專利名稱：測(cè)試裝置、測(cè)試裝置的程式、測(cè)試圖案記錄媒體以及測(cè)試裝置的控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)試裝置、測(cè)試裝置的程式、測(cè)試圖案記錄媒體以及測(cè)試裝置的控制方法。
在文獻(xiàn)參考可被接受的國(guó)家，下述申請(qǐng)案的記載內(nèi)容也一并列入本申請(qǐng)案的參考內(nèi)容，做為本申請(qǐng)案的一部分。
日本專利特愿2003-069833申請(qǐng)日平成15年3月14日背景技術(shù)習(xí)知以來，在測(cè)試被測(cè)試元件的測(cè)試裝置中，一般所采用的方式是測(cè)試裝置的控制處理器取得使用于被測(cè)試元件的測(cè)試圖案檔案，再提供給測(cè)試圖案產(chǎn)生器。
近年來，隨著半導(dǎo)體元件積集度的提高，測(cè)試圖案檔案也大容量化。接著，隨著測(cè)試圖案檔案的大容量化，控制處理器取得使用于被測(cè)試元件的測(cè)試圖案檔案后再提供給測(cè)試圖案產(chǎn)生器的時(shí)間也增加，這會(huì)妨礙到半導(dǎo)體元件的測(cè)試的高速化。
此即本發(fā)明所要解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，為了達(dá)成上數(shù)目的，依據(jù)本發(fā)明的第一型態(tài)，提出一種測(cè)試裝置，用以測(cè)試被測(cè)試元件，其中使用于被測(cè)試元件的測(cè)試的測(cè)試圖案檔案是包括多數(shù)個(gè)分割圖案記錄區(qū)域，以記錄多數(shù)個(gè)分割圖案，該些分割圖案是分割用來測(cè)試被測(cè)試元件的測(cè)試圖案。測(cè)試裝置包括多數(shù)個(gè)變換處理部，彼此并行地變換在互相不同的該些分割圖案記錄區(qū)域所記錄的該些分割圖案；以及測(cè)試圖案產(chǎn)生器，用以供應(yīng)被該些變換處理部所變換的該測(cè)試圖案給該被測(cè)試元件。
前述該些分割圖案記錄區(qū)域是壓縮再記錄該些分割圖案，該些變換處理部是藉由彼此并行還原互相不同的該些分割圖案記錄區(qū)域所記錄、壓縮的該些分割圖案來進(jìn)行變換。
此外，被還原的各該些分割圖案包括應(yīng)提供給該測(cè)試圖案產(chǎn)生器的一測(cè)試資料(資料即為數(shù)據(jù)，以下均稱為資料)，以及應(yīng)儲(chǔ)存該測(cè)試圖案資料的顯示該測(cè)試圖案產(chǎn)生器內(nèi)的一位址(位址即為地址，以下均稱為位址)的一測(cè)試圖案位址；該測(cè)試裝置更包括一分割圖案供應(yīng)部，用以將被該些變換處理部還原的該些分割圖案所包括的該測(cè)試圖案資料，儲(chǔ)存到該測(cè)試圖案產(chǎn)生器中的對(duì)應(yīng)該測(cè)試圖案資料的該測(cè)試圖案位址。
上述測(cè)試裝置包括多數(shù)個(gè)該測(cè)試圖案產(chǎn)生器，被還原的各該些分割圖案更包括測(cè)試圖案產(chǎn)生器識(shí)別資訊，以指定應(yīng)儲(chǔ)存該測(cè)試圖案資料的其中之一該測(cè)試圖案產(chǎn)生器，其中分割圖案供應(yīng)部是將被該些變換處理部還原的該些分割圖案所包括的該測(cè)試圖案資料，儲(chǔ)存到對(duì)應(yīng)該測(cè)試圖案資料的該測(cè)試圖案產(chǎn)生器識(shí)別資訊所指定的其中之一該測(cè)試圖案產(chǎn)生器中的該測(cè)試圖案位址所指示的位置。
本發(fā)明的測(cè)試裝置可以更包括中繼部，用以中繼記憶該測(cè)試圖案檔案的一記憶裝置與該些變換處理部之間的通訊，其中該中繼部與該些變換處理部之間分別所設(shè)置的多數(shù)個(gè)通訊路的每一個(gè)，是低于該記憶裝置與該中繼部之間的通訊路的通訊量。
