專利名稱：放射線檢測裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于醫(yī)療診斷設(shè)備、非破壞檢測設(shè)備等中的將放射線作為電信號來進(jìn)行檢測的放射線檢測裝置及其制造方法。再有，在本發(fā)明中，X線、α線、β線和γ線等電磁波也包含在放射線中進(jìn)行說明。
背景技術(shù)：
以往，在內(nèi)部配有X線熒光體的熒光屏和帶有雙面涂敷感應(yīng)劑的X線膠片系統(tǒng)一般可用于X線照相攝影。但是，最近，由于帶有X線熒光體層和二維傳感器板的數(shù)字放射線檢測裝置的圖像特性良好，數(shù)據(jù)為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)，通過取入網(wǎng)絡(luò)化的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)共有化的優(yōu)點(diǎn)，所以對于數(shù)字放射線檢測裝置進(jìn)行廣泛地研究開發(fā)，并提出了各種專利申請。
在這些數(shù)字放射線檢測裝置中，作為高靈敏度高清晰的裝置，如USP5793047或USP6469305中公開的以下裝置將在透過放射線的基板上設(shè)有熒光體層的放射線檢測用閃爍體、透光性支撐基板上配置的多個(gè)光電變換元件、以及光電變換元件間隙中配置TFT等電氣元件的傳感器板粘結(jié)一體化后形成的放射線檢測裝置。
在上述現(xiàn)有例中，在排列光電變換元件的透光性支撐基板的表面?zhèn)券B層熒光體，而在透光性支撐基板的背面疊層光吸收層。而且，將設(shè)置光吸收層的面通過粘結(jié)劑粘結(jié)在臺座上。
在上述現(xiàn)有例中公開的傳感器板的透光性支撐基板背面的光吸收層，以防止反射層和遮光功能作為其目的，從而解決了由熒光體層發(fā)光的接收光被透光性支撐基板的背面或基板端部等光電變換部以外的部分反射這樣的問題。而且，作為設(shè)置該層的方法，有通過涂敷、印刷工藝而在透光性支撐基板上直接形成樹脂的方法。
在現(xiàn)有例的放射線檢測用閃爍體中，在工藝中或長期耐久性試驗(yàn)的加速試驗(yàn)中，產(chǎn)生以下問題。
(1)在工藝中的熱歷史和耐久性中，各結(jié)構(gòu)層因熱而產(chǎn)生位移，有因這種位移產(chǎn)生彎曲，在熒光體和各結(jié)構(gòu)層間內(nèi)部施加應(yīng)力，應(yīng)力弱的層因內(nèi)部應(yīng)力而損壞或剝落的問題。
(2)因工藝中的熱歷史，各結(jié)構(gòu)層因熱而產(chǎn)生位移，以往，因這種位移，在排列了光電變換元件的傳感器板的表面?zhèn)壬蠘?gòu)成很多層，所以在傳感器板中產(chǎn)生彎曲。由于這種彎曲，在板上的電極引出焊盤部中，在安裝焊接端子進(jìn)行電氣布線連接時(shí)，有時(shí)產(chǎn)生設(shè)置位置不良、連接不良等問題。此外，因加速耐久中的傳感器板彎曲應(yīng)力，有時(shí)連接部損壞并產(chǎn)生連接不良。
(3)傳感器板在處理中裝載流動在運(yùn)送用支架上，在支撐基板背面接觸運(yùn)送用支架面的情況下，放置在現(xiàn)有的材料中，光吸收層因機(jī)械摩擦而損傷或剝離，這種缺陷部的遮光就不充分，使圖像缺陷增加。
