檢測或定量測定混合物中存在的單個氣體、其緊湊的尺寸和低能耗,所述裝置具有特別的優(yōu)點。
背景技術(shù):
在汽車發(fā)動機中,能檢測在廢氣物流中各種成分的存在或濃度是有利的。以注入的燃料和空氣的量最優(yōu)化為目的,這種分析和測量可用于控制發(fā)動機的運行。如果發(fā)動機在各種運行狀況下可具有燃料/空氣混合物的最佳組成,那么發(fā)動機的燃料消耗和有害物的排放可降至最低。除了發(fā)動機控制之外,氣體分析和測量在汽車催化轉(zhuǎn)化器的診斷中也可起到作用。為了催化轉(zhuǎn)化器的最佳性能,廢氣物流中燃料和氧水平一般應(yīng)處于一定范圍內(nèi)。
通常,汽車發(fā)動機廢氣物流中有各種氣體,包括,例如,氧氣、氮氧化物化合物(NOx)、一氧化碳、硫氧化物(SOx)、硫化氫(H2S)、碳氫化合物、氨氣、氫氣和水。已經(jīng)知道很多的產(chǎn)品想使用氣體傳感器裝置分析氣體物流。典型的氣體傳感器裝置使用一種或多種化學(xué)/電活性材料作為傳感器元件(一個或多個),每種材料都是在暴露到氣體中時將會發(fā)生電性能變化的材料。
在分析和測量氣體混合物,如廢氣,中各種氣體成分的過程中,復(fù)雜因素是,來自一個特定的傳感器元件的信號會受到它在不同于如下氣體(一種或多種)的氣體中暴露的影響即,其信號旨在作為所需分析數(shù)據(jù)的氣體。例如,被選擇作為傳感器以響應(yīng)NOx的材料,除了檢測氮氧化物化合物的存在或者濃度外,也可以對氧氣或碳氫化合物的存在敏感。所述困難已經(jīng)被這樣解決同時使用多種不同類型的傳感器元件,以產(chǎn)生足夠的數(shù)據(jù),從而允許將那些精確反應(yīng)分析物氣體存在性的信號和這些信號(即,由于不同傳感器元件對全部氣體的交叉敏感性而不可避免存在的信號)分離開。
然而,取決于傳感器元件的配置特性,為處理交叉靈敏度這一問題,而構(gòu)造成具有多個不同傳感器元件的氣體傳感器設(shè)備可能受到尺寸限制,具體取決于所述裝置的配置(deploy)特性。如果氣體傳感器設(shè)備被用于汽車用途,傳感器將受到很嚴(yán)格和苛刻的尺寸限制。許多目前已經(jīng)知道的汽車氣體傳感器,如美國專利5,556,526中描述的,必須足夠小以穿過直徑不大于100mm的圓,或者更小。然而,車上汽車診斷不是體積小巧的氣體分析儀的唯一用途,因為作為手握式裝置用于檢測所有種類的有毒和危險氣體材料正在變得日益重要。
在構(gòu)造尺寸受限制的氣體傳感器時,隨之而來地是,在所述裝置中盡可能的多采用許多不同傳感器元件的期望和對于傳感器滿足可用尺寸限制的需要之間不可避免地存在一種拉鋸狀態(tài)。每個獨立的傳感器元件不僅要考慮元件自身占據(jù)的空間,還要考慮導(dǎo)線、連接器和布線的位置和布置,這些部件傳送必要的輸入輸出脈沖和信號以使傳感器裝置中包含的所有傳感器元件運行。這就導(dǎo)致了研制用于所述裝置(如氣敏裝置)的、能使用于使所述傳感器裝置中的傳感器元件的數(shù)目增加但同時維持所述裝置的尺寸在允許的限度內(nèi)的部件的需要。
本發(fā)明滿足了這種需要,它提供一種在氣體傳感器設(shè)備中用作部件的氣敏裝置,所述裝置使得可以構(gòu)造包含理想的很多數(shù)目的傳感器元件并仍然滿足用于汽車用途或其它被期望的工業(yè)設(shè)備的用途的實際上所有可適用尺寸的限制的設(shè)備。當(dāng)然,本發(fā)明的氣敏裝置在氣體傳感器設(shè)備中的用途不局限于汽車行業(yè)。
本發(fā)明的一個特別的優(yōu)點是,在氣敏裝置中提供了用于大量傳感器元件和與其相連的電極(如印刷電極)的節(jié)約空間的布置。本發(fā)明的另一優(yōu)點是,它在氣敏裝置中提供了用于數(shù)量上足夠傳送來往于多個傳感器元件的輸入輸出脈沖和信號的多個導(dǎo)線的節(jié)約空間的布置。通過將大量傳感器元件結(jié)合在結(jié)構(gòu)緊湊的小型氣敏裝置中,本發(fā)明使在實際上任何尺寸限制的情況下,能夠區(qū)別在氣體混合物中極低濃度的各種組分。氣敏裝置被結(jié)合到安裝在汽車或任何其它期望類型的產(chǎn)業(yè)設(shè)備中的氣體傳感器設(shè)備中。下面將更特別描述這些和其它的優(yōu)點。
