專利名稱：角速度傳感器及采用其的汽車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及角速度傳感器及應(yīng)用此傳感器的汽車。
背景技術(shù)：
圖11示出此種角速度傳感器的一例。在圖11中，振動(dòng)元件4中設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電極1、監(jiān)控電極2及檢測電極3。
驅(qū)動(dòng)電極1、檢測電極3及監(jiān)控電極2分別與驅(qū)動(dòng)電路5的輸出側(cè)、檢測電路6的輸入側(cè)及監(jiān)控電路7的輸入側(cè)相連接。
監(jiān)控電路7的輸出側(cè)與整流電路8的輸入側(cè)連接，而整流電路8將從監(jiān)控電路7所輸入的信號(hào)變?yōu)檎餍盘?hào)輸出。整流電路8的輸出側(cè)與平滑電路9的輸入側(cè)連接，平滑電路9將從整流電路8所輸入的信號(hào)變?yōu)槠交盘?hào)輸出。監(jiān)控電路7的輸出側(cè)也與振動(dòng)控制電路10的輸入側(cè)連接，而振動(dòng)控制電路10的輸出側(cè)與驅(qū)動(dòng)電路5的輸入側(cè)連接。平滑電路9的輸出信號(hào)作為增益控制信號(hào)輸入到振動(dòng)控制電路10。
平滑電路9，具有第1電阻16、第2電容器17及第1基準(zhǔn)電壓14。整流電路8的輸出側(cè)與第1電阻16的一個(gè)端子連接，第1電阻16的另一個(gè)端子與第2電容器17的一個(gè)端子及振動(dòng)控制電路10的增益控制信號(hào)的輸入側(cè)連接。第2電容器17的另一個(gè)端子與第1基準(zhǔn)電壓14連接。
整流電路8的輸出信號(hào)，如設(shè)第1電阻16的電阻值為R1、第2電容器17的電容值為C2，則根據(jù)(式1)所示的平滑時(shí)間常數(shù)τ1進(jìn)行平滑。
τ1＝R1·C2 (式1)平滑輸出信號(hào)作為增益控制信號(hào)輸入到振動(dòng)控制電路10，由振動(dòng)控制電路10，將其控制為與增益控制信號(hào)的電平，即與監(jiān)控電極2產(chǎn)生的振動(dòng)元件4的振幅幅度相應(yīng)的增益，并向驅(qū)動(dòng)電路5供給輸出信號(hào)。
如設(shè)振動(dòng)控制電路10的基準(zhǔn)電壓為Vref，作為平滑電路9的輸出信號(hào)的增益控制信號(hào)為Vc，振動(dòng)控制電路10的放大系數(shù)為A，則振動(dòng)控制電路10的增益Av可由(式2)表示。
Av＝A·(Vfef-Vc) (式2)在振動(dòng)元件4的傳輸阻抗，比如，由于溫度變化等干擾條件而增加時(shí)，相對(duì)從驅(qū)動(dòng)電路5供給驅(qū)動(dòng)電極1的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，振動(dòng)元件4的驅(qū)動(dòng)振幅減小。與此同時(shí)，與在監(jiān)控電極2中所產(chǎn)生的振動(dòng)元件4的振動(dòng)幅度相應(yīng)的電荷及監(jiān)控電路7的輸出電壓以及整流電路8的輸出信號(hào)都減小，作為平滑電路9的輸出信號(hào)的增益控制信號(hào)Vc減小。此時(shí)，根據(jù)(式2)，振動(dòng)控制電路10的增益Av增加，振動(dòng)控制電路10的輸出信號(hào)、驅(qū)動(dòng)電路5的輸出信號(hào)以及施加于驅(qū)動(dòng)電極1上的電壓都增加，因此振動(dòng)元件4的驅(qū)動(dòng)振幅增加。結(jié)果，通過對(duì)振動(dòng)元件4的控制使其返回到原來的振幅幅度，即使是在溫度變化等這樣的干擾條件下也可以得到穩(wěn)定的傳感器輸出。
另外，作為與本發(fā)明申請(qǐng)相關(guān)聯(lián)的先有技術(shù)，比如，在日本公開特許、特開平9-281138號(hào)公報(bào)中予以介紹。