前述測(cè)試裝置中，測(cè)試圖案檔案可以更包括儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域，用以記錄在該測(cè)試圖案檔案中的各該些分割圖案的一儲(chǔ)存位置。其中之一該變換處理部包括一儲(chǔ)存位置選擇部，其依據(jù)該儲(chǔ)存位置，選擇其他該些變換處理部應(yīng)還原的該些分割圖案的該些儲(chǔ)存位置。其他各該些變換處理部是還原在該測(cè)試圖案檔案中的該儲(chǔ)存位置選擇部所選擇的該儲(chǔ)存位置所記錄的該分割圖案。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第二型態(tài)，本發(fā)明提出一種測(cè)試圖案記錄媒體，記錄測(cè)試圖案，測(cè)試圖案使用于被測(cè)試元件的測(cè)試。該記錄媒體包括多數(shù)個(gè)壓縮圖案記錄區(qū)域，用以壓縮、記錄將測(cè)試該被測(cè)試元件的一測(cè)試圖案加以分割的多數(shù)個(gè)分割圖案；以及儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域，用以記錄在該測(cè)試圖案檔案中的各該些分割圖案的一儲(chǔ)存位置。
前述測(cè)試圖案記錄媒體中的各該些分割圖案可以包括應(yīng)提供給一測(cè)試圖案產(chǎn)生器的一測(cè)試資料，以及應(yīng)儲(chǔ)存該測(cè)試圖案資料的顯示該測(cè)試圖案產(chǎn)生器內(nèi)的位址的測(cè)試圖案位址。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第三型態(tài)，本發(fā)明提出一種測(cè)試裝置用程式，用以測(cè)試被測(cè)試元件，其中使用于被測(cè)試元件的測(cè)試的測(cè)試圖案檔案包括多數(shù)個(gè)分割圖案記錄區(qū)域，以記錄多數(shù)個(gè)分割圖案，該些分割圖案是分割用來測(cè)試該被測(cè)試元件的測(cè)試圖案，以及儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域，用以記錄各該些分割圖案的儲(chǔ)存位置。該測(cè)試裝置用程式是使該測(cè)試裝置包括功能儲(chǔ)存位置選擇部，依據(jù)該儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域，多數(shù)地選擇彼此互異的該些分割圖案記錄區(qū)域所記錄的各該些分割圖案的一儲(chǔ)存位置；以及多數(shù)個(gè)變換處理部，分別彼此并行地變換在該測(cè)試圖案檔案中的被該儲(chǔ)存位置選擇部所選擇的該儲(chǔ)存位置所記錄的該分割圖案。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第四型態(tài)，本發(fā)明提出一種控制方法，以控制用于測(cè)試被測(cè)試元件的測(cè)試裝置。使用于該被測(cè)試元件的測(cè)試的測(cè)試圖案檔案是包括多數(shù)個(gè)分割圖案記錄區(qū)域，以記錄多數(shù)個(gè)分割圖案，該些分割圖案是分割用來測(cè)試該被測(cè)試元件的測(cè)試圖案。該控制方法包括一變換步驟，并行地變換在互相不同的該些分割圖案記錄區(qū)域所記錄的該些分割圖案；以及測(cè)試圖案產(chǎn)生步驟，用以供應(yīng)被變換的該測(cè)試圖案給該被測(cè)試元件。
經(jīng)由上述可知，本發(fā)明是有關(guān)于一種測(cè)試裝置、測(cè)試裝置的程式、測(cè)試圖案記錄媒體以及測(cè)試裝置的控制方法。該測(cè)試裝置用以測(cè)試被測(cè)試元件，其中使用于被測(cè)試元件的測(cè)試的測(cè)試圖案檔案是包括多數(shù)個(gè)分割圖案記錄區(qū)域，以記錄多數(shù)個(gè)分割圖案，該些分割圖案是分割用來測(cè)試該被測(cè)試元件的測(cè)試圖案。前述測(cè)試裝置具備多數(shù)個(gè)變換處理部，彼此并行地變換在互相不同的該些分割圖案記錄區(qū)域所記錄的該些分割圖案；以及測(cè)試圖案產(chǎn)生器，用以供應(yīng)被該些變換處理部所變換的該測(cè)試圖案給被測(cè)試元件。
上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并非列舉本發(fā)明的所有必要特征，從此些特征群的次組合也為本發(fā)明的范圍。并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。


圖1繪示本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)試裝置10。
圖2繪示本實(shí)施例的測(cè)試圖案檔案50的檔案結(jié)構(gòu)。
圖3繪示本實(shí)施例的壓縮圖案記錄區(qū)域200的資料結(jié)構(gòu)。
圖4繪示本實(shí)施例的測(cè)試裝置的處理流程。
圖5繪示本發(fā)明實(shí)施例的還原處理部110的硬件架構(gòu)的例子。
