專利名稱：Psd位置敏感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的測(cè)量方法及測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，涉及測(cè)量PSD位置敏感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的測(cè)量方法及裝置。
背景技術(shù)：
位置敏感探測(cè)器(position sensitive detector，PSD)是一種對(duì)入射光斑位置敏感的光電器件，其工作原理是基于大面積PN結(jié)的橫向光電效應(yīng)。該光電效應(yīng)可由Lucovsky方程描述。當(dāng)PSD光敏面受到光斑局部非均勻照射時(shí)，在其光敏面上將建立起與光斑位置相關(guān)的平行于光敏面的橫向電壓，如果光斑持續(xù)照射，并在PSD的電極上接有外電路，則形成向兩極流動(dòng)的電流，兩極電流的大小與光斑的位置有關(guān)。因此，根據(jù)電極電流的大小即可算出光斑的位置。
在目前的研究中，由于光源是連續(xù)穩(wěn)定的聚焦激光束，其照射時(shí)間遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于PSD的響應(yīng)時(shí)間，故大多利用PSD的靜止光源照射時(shí)獲得的穩(wěn)態(tài)響應(yīng)來確定入射光斑的位置。將PSD輸出的光生電流經(jīng)過信號(hào)電路實(shí)現(xiàn)光斑入射位置的探測(cè)功能，即實(shí)現(xiàn)PSD的電流-位置轉(zhuǎn)換公式功能。然而當(dāng)入射光以一定速度連續(xù)掃描照射PSD光敏面，此時(shí)如果仍簡(jiǎn)單采用電流-位置轉(zhuǎn)換公式計(jì)算入射光點(diǎn)位置，就會(huì)給測(cè)量引入PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差。因此就需要準(zhǔn)確建立出PSD的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差模型。
關(guān)于移動(dòng)光源照射下PSD的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差模型的建立方法國(guó)內(nèi)外報(bào)導(dǎo)的很少。目前文獻(xiàn)中公開發(fā)表的只有Michiel de Bakker，Piet W.Verbeek，Gijs K.Steenvoorden etc在文章“The PSD transferfunction”(IEEE Transactions on Electron Devices，49(1)202-206，2002)中描述的一種建模方法。
PSD結(jié)構(gòu)圖如圖1所示，圖中L是光敏面長(zhǎng)度，j是光生電流，D是p層厚度。PSD的電阻和電容分別用R、C表示。假設(shè)入射光源是脈沖光，照射到PSD光敏面上的位置為up。在t＞t0時(shí)刻，PSD左右兩端輸出的電流脈沖信號(hào)響應(yīng)表達(dá)式
jleftpulse(up,t)=-jpDΣn=1∞2nπSn(up)gn(t-to)jrightpulse(up,t)=+jpDΣn=1∞2nπSn(-up)gn(t-to)---[1]]]>式中jleftpulse，jrightpulse分別是PSD左右電極輸出的光生電流，jp是入射光源在PSD光敏面上產(chǎn)生的總的光生電流強(qiáng)度，Sn(up)=sinnπ(upL+12),]]>gn(t)=λn2e-λn2ts(t),]]>λn2=(nπ)2RC,]]>s(t)是單位階躍函數(shù)。
當(dāng)t＞0時(shí)，光源連續(xù)掃描照射PSD光敏面，掃描軌跡上任意一個(gè)照射位置用up(t)表示，假設(shè)入射光源被調(diào)制成正弦函數(shù)，并且正弦函數(shù)的振幅相對(duì)于光敏面長(zhǎng)度非常小，則光源入射位置可以寫成up(t)＝uc+Δu sin(ωt)[2]其中uc是振幅中心，Δu是振幅大小，ω是頻率。
PSD的動(dòng)態(tài)響應(yīng)函數(shù)可以通過t時(shí)刻光源照射up(t)位置時(shí)PSD輸出的光生電流函數(shù)與單位階躍函數(shù)的卷積來表示。因此PSD左端電極輸出的光生電流動(dòng)態(tài)響應(yīng)模型可以寫為jleft(t)=jleftpulse(up(t),t)*s(t)]]>=-jpDΣn=1∞2nπ∫0tSn(up(to))gn(t-to)dto---[3]]]>通過近似，上式可以化簡(jiǎn)為jleft(t)=2jpDΔuLΣn=1NCn(uc)·e-λn2ϵgn(t)*sinωt---[4]]]>式中Cn(uc)=cosnπ(ucL+12).]]>N，ε是待定常數(shù)，與R、C有關(guān)。