然而，在上述現(xiàn)有的構(gòu)成中，必須為平滑電路準(zhǔn)備常數(shù)大的電阻及電容器。特別是在想由IC(集成電路)構(gòu)成平滑電路時(shí)，電阻和電容器占據(jù)的占有面積變大，妨礙傳感器的小型化及IC化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)有的問題而完成的發(fā)明，其目的在于在提供一種具有平滑時(shí)間常數(shù)大的平滑電路的角速度傳感器的同時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)傳感器的小型化、IC化。
本發(fā)明的角速度傳感器，作為平滑電路，其構(gòu)成包括輸入端子與整流電路的輸出側(cè)相連接的第1開關(guān)；一個(gè)端子與第1開關(guān)的輸出端子相連接的第1電容器；以及輸入端子與第1開關(guān)的輸出端子相連接，輸出端子與振動(dòng)控制電路的輸入側(cè)相連接的第2開關(guān)。另外，其構(gòu)成還包括與第1電容器的另一個(gè)端子相連接的第1基準(zhǔn)電壓；一個(gè)端子與第2開關(guān)的輸出端子相連接，另一個(gè)端子與第1基準(zhǔn)電壓相連接的第2電容器；以及用來控制第1開關(guān)及第2開關(guān)的導(dǎo)通、斷開的控制信號(hào)供給單元。
采用這種構(gòu)成，即使第1電容器和第2電容器的電容值小，通過減小控制信號(hào)供給單元的切換用控制信號(hào)的頻率fclk，也可以等效地設(shè)定大的平滑時(shí)間常數(shù)。特別是在IC中形成電容器的場合可以減小其占有面積。
另外，本發(fā)明的角速度傳感器的結(jié)構(gòu)是，將監(jiān)控電路的輸出信號(hào)輸入到控制信號(hào)供給單元作為其源信號(hào)。結(jié)果，因?yàn)闊o須新設(shè)置控制信號(hào)發(fā)生源，可以在實(shí)現(xiàn)傳感器小型化的同時(shí)，因?yàn)榭梢砸院啽愕碾娐方Y(jié)構(gòu)生成控制信號(hào)，所以可以向控制信號(hào)供給單元供給穩(wěn)定的控制信號(hào)。
另外，本發(fā)明的角速度傳感器的結(jié)構(gòu)是，將驅(qū)動(dòng)電路的輸出信號(hào)輸入到控制信號(hào)供給單元作為其源信號(hào)。結(jié)果，由于即使是不新設(shè)置控制信號(hào)源也可，故可以向控制信號(hào)供給單元供給穩(wěn)定的控制信號(hào)。
另外，本發(fā)明的角速度傳感器的結(jié)構(gòu)是，將振動(dòng)控制電路的輸出信號(hào)輸入到控制信號(hào)供給單元作為其源信號(hào)。
結(jié)果，即使是不新設(shè)置控制信號(hào)源，也可以向控制信號(hào)供給單元供給穩(wěn)定的控制信號(hào)。
另外，本發(fā)明的角速度傳感器的結(jié)構(gòu)是，將振蕩電路的輸出信號(hào)輸入到控制信號(hào)供給單元作為其源信號(hào)。結(jié)果，就可以向控制信號(hào)供給單元供給不取決于振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)頻率的穩(wěn)定的控制信號(hào)。
另外，本發(fā)明的角速度傳感器的結(jié)構(gòu)是，將從傳感器外部的信號(hào)發(fā)生單元所施加的交流信號(hào)輸入到控制信號(hào)供給單元作為其源信號(hào)。結(jié)果，就可以向控制信號(hào)供給單元供給不取決于振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)頻率的穩(wěn)定的控制信號(hào)。
此外，本發(fā)明的汽車的結(jié)構(gòu)是，將來自上述角速度傳感器的檢測輸出，供給制動(dòng)系統(tǒng)。結(jié)果，可以執(zhí)行與利用小型化、IC化的角速度傳感器所檢測到的角速度信息可靠地相對(duì)應(yīng)的制動(dòng)控制。