本發(fā)明各種實施方式的概述本發(fā)明的一個實施方案是氣敏裝置,所述裝置可穿過直徑不大于約100mm的圓;并且包括(a)四個或更多的傳感器元件,和(b)兩個或更多電極,每個電極與兩個或更多的傳感器元件接觸。
本發(fā)明的另一實施方案是氣敏裝置,包括(a)四個或更多的傳感器元件,(b)與傳感器元件的第一組的至少一個成員接觸的第一電極,以及(c)與傳感器元件的所述第一組的至少一個成員和傳感器元件的第二組的至少一個成員接觸的第二電極,其中傳感器元件的所述第一組中沒有成員是傳感器元件的所述第二組的成員。
圖1是將電極連接到傳感器元件的多路電路的示意圖。
圖2是將電極連接到傳感器元件的多路電路的示意圖。
圖3是將電極連接到傳感器元件的多路電路的示意圖。
圖4顯示了在用于分析氣體混合物的裝置中基片上加熱器的布置。
圖1中示出的特征的相同編號在也示出了那些相同特征的圖2中繼續(xù)使用。圖1和圖2中示出的特征的相同編號在也示出了那些相同特征的圖3中繼續(xù)使用。
發(fā)明詳述本發(fā)明的一個實施方案是用于分析氣體混合物的裝置,所述氣體化合物例如包含在內(nèi)燃機的廢氣中的那些氣體混合物,其中所述裝置可包含多個傳感器元件。所述傳感器元件可安裝在如單一體或多層疊層物的基片上用于檢測混合物中含有的特定氣體,并基于所述檢測產(chǎn)生信號。單一體的基片是由材料如氧化鋁或氧化鋯作為一塊固體原料制造的,而不是通過構(gòu)建多個離散的層制造的。相反,多層薄片疊層物由熱和壓力處理結(jié)合在一起的多層組件制備。通常地,基片具有平面外形,這樣,它的剖面形成矩形,所述矩形的長或一維尺寸超過另一維尺寸的500%或者更多。然而,基片可以具有其它形狀,使得它的剖面形成成直角的矩形,其中一維長度超過另一維長度小于500%,或者剖面是梯形、圓或橢圓形。
在氣敏裝置中,使用多個氣體傳感器元件,其可構(gòu)成相對于氣體輸入和輸出裝置安裝的單獨電響應(yīng)的固體狀態(tài)傳感器元件的陣列,從而氣體混合物的輸入氣流基本上同時地通過所有的氣體傳感器元件。優(yōu)選地,但不必需地是,針對待分析的化合物中的每一種單個氣體提供至少一個傳感器元件。然而,正如上面所指出的那樣,也提供另外的傳感器元件來交叉核對由于單個元件對多于一種氣體的靈敏度而產(chǎn)生的信號,而這樣可能需要大量的傳感器。所述裝置也可包括用于加熱基片的加熱器,例如安裝在基片上或內(nèi)的加熱板或電熱絲。加熱器由連接到加熱板或電熱絲的電源通電。
由于傳感器元件的固體表面與吸附的氣體物種的電化學(xué)相互作用引起該所述傳感器元件中的導(dǎo)電率變化。例如,傳感器元件可由金屬氧化物半導(dǎo)體制備。提取由氣體和傳感器表面的相互作用產(chǎn)生的電信號作為輸出,并由分析儀處理以檢測混合物中各種氣體成分的存在或濃度。那些測定或計算借助于查表或由算法控制的計算器功能或更復(fù)雜的去卷積法(deconvolution)或神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)實現(xiàn)。
通過將大量傳感器元件放置在基片的一個或多個表面上,通過設(shè)置多路脈沖和信號輸入輸出線,通過提供公共的放大器單元和分析儀單元,能夠用適合的小型傳感器設(shè)備對氣體混合物中不同氣體成分進行分析。本發(fā)明的裝置的小尺寸允許所述傳感器設(shè)備放置得足夠靠近生成氣體的源,從而在氣體混合物產(chǎn)生的時刻和其與成為傳感器設(shè)備部分的氣敏裝置接觸的時刻之間,氣體混合物的組成中沒有顯著變化。
通過傳感器元件和電極(脈沖和信號通過所述電極流到所述傳感器元件和從所述傳感器元件中流出)的多路、節(jié)約空間的布置,本發(fā)明裝置中大量傳感器元件被容納。傳感器元件可由化學(xué)/電活性材料制備,如下所述,可放置在基片的一個或多個表面上。電極可由金屬比如金、鉑或鈀或其中的兩種或多種的混合物制備,可放置在基片上或內(nèi)。通過如下所述的任一種印刷技術(shù),可以將傳感器元件和電極施加到基片表面上。通過提供“沒有進一步處理的(green)”帶的層,其中一層或多層含有電極,并將所述層疊在一起形成多層疊層物,可以將電極置于基片內(nèi)。
