專利名稱：能夠?qū)?yīng)多種測試器的探針裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可以對應(yīng)多種測試器的探針裝置。更詳細(xì)地說，涉及可以在多種測試器上分別安裝專用的連接環(huán)和探針板的探針裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體裝置的制造過程中，為了檢查在晶片上形成的器件的電氣特性而使用探針裝置。對于該探針裝置的例子，如圖8所示，其包括搬送晶片W的裝載室1、和檢查從裝載室1搬送來的晶片W的電氣特性的探針室2。探針室2包括內(nèi)置有升降機(jī)構(gòu)的、用于放置從裝載室1搬送來的晶片W的載物臺(主卡盤)3；使主卡盤3在X和Y方向移動的XY臺4；配置在主卡盤3的上方的探針板5；可裝卸地保持探針板5的板保持機(jī)構(gòu)(以下稱為“夾持機(jī)構(gòu)”)(圖未示出)；以及可正確地對探針板5的多個探針銷5A和主卡盤3上的晶片W的多個電極墊進(jìn)行定位的校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)6。校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)6具有拍攝晶片W的上照相機(jī)6A、和附設(shè)在主卡盤3上的、用于拍攝探針銷5A的下照相機(jī)6B。
如圖8所示，在探針室2的上面安裝有頂板7。在頂板7的開口部安裝有可自由裝卸地保持探針板5的夾持機(jī)構(gòu)。在頂板7上可旋轉(zhuǎn)地配置有測試器T的測試頭TH，測試頭TH和探針板5通過連接環(huán)(伸縮環(huán))8而電氣連接。來自測試頭TH的檢查用信號通過測試頭TH、性能板(performance board)和伸縮環(huán)(pogo ring)8，而發(fā)送至探針銷5A。檢查用信號，從探針銷5A而被施加到晶片W的電極墊上，用于檢查在晶片W上形成的多個半導(dǎo)體元件(器件)的電氣特性。
檢查內(nèi)容、電極墊的數(shù)量和排列形式根據(jù)器件的種類而有所不同。因此，適應(yīng)器件的種類而分別使用多個測試器。對多個測試器T的各個準(zhǔn)備專用的測試頭TH、性能板。另一方面，在探針裝置中安裝特定的測試器用的探針板5和伸縮環(huán)8。對于伸縮環(huán)8來說，探針板5與測試器的性能板電氣連接。
這樣，探針裝置與測試器成為一一對應(yīng)的關(guān)系?，F(xiàn)有技術(shù)的探針裝置僅能夠與特定的測試器進(jìn)行電氣連接。在將特定測試器用結(jié)構(gòu)的探針裝置與其他測試器連接的情況下，不得不準(zhǔn)備對應(yīng)于其他測試器的性能板的伸縮環(huán)8和探針板5?？墒?，伸縮環(huán)8在各測試器中的伸縮銷數(shù)、銷的排列以及外形有所不同。為此，需要使伸縮環(huán)8和探針板5一致，變更插入環(huán)和夾持機(jī)構(gòu)的設(shè)計等，必須大幅度地對連接結(jié)構(gòu)進(jìn)行改造。特別是近年來隨著半導(dǎo)體裝置多樣化的發(fā)展，器件的檢查也趨向于多樣化，需要多種測試器和探針裝置。
在日本特開2000-349128號公報中揭示有使接合環(huán)(adapter ring)夾在伸縮環(huán)和插入環(huán)之間的探針裝置。在該探針裝置中，利用適配器來對應(yīng)測試器的變更。即使在變更測試器的情況下，也能夠通過適配器而使探針裝置使用同一個插入環(huán)。
然而，在日本特開2000-349128號公報中揭示有探針裝置側(cè)和測試器側(cè)的連接結(jié)構(gòu)。但是，在該公報中公開的裝置并不能對應(yīng)直徑不同的多種探針板?，F(xiàn)在的探針裝置可以對應(yīng)直徑至350mm的探針板。由于最近探針板大型化，雖然在日本特開2000-349128號公報中公開的連接結(jié)構(gòu)可以對應(yīng)多種測試器，但也存在與大型化的探針板或者多種探針板不能對應(yīng)的課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于至少解決所述課題中的一個。