采用類似的方法可以得到PSD右端電極輸出的光生電流動(dòng)態(tài)響應(yīng)模型，這里不再給出。帶入電流-位置轉(zhuǎn)換公式中，獲得PSD探測(cè)到的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差值，然后與光源實(shí)際掃描位置相比，得到PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差模型。
采用上述方法建PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差模型，存在以下幾個(gè)缺點(diǎn)(1)光源掃描軌跡確定，應(yīng)用范圍非常局限。不僅需要光源被調(diào)制成正弦函數(shù)，還需要正弦函數(shù)的振幅很小，這就限制了上述方法的使用范圍。(2)建立的模型僅適用一維PSD結(jié)構(gòu)。(3)模型非常復(fù)雜，其中有兩個(gè)參數(shù)N，ε需要根據(jù)不同結(jié)構(gòu)PSD的物理參數(shù)R、C另外計(jì)算，使用不方便。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差建模方法中存在的不足，提出一種使用范圍廣、應(yīng)用方便的PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差建模方法及測(cè)量裝置，進(jìn)一步提高PSD動(dòng)態(tài)測(cè)量精度。該測(cè)量方法及裝置能夠?qū)θ我夤庠磼呙杷俣群凸庠磼呙柢壽E，給出在PSD光敏面上任意位置的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差。
本發(fā)明的技術(shù)方案是PSD位置敏感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的測(cè)量方法，其特征在于，設(shè)PSD的光敏面大小為L(zhǎng)1×L2，R為PSD的極間電阻，C為PSD的終端電容，φ為結(jié)電勢(shì)差，忽略電路的輸入阻抗和電極接觸電阻，一維PSD和二維PSD的邊界條件為φ(0，y，t)＝φ(L1，y，t)＝0和φ(0，y，t)＝φ(L1，y，t)＝φ(x，0，t)＝φ(x，L2，t)＝0[5]一束光強(qiáng)恒定，入射光斑很小的光照到PSD光敏面上。當(dāng)光源以速度V作勻速直線掃描，掃描總時(shí)間為t，坐標(biāo)原點(diǎn)固定在PSD的左側(cè)電極，X軸正方向指向PSD的右側(cè)電極，建立PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差模型的步驟如下(1)確定光源連續(xù)掃描照射下PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)模型，其步驟是①把0～t的整個(gè)掃描時(shí)間過程分成無數(shù)個(gè)微小的時(shí)間間隔，取t＝τ時(shí)刻瞬間的dτ進(jìn)行分析；設(shè)在t＝τ時(shí)刻點(diǎn)光源掃描到P(x′(τ)，y′(τ))點(diǎn)，光源在dr瞬間形成在PSD光敏面上位于P點(diǎn)處的一個(gè)瞬時(shí)點(diǎn)光源，其中τ時(shí)刻P點(diǎn)的坐標(biāo)和光源掃描軌跡、光源掃描速度相關(guān)；在0～t時(shí)間內(nèi)，所有瞬時(shí)點(diǎn)光源共同作用的結(jié)果，即是移動(dòng)點(diǎn)光源在PSD中造成的t時(shí)刻的光生電勢(shì)分布；②基于歐姆定律，求出光源掃描照射下PSD電極輸出的光生電流，由歐姆定律得到一維PSD左右兩個(gè)電極輸出的光生電流表達(dá)式表示為i1(0,t)=2aIoL1Σn=1∞λ·∫0tsin[λx′(τ)]·e-λ2a(t-τ)dτ---[6a]]]>i2(L1,t)=-2aIoL1Σn=1∞λ·cosnπ·∫0tsin[λx′(τ)]·e-λ2a(t-τ)dτ---[6b]]]>式中λ=nπL1,]]>a=1RC,]]>i1，i2為PSD左右兩個(gè)電極輸出的電流，設(shè)二維PSD電極結(jié)構(gòu)是四邊形的，則二維四邊形PSD四個(gè)電極輸出的光生電流表達(dá)式為i1=4IoRCL12Σn=1∞Σm=1∞nm·(1-cosmπ)×∫0tsin[nπL1x′(τ)]sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ---[7a]]]>
