專利名稱:光束掃描器性能檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及的是檢測裝置,具體是一種光束掃描器性能檢測裝置。
背景技術(shù):
在激光掃描成像系統(tǒng)中沒有針對光束掃描系統(tǒng)性能進(jìn)行性能評價檢測的設(shè)備,為了能更好的使上述系統(tǒng)處在正常的工作狀態(tài)中,我們有必要研制一種關(guān)于對光束掃描系統(tǒng)進(jìn)行性能檢測的設(shè)備。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種光束掃描器性能檢測裝置。本發(fā)明可對光束掃描系統(tǒng)進(jìn)行光學(xué)性能的檢測。本發(fā)明由CCD光學(xué)系統(tǒng)1、圖象采集模塊2、曝光讀出模塊3、計算機(jī)4、數(shù)據(jù)輸出輸入端口5組成;CCD光學(xué)系統(tǒng)1的控制輸出輸入端連接計算機(jī)4的控制輸入輸出端,CCD光學(xué)系統(tǒng)1的圖象信號輸出端連接圖象采集模塊2的圖象信號輸入端,CCD光學(xué)系統(tǒng)1的曝光讀出信號輸出輸入端連接曝光讀出模塊3的信號輸出輸入端,圖象采集模塊2的圖象數(shù)據(jù)輸出端連接計算機(jī)4的圖象數(shù)據(jù)輸入端,曝光讀出模塊3的數(shù)據(jù)輸出輸入端連接計算機(jī)4的一個數(shù)據(jù)輸入輸出端,計算機(jī)4的另一個數(shù)據(jù)輸出輸入端連接數(shù)據(jù)輸入輸出端口5的數(shù)據(jù)輸入輸出端;所述CCD光學(xué)系統(tǒng)1包含透鏡組1-1、CCD攝像頭1-2;掃描光束輸入到透鏡組1-1的輸入端后經(jīng)透鏡組1-1傳輸并從透鏡組1-1的輸出端輸出到CCD攝像頭1-2的輸入端中,CCD攝像頭1-2的兩個數(shù)據(jù)輸出輸入端分別連接曝光讀出模塊3、計算機(jī)4的數(shù)據(jù)信號輸入輸出端,CCD攝像頭1-2的圖象信號輸出端連接圖象采集模塊2的圖象信號輸入端。工作原理待測光通過CCD光學(xué)裝置1中的透鏡組1-1后入射到CCD攝像頭1-2中,CCD攝像頭1-2中產(chǎn)生的圖象信息通過圖象采集模塊2、曝光讀出模塊3的數(shù)據(jù)處理后,輸入到計算機(jī)4中進(jìn)行綜合運算得出待測光的各項數(shù)據(jù)指標(biāo),同時計算機(jī)4通過數(shù)據(jù)輸出輸入端口5能與外部進(jìn)行數(shù)據(jù)交換。本發(fā)明能對光束掃描系統(tǒng)進(jìn)行光學(xué)性能的檢測,能對光束掃描系統(tǒng)的光斑特性和掃描光斑點陣特性進(jìn)行全面檢測,包括光斑的絕對位置、相對位置、位置準(zhǔn)確度、重復(fù)度、瞬時視場、掃描視場、掃描線性度、掃描均勻度進(jìn)行檢測,并具有精度高、響應(yīng)速度快、結(jié)構(gòu)簡單、調(diào)節(jié)靈活、體積小、成本低的優(yōu)點,并可實現(xiàn)外觸發(fā)程序控制和外觸發(fā)電平控制兩種工作模式,且可用于大口徑、大視場、高強(qiáng)度或復(fù)雜環(huán)境下的光束掃描檢測。
圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖,圖2是CCD光學(xué)系統(tǒng)1的整體結(jié)構(gòu)示意圖,圖3是具體實施方式
二的結(jié)構(gòu)示意圖,圖4是具體實施方式
三的結(jié)構(gòu)示意圖,圖5是具體實施方式
四的結(jié)構(gòu)示意圖,圖6是具體實施方式
五的結(jié)構(gòu)示意圖,圖7是具體實施方式
六的結(jié)構(gòu)示意圖,圖8是具體實施方式
七的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式具體實施方式