本發(fā)明的實(shí)施方式提供可以對應(yīng)大型探針板的探針裝置。本發(fā)明的實(shí)施方式還提供可以對應(yīng)多種探針板的探針裝置。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種具有測試器、探針板和保持該探針板用的基體板夾具的探針裝置。該探針裝置包括用于將該探針板安裝在該基體板夾具上的板夾具；以轉(zhuǎn)接該板夾具和該基體板夾具之間的連接的方式而構(gòu)成的變換環(huán)，其中，該變換環(huán)是從多種變換環(huán)中選擇出的適合該探針板的變換環(huán)；和基體板夾具，其構(gòu)成為可接受該多種變換環(huán)中的任意一種。
上述探針裝置還包括下述(a)～(f)中的任意一方面或者任意多方面。
(a)該板夾具在其周圍具有多個伸出部，該變換環(huán)具有以固定該板夾具的該多個伸出部的方式而構(gòu)成的多個單觸式(one touch)固定機(jī)構(gòu)。
(b)該單觸式固定機(jī)構(gòu)具有按壓該伸出部的按壓部件、以及可自由旋轉(zhuǎn)地支撐該按壓部件的軸部件。
(c)該單觸式固定機(jī)構(gòu)具有向下方對該按壓部件施加作用力的彈性部件。
(d)該單觸式固定機(jī)構(gòu)具有確定該按壓部件的固定位置的定位裝置。
(e)具有用于電氣連接測試器與探針板的連接環(huán)；以及用于將該連接環(huán)安裝在插入環(huán)上的內(nèi)環(huán)，其中，上述內(nèi)環(huán)，是從多種內(nèi)環(huán)中選擇出的適合該連接環(huán)的內(nèi)環(huán)，插入環(huán)構(gòu)成為可以接受所述多種內(nèi)環(huán)的任何一種。
(f)上述內(nèi)環(huán)具有定位機(jī)構(gòu)，對上述各測試器專用的探針板的上下方向進(jìn)行定位。


圖1是將本發(fā)明的探針裝置的一個實(shí)施方式的主要部分分解后表示的截面圖。
圖2是表示將圖1所示的各部件安裝在探針裝置上的狀態(tài)的截面圖。
圖3是表示在圖1所示的探針裝置中所使用的基體板夾具、變換環(huán)和板夾具的分解立體圖。
圖4A是表示用圖3所示變換環(huán)固定板夾具的狀態(tài)的截面圖，是固定板夾具前的狀態(tài)的截面圖。
圖4B是表示用圖3所示變換環(huán)固定板夾具的狀態(tài)的截面圖，是固定板夾具后的狀態(tài)的截面圖。
圖5是表示本發(fā)明的探針裝置的其他實(shí)施方式的主要部分的立體圖。
圖6A是表示對應(yīng)于圖5所示的變換環(huán)的內(nèi)環(huán)的分解立體圖。
圖6B是表示圖5所示的變換環(huán)的主要部分的分解立體圖。
圖7A是表示將圖5所示板夾具固定在基體板夾具上的狀態(tài)的截面圖，是固定前的狀態(tài)的截面圖。
圖7B是表示將圖5所示板夾具固定在基體板夾具上的狀態(tài)的截面圖，是固定后的狀態(tài)的截面圖。
圖8是剖開現(xiàn)有技術(shù)的探針裝置的一部分而表示的截面圖。
具體實(shí)施例方式
根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式，可以提供能夠?qū)?yīng)于大型探針板的探針裝置。
根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式，可以提供能夠?qū)?yīng)于多種探針板的探針裝置。
下面，根據(jù)圖1～圖7所示的各實(shí)施方式，對本發(fā)明進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的探針裝置構(gòu)成為可安裝多種探針板。本實(shí)施方式的探針裝置10的例子如圖1所示。探針裝置包括安裝在頂板11的中央開口部上的夾持機(jī)構(gòu)12；可自由裝卸地安裝在該夾持機(jī)構(gòu)12上的基體板夾具13；以及安裝在頂板11的開口部上的插入環(huán)14。夾持機(jī)構(gòu)12和基體板夾具13形成為可以接受大型探針板的尺寸。它們構(gòu)成為可以安裝外徑不同的探針板。插入環(huán)14構(gòu)成為可以安裝多種測試器T各自專用的連接環(huán)(例如伸縮環(huán))15。