10測(cè)試裝置 20被測(cè)試元件30檔案伺服器 40測(cè)試圖案儲(chǔ)存部50測(cè)試圖案 60計(jì)算機(jī)100中繼部 110a～b還原處理部120分割圖案供應(yīng)部 130測(cè)試圖案產(chǎn)生器140儲(chǔ)存位置選擇部 150還原部160外部通訊路 170內(nèi)部通訊路200壓縮圖案記錄區(qū)域210儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域220分割圖案指標(biāo)300測(cè)試圖案元件310測(cè)試圖案資料320測(cè)試圖案位址
330測(cè)試圖案產(chǎn)生器ID 500CPU510ROM520RAM530通訊介面 535分割圖案供應(yīng)介面540硬碟機(jī) 550軟碟機(jī)560CD-ROM光碟機(jī) 590軟碟595CD-ROM光碟片具體實(shí)施方式
為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的測(cè)試裝置、測(cè)試裝置的程式、測(cè)試圖案記錄媒體以及測(cè)試裝置的控制方法其具體實(shí)施方式
、結(jié)構(gòu)、方法、步驟、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
接著，以發(fā)明的實(shí)施例來說明本發(fā)明，但是以下的實(shí)施型態(tài)并非用來限制本發(fā)明的申請(qǐng)專利范圍，實(shí)施例中所說明的特征的全部組合并非限定為本發(fā)明的必須解決手段。
圖1繪示本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)試裝置10。測(cè)試裝置10連接到被測(cè)試元件20以及檔案伺服器30，并使用連接到檔案伺服器30的測(cè)試圖案儲(chǔ)存部40內(nèi)所儲(chǔ)存的測(cè)試圖案50，對(duì)一或多數(shù)個(gè)測(cè)試元件20進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試裝置10的目的是藉由分割且并列地變換測(cè)試圖案檔案50，來使用大容量的測(cè)試圖案檔案50，來更有效率地進(jìn)行測(cè)試。做為本實(shí)施例測(cè)試裝置10的“變換”的例子，分割壓縮的測(cè)試圖案檔案50且并列地進(jìn)行“復(fù)原”來進(jìn)行變換。
被測(cè)試元件20為做為測(cè)試裝置10的測(cè)試對(duì)象的半導(dǎo)體元件。檔案伺服器30連接到通訊網(wǎng)路(網(wǎng)路即為網(wǎng)絡(luò)，以下均稱為網(wǎng)絡(luò))，并提供測(cè)試圖案檔案50給測(cè)試裝置10。測(cè)試圖案儲(chǔ)存部40連接到檔案伺服器30，并儲(chǔ)存測(cè)試圖案檔案50。本實(shí)施例的測(cè)試圖案儲(chǔ)存部40為測(cè)試圖案記錄媒體的一個(gè)例子。測(cè)試圖案檔案50為使用于被測(cè)試元件20的測(cè)試的檔案。測(cè)試圖案檔案50包括多數(shù)個(gè)壓縮圖案記錄區(qū)域與儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域，其中該些壓縮圖案記錄區(qū)域是分別獨(dú)立地壓縮且記錄著將用來測(cè)試被測(cè)試元件20的測(cè)試圖案加以分割的多數(shù)個(gè)分割圖案；儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域是用來記錄在測(cè)試圖案檔案50中的該些分割圖案的各個(gè)儲(chǔ)存位置。該些壓縮圖案記錄區(qū)域?yàn)楸景l(fā)明中用來記錄多數(shù)個(gè)分割圖案的多數(shù)個(gè)分割圖案記憶區(qū)域的一個(gè)例子。
測(cè)試圖案檔案50也可以儲(chǔ)存在外部的記錄媒體，除此之外，也可以下列方式來替代亦即，使用連接至通訊網(wǎng)路或網(wǎng)際網(wǎng)路上的伺服器系統(tǒng)等中所設(shè)置的硬碟或RAM等的記憶裝置，做為記錄媒體，從通訊網(wǎng)路將測(cè)試圖案檔案50提供給測(cè)試圖案檔案儲(chǔ)存部40。