i2=-4IoRCL12Σn=1∞Σm=1∞nm·(1-cosmπ)·cosnπ×∫0tsin[nπL1x′(τ)]sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ---[7b]]]>i3=-4IoRCL22Σn=1∞Σm=1∞mn·(1-cosnπ)×∫0tsin[nπL1x′(τ)]·sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ---[7c]]]>i4=-4IoRCL22Σn=1∞Σm=1∞mn·(1-cosnπ)·cosmπ×∫0tsin[nπL1x′(τ)]·sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ---[7d]]]>③把②中給出的光生電流表達(dá)式帶入到PSD電流-位置轉(zhuǎn)換公式中，得到光源連續(xù)掃描照射下PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)模型；(2)測(cè)量PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差；①使用PSD位置敏感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的裝置測(cè)量出PSD的R、C；②設(shè)定光源掃描的軌跡方程和光源掃描速度；③將①和②中產(chǎn)生的參數(shù)值帶入到上述建立的PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)模型中，得到光源掃描照射時(shí)，光源掃描軌跡上任意點(diǎn)位置處PSD探測(cè)到的光源入射位置；④將得到的PSD探測(cè)光源入射位置與光源真實(shí)入射位置相減，即可得到光源連續(xù)掃描照射下PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差。
一種測(cè)量PSD位置敏感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的裝置，包括一個(gè)電源1和計(jì)算機(jī)2，其特征在于，該測(cè)量裝置由一臺(tái)帶有信號(hào)輸出端口的LRC測(cè)量?jī)x3和一個(gè)數(shù)據(jù)采集卡4組成，LRC測(cè)量?jī)x3的信號(hào)輸出端口與數(shù)據(jù)采集卡4的輸入端連接，數(shù)據(jù)采集卡4的輸出端與計(jì)算機(jī)2的數(shù)據(jù)輸入端連接。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差測(cè)量方法和裝置，具有方法簡(jiǎn)單、使用方便、能夠得到PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的理論解、精度高等優(yōu)點(diǎn)。采用該模型和動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差測(cè)量裝置，可以實(shí)現(xiàn)光源以任意速度做任意軌跡掃描照射PSD光敏面時(shí)PSD產(chǎn)生的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的計(jì)算，應(yīng)用范圍廣，適用于計(jì)算各種電極結(jié)構(gòu)的PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差。


圖1是PSD結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本發(fā)明測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是使用本發(fā)明測(cè)量的S1662型一維PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差曲線。
圖4是使用本發(fā)明測(cè)量的S1200型二維PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差曲線
具體實(shí)施例方式