即，如圖1所示，基體板夾具13可以做成寬幅的環(huán)板。而且可以做成環(huán)板的內(nèi)圓周面的下部直徑縮小。其具有承受部13A，用其凸緣部來支撐變換環(huán)(后面敘述)；壁部13B，從環(huán)板上面的外周邊緣部沿整個周邊向上方延伸；以及多個伸出部13C，在壁部13B的上部在圓周方向相互隔開規(guī)定的間隔，形成為放射狀。基體板夾具13通過多個伸出部13C而由夾持機(jī)構(gòu)12所夾持。
大型探針板直接相對基體板夾具13的承受部13A進(jìn)行安裝，在現(xiàn)有的探針板的情況下，通過變換環(huán)16將帶有板夾具的探針板相對于基體板夾具13的承受部13A進(jìn)行安裝。
因此，如圖1所示，變換環(huán)16具有變換探針板17的外徑的功能。利用變換環(huán)16而可以將探針板17安裝在基體板夾具13上。探針板17和其板夾具20(參照圖3)因在晶片W上形成的器件不同，而在多個測試器中準(zhǔn)備多個與專用的探針板17以及或者板夾具相對應(yīng)的變換環(huán)16。
變換環(huán)16可以形成為與探針板17的外形對應(yīng)的結(jié)構(gòu)。在圖1中，作為變換環(huán)16的一個例子，表示出采用環(huán)狀板結(jié)構(gòu)的變換環(huán)16。環(huán)狀板的內(nèi)圓周面形成為縮小其直徑的結(jié)構(gòu)。變換環(huán)16具有支撐板夾具20(參照圖3)的承受部16A、以及在環(huán)狀板的外圓周面將其直徑擴(kuò)大后形成的凸緣部16B。凸緣部16B與基體板夾具13的承受部13A相接合。
因此，在將探針板17安裝在基體板夾具13上時，如圖1箭頭所示，將帶有板夾具20(參照圖3)的探針板17安裝在變換環(huán)16上。隨后，將變換環(huán)16安裝在基體板夾具13上。然后，將一體化探針板17、變換環(huán)16和基體板夾具13而形成的一體化件，通過圖未示出的搬送機(jī)構(gòu)而被搬送至夾持機(jī)構(gòu)12的正下方。如圖2的箭頭所示，在抬起一體化件的狀態(tài)下，通過夾持機(jī)構(gòu)12夾持基體板夾具13，使得探針板17被固定在探針裝置10上。
另一方面，如圖1所示，插入環(huán)14可以做成環(huán)狀的結(jié)構(gòu)。插入環(huán)14的內(nèi)圓周面的下部直徑被縮小，形成承受部14A。插入環(huán)14的上部的直徑被擴(kuò)大，形成凸緣部14B。插入環(huán)14的凸緣部14B利用螺釘?shù)染o固部件而被固定在頂板11上。根據(jù)需要可以將內(nèi)環(huán)18安裝在插入環(huán)14的承受部14A上?？梢詫?nèi)環(huán)18做成對應(yīng)于多種測試器用的伸縮環(huán)15的結(jié)構(gòu)。
如圖1所示，內(nèi)環(huán)18可以做成環(huán)狀結(jié)構(gòu)?？梢詫⑵鋬?nèi)圓周面的直徑縮小，形成承受部18A?？梢詫?nèi)環(huán)18的外圓周面的直徑擴(kuò)大，形成凸緣部18B。構(gòu)成為凸緣部18B與插入環(huán)14的承受部14A相互接合。因此，在將多種伸縮環(huán)15中的適應(yīng)測試器T的伸縮環(huán)安裝在插入環(huán)14上時，如該圖箭頭所示，首先將內(nèi)環(huán)18安裝在插入環(huán)14上，然后，可以將該伸縮環(huán)15安裝在內(nèi)環(huán)18上。
同時，參照圖3、圖4，對基體板夾具、變換環(huán)和探針板(參照圖1)進(jìn)行說明?；w板夾具13可以如上述那樣包括承受部13A、壁部13B和多個伸出部13C。變換環(huán)16可以如上述那樣具有承受部16A和凸緣部16B。在基體板夾具13的承受部13A上面，如圖3所示，可以設(shè)置兩個(也可以設(shè)置三個以上)定位突起13D。這些突起13D被配置成在圓周方向相隔180°。這些定位突起13D通過嵌入到在變換環(huán)16的凸緣部16B上形成的定位孔16C，使得變換環(huán)16在基體板夾具13上被定位?；w板夾具13的承受部13A和變換環(huán)16的凸緣部16B利用多個螺釘部件19而被固定。