一結(jié)合圖1、圖2說明本實施方式,本實施方式由CCD光學(xué)系統(tǒng)1、圖象采集模塊2、曝光讀出模塊3、計算機(jī)4、數(shù)據(jù)輸出輸入端口5組成;CCD光學(xué)系統(tǒng)1的控制輸出輸入端連接計算機(jī)4的控制輸入輸出端,CCD光學(xué)系統(tǒng)1的圖象信號輸出端連接圖象采集模塊2的圖象信號輸入端,CCD光學(xué)系統(tǒng)1的曝光讀出信號輸出輸入端連接曝光讀出模塊3的信號輸出輸入端,圖象采集模塊2的圖象數(shù)據(jù)輸出端連接計算機(jī)4的圖象數(shù)據(jù)輸入端,曝光讀出模塊3的數(shù)據(jù)輸出輸入端連接計算機(jī)4的一個數(shù)據(jù)輸入輸出端,計算機(jī)4的另一個數(shù)據(jù)輸出輸入端連接數(shù)據(jù)輸入輸出端口5的數(shù)據(jù)輸入輸出端;所述CCD光學(xué)系統(tǒng)1包含透鏡組1-1、CCD攝像頭1-2;掃描光束輸入到透鏡組1-1的輸入端后經(jīng)透鏡組1-1傳輸并從透鏡組1-1的輸出端輸出到CCD攝像頭1-2的輸入端中,CCD攝像頭1-2的兩個數(shù)據(jù)輸出輸入端分別連接曝光讀出模塊3、計算機(jī)4的數(shù)據(jù)信號輸入輸出端,CCD攝像頭1-2的圖象信號輸出端連接圖象采集模塊2的圖象信號輸入端。圖象處理電路2選用的型號是Euresys Grablink Value圖象卡,曝光讀出電路3選用的型號是EuresysGrablink Value圖象卡,CCD攝像頭1-6選用的型號是Basler A201b/F-mount與尼康50mm f/1.4D AF鏡頭。
具體實施方式
二結(jié)合圖3說明本實施方式,本實施方式在具體實施方式
一的基礎(chǔ)上增加有衰減器1-3;掃描光束輸入到衰減器1-3的輸入端后經(jīng)衰減器1-3傳輸并從衰減器1-3的輸出端輸出到透鏡組1-1的輸入端中。其它組成和連接關(guān)系與具體實施方式
一相同。
具體實施方式
三結(jié)合圖4說明本實施方式,本實施方式與具體實施方式
二的不同點是,掃描光束輸入到透鏡組1-1的輸入端后經(jīng)透鏡組1-1傳輸并從透鏡組1-1的輸出端輸出到衰減器1-3的輸入端中,經(jīng)衰減器1-3傳輸?shù)墓鈴乃p器1-3的輸出端輸出到CCD攝像頭1-2的輸入端中。其它組成和連接關(guān)系與具體實施方式
二相同。
具體實施方式
四結(jié)合圖5說明本實施方式,本實施方式在具體實施方式
三的基礎(chǔ)上增加有快門1-4;經(jīng)衰減器1-3傳輸?shù)墓鈴乃p器1-3的輸出端輸出并通過快門1-4后,輸入到CCD攝像頭1-2的輸入端中。其它組成和連接關(guān)系與具體實施方式
三相同。
具體實施方式
五結(jié)合圖6說明本實施方式,本實施方式與具體實施方式
四的不同點是,掃描光束通過快門1-4后輸入到透鏡組1-1的輸入端后經(jīng)透鏡組1-1傳輸并從透鏡組1-1的輸出端輸出到衰減器1-3的輸入端中,經(jīng)衰減器1-3傳輸?shù)墓鈴乃p器1-3的輸出端輸出到CCD攝像頭1-2的輸入端中。其它組成和連接關(guān)系與具體實施方式
四相同。
具體實施方式
六結(jié)合圖7說明本實施方式,本實施方式在具體實施方式
一的基礎(chǔ)上增加有濾光器1-5;掃描光束輸入到濾光器1-5的輸入端后經(jīng)濾光器1-5傳輸并從濾光器1-5的輸出端輸出到透鏡組1-1的輸入端中。其它組成和連接關(guān)系與具體實施方式
一相同。
具體實施方式
七結(jié)合圖8說明本實施方式,本實施方式與具體實施方式
六的不同點是,掃描光束輸入到透鏡組1-1的輸入端后經(jīng)透鏡組1-1傳輸并從透鏡組1-1的輸出端輸出到濾光器1-5的輸入端中,經(jīng)濾光器1-5傳輸?shù)墓鈴臑V光器1-5的輸出端輸出到CCD攝像頭1-2的輸入端中。其它組成和連接關(guān)系與具體實施方式
六相同。
權(quán)利要求
1.光束掃描器性能檢測裝置,其特征在于它由CCD光學(xué)系統(tǒng)(1)、圖象采集模塊(2)、曝光讀出模塊(3)、計算機(jī)(4)、數(shù)據(jù)輸出輸入端口(5)組成;CCD光學(xué)系統(tǒng)(1)的控制輸出輸入端連接計算機(jī)(4)的控制輸入輸出端,CCD光學(xué)系統(tǒng)(1)的圖象信號輸出端連接圖象采集模塊(2)的圖象信號輸入端,CCD光學(xué)系統(tǒng)(1)的曝光讀出信號輸出輸入端連接曝光讀出模塊(3)的信號輸出輸入端,圖象采集模塊(2)的圖象數(shù)據(jù)輸出端連接計算機(jī)(4)的圖象數(shù)據(jù)輸入端,曝光讀出模塊(3)的數(shù)據(jù)輸出輸入端連接計算機(jī)(4)的一個數(shù)據(jù)輸入輸出端,計算機(jī)(4)的另一個數(shù)據(jù)輸出輸入端連接數(shù)據(jù)輸入輸出端口(5)的數(shù)據(jù)輸入輸出端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光束掃描器性能檢測裝置,其特征在于CCD光學(xué)系統(tǒng)(1)包含透鏡組(1-1)、CCD攝像頭(1-2);掃描光束輸入到透鏡組(1-1)的輸入端后經(jīng)透鏡組(1-1)傳輸并從透鏡組(1-1)的輸出端輸出到CCD攝像頭(1-2)的輸入端中,CCD攝像頭(1-2)的兩個數(shù)據(jù)輸出輸入端分別連接曝光讀出模塊(3)、計算機(jī)(4)的數(shù)據(jù)信號輸入輸出端,CCD攝像頭(1-2)的圖象信號輸出端連接圖象采集模塊(2)的圖象信號輸入端。