下面對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。本發(fā)明的測(cè)量方法，其特征在于，設(shè)PSD的光敏面大小為L(zhǎng)1×L2，R為PSD的極間電阻，C為PSD的終端電容，φ為結(jié)電勢(shì)差，忽略電路的輸入阻抗和電極接觸電阻，一維PSD和二維PSD的邊界條件為φ(0，y，t)＝φ(L1，y，t)＝0和φ(0，y，t)＝φ(L1，y，t)＝φ(x，0，t)＝φ(x，L2，t)＝0[5]一束光強(qiáng)恒定，入射光斑很小的光照到PSD光敏面上。當(dāng)光源以速度V作勻速直線掃描，掃描總時(shí)間為t，坐標(biāo)原點(diǎn)固定在PSD的左側(cè)電極，X軸正方向指向PSD的右側(cè)電極，建立PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差模型的步驟如下①把0～t的整個(gè)掃描時(shí)間過程分成無數(shù)個(gè)微小的時(shí)間間隔，取t＝τ時(shí)刻瞬間的dτ進(jìn)行分析；設(shè)在t＝τ時(shí)刻點(diǎn)光源掃描到P(x′(τ)，y′(τ))點(diǎn)，光源在dr瞬間形成在PSD光敏面上位于P點(diǎn)處的一個(gè)瞬時(shí)點(diǎn)光源，其中τ時(shí)刻P點(diǎn)的坐標(biāo)和光源掃描軌跡、光源掃描速度相關(guān)；在0～t時(shí)間內(nèi)，所有瞬時(shí)點(diǎn)光源共同作用的結(jié)果，即是移動(dòng)點(diǎn)光源在PSD中造成的t時(shí)刻的光生電勢(shì)分布。
②基于歐姆定律，求出光源掃描照射下PSD電極輸出的光生電流，由歐姆定律得到一維PSD左右兩個(gè)電極輸出的光生電流表達(dá)式表示為i1(0,t)=2aIoL1Σn=1∞λ·∫0tsin[λx′(τ)]·e-λ2a(t-τ)dτ---[6a]]]>i2(L1,t)=-2aIoL1Σn=1∞λ·cosnπ·∫0tsin[λx′(τ)]·e-λ2a(t-τ)dτ---[6b]]]>式中λ=nπL1,]]>a=1RC,]]>i1，i2為PSD左右兩個(gè)電極輸出的電流，設(shè)二維PSD電極結(jié)構(gòu)是四邊形的，則二維四邊形PSD四個(gè)電極輸出的光生電流表達(dá)式為i1=-4IoRCL12Σn=1∞Σm=1∞nm·(1-cosmπ)×∫0tsin[nπL1x′(τ)]sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ---[7a]]]>i2=-4IoRCL12Σn=1∞Σm=1∞nm·(1-cosmπ)·cosnπ×∫0tsin[nπL1x′(τ)]sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ---[7b]]]>i3=4IoRCL22Σn=1∞Σm=1∞mn·(1-cosmπ)×∫0tsin[nπL1x′(τ)]sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ---[7c]]]>i4=-4IoRCL22Σn=1∞Σm=1∞mn·(1-cosmπ)·cosmπ×∫0tsin[nπL1x′(τ)]sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ---[7d]]]>③把②中給出的光生電流表達(dá)式帶入到PSD電流-位置轉(zhuǎn)換公式中，得到光源連續(xù)掃描照射下PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)模型。
④使用PSD位置敏感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的裝置測(cè)量出PSD的R、C。設(shè)定光源掃描的軌跡方程和光源掃描速度。
⑤將④中產(chǎn)生的參數(shù)值帶入到上述建立的PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)模型中，得到光源掃描照射時(shí)，光源掃描軌跡上任意點(diǎn)位置處PSD探測(cè)到的光源入射位置。將得到的PSD探測(cè)光源入射位置與光源真實(shí)入射位置相減，即可得到光源連續(xù)掃描照射下PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差。
本發(fā)明動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差測(cè)量裝置由PSD的R和C測(cè)量系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集卡和計(jì)算機(jī)組成。動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差模型、光源掃描軌跡、光源掃描速度和PSD器件的光敏面尺寸存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)中。一種測(cè)量裝置的實(shí)施例如2圖所示，它包括一個(gè)電源1和計(jì)算機(jī)2，其特征在于，該測(cè)量裝置由一臺(tái)帶有信號(hào)輸出端口的LRC測(cè)量?jī)x3和一個(gè)數(shù)據(jù)采集卡4組成，LRC測(cè)量?jī)x3的信號(hào)輸出端口與數(shù)據(jù)采集卡4的輸入端連接，數(shù)據(jù)采集卡4的輸出端與計(jì)算機(jī)2的數(shù)據(jù)輸入端連接。PSD的R和C采用LRC測(cè)量?jī)x進(jìn)行測(cè)量。LRC測(cè)量?jī)x是采用了天津無線電六廠生產(chǎn)的自動(dòng)LRC測(cè)量?jī)x，型號(hào)為YY2811，在該儀器的基礎(chǔ)上增加了測(cè)量值的信號(hào)輸出端口。