如圖3所示，探針板1 7通過板夾具20而安裝在變換環(huán)16上。但是，在圖3中僅表示出板夾具20，而省略了探針板17。板夾具20如圖3所示那樣形成為為環(huán)狀結(jié)構(gòu)。將板夾具20的內(nèi)圓周面下部的直徑縮小，形成承受部20A?？梢詮耐鈭A周面的上部大致呈放射狀地形成多個伸出部20B。變換環(huán)16與伸出部20B相嵌合，變換環(huán)16的承受部16A支撐板夾具20。
例如，如圖3所示，變換環(huán)16具有兩個單觸式固定機(jī)構(gòu)21。單觸式固定機(jī)構(gòu)21將板夾具20固定在變換環(huán)16上。將這些單觸式固定機(jī)構(gòu)21配置成在變換環(huán)16的凸緣部16B上在圓周方向相隔180°。
如圖4A、B所示，單觸式固定機(jī)構(gòu)21包括用于按壓板夾具20的伸出部20B的按壓部件21A；貫通在按壓部件21A中心形成的孔，并且直立設(shè)置在變換環(huán)16的內(nèi)圓周邊緣部的軸部件21B；以及螺旋彈簧21C，彈性安裝在軸部件21B上端的凸緣部和按壓部件21A之間?？梢詫磯翰考?1A的斷面做成長方形。螺旋彈簧21C總是保持向下方對按壓部件21A施加作用力。螺旋彈簧21C的下端可以填入包圍按壓部件21A的孔的環(huán)形凹陷部中。在按壓部件21A的兩端部的下面，安裝有定位用的一對突起部21D。在變換環(huán)16和板夾具20的伸出部20B的上面，在突起部21D嵌入的地方分別形成作為定位裝置的第一凹部21E、21F。在這些變換環(huán)16的上面沿圓周方向形成一對第二凹部(圖未示出)，其以軸部件21B為中心，用于嵌入按壓部件21A的突起部21D。連接第一凹部21E和21F的線與連接第二凹部的線相互垂直。
如圖3所示，在不使用變換環(huán)16時，單觸式固定機(jī)構(gòu)21的按壓部件21A的突起部21D嵌入凸緣部16B上面的第二凹部內(nèi)。在使用變換環(huán)16時，單觸式固定機(jī)構(gòu)21的按壓部件21A抵抗螺旋彈簧21C的彈力，沿軸部件21B而被抬起，旋轉(zhuǎn)90°，如圖4A所示，配置成橫穿變換環(huán)16和板夾具20的邊界的狀態(tài)。在這種狀態(tài)下，一旦放開按壓部件21A，則如圖4B所示，按壓部件21A通過螺旋彈簧21C的作用力而向下移動。通過嵌入而使板夾具20被按壓在變換環(huán)16上固定。此外，如圖4B所示，在內(nèi)環(huán)18的下面，形成軸部件21B的上端部嵌入的凹部18A。
在將本實(shí)施方式的探針板17安裝在探針裝置10上時，首先，將探針板17安裝在圖3所示的板夾具20上，將板夾具20安裝在變換環(huán)16上。此時，板夾具20的伸出部20B以與變換環(huán)16的單觸式固定機(jī)構(gòu)21相對的方式定位。然后，抬起單觸式固定機(jī)構(gòu)21的按壓部件21A，旋轉(zhuǎn)90°，使突起部21D與凸緣部16B和伸出部20B的第一凹部21E、21F對正放開。按壓部件20A將探針板17固定在變換環(huán)16上。
下面，如圖3所示，對變換環(huán)16的定位孔16C和基體板夾具13的定位突起13D進(jìn)行定位。將變換環(huán)16安裝在基體板夾具13上。通過利用螺釘緊固兩者13、16，而將探針板安裝在基體板夾具13上。然后，如圖2所示，板夾具搬送機(jī)構(gòu)(圖未示出)將探針板搬送到夾持機(jī)構(gòu)12的正下方。如該圖箭頭所示，抬起探針板，將基體板夾具13的伸出部13C填入夾持機(jī)構(gòu)12中。夾持機(jī)構(gòu)12在上下方向定位，并且夾持伸出部13C而固定。這樣，完成探針板向探針裝置10的安裝。其間，將內(nèi)環(huán)18向插入環(huán)14進(jìn)行安裝。