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光束掃描器性能檢測裝置,其特征在于它增加有衰減器(1-3);掃描光束輸入到衰減器(1-3)的輸入端后經(jīng)衰減器(1-3)傳輸并從衰減器(1-3)的輸出端輸出到透鏡組(1-1)的輸入端中。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光束掃描器性能檢測裝置,其特征在于掃描光束輸入到透鏡組(1-1)的輸入端后經(jīng)透鏡組(1-1)傳輸并從透鏡組(1-1)的輸出端輸出到衰減器(1-3)的輸入端中,經(jīng)衰減器(1-3)傳輸?shù)墓鈴乃p器(1-3)的輸出端輸出到CCD攝像頭(1-2)的輸入端中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光束掃描器性能檢測裝置,其特征在于增加有快門(1-4);經(jīng)衰減器(1-3)傳輸?shù)墓鈴乃p器(1-3)的輸出端輸出并通過快門(1-4)后,輸入到CCD攝像頭(1-2)的輸入端中。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光束掃描器性能檢測裝置,其特征在于掃描光束通過快門(1-4)后輸入到透鏡組(1-1)的輸入端后經(jīng)透鏡組(1-1)傳輸并從透鏡組(1-1)的輸出端輸出到衰減器(1-3)的輸入端中,經(jīng)衰減器(1-3)傳輸?shù)墓鈴乃p器(1-3)的輸出端輸出到CCD攝像頭(1-2)的輸入端中。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光束掃描器性能檢測裝置,其特征在于它增加有濾光器(1-5);掃描光束輸入到濾光器(1-5)的輸入端后經(jīng)濾光器(1-5)傳輸并從濾光器(1-5)的輸出端輸出到透鏡組(1-1)的輸入端中。
8.根據(jù)權(quán)利要求2或7所述的光束掃描器性能檢測裝置,其特征在于掃描光束輸入到透鏡組(1-1)的輸入端后經(jīng)透鏡組(1-1)傳輸并從透鏡組(1-1)的輸出端輸出到濾光器(1-5)的輸入端中,經(jīng)濾光器(1-5)傳輸?shù)墓鈴臑V光器(1-5)的輸出端輸出到CCD攝像頭(1-2)的輸入端中。
全文摘要
光束掃描器性能檢測裝置,它具體是一種光束掃描器性能檢測裝置。它由CCD光學(xué)系統(tǒng)(1)、圖象采集模塊(2)、曝光讀出模塊(3)、計算機(jī)(4)、數(shù)據(jù)輸出輸入端口(5)組成;(1)的控制輸出輸入端連接(4)的控制輸入輸出端,(1)的圖象信號輸出端連接(2)的圖象信號輸入端,(1)的曝光讀出信號輸出輸入端連接曝光讀出模塊(3)的信號輸出輸入端,(2)的圖象數(shù)據(jù)輸出端連接(4)的圖象數(shù)據(jù)輸入端,(3)的數(shù)據(jù)輸出輸入端連接(4)的一個數(shù)據(jù)輸入輸出端,(4)的另一個數(shù)據(jù)輸出輸入端連接(5)的數(shù)據(jù)輸入輸出端。本發(fā)明能對光學(xué)掃描系統(tǒng)進(jìn)行光學(xué)性能的檢測,能對光學(xué)掃描系統(tǒng)進(jìn)行絕對位置、相對位置、線性度、掃描均勻度進(jìn)行檢測,并具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、成本低的優(yōu)點。
文檔編號G01M11/02GK1598521SQ20041004378
公開日2005年3月23日 申請日期2004年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2004年8月6日
發(fā)明者孫秀冬, 趙遠(yuǎn), 陳鐘賢, 張宇, 劉麗萍, 唐勐, 吳杰, 靳辰飛, 張勇 申請人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)