測(cè)量裝置工作時(shí)，把PSD器件的兩個(gè)相對(duì)電極連接到測(cè)量?jī)x的兩個(gè)端子上，選擇測(cè)量?jī)x上不同的功能按鍵，獲得所要測(cè)量的參數(shù)值R和C，通過數(shù)據(jù)采集卡采集后存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)中。給計(jì)算機(jī)輸入光源掃描的軌跡方程和光源掃描速度，按照上述PSD器件動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差測(cè)量過程，即可得到PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差。
實(shí)施例測(cè)量一維PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差。
采用日本濱松光電子公司生產(chǎn)的一維PSD(型號(hào)S1662)和上述測(cè)量裝置。當(dāng)光源勻速直線掃描，掃描軌跡為PSD光敏面中心線(y＝L2/2mm，x＝L1×0.05～L1×0.95mm)時(shí)，根據(jù)上述PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差模型，得到不同光源掃描速度V(m/s)下，S1662型PSD器件產(chǎn)生的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差隨掃描位置變化的曲線圖。
測(cè)量二維四邊形PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差。
采用日本濱松光電子公司生產(chǎn)的二維PSD(型號(hào)S1200)和上述測(cè)量裝置，當(dāng)光源勻速直線掃描，掃描軌跡為PSD光敏面中心線(y＝L2/2mm，x＝L1×0.10～L1×0.90mm)時(shí)，根據(jù)上述PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差模型，得到不同光源掃描速度V(m/s)下，S1200型PSD器件產(chǎn)生的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差隨掃描位置變化的曲線圖。
權(quán)利要求
1.PSD位置敏感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的測(cè)量方法，其特征在于，設(shè)PSD的光敏面大小為L(zhǎng)1×L2，R為PSD的極間電阻，C為PSD的終端電容，φ為結(jié)電勢(shì)差，忽略電路的輸入阻抗和電極接觸電阻，一維PSD和二維PSD的邊界條件為φ(0，y，t)＝φ(L1，y，t)＝0和φ(0，y，t)＝φ(L1，y，t)＝φ(x，0，t)＝φ(x，L2，t)＝0[5]一束光強(qiáng)恒定，入射光斑很小的光照到PSD光敏面上。當(dāng)光源以速度V作勻速直線掃描，掃描總時(shí)間為t，坐標(biāo)原點(diǎn)固定在PSD的左側(cè)電極，X軸正方向指向PSD的右側(cè)電極，建立PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差模型的步驟如下(1)確定光源連續(xù)掃描照射下PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)模型，其步驟是①把0～t的整個(gè)掃描時(shí)間過程分成無數(shù)個(gè)微小的時(shí)間間隔，取t＝τ時(shí)刻瞬間的dτ進(jìn)行分析；設(shè)在t＝τ時(shí)刻點(diǎn)光源掃描到P(x′(τ)，y′(τ))點(diǎn)，光源在dτ瞬間形成在PSD光敏面上位于P點(diǎn)處的一個(gè)瞬時(shí)點(diǎn)光源，其中τ時(shí)刻P點(diǎn)的坐標(biāo)和光源掃描軌跡、光源掃描速度相關(guān)；在0～t時(shí)間內(nèi)，所有瞬時(shí)點(diǎn)光源共同作用的結(jié)果，即是移動(dòng)點(diǎn)光源在PSD中造成的t時(shí)刻的光生電勢(shì)分布；②基于歐姆定律，求出光源掃描照射下PSD電極輸出的光生電流，由歐姆定律得到一維PSD左右兩個(gè)電極輸出的光生電流表達(dá)式表示為i1(0,t)=2aIoL1Σn=1∞λ·∫0tsin[λx′(τ)]·e-λ2a(t-τ)dτ----[6a]]]>i2(L1,t)=-2aIoL1Σn=1∞λ·cosnπ·∫0tsin[λx′(τ)]·e-λ2a(t-τ)dτ----[6b]]]>式中λ=nπL1,]]>a=1RC,]]>i1，i2為PSD左右兩個(gè)電極輸出的電流，設(shè)二維PSD電極結(jié)構(gòu)是四邊形的，則二維四邊形PSD四個(gè)電極輸出的光生電流表達(dá)式為i1=4IoRCL12Σn=1∞Σm=1∞nm·(1-cosmπ)×∫0tsin[nπL1x′(τ)]sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ----[7a]]]>i2=4IoRCL12Σn=1∞Σm=1∞nm·(1-cosmπ)×cosnπ×∫0tsin[nπL1x′(τ)]sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ----[7b]]]>i3=4IoRCL22Σn=1∞Σm=1∞mn·(1-cosnπ)×∫0tsin[nπL1x′(τ)]·sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ----[7c]]]>i4=-4IoRCL22Σn=1∞Σm=1∞mn·(1-cosnπ)·cosmπ×∫0tsin[nπL1x′(τ)]sin[mπL2y′(τ)]e-(L22n2+L12m2)π2RCL12L22(t-τ)dτ----[7d]]]>③把②中給出的光生電流表達(dá)式帶入到PSD電流-位置轉(zhuǎn)換公式中，得到光源連續(xù)掃描照射下PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)模型；(2)測(cè)量PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差。①使用PSD位置敏感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的裝置測(cè)量出PSD的R、C；②設(shè)定光源掃描的軌跡方程和光源掃描速度；③將①和②中產(chǎn)生的參數(shù)值帶入到上述建立的PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)模型中，得到光源掃描照射時(shí)，光源掃描軌跡上任意點(diǎn)處PSD探測(cè)到的光源入射位置；④將得到的PSD探測(cè)光源入射位置與光源真實(shí)入射位置相減，即可得到光源連續(xù)掃描照射下PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差。
2.一種測(cè)量PSD位置敏感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的裝置，包括一個(gè)電源[1]和計(jì)算機(jī)[2]，其特征在于，該測(cè)量裝置由一臺(tái)帶有信號(hào)輸出端口的LRC測(cè)量?jī)x[3]和一個(gè)數(shù)據(jù)采集卡[4]組成，LRC測(cè)量?jī)x[3]的信號(hào)輸出端口與數(shù)據(jù)采集卡[4]的輸入端連接，數(shù)據(jù)采集卡[4]的輸出端與計(jì)算機(jī)[2]的數(shù)據(jù)輸入端連接。
全文摘要
本發(fā)明屬于測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，涉及測(cè)量PSD位置敏感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差的測(cè)量方法及裝置。本發(fā)明方法的步驟是，首先確定光源連續(xù)掃描照射下PSD器件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)模型，然后進(jìn)行誤差測(cè)量。本發(fā)明測(cè)量方法和裝置，方法簡(jiǎn)單、使用方便、精度高，適用于計(jì)算各種電極結(jié)構(gòu)的PSD動(dòng)態(tài)響應(yīng)誤差。
文檔編號(hào)G01B11/00GK1796928SQ20041010258
公開日2006年7月5日 申請(qǐng)日期2004年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月28日
發(fā)明者張廣軍, 尚鴻雁 申請(qǐng)人:北京航空航天大學(xué)