從圖1中可以看到傳感器元件和電極的節(jié)約空間布置的一個特定實施方案。多個傳感器元件2設(shè)置在基片4上。多個電極6與具有接觸端子8的各個傳感器元件2連接??衫秒姌O來完成通過每個傳感器元件的電回路。接觸端子與導(dǎo)線(未示出)接觸,使得能夠?qū)㈦娒}沖傳給各個傳感器元件2和從各個傳感器元件2中接收信號。信號發(fā)送給微處理器進行如下所述的處理。
由于多路傳輸,電極通過跨接處之間的絕緣層完成相互交叉。
本發(fā)明的氣敏裝置可通過具有直徑不大于大約100m,優(yōu)選不大于約50mm,更優(yōu)選不大于大約25mm,最優(yōu)選不大于約18mm的圓。
在一個實施方案中,例如,所述裝置可具有四個或更多的傳感器元件、和兩個或更多的電極,每個電極都與兩個或更多傳感器元件接觸。例如,電極A 10與傳感器元件A-1 12和A-2 14接觸,電極B 16與傳感器元件B-1 18和B-2 20接觸。正如可以看到的那樣,電極A 10和B 12每一個與不同的傳感器元件接觸。
傳感器元件A-3 22和傳感器元件B-3 24是獨立任選的。盡管在圖1中示出了,但任一或兩個傳感器可以或者可以不包括在所述裝置中,具體取決于估計的所探討的氣體分析任務(wù)的困難程度,所述任務(wù)將以所需的詳細水平給出完成氣體混合物的分辨所需的傳感器元件數(shù)目。如果傳感器元件A-3 22和B-3 24如所示存在,那么電極C 26和電極D 28也將如所示存在。如果傳感器元件A-3 22和B-3 24的之一或兩者都不存在,對應(yīng)的電極也將不存在。如果傳感器元件A-3 22如所示存在,電路可使用電極A 10和C 26通過所述傳感器元件來完成,并且,電路可以使用與其它傳感器元件相鄰的電極通過其它傳感器元件按類似方式完成,如有關(guān)的各個附圖所示。
在所述實施方案中,傳感器元件A-3 22存在,可以看到電極A 10與三個傳感器元件接觸。類似地,在所述實施方案中,傳感器元件B-324存在,可以看到電極B 16與三個傳感器元件接觸。電極A 10和B 16在那些例子中與不同的傳感器元件接觸。
圖2示出了一個替換性實施方案,其中裝置包含除圖1所示的實施方案中描述的那些之外的傳感器元件和電極。圖1中所示的特征的相同的編號,繼續(xù)在圖2中也示出那些相同特征。圖2中,電極E 30與傳感器元件E-1 32和E-2 34接觸,這樣,電極E 30是與兩個或更多傳感器元件接觸的第三電極。電極E 30與電極A 10和B 10中的任一個接觸不同的傳感器元件。
盡管在圖2中示出,但傳感器元件E-3 36是任選的,可以包括或者不包括在所述裝置中。如果傳感器元件E-3 36如所示存在,那么電極F 38也將如所示存在。如果傳感器元件E-3 36不存在,那么電極F38也將不存在。如果傳感器元件E-3 36如所示存在,電極E 30是與三個傳感器元件接觸的第三電極。電極E 30在這一例子中也與電極A10和B 16中的任一個接觸不同的傳感器元件。
圖3示出了又一可選實施方案,其中所述裝置包括除圖2所示的實施方案中描述的那些之外的傳感器元件和電極。圖2中所示的特征的相同的編號,繼續(xù)在圖3中也示出那些相同特征。圖3中,電極G40與傳感器元件G-1 42和G-2 44接觸,這樣,電極G 40是與兩個或更多傳感器元件接觸的第四電極。電極G 40與電極A 10、B 16和E 30中的任一個接觸不同的傳感器元件。
盡管在圖3中示出,但是傳感器元件G-3 46是任選的,可以包括或不包括在所述裝置中。如果傳感器元件G-3 46如所示存在,那么電極H 48也將如所示存在。如果傳感器元件G-3 46不存在,那么電極H 48也將不存在。如果傳感器元件G-3 46若所示存在,那么電極G 40是與三個傳感器元件接觸的第四電極。電極G 40在這一例子中也與電極A 10、B 16和E 30中的任一個接觸不同的傳感器元件。