測(cè)試裝置10包括中繼部100，多數(shù)個(gè)還原處理部110a～b，分割圖案供應(yīng)部120以及一或多數(shù)個(gè)測(cè)試圖案產(chǎn)生器130。中繼部100為中繼記憶儲(chǔ)存測(cè)試圖案檔案的記憶裝置的測(cè)試圖案檔案儲(chǔ)存部40以及還原處理部110a～b之間的通訊。多數(shù)個(gè)還原處理部110是將在各個(gè)互不相同的壓縮圖案記錄區(qū)域中被記錄、壓縮的分割圖案，互相地并列還原。多數(shù)個(gè)還原處理部110是在本發(fā)明中，將在各個(gè)互不相同的壓縮圖案記錄區(qū)域中被記錄、壓縮的分割圖案，互相地并列還原的多數(shù)個(gè)變換處理部的一個(gè)例子。
多數(shù)個(gè)還原處理部110包括用來進(jìn)行還原處理整體的控制與分割圖案的還原處理的還原處理部110a，以及依據(jù)還原處理部110a進(jìn)行分割圖案的還原處理的還原處理部110b。還原處理部110a包括儲(chǔ)存位置選擇部140與還原部150，其中儲(chǔ)存位置選擇部140是依據(jù)儲(chǔ)存位置記憶區(qū)域，對(duì)各還原處理部110a本身及/或還原處理部110b，還原處理部110選擇應(yīng)還原的分割圖案的儲(chǔ)存位置；還原部150是將記錄于儲(chǔ)存位置選擇部140所選擇的儲(chǔ)存位置中的分割圖案，進(jìn)行還原。本實(shí)施例的還原處理部110a～b分別可以使用專用的還原處理器，除此外也可以泛用的處理器來取代實(shí)施。
分割圖案供應(yīng)部120是將多數(shù)個(gè)還原處理部110所還原的分割圖案，提供給對(duì)應(yīng)的測(cè)試圖案產(chǎn)生器130。測(cè)試圖案產(chǎn)生器130是將被多數(shù)個(gè)還原處理部110所還原、經(jīng)由分割圖案供應(yīng)部120所提供的測(cè)試圖案提供給被測(cè)試元件。當(dāng)在測(cè)試裝置10中設(shè)置多數(shù)個(gè)測(cè)試圖案產(chǎn)生器130時(shí)，多數(shù)個(gè)測(cè)試圖案產(chǎn)生器130可以提供分別對(duì)應(yīng)于被測(cè)試元件20的端子的每一部份的測(cè)試圖案，另外也可以提供分別給不同的被測(cè)試元件20的測(cè)試圖案。
本實(shí)施例的測(cè)試圖案產(chǎn)生器130包括記憶區(qū)域，用以儲(chǔ)存測(cè)試資料，其對(duì)應(yīng)到各個(gè)被還原處理部110所指定的位址，以構(gòu)成測(cè)試圖案的一部份。
在上述敘述中，還原處理部110a～b是把分割測(cè)試圖案檔案50的每一部分分別還原。因此，各個(gè)還原處理部110經(jīng)由與該還原處理部110連接的內(nèi)部通訊路170所取得的分割圖案的資料量，會(huì)小于測(cè)試圖案檔案50整體的資料量。因此，相較于儲(chǔ)存測(cè)試圖案檔案50的檔案伺服器30與中繼部100之間的外部通訊路160，中繼部100與多數(shù)個(gè)還原處理部110間所分別設(shè)置的多數(shù)個(gè)內(nèi)部通訊路170的每一個(gè)的通訊量會(huì)變低。亦即如設(shè)置8個(gè)還原處理部100的話，可以采用各個(gè)內(nèi)部通訊路170為100M的乙太網(wǎng)路(登錄商標(biāo))，而外部通訊路160采用1G的乙太網(wǎng)路(登錄商標(biāo))的結(jié)構(gòu)。
圖2繪示本實(shí)施例的測(cè)試圖案檔案50的檔案結(jié)構(gòu)。測(cè)試圖案檔案50包括多數(shù)個(gè)壓縮圖案記錄區(qū)域200與儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域210。多數(shù)個(gè)壓縮圖案記錄區(qū)域200分別為本發(fā)明的分割圖案記錄區(qū)域的一個(gè)例子，用以將測(cè)試被測(cè)試元件20的測(cè)試圖案加以分割的分割圖案進(jìn)行壓縮、記錄。儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域210是用來顯示測(cè)試圖案檔案50的多數(shù)個(gè)分割圖案的各個(gè)儲(chǔ)存位置資訊的例子，其記錄多數(shù)個(gè)分割圖案指標(biāo)220。
如上所述，分別儲(chǔ)存在多數(shù)個(gè)壓縮圖案記錄區(qū)域200的多數(shù)個(gè)分割圖案是分別獨(dú)立與其他分割圖案，例如可以使用ALDC或DCLA等壓縮演算法來壓縮。藉此，各個(gè)還原處理部110從測(cè)試圖案檔案50取得被分割圖案指標(biāo)220所指定的壓縮圖案記錄區(qū)域200中所記錄的分割圖案，藉以可以不用取得其他分割圖案，獨(dú)立地還原該分割圖案。