在至此公開的現(xiàn)有例中，沒有考慮疊層后的應(yīng)力，沒有公開板背面?zhèn)鹊臉?gòu)成材料及疊層方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況的發(fā)明，其目的在于，提供一種可靠性高的放射線檢測裝置及其制造方法，其中，在支撐基板的一個(gè)表面上形成了多個(gè)光電變換元件的傳感器板的表面?zhèn)券B層保護(hù)層，在其另一表面?zhèn)券B層彎曲矯正層，并且所述保護(hù)層和彎曲矯正層由具有相同拉伸或擠壓方向的樹脂薄膜構(gòu)成，以兩樹脂薄膜的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较騺磉M(jìn)行粘結(jié)，從而矯正由熱位移引起的彎曲，防止各結(jié)構(gòu)層的剝落和損壞。
即，本發(fā)明的放射線檢測裝置有在支撐基板的一個(gè)表面上形成多個(gè)光電變換元件的傳感器板，其特征在于，在所述傳感器板的形成了所述變換元件的表面?zhèn)券B層具有拉伸或擠壓方向的第1樹脂薄膜構(gòu)成的保護(hù)層，在所述傳感器板的另一表面?zhèn)券B層具有拉伸或擠壓方向的第2樹脂薄膜，以使各自的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较蚨鴮⑺鼈冞M(jìn)行粘結(jié)。
此外，本發(fā)明的放射線檢測裝置的制造方法，所述放射線檢測裝置通過將在支撐基板的一個(gè)表面上形成有多個(gè)變換元件的傳感器板和具有將放射線變換成所述變換元件可檢測的光的熒光體層的閃爍體板粘結(jié)起來構(gòu)成，其特征在于，該方法包括在所述閃爍體板上粘結(jié)由具有拉伸或擠壓方向的第1樹脂薄膜構(gòu)成的防濕保護(hù)層的步驟；以及在所述傳感器板的沒有所述變換元件的表面?zhèn)壬贤ㄟ^粘結(jié)層粘結(jié)具有拉伸或擠壓方向的第2樹脂薄膜，以使該方向與所述防濕保護(hù)層的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较虻牟襟E。
再有，本發(fā)明的放射線檢測裝置的制造方法，所述放射線檢測裝置具有在支撐基板的一個(gè)表面上形成有多個(gè)變換元件的傳感器板和在所述傳感器板的具有所述變換元件的表面?zhèn)壬闲纬傻?、將放射線變換成所述變換元件可檢測的光的熒光體層，其特征在于，該方法包括在所述熒光體層上粘結(jié)由具有拉伸或擠壓方向的第1樹脂薄膜構(gòu)成的防濕保護(hù)層的步驟；以及在所述傳感器板的沒有所述變換元件的表面?zhèn)壬贤ㄟ^粘結(jié)層粘結(jié)具有拉伸或擠壓方向的第2樹脂薄膜，以使該方向與所述防濕保護(hù)層的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较虻牟襟E。
再有，本發(fā)明的放射線檢測裝置的制造方法，其特征在于，該方法包括在形成有將放射線直接變換成電信號的多個(gè)變換元件的直接型傳感器板的具有所述變換元件的表面?zhèn)壬?，粘結(jié)由具有拉伸或擠壓方向的第1樹脂薄膜構(gòu)成的防濕保護(hù)層的步驟；以及在所述直接型傳感器板的沒有所述變換元件的表面?zhèn)壬贤ㄟ^粘結(jié)層粘結(jié)具有拉伸或擠壓方向的第2樹脂薄膜，以使該方向與所述防濕保護(hù)層的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较虻牟襟E。
本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)沒有熱位移引起的放射線檢測板的彎曲，板上的電極和端子焊接良好，沒有連接不良的可靠性高的放射線檢測裝置。在構(gòu)成為放射線檢測裝置時(shí)，不產(chǎn)生熒光體的剝離和破損，抗溫度、抗?jié)穸刃悦黠@提高。
本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)在結(jié)合附圖的下列說明中將變得更明顯，在這些附圖中相同或類似的部分附以相同的參考標(biāo)號。