參照圖2,可以看到,電極J 50與傳感器元件B-2 20和E-2 34接觸,并且電極K 52與傳感器元件A-1 12、B-1 18和E-1 32接觸。參照圖3,可以看到,電極K 52與傳感器元件A-1 12、B-1 18、E-1 32和G-1 42接觸。電極A 10、B 16、E 30、G 40、J 50和K 52也因此作為與兩個或更多的傳感器元件接觸的電極逐一被描述。而且,電極A 10、B 16、E 30、G 40和K 52可以作為與三個或更多的傳感器元件接觸的電極逐一被描述,并且電極K 52可作為與四個傳感器元件接觸的電極被描述。
在本發(fā)明的裝置中,當(dāng)傳感器元件如上所述設(shè)置在基片的表面上時,如果希望也可以在基片的另一表面上設(shè)置加熱器。圖4顯示了加熱器布置的例子。圖4中,基片4的表面上的加熱器54連接到電極56,電極56又連接到接觸端子58。例如,加熱器可以是加熱板,可以由如金、鉑或鈀或者其兩種或多種的混合物的金屬制成,而且可由印刷或其它已知的技術(shù)沉積。
當(dāng)傳感器元件設(shè)置在基片的一個表面上,而加熱器設(shè)置在基片的另一個表面上時,本發(fā)明的裝置中基片的兩表面上都設(shè)置有電極。如所示,通過將圖1至3與圖4比較,發(fā)現(xiàn)在基片的第一表面上的電極可以是第二表面上的電極的至少兩倍或至少三倍。
如上所述,本發(fā)明的裝置中,傳感器元件可設(shè)置在基片的一個或更多的表面上。特別地,在多層疊層物的情況下,傳感器元件可設(shè)置在兩個或更多表面上。用作傳感器元件的材料可沉積到不同的“未經(jīng)過進一步處理的”帶的層上,然后將所述不同層組裝成構(gòu)成基片的最終固化層。在其上設(shè)置傳感器元件的層成為基片的表面。
電極可沉積在與傳感器元件相同的層上,或者可以沉積在基片的內(nèi)部的、因而不成為表面的層上。這樣,電極可設(shè)置在基片的一個、兩個或更多的表面上,或者不設(shè)置在表面上。而且,因為傳感器元件可設(shè)置在基片的一個、兩個或更多的表面上,所以圖1、2和3中所示的每一個實施方案可設(shè)置在基片的表面上。結(jié)果,基片的一個、兩個或更多表面上可以有4個或更多、6個或更多、8個或更多、或10個或更多的傳感器元件。因而,基片可總共包含6個或更多、8個或更多、10個或更多、或者12個或更多的傳感器元件。
圖5中示出了又一可替換的實施方案。其中用于示出圖1中的特征的相同編號在圖5中繼續(xù)用于示出在圖5中那些相同的特征。在圖5中,傳感器元件A-1 12被第一電極(電極A 10)和第二電極(電極K52)接觸。傳感器元件A-2 14也被電極A 10接觸,傳感器元件B-118也被電極K52接觸。這樣,電極A 10接觸由傳感器元件A-1 12、A-2 14和A-3 22組成的組中的至少一個成員;電極K 52也是這樣。盡管傳感器元件B-2 20不被電極K 52接觸,電極K 52仍然也與由傳感器元件B-1 18、B-2 20和B-3 24組成的組中的至少一個成員接觸。由傳感器元件A-1 12、A-2 14和A-3 22組成的組中的成員都不是由傳感器元件B-1 18、B-2 20和B-3 24組成的組中的成員。
也可以看到圖5中,電極A不僅與由傳感器元件A-1 12、A-2 14和A-3 22組成的組中的多于一個的成員接觸,它還與這個組中的每個成員接觸。
圖6中示出了又一替換性實施方案,其中所述裝置包含除了圖5所示的實施方案中描述的那些之外的傳感器元件和電極。圖5中示出的特征的相同編號繼續(xù)用于在圖6中示出那些相同的特征。圖6中,電極K 52接觸傳感器元件E-1 32,并因此接觸由E-1 32、E-2 34和E-3 36組成的組中的至少一個成員。由傳感器元件E-1 32、E-2 34和E-3 36組成的組中的成員都不是分別由傳感器元件A-1 12、A-2 14和A-3 22組成的組和由B-1 18、B-2 20和B-3 24組成的組中的任一組的成員。
第三電極(電極B 16)與傳感器元件B-1 18和B-2 20接觸,這樣,在圖6中可以看到,電極B 16與由傳感器元件B-1 18、B-2 20和B-3 24組成的組的至少一個成員接觸。然而,也可以看到,電極B 16接觸這組的多于一個成員,并且實際上與這組的每個成員接觸。第四電極(電極J 50)與由傳感器元件B-1 18、B-2 20和B-3組成的組中至少一個成員和由傳感器元件E-1 32、E-2 34和E-3 36組成的組中的至少一個成員接觸。