如以上說明所示，根據(jù)本實(shí)施方式，由于在探針板17上具有直徑形成為比專用板夾具20的外徑大的基體板夾具13，以及在將探針板17安裝在該基體板夾具13上時，轉(zhuǎn)接板夾具20和基體板夾具13的連接的變換環(huán)16，所以即使探針板17的種類不同，也可以通過分別對應(yīng)于板夾具20的變換環(huán)16，而可靠地將探針板17安裝在基體板夾具13上，進(jìn)而可以將專用的探針板17安裝在多種測試器上，以提供檢查?；w板夾具13可以對應(yīng)于可接受范圍內(nèi)的尺寸的各種探針板。此外，關(guān)于大型的探針板，通過將基體板夾具13本身作為探針板的板夾具使用，也可以對應(yīng)于大型的探針板。
通過僅操作設(shè)置在變換環(huán)16上的單觸式固定機(jī)構(gòu)21的按壓部件21A，便可以通過單觸方式使探針板17在變換環(huán)16上進(jìn)行裝卸。通過此操作，可以在短時間內(nèi)使探針板17在基體板夾具13上進(jìn)行裝卸。
圖5～圖7是分別表示本發(fā)明其他實(shí)施方式的探針裝置主要部分的圖。本實(shí)施方式的探針裝置10，具有用于安裝與所述實(shí)施方式不同類型的探針的板夾具、變換環(huán)和內(nèi)環(huán)，除此以外，可以采用與所述實(shí)施方式的探針裝置相同的構(gòu)成。因此，使用與所述實(shí)施方式不同的板夾具、變換環(huán)和內(nèi)環(huán)。
本實(shí)施方式使用的探針板(圖未示出)，利用圖5和圖7A、B所示的板夾具120而安裝在探針裝置10上。如圖5所示，該板夾具120可以做成環(huán)狀結(jié)構(gòu)。從圖7A、B可以看出，板夾具120包括用于在背面承受探針板的外周邊緣部的承受部120A；從承受部120A的外周邊緣部向上方延伸的壁部120B；在壁部120B的上部在圓周方向隔開規(guī)定間隔而形成放射狀的多個(在本實(shí)施方式中是三個)伸出部120C；以及設(shè)置在壁部120B的下端面并且在與變換環(huán)116的定位中使用的兩個突起部120D。板夾具120在檢查時可以通過吸引力而固定在伸縮環(huán)(圖未示出)一側(cè)。兩個突起部120D可在圓周方向隔開180°而設(shè)置。
如圖5所示，變換環(huán)116可以形成為環(huán)形板。其內(nèi)徑是可以填入板夾具120的壁部120B的尺寸，可以做成與伸出部120C相配合的尺寸。在變換環(huán)116的外周面上部形成的凸緣部116B，與基體板夾具13的承受部13A相配合。在變換環(huán)116的內(nèi)周邊緣部可以形成兩個與板夾具120的突起部120D相對應(yīng)的定位用凹部116D。通過將突起部120D嵌入凹部116D，而使兩者116、120的位置一致。在變換環(huán)116上面的內(nèi)周邊緣部，在對應(yīng)板夾具120的伸出部120C的位置而設(shè)置有三個單觸式固定機(jī)構(gòu)121。
下面，參照圖6和圖7，對單觸式固定機(jī)構(gòu)121進(jìn)行詳細(xì)說明。單觸式固定機(jī)構(gòu)121具有按壓板夾具120的伸出部120C的按壓部件121A；以及貫通在按壓部件121A的一個端部形成的軸環(huán)(collar)、并且直立設(shè)置在變換環(huán)116內(nèi)周邊緣部上的軸部件121B。在按壓部件121A的軸環(huán)內(nèi)周面的中間左右，沿整個周邊而形成有突起。在該突起和變換環(huán)116的上面之間安裝有螺旋彈簧121C。螺旋彈簧始終保持向上方對按壓部件121A施加作用力。按壓部件121A與軸部件121B的凸緣部彈性接觸。在軸環(huán)外周面的兩個部位、在圓周方向相隔180°形成上下方向的槽(圖未示出)。如后面敘述的那樣，按壓部件121A的方向由這些槽所確定。
如圖6所示，在變換環(huán)116的內(nèi)周邊緣部，在與各軸部件121B相鄰的位置處設(shè)置有第一定位機(jī)構(gòu)122。如圖6B和圖7A、B所示，第一定位機(jī)構(gòu)122具有固定在變換環(huán)116的內(nèi)周邊緣部上的矩形塊體122A、以及球塞122B。球塞122B朝向塊體122A內(nèi)的變換環(huán)116的直徑方向而被埋設(shè)。通過球塞122B的前端嵌入按壓部件121A的軸環(huán)外周面的槽內(nèi)，來確定按壓部件121A的方向。因此，按壓部件121A僅可以沿著槽上下移動。