圖3是繪示本實(shí)施例的壓縮圖案記錄區(qū)域200的資料結(jié)構(gòu)。壓縮圖案記錄區(qū)域200具有多數(shù)個(gè)測(cè)試圖案元件300，各測(cè)試圖案元件300包括測(cè)試圖案資料310、測(cè)試圖案位址320以及測(cè)試圖案產(chǎn)生器ID330。測(cè)試圖案資料310是構(gòu)成應(yīng)提供給測(cè)試圖案產(chǎn)生器130的一部分測(cè)試圖案的資料。測(cè)試圖案位址320顯示測(cè)試圖案產(chǎn)生器130內(nèi)的位址，其應(yīng)該儲(chǔ)存對(duì)應(yīng)到的測(cè)試圖案資料310。測(cè)試圖案產(chǎn)生器ID330是用來指定一測(cè)試圖案產(chǎn)生器130，其應(yīng)該儲(chǔ)存對(duì)應(yīng)的測(cè)試圖案資料310。
圖4繪示本實(shí)施例的測(cè)試裝置的處理流程。首先，多數(shù)個(gè)還原處理部100中，控制整體還原處理部的還原處理部110a對(duì)檔案伺服器30要求讀取測(cè)在測(cè)試圖案檔案50的儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域210(S400)。檔案伺服器30接受還原處理部110a的要求，從測(cè)試圖案檔案儲(chǔ)存部40讀出在測(cè)試圖案檔案50的儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域210，經(jīng)過中繼部100傳送到還原處理部110a(S410)。結(jié)果，還原處理部110a取得在在測(cè)試圖案檔案50的儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域210。
接著，還原處理部110a內(nèi)的儲(chǔ)存位置選擇部140依據(jù)在儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域210的多數(shù)個(gè)分割指標(biāo)220所記錄的各分割圖案的儲(chǔ)存位置，選擇還原處理部110a及其他還原處理部110b的各個(gè)應(yīng)該還原的分割圖案的儲(chǔ)存位置，并將選擇的儲(chǔ)存位置分配到該還原處理部110(S420)。在此，儲(chǔ)存位置選擇部140是可以例如依據(jù)預(yù)定的演算法，選擇使任何一個(gè)還原處理部110還原對(duì)應(yīng)到儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域210內(nèi)的多數(shù)個(gè)分割圖案指標(biāo)220的多數(shù)個(gè)分割圖案。更具體的來說，例如對(duì)應(yīng)第一個(gè)分割圖案指標(biāo)220(P0)的分割圖案0被還原處理部110a復(fù)原，第二個(gè)分割圖案指標(biāo)220(P1)的分割圖案1被第一還原處理部110b復(fù)原，以相同的方式使對(duì)應(yīng)第n個(gè)分割圖案指標(biāo)220的分割圖案n被第n-1還原處理部110a復(fù)原，對(duì)應(yīng)第n+1個(gè)分割圖案指標(biāo)220的分割圖案n+1被還原處理部110a復(fù)原。或者是，儲(chǔ)存位置選擇部140可以對(duì)指定的分割圖案的還原處理已結(jié)束的還原處理部110，動(dòng)態(tài)地指定下一個(gè)應(yīng)還原的分割圖案。
接著，各該些還原處理部110經(jīng)由檔案伺服器30與中繼部100，取達(dá)在測(cè)試圖案檔案50中，由儲(chǔ)存位置選擇部140選擇的儲(chǔ)存位置所指定的壓縮圖案記錄區(qū)域200中所記錄的分割圖案(S430)。對(duì)應(yīng)S430，檔案伺服器30從各該些還原處理部110接收儲(chǔ)存位置，并從測(cè)試圖案檔案儲(chǔ)存部40內(nèi)的測(cè)試圖案檔案50，讀出對(duì)應(yīng)該儲(chǔ)存位置的壓縮圖案記錄區(qū)域200，再轉(zhuǎn)送到傳送該儲(chǔ)存位置的還原處理部110(S440)。