圖7示出了又一實施方案,其中所述裝置包含除了圖6所示的實施方案中描述的那些之外的傳感器元件和電極。圖6中示出的特征的相同編號在圖7中繼續(xù)用于在圖7中示出那些相同的特征。圖7中,第五電極(電極E 30)與由傳感器元件E-1 32、E-2 34和E-3 36組成的組中的至少一個成員接觸。然而,也可以看到,電極E 30與這組的多于一個成員接觸,并且實際上與這組的每個成員接觸。
電極K 52與由傳感器元件G-1 42、G-2 44和G-3 46組成的組中的至少一個成員接觸。由傳感器元件G-1 42、G-2 44和G-3 46組成的組中沒有成員是分別由傳感器元件A-1 12、A-2 14和A-3 22組成的組;由B-1 18、B-2 20和B-3 24組成的組;和E-1 32、E-2 34和E-3 36組成的組的任一組中的成員。第六電極(電極G 40)也與由傳感器元件G-1 42、G-2 44和G-3 46組成的組中的至少一個成員接觸。然而,也可以看到,電極G 40與這組的多于一個成員接觸,并且實際上與這組的每個成員接觸。
這對于這種裝置的其它實施方案來說也是可行的,傳感器元件的這些組中的一些或全部都可設(shè)置在基片的一個表面上,并且如上所述,加熱器可設(shè)置在基片的另一表面上。在這種情況下,電極被設(shè)置在基片的兩個表面上?;牡谝槐砻嫔系碾姌O可以是第二表面上的至少兩倍或者至少三倍。
也如上所述,傳感器元件可設(shè)置在基片的一個或多個表面上。特別在多層疊層物的情況下,傳感器元件也可以設(shè)置在兩個或多個表面上。結(jié)果,可以有4個或更多、6個或更多、8個或更多或者10個或更多的傳感器元件在基片的一個、兩個或更多個表面上。這樣,基片可總共包含6個或更多、8個或更多、10個或更多、或者12個或更多的傳感器元件。電極可沉積在與傳感器元件相同的表面上,或可以設(shè)置在基片的內(nèi)部。這樣,電極可設(shè)置在基片的一個、兩個或更多個表面上,或者不設(shè)置在表面上。
本發(fā)明的所述裝置和其中使用方法的其它說明可以在申請日為2001.10.15的美國專利申請?zhí)枮镹o.SN 09/977,791和申請日為2002.4.5的美國專利申請?zhí)枮镹o.SN 10/117,472中找到,每一申請在此全部地作為一部分被結(jié)合進來,用于所有的目的。
雖然本發(fā)明的裝置被陳述或描述成包含、包括、含有或具有某些特征、整件和/或部件,但是應(yīng)該理解,除非明確地提供了相反的陳述或描述,一種或多種不同于明確陳述過或描述過的部件的部件可以存在于該裝置中。然而,在替換性實施方案中,本發(fā)明的裝置可以陳述或描述成基本上由某些部件組成,在所述實施方案中,并不存在會實質(zhì)改變該裝置的運行原理或顯著特性的組件。在又一可替換的實施方案中,本發(fā)明的裝置可以陳述或描述成由某些部件組成,在所述實施方案中并不存在不同于那些所陳述過的部件的部件。
在使用不定冠詞描述或者稱述在本發(fā)明的裝置中部件的存在性時,應(yīng)該理解,除非提供了明確地相反的陳述或描述,這種不定冠詞的使用并不將裝置中部件的存在數(shù)量限定為數(shù)字“一”。
權(quán)利要求
1.一種氣敏裝置,所述裝置可穿過直徑不大于約100mm的圓;和所述裝置包括(a)4個或更多的傳感器元件,和(b)兩個或更多的電極,每個電極與兩個或更多的傳感器元件接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,包括三個或更多的電極,每個電極與兩個或更多傳感器元件接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置,其中,每個電極與不同的傳感器元件接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,包括四個或更多電極,每個電極與兩個或更多傳感器元件接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置,其中每個電極與不同的傳感器元件接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,包括五個或更多電極,每個電極與兩個或更多傳感器元件接觸。