下面，結(jié)合構(gòu)成本說明書一部分的附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施例，并在說明的同時(shí)，解釋本發(fā)明的原理。
圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式1的放射線檢測裝置的放射線檢測板結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖2是表示本發(fā)明的放射線檢測板的樹脂薄膜的形態(tài)圖。
圖3是表示本發(fā)明實(shí)施方式2的放射線檢測裝置的放射線檢測板結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖4是表示本發(fā)明實(shí)施方式3的放射線檢測裝置的放射線檢測板結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖5表示本發(fā)明實(shí)施方式4的放射線檢測系統(tǒng)。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式1的放射線檢測裝置的放射線檢測板結(jié)構(gòu)的剖面圖。
在圖1中，410表示放射線檢測板的整體，101是玻璃基板(支撐基板)，102是使用非晶硅的作為光傳感器的由光電變換元件和TFT構(gòu)成的光電變換元件部，103是布線部，104是電極取出部，105是氮化硅等構(gòu)成的第一板保護(hù)層，106是樹脂膜構(gòu)成的第二板保護(hù)層。此外，111是兼有熒光體涂敷基板的熒光體保護(hù)層，由支撐用熒光體保護(hù)層涂敷的熒光體層112的樹脂薄膜層構(gòu)成。這里，熒光體是閃爍體或波長變換體的一例。用101～106構(gòu)成傳感器板100，用111、112構(gòu)成閃爍體板110。閃爍體板110通過粘結(jié)層107粘結(jié)在傳感器板100上。
115是防濕保護(hù)層，其主要目的在于提高熒光體和傳感器板100的耐久性，由防濕效果好的金屬層和支撐金屬層的樹脂薄膜層構(gòu)成。支撐金屬層的樹脂薄膜層形成在金屬層的單面或雙面上，由具有拉伸或擠壓方向的樹脂薄膜構(gòu)成。防濕保護(hù)層115通過粘結(jié)層(未圖示)疊層在熒光體保護(hù)層111上。
此外，在沒有形成傳感器板100的光電變換元件的表面?zhèn)壬?，通過粘結(jié)層113疊層彎曲矯正層114。彎曲矯正層114由具有拉伸或擠壓方向的樹脂薄膜構(gòu)成。本發(fā)明的傳感器板100的支撐基板101所使用的玻璃等材料的熱膨脹系數(shù)為(1～10×10-6)/℃，另一方面，防濕保護(hù)層等所使用的Al等金屬的熱膨脹系數(shù)為(15～25×10-6)/℃，樹脂片的熱膨脹系數(shù)為(1～5×10-6)/℃，各層因熱歷史產(chǎn)生的位移差大。
因此，在本發(fā)明的疊層結(jié)構(gòu)體中，因熱歷史后疊層體的各層位移而產(chǎn)生彎曲。通過拉伸或擠壓成形而形成的樹脂薄膜在其拉伸或擠壓方向上有樹脂材料分子選擇性排列的性狀，所以在拉伸或擠壓方向和非拉伸或擠壓方向上，已知熱膨脹量、高溫時(shí)的熱收縮位移量有所不同。
圖2是表示本發(fā)明的放射線檢測板的樹脂薄膜的形態(tài)圖。
在樹脂薄膜125中，分別用123、124表示拉伸或擠壓方向及非拉伸或擠壓方向。
例如，在作為最普通的樹脂薄膜的聚對苯二甲酸乙二酯膜中，常溫附近的熱膨脹系數(shù)在拉伸或擠壓方向上為1.2×10-5cm/cm/℃，在非拉伸或擠壓方向上為1.6×10-5cm/cm/℃，100℃附近的熱收縮位移率在拉伸或擠壓方向上為0.25％，在非拉伸或擠壓方向方向?yàn)?％。因此，在傳感器板100的光電變換元件側(cè)，疊層閃爍體板110和防濕保護(hù)層115的情況下，因工藝中和耐久性中的熱歷史造成的熒光體保護(hù)層111、以及防濕保護(hù)層115的樹脂薄膜的尺寸位移在拉伸或擠壓方向和非拉伸或擠壓方向上引起不同的位移量。因此，樹脂薄膜的性狀方向成為決定傳感器板的彎曲方向的重要因素。
因此，在本發(fā)明中，通過使形成了防濕保護(hù)層115的傳感器板100的對面上粘結(jié)的彎曲矯正層114的樹脂薄膜與防濕保護(hù)層115的樹脂薄膜的拉伸或擠壓方向?yàn)橄嘟品较?，分別插入粘結(jié)層并進(jìn)行粘結(jié)，可以矯正傳感器板100的彎曲量。
例如，在不僅有防濕保護(hù)層115，而且還有熒光體保護(hù)層111的情況下，將熒光體保護(hù)層111的拉伸或擠壓方向和防濕保護(hù)層115近似方向進(jìn)行粘結(jié)，而且，可以計(jì)算兩層的厚度和材料固有的熱位移特性，設(shè)置彎曲矯正層114，以平衡于相同位移量，使可進(jìn)行矯正的材料、性狀、厚度的彎曲矯正層與樹脂性狀為近似方向。
此外，將彎曲矯正層114粘結(jié)在沒有形成傳感器板100的光電變換元件的表面?zhèn)龋?，如果是熒光體保護(hù)層114和粘結(jié)層113具有光吸收功能和遮光功能的結(jié)構(gòu)，則最好是熒光體層112反光的應(yīng)接收的光被光電變換部以外的支撐基板的背面反射而不被接收，而來自外部的泄漏光從傳感器板100背面進(jìn)入而不被接收。此外，光吸收功能和遮光功能可通過彎曲矯正層114和粘結(jié)層113的雙層結(jié)構(gòu)獲得，使粘結(jié)層113具有光吸收、遮光功能，或使彎曲矯正層具有光吸收、遮光功能，或使雙方具有光吸收、遮光功能都可以。
在粘結(jié)層113側(cè)具有光吸收功能的情況下，樹脂薄膜層的制約小，在粘結(jié)層113透明的情況下，盡量減小粘結(jié)層113和支撐基板101之間的折光率差，最好為±5％，需要抑制界面上的反射，使樹脂薄膜層具有光吸收功能。就使粘結(jié)層113具有光吸收性、遮光性而言，使這些樹脂中含有有機(jī)顏料或無機(jī)顏料就可以。作為有機(jī)顏料，有硝基染料、偶氮顏料、陰丹士林、硫靛藍(lán)perynone、二萘嵌苯、二噁嗪、喹吖酮、酞菁、異吲哚啉酮、奎諾酞系。作為無機(jī)顏料，有碳黑、鉻黃、鎘黃、苜蓿大鐵丹(橙黃)、銀朱、鉛丹、鎘紅、礦物紫(紫色)、鈷藍(lán)、鈷綠、氧化鉻、氧化銦、氧化錫、Viridian(綠)等。在使膜層具有光吸收性中，也可以含有上述所示的顏料。而且，也可以在膜層的粘結(jié)層側(cè)進(jìn)行黑色印刷。
此外，在使彎曲矯正層114的樹脂薄膜具有光吸收性能的情況下，可以在樹脂薄膜形成時(shí)混合碳黑等顏料而使其具有光吸收功能。但是，樹脂薄膜中可含有的顏料量為30wt％左右是形成樹脂薄膜的界限，在樹脂薄膜薄并且遮光性不足的情況下，例如向樹脂薄膜表面噴吹石墨等的遮光性及光吸收性高的粒子來形成樹脂薄膜，可提高樹脂薄膜的遮光性能。
這樣，通過在形成了傳感器板100的光電變換元件的表面?zhèn)?，設(shè)置閃爍體板110和防濕保護(hù)層115，在傳感器板100的另一表面?zhèn)仍O(shè)置彎曲矯正層114，構(gòu)成放射線檢測板410。
作為本發(fā)明的用于樹脂薄膜的材料，只要是有拉伸或擠壓方向的片制樹脂薄膜，任何材料都可以，例如，可列舉聚對苯二甲酸乙二酯樹脂、聚丙烯樹脂、聚碳酸酯樹脂、氯化乙烯樹脂、氯化亞乙烯樹脂、ABS樹脂、聚酰亞胺樹脂等。
圖3是表示本發(fā)明實(shí)施方式2的放射線檢測裝置的放射線檢測板結(jié)構(gòu)的剖面圖。