此外，本發(fā)明的汽車的結(jié)構(gòu)是，將來自上述角速度傳感器的檢測輸出，供給氣囊(air bag)系統(tǒng)。結(jié)果，可以執(zhí)行與利用小型化、IC化的角速度傳感器所檢測到的角速度信息可靠地相對(duì)應(yīng)的合適的氣囊控制。


圖1為本發(fā)明的角速度傳感器的實(shí)施方式的電路圖。
圖2為示出本發(fā)明的角速度傳感器中所采用的平滑電路及控制信號(hào)供給單元的一例的電路圖。
圖3為本發(fā)明的角速度傳感器中采用的監(jiān)控電路的輸出信號(hào)圖。
圖4為本發(fā)明的角速度傳感器中采用的控制信號(hào)供給單元的輸出信號(hào)圖。
圖5為本發(fā)明的另一角速度傳感器的電路圖。
圖6為另一角速度傳感器的電路圖。
圖7為另一角速度傳感器的電路圖。
圖8為另一角速度傳感器的電路圖。
圖9為用來說明供給有來自本發(fā)明的角速度傳感器的檢測輸出的制動(dòng)系統(tǒng)的汽車的模式圖。
圖10為用來說明供給有來自本發(fā)明的角速度傳感器的檢測輸出的氣囊系統(tǒng)的汽車的模式圖。
圖11為說明現(xiàn)有的角速度傳感器的一例的電路圖。
附圖標(biāo)記說明1驅(qū)動(dòng)電極2監(jiān)控電極3檢測電極4振動(dòng)元件5驅(qū)動(dòng)電路6檢測電路7監(jiān)控電路8整流電路
9平滑電路10振動(dòng)控制電路11第1開關(guān)12第1電容器13第2開關(guān)14第1基準(zhǔn)電壓15控制信號(hào)供給單元16第1電阻17第2電容器18振蕩電路19傳感器外部的信號(hào)供給單元20第1P溝道晶體管21第1N溝道晶體管22第2P溝道晶體管23第2N溝道晶體管2324反相器25比較器26第2基準(zhǔn)電壓27車體28輪胎29制動(dòng)系統(tǒng)30角速度傳感器31座席32氣囊系統(tǒng)具體實(shí)施方式
下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。在圖1中，振動(dòng)元件4具有驅(qū)動(dòng)電極1、監(jiān)控電極2及檢測電極3。驅(qū)動(dòng)電極1與驅(qū)動(dòng)電路5的輸出側(cè)連接，檢測電極3與檢測電路6的輸入側(cè)連接，而監(jiān)控電極2與監(jiān)控電路7的輸入側(cè)連接。監(jiān)控電路7的輸出側(cè)與整流電路8的輸入側(cè)連接，而整流電路8將從監(jiān)控電路7所輸入的信號(hào)變?yōu)檎餍盘?hào)輸出。整流電路8的輸出側(cè)與平滑電路9的輸入側(cè)連接，平滑電路9將從整流電路8所輸入的信號(hào)變?yōu)槠交盘?hào)輸出。監(jiān)控電路7的輸出側(cè)也與振動(dòng)控制電路10的輸入側(cè)連接，而振動(dòng)控制電路10的輸出側(cè)與驅(qū)動(dòng)電路5的輸入側(cè)連接。平滑電路9的輸出信號(hào)作為增益控制信號(hào)Vc輸入到振動(dòng)控制電路10。
平滑電路9具有第1開關(guān)11、第1電容器12、第2開關(guān)13、第1基準(zhǔn)電壓14及第2電容器17。另外，第1開關(guān)11的一個(gè)端子與整流電路8的輸出側(cè)連接，而另一個(gè)端子與第1電容器12的一個(gè)端子及第2開關(guān)13的一個(gè)端子連接。另外，第1電容器12的另一個(gè)端子與第1基準(zhǔn)電壓14連接，而第2開關(guān)13的另一個(gè)端子與第2電容器17的一個(gè)端子及振動(dòng)控制電路10的輸入側(cè)連接。第2電容器17的另一個(gè)端子與第2電容器12的另一個(gè)端子共連，其共用連接點(diǎn)與第1基準(zhǔn)電壓14連接。
另外，控制信號(hào)供給單元15供給用來對(duì)第1開關(guān)11及第2開關(guān)13進(jìn)行導(dǎo)通、斷開控制的控制信號(hào)。就是說，開關(guān)11及開關(guān)13由控制信號(hào)供給單元15控制。