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,包括六個電極,每個電極與兩個或更多傳感器元件接觸。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其中一個或多個電極的每一個與三個或更多傳感器元件接觸。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其中二個或更多電極中的每一個與三個或更多傳感器元件接觸。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,包括三個或更多電極,其中每個電極與三個或更多傳感器元件接觸。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,包括四個或更多電極,其中每個電極與三個或更多傳感器元件接觸。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其中電極與至少四個傳感器元件接觸。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,包括第一和第二表面,其中所述第一和第二表面都包括電極,所述第一表面上的電極是所述第二表面上的電極的至少二倍。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置,其中所述第一表面上的電極是所述第二表面上的電極的至少三倍。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,包括六個或更多傳感器元件。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,還包括加熱器。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,是單一體。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,所述裝置是多層疊層物。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,具有多個表面,并且,其中,在多于一個的表面上設(shè)置有傳感器元件。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的裝置,其中,在兩個表面的每一個上設(shè)置至少四個傳感器元件。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的裝置,其中,電極設(shè)置在至少一個表面上。
22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的裝置,其中,沒有表面包含電極。
23.氣敏裝置,包括,(a)四個或更多傳感器元件,(b)與傳感器元件的第一組的至少一個成員接觸的第一電極,以及(c)與傳感器元件的所述第一組的至少一個成員和傳感器元件的第二組的至少一個成員接觸的第二電極,其中傳感器元件的所述第一組中沒有成員是傳感器元件的所述第二組的成員。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置,其中,第一電極與傳感器元件的所述第一組的多于一個的成員接觸。
25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置,其中,所述第一電極與傳感器元件的所述第一組的每一個成員接觸。
26.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置,包括傳感器元件的第三組,其中,所述第二電極與傳感器元件的所述第三組的至少一個成員接觸。