101是玻璃基板(支撐基板)，102是使用非晶硅的光電變換元件和TFT構(gòu)成的光電變換部，103是布線部，104是電極取出部，105是氮化硅等構(gòu)成的第一板保護(hù)層，106是樹脂膜等構(gòu)成的第二板保護(hù)層。此外，117是柱狀的熒光體構(gòu)成的熒光體層。這里，熒光體是閃爍體或波長變換體的一例。116是將從熒光體發(fā)出的光反射到傳感器板側(cè)的反射層，至少是將有機(jī)保護(hù)膜和金屬反射層疊層了兩層以上的結(jié)構(gòu)，以便有機(jī)材料膜保護(hù)金屬反射層。作為金屬反射層，期望是Al、Ag、Cr、Cu、Ni、Ti、Mg、Rh、Pt或Au等反射率高的金屬。此外，覆蓋反射層的有機(jī)材料層以金屬反射層的保護(hù)和熒光體層的防濕保護(hù)為目的而設(shè)置的，只要可達(dá)到該目的，任何材料都可以，期望使用在USP6469305中公開的抗?jié)裥愿叩木蹖Χ妆降菴VD膜。
115是防濕保護(hù)層，主要目的在于提高熒光體和傳感器板的耐久性，所以從防濕效果好來看，由與反射層不同的另外設(shè)置的金屬層和支撐它的樹脂薄膜層構(gòu)成。支撐金屬層的樹脂薄膜層形成在金屬層的單面或雙面上，由具有拉伸或擠壓方向的樹脂薄膜構(gòu)成。防濕保護(hù)層115通過粘結(jié)層(未圖示)疊層在反射層116上。此外，在沒有形成傳感器板的光電變換元件的表面?zhèn)壬?，通過粘結(jié)層113疊層彎曲矯正層114。彎曲矯正層114由具有拉伸或擠壓方向的樹脂薄膜構(gòu)成。
101～106構(gòu)成傳感器板100，疊層熒光體層117、反射層116、防濕保護(hù)層115，通過密封部122密封防濕保護(hù)層115而獲得放射線檢測板410。在本實(shí)施方式中，也通過使防濕保護(hù)層115的樹脂薄膜和彎曲矯正層114的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较虿⑦M(jìn)行粘結(jié)，可以矯正放射線檢測板的彎曲。特別是在熒光體是柱狀結(jié)晶構(gòu)成的熒光體117的情況下，有時(shí)發(fā)生因產(chǎn)生彎曲而造成熒光體破損的致命缺陷，彎曲矯正造成的應(yīng)力緩和效果大。此外，在彎曲矯正層114或粘結(jié)層113中，與實(shí)施方式1同樣，也可以具有遮光功能和光吸收功能。
圖4是表示本發(fā)明實(shí)施方式3的放射線檢測裝置的放射線檢測板結(jié)構(gòu)的剖面圖。
101是玻璃基板(支撐基板)，102是將X線直接變換成電信號的放射線變換元件和TFT構(gòu)成的光電變換部，103是布線部，104是電極取出部，131是保護(hù)層，直接型傳感器板130是可以將X線直接變換成電信號的傳感器板。用101～104、131構(gòu)成傳感器板130。
115是防濕保護(hù)層，主要以提高傳感器板的耐久性為目的，由防濕效果好的金屬層和支撐它的樹脂薄膜層構(gòu)成。支撐金屬層的樹脂薄膜層形成在金屬層的單面或雙面上，由具有拉伸或擠壓方向的樹脂薄膜構(gòu)成，不僅可防濕，還兼作傳感器面的剛性保護(hù)層。樹脂薄膜層由具有拉伸和擠壓方向的樹脂薄膜形成。防濕保護(hù)層115通過粘結(jié)層(未圖示)疊層在保護(hù)層131上。此外，在沒有形成傳感器板的光電變換元件的表面?zhèn)壬?，通過粘結(jié)層113疊層彎曲矯正層114。彎曲矯正層114由具有拉伸或擠壓方向的樹脂薄膜構(gòu)成。
在本實(shí)施方式中，也通過使防濕保護(hù)層115的樹脂薄膜和彎曲矯正層114的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较虿⑦M(jìn)行粘結(jié)，可以矯正放射線檢測板的彎曲。