接著，各該些還原處理部110與其他還原處理部110并行還原在S430取得的分割圖案(S450)。接著，各該些還原處理部110提供復(fù)原的分割圖案給分割圖案供應(yīng)部120。亦即例如各該些還原處理部將測(cè)試圖案資料310寫入到在分割圖案所包括的各測(cè)試圖案元件300中，測(cè)試圖案產(chǎn)生器ID所指定的測(cè)試圖案產(chǎn)生器130內(nèi)的測(cè)試圖案位址320所指定的位址位置的指令，傳送到分割圖案供應(yīng)部120。
接著，分割圖案供應(yīng)部120是將被該些還原處理部110還原的分割圖案所包括的測(cè)試圖案資料310，儲(chǔ)存到對(duì)應(yīng)測(cè)試圖案資料310的測(cè)試圖案產(chǎn)生器ID330所指定的一個(gè)測(cè)試圖案產(chǎn)生器中，以測(cè)試圖案位址320所指示的位址位置上(S460)。被測(cè)試圖案產(chǎn)生器ID330所指定的測(cè)試圖案產(chǎn)生器130令用將從分割圖案供應(yīng)部120供應(yīng)的測(cè)試圖案資料310，儲(chǔ)存到對(duì)應(yīng)的測(cè)試圖案位址320所指示的位址位址，來設(shè)定在測(cè)試圖案中的該測(cè)試圖案產(chǎn)生器130應(yīng)該處理的部分(S470)。
各該些還原處理部110結(jié)束將該還原處理部110還原的分割圖案供給到測(cè)試圖案產(chǎn)生器130后，對(duì)還原處理部110a內(nèi)的儲(chǔ)存位置選擇部140通知分割圖案供應(yīng)結(jié)束(S480)。當(dāng)從所有的還原處理部110接收到分割圖案供應(yīng)結(jié)束時(shí)，儲(chǔ)存位置選擇部140經(jīng)由分割圖案供應(yīng)部120，對(duì)一或多數(shù)個(gè)測(cè)試圖案產(chǎn)生器130指示測(cè)試開始(S490)。在接收到測(cè)試開始的指示后，一或多數(shù)個(gè)測(cè)試圖案產(chǎn)生器130將在S450被該些還原處理部110還原、在S460與S470所設(shè)定的測(cè)試圖案，供應(yīng)給一或多數(shù)個(gè)被測(cè)試元件20(S495)。
在前述S460中，分割圖案供應(yīng)部120將測(cè)試圖案所包括的各該些測(cè)試資料310，儲(chǔ)存到對(duì)應(yīng)測(cè)試圖案產(chǎn)生器ID330所指定的測(cè)試圖案產(chǎn)生器130中的測(cè)試圖案位址320所指定的位址位置。在此，分割圖案供應(yīng)部120也可以在測(cè)試開始的時(shí)間點(diǎn)，將所有測(cè)試圖案資料310完成儲(chǔ)存到被指定的測(cè)測(cè)試圖案產(chǎn)生器130，而不需要以在測(cè)試圖案檔案50中的循序順序，來進(jìn)行測(cè)試資料310的儲(chǔ)存。因此，分割圖案供應(yīng)部120不需要將被該些還原處理部110還原的分割圖案以測(cè)試圖案檔案50中的循序順序重新排列后再供應(yīng)給測(cè)試圖案產(chǎn)生器130，故而可以更有效率地將測(cè)試圖案供應(yīng)給測(cè)試圖案產(chǎn)生器130。
圖5繪示本發(fā)明實(shí)施例的還原處理部110的硬件架構(gòu)的例子。本實(shí)施例的還原處理部110可藉由計(jì)算機(jī)60來實(shí)施，其包括CPU 500，ROM 510，RAM520，通訊介面530，分割圖案供應(yīng)介面535，硬碟機(jī)540，軟碟機(jī)550以及CD-ROM光碟機(jī)560。
CPU 500依據(jù)儲(chǔ)存在ROM 510與RAM 520中的程式來動(dòng)作，以進(jìn)行各部分的控制。ROM 510是儲(chǔ)存在被測(cè)試元件20起動(dòng)時(shí)，CPU 500所執(zhí)行的起動(dòng)程式以及與被測(cè)試元件20的硬件相關(guān)的程式。RAM 520儲(chǔ)存CPU 500所執(zhí)行的程式以及CPU 500使用的資料等。通訊介面530經(jīng)由內(nèi)部通訊路170來與中繼部100通訊。分割圖案供應(yīng)介面535連接到分割圖案供應(yīng)部120，以中繼與分割圖案供應(yīng)部120之間的資料傳送。硬碟機(jī)540儲(chǔ)存計(jì)算機(jī)60使用的程式與資料，并透過RAM 520供給給CPU 500。軟碟機(jī)550從軟碟590讀取程式或資料，以提供給RAM 520。CD-ROM光碟機(jī)560從光碟CD-ROM595讀取程式或資料，以提供給RAM 520。