27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的裝置,其中,傳感器元件的所述第一組中沒有成員是傳感器元件的所述第三組的成員。
28.根據(jù)權(quán)利要求26所述的裝置,其中,傳感器元件的所述第二組中沒有成員是傳感器元件的所述第三組的成員。
29.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置,還包括與傳感器元件的第二組的至少一個成員接觸的第三電極。
30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的裝置,其中所述第三電極與傳感器元件的所述第二組中的多于一個的成員接觸。
31.根據(jù)權(quán)利要求29所述的裝置,其中所述第三電極與傳感器元件的所述第二組中的每一個成員接觸。
32.根據(jù)權(quán)利要求26所述的裝置,還包括與傳感器元件的所述第二組的至少一個成員和傳感器元件的所述第三組的至少一個成員接觸的第四電極。
33.根據(jù)權(quán)利要求26所述的裝置,還包括與傳感器元件的第三組的至少一個成員接觸的第五電極。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的裝置,其中,所述第五電極與傳感器元件的所述第三組的多于一個的成員接觸。
35.根據(jù)權(quán)利要求33所述的裝置,其中,所述第五電極與傳感器元件的所述第三組的每一個成員接觸。
36.根據(jù)權(quán)利要求26所述的裝置,包括傳感器元件的第四組,其中所述第二電極與傳感器元件的第四組的至少一個成員接觸,并且傳感器元件的所述第一組的成員中沒有成員是傳感器元件的所述第四組的成員。
37.根據(jù)權(quán)利要求37所述的裝置,其中,傳感器元件的所述第二組的成員中沒有成員是傳感器元件的所述第四組的成員。
38.根據(jù)權(quán)利要求37所述的裝置,其中,傳感器元件的所述第三組的成員中沒有成員是傳感器元件的所述第四組的成員。
39.根據(jù)權(quán)利要求37所述的裝置,還包括與傳感器元件的所述第四組的至少一個成員接觸的第六電極。
40.根據(jù)權(quán)利要求40所述的裝置,其中,所述第六電極與傳感器元件的所述第四組的多于一個的成員接觸。
41.根據(jù)權(quán)利要求40所述的裝置,其中,所述第六電極與傳感器元件的所述第四組的每個成員接觸。
42.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置,包括至少6個傳感器元件。
43.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置,包括至少8個傳感器元件。
44.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置,所述裝置是單一體。
45.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置,所述裝置是多層疊層物。
46.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置,具有多個表面,并且,其中,在多于一個的表面上設(shè)置傳感器元件。
47.根據(jù)權(quán)利要求47所述的裝置,其中,在兩個表面的每一個上設(shè)置至少四個傳感器元件。
48.根據(jù)權(quán)利要求47所述的裝置,其中,電極設(shè)置在至少一個表面上。
49.根據(jù)權(quán)利要求47所述的裝置,其中沒有表面包含電極。
全文摘要
本發(fā)明披露了一種氣敏裝置,它可用于檢測或定量化確定氣體混合物中的單個氣體,具有尺寸緊湊和低能耗耗的優(yōu)點。它包括四個或更多傳感器元件和兩個或更多電極。
文檔編號G01N27/12GK101036048SQ200580034166
公開日2007年9月12日 申請日期2005年10月6日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月7日
發(fā)明者H·E·貝特西爾 申請人:納幕爾杜邦公司