如以上說明，無論熒光體為粒子，還是柱狀結(jié)晶構(gòu)成的熒光體，在傳感器板上都沒有閃爍體，即使在將放射線直接變換成電信號的情況下，為了避免彎曲應(yīng)力造成的麻煩，在實(shí)施方式1～3中，通過使防濕保護(hù)層的樹脂膜和彎曲矯正層的拉伸或擠壓方向近似一致來進(jìn)行粘結(jié)，可以矯正放射線檢測板的彎曲。
圖5表示本發(fā)明實(shí)施方式4的放射線檢測系統(tǒng)。
在放射線檢測系統(tǒng)中，使用放射線檢測裝置。X線管6050產(chǎn)生的X線6060透過患者或被檢者6061的胸部6062，入射到放射線檢測裝置6040。在這種入射的X線中包含患者6061的身體內(nèi)部信息。對應(yīng)于X線的入射，放射線檢測裝置6040的熒光體發(fā)光，將其進(jìn)行光電變換來獲得電信息。這種信息通過變換為數(shù)字的圖像處理器6070進(jìn)行圖像處理，可用控制室的顯示器6080觀察。
此外，這種信息可通過電話線路6090等傳輸部件向外地傳送，可在其他場所的醫(yī)生室等顯示器6081上顯示或保存在光盤等的保存部件中，外地的醫(yī)生也可以進(jìn)行診斷。此外，可通過膠片處理器6100記錄在膠片6110上。
下面，詳細(xì)說明本發(fā)明的放射線檢測裝置的實(shí)施例。
實(shí)施例1、2是實(shí)施方式1的實(shí)施例，實(shí)施例3是實(shí)施方式2的實(shí)施例。
(實(shí)施例1)
如圖1所示，在450mm×450mm、厚度0.7mm的玻璃基板101上的非晶硅構(gòu)成的半導(dǎo)體薄膜上，形成光電變換元件和TFT構(gòu)成的光電變換元件部(像素430mm×430mm)102，在其上按厚度4μm形成SiNx構(gòu)成的保護(hù)層105、以及固化了聚酰亞胺樹脂的第二保護(hù)層106。而且，在沒有形成傳感器板100的光電變換元件的表面上，噴射涂敷黑色丙烯油墨，形成厚度5μm的遮光功能層，制作傳感器板100。
在熒光體保護(hù)層111上，將分散在樹脂粘合劑中的熒光體粒子樹脂通過涂敷法按厚度180μm形成在厚度188μm的薄片滾輪狀的PET樹脂膜上，在形成熒光體層112后切斷，形成閃爍體板110。
通過干式層壓疊層Al箔片40μm和PET樹脂薄膜50的薄片滾輪，而且將厚度50μm的丙烯系兩面膠帶(住友3M社制9313)粘結(jié)在Al面?zhèn)龋?40mm×440mm形成Al和PET疊層后的樹脂薄膜防濕保護(hù)層115。
在厚度250μm的透明PET片上粘結(jié)厚度50μm的丙烯系兩面膠帶(住友3M社制9313)，形成帶有粘結(jié)層113的PET片，獲得440mm×440mm的彎曲矯正層114。
使用丙烯系粘結(jié)劑(XSG)的粘結(jié)層107將獲得的閃爍體板110的熒光體層112側(cè)粘結(jié)在傳感器板100上，而且，在作為閃爍體板110的熒光體保護(hù)層111的樹脂薄膜上，以兩者的拉伸方向?yàn)榻品较騺碚辰Y(jié)防濕保護(hù)層115的樹脂薄膜。而且，在沒有形成傳感器板100的光電變換元件的面、即沒有設(shè)置閃爍體板110的面上構(gòu)成放射線檢測板，以使彎曲矯正層114和防濕保護(hù)層115的樹脂薄膜的拉伸方向?yàn)榻品较颉?br> (實(shí)施例2)如圖1所示，在玻璃基板101上的非晶硅構(gòu)成的半導(dǎo)體薄膜上，形成光電變換元件和TFT構(gòu)成的光電變換元件部(像素)102，在其上形成SiNx構(gòu)成的保護(hù)膜105、以及固化了聚酰亞胺樹脂的第二保護(hù)層106，制作傳感器板100。
與實(shí)施例1同樣，制作閃爍體板110、防濕保護(hù)層115。