圖2示出本發(fā)明的平滑電路9及控制信號(hào)供給單元15的一實(shí)施例。與圖1相同的部分賦予相同的符號(hào)。第1開關(guān)11由第1P溝道晶體管20及第1N溝道晶體管21構(gòu)成。另外，整流電路8的輸出側(cè)與第1P溝道晶體管20的源及第1N溝道晶體管21的源連接。第1P溝道晶體管20的漏及第1N溝道晶體管21的漏與第1電容器12的一個(gè)端子連接。第1電容器12的另一個(gè)端子與第1基準(zhǔn)電位14連接。
第2開關(guān)13由第2P溝道晶體管22及第2N溝道晶體管23構(gòu)成。第1電容器12的一個(gè)端子與第2P溝道晶體管22的源及第2N溝道晶體管23的源連接。第2P溝道晶體管22的漏及第2N溝道晶體管23的漏與振動(dòng)控制電路10的輸入側(cè)及第2電容器17的一個(gè)端子連接。第2電容器17的另一個(gè)端子與第1電容器14同樣地與第1基準(zhǔn)電位14連接。
控制信號(hào)供給單元15具有比較器25及第2基準(zhǔn)電壓26，比較器25的正輸入端子和負(fù)輸入端子分別與監(jiān)控電路7的輸出及第2基準(zhǔn)電 26相連接。
第1N溝道晶體管21的柵及第2P溝道晶體管22的柵與作為控制信號(hào)供給單元15的輸出端子的比較器25的輸出側(cè)連接。另外，控制信號(hào)供給單元15的輸出輸入到反相器24，反相器24的輸出與第1P溝道晶體管20的柵及第2N溝道晶體管23的柵連接。
圖3示出監(jiān)控電路7的輸出信號(hào)。縱軸表示電壓的大小，橫軸表示周期(時(shí)間)，即表示1/fclk。另外，其中示出以提供給比較器25的負(fù)輸入端子的第2基準(zhǔn)電壓26為基準(zhǔn)的頻率fclk的交流信號(hào)。
圖4示出控制信號(hào)供給單元15的輸出信號(hào)。其中的縱軸與橫軸的標(biāo)度與圖3一樣，并且同樣示出以第2基準(zhǔn)電壓26為基準(zhǔn)的頻率fclk的矩形波信號(hào)。
將圖4示出的矩形波信號(hào)用作開關(guān)切換用控制信號(hào)，在信號(hào)的輸出電平為“高”的前半周期T1中，第1P溝道晶體管20及第1N溝道晶體管21為導(dǎo)通，第2P溝道晶體管22及第2N溝道晶體管23為截止。此時(shí)如設(shè)整流電路8的輸出電壓為Vi，第1電容器12的電容值為C1，則對(duì)第1電容器12的充電電荷量Q1可以以(式3)表示。
Q1＝C1·Vi (式3)另外，在切換用控制信號(hào)的輸出電平為“低”的后半周期T2中，第1P溝道晶體管20及第1N溝道晶體管21為截止，第2P溝道晶體管22及第2N溝道晶體管23為導(dǎo)通。此時(shí)如設(shè)第1電容器12的電容值為C1，輸入到振動(dòng)控制電路10的電壓為V0，則從第1電容器12放電的電荷量Q2可以以(式4)表示。
Q2＝C1·V0 (式4)因此，在切換用控制信號(hào)的1個(gè)周期T中，從整流電路8的輸出側(cè)向振動(dòng)控制電路10的輸入側(cè)移動(dòng)的電荷量Q可以以(式5)表示。
Q＝Q1-Q2＝C1·(Vi-V0)(式5)
另外，每1秒的電荷移動(dòng)量，即電流量I，可以以(式6)表示。
I＝Q·fclk＝C1·(vi-V0)·fclk (式6)此外，在已經(jīng)描述過的圖11中，連接到整流電路8的輸出側(cè)和振動(dòng)控制電路10的輸入側(cè)之間的第1電阻16的電阻值R1可以以(式7)表示。
R1＝(Vi-V0)/I (式7)第1開關(guān)11、第1電容器12及第2開關(guān)13的合成等效電阻R，可以認(rèn)為與圖11所示的第1電阻16的電阻值R1相等。所以，參照(式6)及(式7)，等效電阻R可以以(式8)表示。
R＝1/(C1·fclk) (式8)另外，此時(shí)的平滑時(shí)間常數(shù)τ2可以以(式9)表示。
