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顯微攝影即時(shí)定位測試結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:6164922閱讀:279來源:國知局
專利名稱:顯微攝影即時(shí)定位測試結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型系與顯微攝影即時(shí)定位測試結(jié)構(gòu)有關(guān),主要系將一般習(xí)用者之使用弊端,作一改良使之更為完善,更詳而言之,尤指一種可便捷量測晶粒位置之顯微攝影結(jié)構(gòu)。
<二>背景技術(shù)現(xiàn)有同類的定位測試系統(tǒng)在實(shí)施時(shí)常出現(xiàn)下列幾點(diǎn)弊端1、目前測試機(jī)定位的配置,即使是觀察之顯微攝影器,也無法即時(shí)觀察到晶?;虿A=M的測試接點(diǎn)位置,對于切割后的晶粒常常點(diǎn)測錯(cuò)位,造成不良效果。
2、作動時(shí)常會因不能夠很準(zhǔn)確且順暢的作動。
3、以前測試光學(xué)原件,無法提供測試中晶粒玻璃模組測試接點(diǎn)的影像,即在測試同時(shí)無法觀察晶粒影像。
4、生產(chǎn)率無法提高,并產(chǎn)生不良品,不符合經(jīng)濟(jì)效益。
<三>發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的,旨在于利用本實(shí)用新型之晶粒量測結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì),達(dá)到組裝緊湊、操作便捷、測試的精度高及提高工作效能的目的;使習(xí)用者之弊端改善,并可提供產(chǎn)業(yè)界利用的價(jià)值,使其具有經(jīng)濟(jì)效益。
本實(shí)用新型一種顯微攝影即時(shí)定位測試結(jié)構(gòu),它包含一光特性分析模組,其下方設(shè)一分析模組固定座,及相鄰處設(shè)CCD(影像感知原件)攝影機(jī),其含有一顯微鏡頭、鏡頭固定座、CCD攝影機(jī)焦距微調(diào)座、CCD攝影機(jī)角度固定件,而其下方則設(shè)有CCDx-y微調(diào)座,及一CCD攝影機(jī)固定基座,而另一相對應(yīng)處,設(shè)一CCD攝影機(jī)光源,并含有一光源固定座第一件、第二件及第三件,藉此,組裝成整組系統(tǒng)結(jié)構(gòu)并設(shè)于檢測機(jī)本體上。
本實(shí)用新型一種顯微攝影即時(shí)定位測試結(jié)構(gòu),其優(yōu)點(diǎn)是組裝緊湊,操作使用方便。檢測機(jī)進(jìn)行點(diǎn)測的同時(shí),可由CCD攝影機(jī)的視覺系統(tǒng)同時(shí)觀察受測晶粒的狀況,并及時(shí)回饋其XY的位置,做為對位修正的參考,提高了點(diǎn)測的精確度。
<四>
圖1系本實(shí)用新型之立體分解示意圖。
圖2系本實(shí)用新型之組合立體示意圖。
圖3系本實(shí)用新型之組合示意圖。
圖中標(biāo)號如下10光特性分析模組 11分析模組固定座 12CCD攝影機(jī)13顯微鏡頭14鏡頭固定座 15CCD攝影機(jī)焦距微調(diào)座16CCD攝影機(jī)角度固定件 17CCDx-y微調(diào)座18CCD攝影機(jī)固定基座19CCD攝影機(jī)光源 20光源固定座第一件21第二件22第三件 30檢測機(jī)本體<五>具體實(shí)施方式
請參閱圖1至圖3所示,本實(shí)用新型一種顯微攝影即時(shí)定位測試結(jié)構(gòu),系包含一光特性分析模組10,其下方設(shè)一分析模組固定座11,及相鄰處設(shè)CCD(影像感知原件)攝影機(jī)12,其含有一顯微鏡頭13、鏡頭固定座14、CCD攝影機(jī)焦距微調(diào)座15、CCD攝影機(jī)角度固定件16,其下方則設(shè)有CCDx-y微調(diào)座17,及一CCD攝影機(jī)固定基座18,而另一相對應(yīng)處,設(shè)一CCD攝影機(jī)光源19,并含有一光源固定座第一件20、第二件21及第三件22,藉此,組裝成整組系統(tǒng)結(jié)構(gòu),并設(shè)于檢測機(jī)本體30上。
當(dāng)組裝實(shí)施時(shí),請繼續(xù)參閱圖1至圖3所示,本實(shí)用新型一種顯微攝影即時(shí)定位測試結(jié)構(gòu),主要系設(shè)于檢測機(jī)本體30上,其中,檢測機(jī)進(jìn)行點(diǎn)測的同時(shí),可由CCD攝影機(jī)12的視覺系統(tǒng)同時(shí)觀察受測晶粒的狀況,并及時(shí)回饋其XY的位置,做為對位修正的參考,提高點(diǎn)測的精確度,并且比傳統(tǒng)式更具優(yōu)點(diǎn)。
權(quán)利要求1.一種顯微攝影即時(shí)定位測試結(jié)構(gòu),其特征在于它包含一光特性分析模組,其下方設(shè)一分析模組固定座及相鄰處設(shè)CCD攝影機(jī),其含有一顯微鏡頭、鏡頭固定座、CCD攝影機(jī)焦距微調(diào)座、CCD攝影機(jī)角度固定件,而其下方則設(shè)有CCDx-y微調(diào)座及一CCD攝影機(jī)固定基座,而另一相對應(yīng)處,設(shè)一CCD攝影機(jī)光源,并含有一光源固定座第一件、第二件及第三件,組裝成整組系統(tǒng)結(jié)構(gòu)后設(shè)于檢測機(jī)本體上。
專利摘要一種顯微攝影即時(shí)定位測試結(jié)構(gòu),它包含一光特性分析模組,其下方設(shè)一分析模組固定座,及相鄰處設(shè)CCD(影像感知原件)攝影機(jī),其系含有一顯微鏡頭、鏡頭固定座、CCD焦距微調(diào)座、CCD角度固定件,而其下方則設(shè)有CCDx-y微調(diào)座,及一CCD固定基座,而另一相對應(yīng)處,設(shè)一CCD攝影機(jī)光源,并含有一光遠(yuǎn)固定座第一件、第二件及第三件,藉此,組裝成整組系統(tǒng)結(jié)構(gòu),并設(shè)于檢測機(jī)本體上,可供測試LED、LCD及其他晶圓之使用。組裝緊湊,操作使用方便,測試的精確度高。
文檔編號G01B9/00GK2784903SQ200420088008
公開日2006年5月31日 申請日期2004年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2004年8月18日
發(fā)明者盧彥豪 申請人:盧彥豪
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