如圖6B和圖7A、B所示，內(nèi)環(huán)118可以設(shè)置三個第二定位機(jī)構(gòu)123。第二定位機(jī)構(gòu)123對應(yīng)于變換環(huán)116的單觸式固定機(jī)構(gòu)121而配置。第二定位機(jī)構(gòu)123對探針板的上下方向(Z方向)進(jìn)行定位。
如圖6A所示，第二定位機(jī)構(gòu)123可以形成為圓弧形。第二定位機(jī)構(gòu)123具有分別安裝在內(nèi)環(huán)118的上下兩個面上的一對扁桿(flat bar)123A、123B；彈性安裝在上下扁桿123A、123B之間的多個(本實(shí)施方式中為7個)螺旋彈簧123C；以及一對具有頭部的導(dǎo)桿123D，使下方的扁桿123B在兩端可上下自由移動地連接在內(nèi)環(huán)118上。上方的扁桿123A形成為比下方的扁桿123B短，可以在多個部位利用螺釘固定在內(nèi)環(huán)118的淺凹陷部118A中。由于探針板被吸引到伸縮環(huán)一側(cè)，所以根據(jù)對探針板的吸引力，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定螺旋彈簧123C的個數(shù)。
如圖6A和圖7A、B所示，在內(nèi)環(huán)118的凹陷部118A上，在內(nèi)環(huán)118的圓周方向以等間隔形成7個第一貫通孔118B。螺旋彈簧123C貫通這些貫通孔118B，彈性地安裝在上下扁桿123A、123B之間。在各自內(nèi)環(huán)118的凹陷部118A的圓周方向外側(cè)，分別形成第二貫通孔118C。導(dǎo)桿123D貫通這些貫通孔118C。導(dǎo)桿123D的上端通過墊圈123E而螺合(螺絲接合)在內(nèi)環(huán)118的第二貫通孔118C上。在各導(dǎo)桿123D的頭部和內(nèi)環(huán)118的下面之間形成間隙。在該間隙的間隔中，下方的扁桿123B抵抗螺旋彈簧123C的彈力而上下移動。在下方的扁桿123B上形成7個凹陷部，用于防止彈簧123C的位置偏離。
在將本實(shí)施方式中的探針板安裝在探針裝置10上時，首先，將探針板(圖未示出)安裝在圖5所示的板夾具120上，將板夾具安裝到變換環(huán)116上。以使板夾具120的突起部120D接合變換環(huán)116的凹部116D的方式，將板夾具120安裝到變換環(huán)116上。其結(jié)果，板夾具120的伸出部120C與變換環(huán)116的單觸式固定機(jī)構(gòu)121相對。抬起單觸式固定機(jī)構(gòu)121的按壓部件121A，通過旋轉(zhuǎn)，第一定位機(jī)構(gòu)122的球塞122B的前端從按壓部件121A的軸環(huán)的槽脫開。將按壓部件121A旋轉(zhuǎn)180°，如圖7A所示，將球塞122B的前端嵌入軸環(huán)的槽中，將按壓部件121A朝向變換環(huán)116的直徑方向定位后，將板夾具120固定在變換環(huán)116上。在此階段，按壓部件121A利用螺旋彈簧121C的作用力，而如圖7A所示那樣，成為從板夾具120的伸出部120C稍稍浮起的狀態(tài)。
如圖5所示，使變換環(huán)116的定位孔116C和基體板夾具13的定位突起13D位置一致。將變換環(huán)116安裝在基體板夾具13上，利用螺釘使兩者13、116緊固。接著，板夾具搬送機(jī)構(gòu)(圖未示出)將探針板搬送到夾持機(jī)構(gòu)12的正下方。如圖7A中的箭頭所示，抬起探針板，將基體板夾具13的伸出部13C填入到夾持機(jī)構(gòu)12中。夾持機(jī)構(gòu)12一邊進(jìn)行上下方向的定位，一邊夾持伸出部13C并進(jìn)行固定。