τ2＝R·C2＝C2/(C1·fclk) (式9)從(式9)可知，即使第1電容器12及第2電容器17的電容值小，通過減小控制信號(hào)供給單元15的切換用控制信號(hào)的頻率fclk，也可以等效地設(shè)定大的平滑時(shí)間常數(shù)。特別是在IC中形成電容器的場合，由于可以減小其占有面積，所以可以在傳感器小型化、IC化上得到很大的效果。
另外，在本實(shí)施方式中，說明的是使用監(jiān)控電路7的輸出信號(hào)作為控制信號(hào)供給單元15的源信號(hào)的示例。然而，并不限定于此示例。比如，如圖5所示，使用驅(qū)動(dòng)電路5的輸出信號(hào)作為控制信號(hào)供給單元15的源信號(hào)也可以得到同樣的效果。
另外，如圖6所示，在使用振動(dòng)控制電路10的輸出信號(hào)作為控制信號(hào)供給單元15的源信號(hào)時(shí)也可以得到同樣的效果。另外，如圖7所示，在使用振蕩電路18的輸出信號(hào)作為控制信號(hào)供給單元15的源信號(hào)時(shí)也可以得到同樣的效果。
另外，如圖8所示，在使用從傳感器外部的信號(hào)供給裝置19施加的交流信號(hào)作為控制信號(hào)供給單元15的源信號(hào)時(shí)也可以得到同樣的效果。
另外，第1開關(guān)11、第2開關(guān)13是由MIS型晶體管構(gòu)成的，但也可以由雙極型晶體管構(gòu)成。另外，也可以將這些晶體管組合而構(gòu)成。另外，在上述實(shí)施方式中，為切換第1開關(guān)11、第2開關(guān)13的導(dǎo)通、斷開是利用反相器24，但只要是可以使信號(hào)極性反相的器件就可以。另外，反相器24并非是必需的結(jié)構(gòu)要件，通過對(duì)構(gòu)成第1開關(guān)11及第2開關(guān)13的晶體管的極性進(jìn)行組合，可以不需要反相器24。
另外，圖9為用來說明供給有來自本發(fā)明的角速度傳感器的檢測輸出的制動(dòng)系統(tǒng)的汽車的模式圖。具體示出將角速度傳感器30的檢測輸出供給汽車的制動(dòng)系統(tǒng)29的情況。其構(gòu)成包括車體27、對(duì)車體27進(jìn)行支持的多個(gè)車輪28、設(shè)置于各車輪28上的制動(dòng)系統(tǒng)29以及向該制動(dòng)系統(tǒng)29供給檢測輸出的角速度傳感器30，與利用小型化、IC化的角速度傳感器30所檢出的角速度信息相對(duì)應(yīng)，可以利用制動(dòng)系統(tǒng)29進(jìn)行合適的制動(dòng)控制。
另外，圖10為用來說明供給有來自本發(fā)明的角速度傳感器的檢測輸出的氣囊系統(tǒng)的汽車的模式圖。具體示出將角速度傳感器30的檢測輸出供給汽車的氣囊系統(tǒng)32的情況。其構(gòu)成包括設(shè)置于車體27中的至少一個(gè)座席31、設(shè)置在該座席31附近的氣囊系統(tǒng)32以及向此氣囊系統(tǒng)32供給檢測輸出的角速度傳感器30，與利用小型化、IC化的角速度傳感器30所檢出的角速度信息相對(duì)應(yīng)，可以利用氣囊系統(tǒng)32進(jìn)行合適的氣囊控制。
本發(fā)明的角速度傳感器及應(yīng)用此傳感器的汽車，在角速度傳感器的小型化、IC化方面具有很大的效果。特別是作為需要系統(tǒng)小型化的汽車的控制系統(tǒng)用的角速度傳感器等是有用的。
權(quán)利要求
1.一種角速度傳感器，其包括具有驅(qū)動(dòng)電極、監(jiān)控電極及檢測電極的振動(dòng)元件；輸出側(cè)與該振動(dòng)元件的驅(qū)動(dòng)電極相連接的驅(qū)動(dòng)電路；輸入側(cè)與上述振動(dòng)元件的檢測電極相連接的檢測電路；輸入側(cè)與上述振動(dòng)元件的監(jiān)控電極相連接的監(jiān)控電路；對(duì)該監(jiān)控電路的輸出信號(hào)進(jìn)行整流的整流電路；將該整流電路的輸出信號(hào)進(jìn)行平滑而得到平滑信號(hào)的平滑電路；以及輸入上述監(jiān)控電路的輸出信號(hào)，利用上述平滑電路的輸出信號(hào)進(jìn)行增益控制，將該