經(jīng)由RAM 520提供給CPU 500的程式是儲(chǔ)存在軟碟590、CD-ROM光碟595或IC卡等的記錄媒體，并且由使用者提供。程式從記錄媒體被讀取出，經(jīng)由RAM 520被安裝到計(jì)算機(jī)60，再由計(jì)算機(jī)60執(zhí)行。
安裝到計(jì)算機(jī)60而執(zhí)行的程式包括儲(chǔ)存位置選擇模組與還原模組。此等程式或模組是使計(jì)算機(jī)60分別做為儲(chǔ)存位置選擇模部140與還原部150的功能。
上所述的程式或模組也可以儲(chǔ)存在外部的記憶媒體。記憶媒體除了軟碟590與CD-ROM光碟595外，也可以使用DVD或CD等光學(xué)記錄媒體、MO碟片等光磁性記錄媒體、磁帶媒體、IC卡等半導(dǎo)體記憶體等。此外，也可以使用連接到專用通訊網(wǎng)路或網(wǎng)際網(wǎng)路的伺服器系統(tǒng)所設(shè)置的硬碟或RAM等來做為記錄媒體，經(jīng)由中繼部100從外部的網(wǎng)路提供程式給計(jì)算機(jī)60。
產(chǎn)業(yè)利用性如以上的說明，根據(jù)本發(fā)明的話，藉由更有效率地提供測(cè)試圖案給測(cè)試圖案產(chǎn)生器，半導(dǎo)體元件的測(cè)試可以更高速化。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的方法及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但是凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)試裝置，用以測(cè)試被測(cè)試元件，其中使用于該被測(cè)試元件的測(cè)試的測(cè)試圖案檔案是包括多數(shù)個(gè)分割圖案記錄區(qū)域，以記錄多數(shù)個(gè)分割圖案，該些分割圖案是分割用來測(cè)試該被測(cè)試元件的測(cè)試圖案，其特征在于該測(cè)試裝置包括多數(shù)個(gè)變換處理部，彼此并行地變換在互相不同的該些分割圖案記錄區(qū)域所記錄的該些分割圖案；以及測(cè)試圖案產(chǎn)生器，用以供應(yīng)被該些變換處理部所變換的該測(cè)試圖案給該被測(cè)試元件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于其中所述的該些分割圖案記錄區(qū)域是壓縮再記錄該些分割圖案，該些變換處理部是藉由彼此并行還原互相不同的該些分割圖案記錄區(qū)域所記錄、壓縮的該些分割圖案來進(jìn)行變換。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試裝置，其特征在于其中被還原的各該些分割圖案包括應(yīng)提供給該測(cè)試圖案產(chǎn)生器的測(cè)試資料，以及應(yīng)儲(chǔ)存該測(cè)試圖案資料的顯示該測(cè)試圖案產(chǎn)生器內(nèi)的位址的測(cè)試圖案位址；該測(cè)試裝置更包括分割圖案供應(yīng)部，用以將被該些變換處理部還原的該些分割圖案所包括的該測(cè)試圖案資料，儲(chǔ)存到該測(cè)試圖案產(chǎn)生器中的對(duì)應(yīng)該測(cè)試圖案資料的該測(cè)試圖案位址。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試裝置，其特征在于其中所述的測(cè)試裝置包括多數(shù)個(gè)該測(cè)試圖案產(chǎn)生器，被還原的各該些分割圖案更包括測(cè)試圖案產(chǎn)生器識(shí)別資訊，以指定應(yīng)儲(chǔ)存該測(cè)試圖案資料的其中之一該測(cè)試圖案產(chǎn)生器，其中分割圖案供應(yīng)部是將被該些變換處理部還原的該些分割圖案所包括的該測(cè)試圖案資料，儲(chǔ)存到對(duì)應(yīng)該測(cè)試圖案資料的該測(cè)試圖案產(chǎn)生器識(shí)別資訊所指定的其中之一該測(cè)試圖案產(chǎn)生器中的該測(cè)試圖案位址所指示的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試裝置，其特征在于更包括中繼部，用以中繼記憶該測(cè)試圖案檔案的記憶裝置與該些變換處理部之間的通訊，其中該中繼部與該些變換處理部之間分別所設(shè)置的多數(shù)個(gè)通訊路的每一個(gè)，是低于該記憶裝置與該中繼部之間的通訊路的通訊量。