此時，如圖7B所示，單觸式固定機(jī)構(gòu)121的按壓部件121A與第二定位機(jī)構(gòu)123的下方的扁桿123B彈性接觸。通過按壓部件121A按壓板夾具120的伸出部120C，而使板夾具120固定在變換環(huán)116上。通過使基體板夾具13上升，來抵抗螺旋彈簧123C的彈力，抬起扁桿123B，使探針板在規(guī)定的Z位置上定位，將探針板安裝在探針裝置10上。在此期間，內(nèi)環(huán)118向插入環(huán)14進(jìn)行安裝。能夠以與安裝時相反的步驟將探針板取下。
如以上說明所示，按照本實(shí)施方式，測試器和探針板的種類即使改變，也可以通過變更對應(yīng)于測試器和探針板的內(nèi)環(huán)18和(或者)變換環(huán)16，而起到與所述實(shí)施方式同樣的作用和效果。
本發(fā)明不是限定于所述的實(shí)施方式，也可以根據(jù)測試器的種類，準(zhǔn)備多個內(nèi)環(huán)和變換環(huán)，使探針裝置對應(yīng)各種測試器。
工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明適用于探針裝置。
權(quán)利要求
1.一種具有測試器(T)、探針板(17)和保持該探針板(17)用的基體板夾具(13)的探針裝置(10)，其特征在于，該探針裝置(10)包括用于將該探針板(17)安裝在該基體板夾具(13)上的板夾具(20)；以轉(zhuǎn)接該板夾具(20)和該基體板夾具(13)之間的連接的方式而構(gòu)成的變換環(huán)(16)，其中，該變換環(huán)(16)是從多種變換環(huán)(16)中選擇出的適合該探針板(17)的變換環(huán)(16)；和構(gòu)成為可以接受該多種變換環(huán)(16)中的任意一種的基體板夾具(13)。
2.如權(quán)利要求1所述的探針裝置(10)，其特征在于該板夾具(20)在其周圍具有多個伸出部(20B)，該變換環(huán)(16)具有以固定該板夾具(20)的該多個伸出部(20B)的方式而構(gòu)成的多個單觸式固定機(jī)構(gòu)(21)。
3.如權(quán)利要求2所述的探針裝置(10)，其特征在于該單觸式固定機(jī)構(gòu)(21)具有按壓該伸出部(20B)的按壓部件(21A)、以及可自由旋轉(zhuǎn)地支撐該按壓部件的軸部件(21B)。
4.如權(quán)利要求3所述的探針裝置(10)，其特征在于該單觸式固定機(jī)構(gòu)(21)具有向下方對該按壓部件(21A)施加作用力的彈性部件(21C)。
5.如權(quán)利要求3所述的探針裝置(10)，其特征在于該單觸式固定機(jī)構(gòu)(21)具有確定該按壓部件(21A)的固定位置的定位裝置(21E、21F)。
6.如權(quán)利要求1所述的探針裝置(10)，其特征在于還具有用于電氣連接測試器(T)與探針板(17)的連接環(huán)(15)；以及用于將該連接環(huán)(15)安裝在插入環(huán)(14)上的內(nèi)環(huán)(18)，其中，所述內(nèi)環(huán)(18)，是從多種內(nèi)環(huán)(18)中選擇出的適合該連接環(huán)(15)的內(nèi)環(huán)，插入環(huán)(14)構(gòu)成為可以接受所述多種內(nèi)環(huán)中的任意一種。
7.如權(quán)利要求1所述的探針裝置，其特征在于所述內(nèi)環(huán)(18)具有定位機(jī)構(gòu)(123)，對所述各測試器(T)專用的探針板(17)的上下方向進(jìn)行定位。
全文摘要
本發(fā)明實(shí)施方式的探針裝置(10)包括與多種測試器用的伸縮環(huán)(15)和探針板(17)相對應(yīng)的插入環(huán)(14)和基體板夾具(13)?；w板夾具(13)的直徑形成為比探針板(17)用的板夾具(20)大。變換環(huán)(16)轉(zhuǎn)接該板夾具(20)和該基體板夾具(13)之間的連接。
文檔編號G01R1/073GK1906496SQ20058000160
公開日2007年1月31日 申請日期2005年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月19日
發(fā)明者野口政幸 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社