在厚度100μm(Panak公司制)的黑PET片上，粘結(jié)厚度50μm的丙烯系兩面膠帶(住友3M社制9313)，形成帶有粘結(jié)層的PET片，獲得具備遮光功能和光吸收功能的440mm×440mm的彎曲矯正層114。
在獲得的傳感器板100上，與實(shí)施例1同樣粘結(jié)各層。粘結(jié)以熒光體保護(hù)層111、防濕保護(hù)層115、彎曲矯正層114的各樹脂薄膜的拉伸方向?yàn)榻品较騺磉M(jìn)行，構(gòu)成放射線檢測板。
(實(shí)施例3)如圖3所示，在玻璃基板101上的非晶硅構(gòu)成的半導(dǎo)體薄膜上，形成光電變換元件和TFT構(gòu)成的光電變換元件部(像素)102，在其上形成SiNx構(gòu)成的保護(hù)膜105、以及固化了聚酰亞胺樹脂的第二保護(hù)層106，制作傳感器板100。
接著，在傳感器板100上，通過鍍敷法按厚度500μm形成由堿鹵化物構(gòu)成的柱狀結(jié)晶的熒光體層117。接著，通過CVD法按10μm的厚度形成由聚對二甲苯樹脂構(gòu)成熒光體表面的保護(hù)層，接著通過濺射法設(shè)置5000埃的Al層作為反射層，再次通過CVD法按10μm的厚度形成由聚對二甲苯樹脂構(gòu)成的保護(hù)層，并獲得反射層116。
與實(shí)施例1同樣，形成防濕保護(hù)層115，與實(shí)施例2同樣，獲得具備遮光功能和光吸收功能的彎曲矯正層114。
而且，在該反射層上通過粘結(jié)劑粘結(jié)實(shí)施例1的防濕保護(hù)層115，在密封部122中用丙烯樹脂密封片端部。而且，將防濕保護(hù)層115的樹脂薄膜和彎曲矯正層114粘結(jié)，構(gòu)成放射線檢測板，以使拉伸方向?yàn)榻品较颉?br> 使用這些實(shí)施例那樣構(gòu)成的放射線檢測板來構(gòu)成放射線檢測裝置。在這樣的放射線檢測裝置中，在工藝過程中放射線檢測板上不產(chǎn)生彎曲，可在板上的電極引出焊盤部安裝焊接端子，良好地進(jìn)行電氣布線連接。
而且，將以上那樣制作的放射線檢測裝置在60℃、90％的溫度濕度試驗(yàn)槽中保存1000小時(shí)。其結(jié)果，沒有發(fā)生熒光體層的層間剝離等外觀不良，而且?guī)缀蹩床怀鲮`敏度的下降，可以確認(rèn)獲得了可靠性高的放射線檢測裝置。
(比較例)除了沒有形成彎曲矯正層以外，與實(shí)施例1同樣獲得放射線檢測板。將獲得的放射線檢測板裝入進(jìn)行電連接的機(jī)殼中，獲得放射線檢測裝置。
從這樣獲得的裝置中，在沒有形成放射線檢測板的光電變換元件面?zhèn)?，可觀察到在處理中形成損傷的涂敷膜局部破損的缺陷。而且，將以上那樣制作的放射線檢測裝置在60℃、90％的溫度濕度試驗(yàn)槽中保存1000小時(shí)。其結(jié)果，發(fā)生被認(rèn)為是熒光體層的層內(nèi)破損的剝離不良造成的圖像缺陷。
而且，在與實(shí)施例1同樣構(gòu)成的放射線檢測板中，為了調(diào)查熒光體保護(hù)層、防濕保護(hù)層的厚度與彎曲矯正層的厚度之間的關(guān)系，變更在表1中所示的各層的厚度來形成放射線檢測板。
表1

測定這些實(shí)施例和比較例那樣構(gòu)成的放射線檢測板的彎曲量。這里，在本測定中，將從平面上放置板時(shí)的最大高度中扣除了結(jié)構(gòu)層厚度所得的量作為彎曲量。
實(shí)施例4、5、6結(jié)構(gòu)的放射線檢測板相對于比較例其彎曲量都小。
此外，使用這些實(shí)施例結(jié)構(gòu)的放射線檢測板來構(gòu)成放射線檢測裝置。在這樣的放射線檢測裝置中，在工藝中放射線檢測板上不產(chǎn)生彎曲，可在板上的電極引出焊盤部安裝焊接端子，良好地進(jìn)行電氣布線連接。