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試裝置，其特征在于其中所述的測(cè)試圖案檔案更包括儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域，用以記錄在該測(cè)試圖案檔案中的各該些分割圖案的儲(chǔ)存位置；其中之一該變換處理部包括儲(chǔ)存位置選擇部，其依據(jù)該儲(chǔ)存位置，選擇其他該些變換處理部應(yīng)還原的該些分割圖案的該些儲(chǔ)存位置；其他各該些變換處理部是還原在該測(cè)試圖案檔案中的該儲(chǔ)存位置選擇部所選擇的該儲(chǔ)存位置所記錄的該分割圖案。
7.一種測(cè)試圖案記錄媒體，記錄測(cè)試圖案，該測(cè)試圖案使用于被測(cè)試元件的測(cè)試，其特征在于該記錄媒體包括多數(shù)個(gè)壓縮圖案記錄區(qū)域，用以壓縮、記錄將測(cè)試該被測(cè)試元件的測(cè)試圖案加以分割的多數(shù)個(gè)分割圖案；以及儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域，用以記錄在該測(cè)試圖案檔案中的各該些分割圖案的儲(chǔ)存位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)試圖案記錄媒體，其特征在于其中各該些分割圖案包括應(yīng)提供給測(cè)試圖案產(chǎn)生器的測(cè)試資料，以及應(yīng)儲(chǔ)存該測(cè)試圖案資料的顯示該測(cè)試圖案產(chǎn)生器內(nèi)的位址的測(cè)試圖案位址。
9.一種測(cè)試裝置用程式，用以測(cè)試被測(cè)試元件，其中使用于該被測(cè)試元件的測(cè)試的測(cè)試圖案檔案包括多數(shù)個(gè)分割圖案記錄區(qū)域，以記錄多數(shù)個(gè)分割圖案，該些分割圖案是分割用來測(cè)試該被測(cè)試元件的測(cè)試圖案，以及儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域，用以記錄各該些分割圖案的儲(chǔ)存位置，其特征在于該測(cè)試裝置用程式是使該測(cè)試裝置包括以下功能儲(chǔ)存位置選擇部，依據(jù)該儲(chǔ)存位置記錄區(qū)域，多數(shù)地選擇彼此互異的該些分割圖案記錄區(qū)域所記錄的各該些分割圖案的儲(chǔ)存位置；以及多數(shù)個(gè)變換處理部，分別彼此并行地變換在該測(cè)試圖案檔案中的被該儲(chǔ)存位置選擇部所選擇的該儲(chǔ)存位置所記錄的該分割圖案。
10.一種控制方法，控制用于測(cè)試被測(cè)試元件的測(cè)試裝置，其中使用于該被測(cè)試元件的測(cè)試的測(cè)試圖案檔案是包括多數(shù)個(gè)分割圖案記錄區(qū)域，以記錄多數(shù)個(gè)分割圖案，該些分割圖案是分割用來測(cè)試該被測(cè)試元件的測(cè)試圖案，其特征在于該控制方法包括以下步驟變換步驟，并行地變換在互相不同的該些分割圖案記錄區(qū)域所記錄的該些分割圖案；以及測(cè)試圖案產(chǎn)生步驟，用以供應(yīng)被變換的該測(cè)試圖案給該被測(cè)試元件。
全文摘要
本發(fā)明是有關(guān)于一種測(cè)試裝置、測(cè)試裝置的程式、測(cè)試圖案記錄媒體以及測(cè)試裝置的控制方法。該測(cè)試裝置用以測(cè)試被測(cè)試元件，其中使用于被測(cè)試元件的測(cè)試的測(cè)試圖案檔案是包括多數(shù)個(gè)分割圖案記錄區(qū)域，以記錄多數(shù)個(gè)分割圖案，該些分割圖案是分割用來測(cè)試該被測(cè)試元件的測(cè)試圖案。前述測(cè)試裝置具備多數(shù)個(gè)變換處理部，彼此并行地變換在互相不同的該些分割圖案記錄區(qū)域所記錄的該些分割圖案；以及測(cè)試圖案產(chǎn)生器，用以供應(yīng)被該些變換處理部所變換的該測(cè)試圖案給被測(cè)試元件。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1781029SQ200480011478
公開日2006年5月31日 申請(qǐng)日期2004年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月14日
發(fā)明者熊木德雄 申請(qǐng)人:愛德萬測(cè)試株式會(huì)社