輸出信號(hào)輸入到上述驅(qū)動(dòng)電路的振動(dòng)控制電路；上述平滑電路具有輸入端子與上述整流電路的輸出側(cè)連接的第1開關(guān)；一個(gè)端子與該第1開關(guān)的輸出端子相連接的第1電容器；輸入端子與上述第1開關(guān)的輸出端子相連接，輸出端子與上述振動(dòng)控制電路的輸入側(cè)相連接的第2開關(guān)；與上述第1電容器的另一個(gè)端子相連接的第1基準(zhǔn)電壓；一個(gè)端子與上述第2開關(guān)的輸出端子相連接，另一個(gè)端子與上述第1基準(zhǔn)電壓相連接的第2電容器；以及供給用來對(duì)上述第1開關(guān)及上述第2開關(guān)進(jìn)行導(dǎo)通、斷開控制的信號(hào)的控制信號(hào)供給單元。
2.如權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其中，將監(jiān)控電路的輸出信號(hào)作為其源信號(hào)輸入到上述控制信號(hào)供給單元。
3.如權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其中，將驅(qū)動(dòng)電路的輸出信號(hào)作為其源信號(hào)輸入到上述控制信號(hào)供給單元。
4.如權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其中，將振動(dòng)控制電路的輸出信號(hào)作為其源信號(hào)輸入到上述控制信號(hào)供給單元。
5.如權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其中，將振蕩電路的輸出信號(hào)作為其源信號(hào)輸入到上述控制信號(hào)供給單元。
6.如權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其中，將從傳感器外部的信號(hào)發(fā)生單元所施加的交流信號(hào)作為其源信號(hào)輸入到上述控制信號(hào)供給單元。
7.一種汽車，其包括車體、對(duì)該車體進(jìn)行支持的多個(gè)車輪以及設(shè)置于各車輪上的制動(dòng)系統(tǒng)，向制動(dòng)系統(tǒng)供給來自如權(quán)利要求1至6中的任何一項(xiàng)所述的角速度傳感器的檢測輸出。
8.一種汽車，其包括車體、設(shè)置于該車體中的至少一個(gè)座席以及設(shè)置在座席附近的氣囊系統(tǒng)，向氣囊系統(tǒng)供給來自如權(quán)利要求1至6中的任何一項(xiàng)所述的角速度傳感器的檢測輸出。
全文摘要
可提供一種具有平滑時(shí)間常數(shù)大的平滑電路的可以實(shí)現(xiàn)傳感器的小型化、IC化的角速度傳感器。構(gòu)成此角速度傳感器的平滑電路(9)包括第1開關(guān)(11)、第1電容器(12)、第2開關(guān)(13)、第2電容器(17)及控制信號(hào)供給單元(15)?？刂菩盘?hào)供給單元(15)供給用來對(duì)第1開關(guān)(11)及第2開關(guān)(13)進(jìn)行導(dǎo)通、斷開控制的信號(hào)。采用這種構(gòu)成，即使第1電容器(12)和第2電容器(17)的電容值小，如果減小控制信號(hào)供給單元(15)的切換用控制信號(hào)的頻率，也可以等效地設(shè)定大的平滑時(shí)間常數(shù)。因此，特別是即使在IC中形成電容器的場合也可以減小其占有面積，因此可以實(shí)現(xiàn)角速度傳感器的小型化、IC化。
文檔編號(hào)G01C19/56GK1777789SQ20058000002
公開日2006年5月24日 申請(qǐng)日期2005年2月3日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月16日
發(fā)明者黑田啟介, 植村猛 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社