而且，將以上那樣制作的放射線檢測裝置在60℃、90％的溫度濕度試驗(yàn)槽中保存1000小時(shí)。其結(jié)果，沒有發(fā)生熒光體層的層間剝離等外觀不良，而且?guī)缀蹩床怀鲮`敏度的下降，可以確認(rèn)獲得了可靠性高的放射線檢測裝置。
可以提出本發(fā)明的許多明顯不同的實(shí)施例，而不會脫離本發(fā)明的精神和范圍，應(yīng)該理解，除了由權(quán)利要求限定以外，本發(fā)明不限于這些特定實(shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種放射線檢測裝置，具有在支撐基板的一個(gè)表面上形成有多個(gè)變換元件的傳感器板，其特征在于在所述傳感器板的形成了所述變換元件的表面?zhèn)券B層具有拉伸或擠壓方向的第1樹脂薄膜構(gòu)成的保護(hù)層，在所述傳感器板的另一表面?zhèn)券B層具有拉伸或擠壓方向的第2樹脂薄膜，所述保護(hù)層和所述第2樹脂薄膜被粘結(jié)在所述傳感器板上，以使彼此的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较颉?br> 2.如權(quán)利要求1所述的放射線檢測裝置，其特征在于，所述保護(hù)層是防濕保護(hù)層。
3.如權(quán)利要求2所述的放射線檢測裝置，其特征在于，在所述傳感器板的形成了所述變換元件的表面?zhèn)壬弦来委B層熒光體層、熒光體保護(hù)層以及防濕保護(hù)層。
4.如權(quán)利要求3所述的放射線檢測裝置，其特征在于，所述熒光體保護(hù)層包含具有拉伸或擠壓方向的第3樹脂薄膜，該方向與所述防濕保護(hù)層的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较颉?br> 5.如權(quán)利要求2所述的放射線檢測裝置，其特征在于，在所述傳感器板的形成了所述變換元件的表面?zhèn)纫来委B層熒光體層、反射層以及防濕保護(hù)層。
6.如權(quán)利要求1～5任何一項(xiàng)所述的放射線檢測裝置，其特征在于，所述第2樹脂薄膜是遮光層。
7.如權(quán)利要求1或2所述的放射線檢測裝置，其特征在于，所述傳感器板在支撐基板的一個(gè)表面上具有將放射線直接變換成電信號的多個(gè)變換元件。
8.一種放射線檢測裝置的制造方法，所述放射線檢測裝置通過將在支撐基板的一個(gè)表面上形成有多個(gè)變換元件的傳感器板和具有將放射線變換成所述變換元件可檢測的光的熒光體層的閃爍體板粘結(jié)起來構(gòu)成，其特征在于，該方法包括在所述閃爍體板上粘結(jié)由具有拉伸或擠壓方向的第1樹脂薄膜構(gòu)成的防濕保護(hù)層的步驟；以及在所述傳感器板的沒有所述變換元件的表面?zhèn)壬贤ㄟ^粘結(jié)層粘結(jié)具有拉伸或擠壓方向的第2樹脂薄膜，以使該方向與所述防濕保護(hù)層的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较虻牟襟E。
9.一種放射線檢測裝置的制造方法，所述放射線檢測裝置具有在支撐基板的一個(gè)表面上形成有多個(gè)變換元件的傳感器板和在所述傳感器板的具有所述變換元件的表面?zhèn)壬闲纬傻?、將放射線變換成所述變換元件可檢測的光的熒光體層，其特征在于，該方法包括在所述熒光體層上粘結(jié)由具有拉伸或擠壓方向的第1樹脂薄膜構(gòu)成的防濕保護(hù)層的步驟；以及在所述傳感器板的沒有所述變換元件的表面?zhèn)壬贤ㄟ^粘結(jié)層粘結(jié)具有拉伸或擠壓方向的第2樹脂薄膜，以使該方向與所述防濕保護(hù)層的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较虻牟襟E。
10.一種放射線檢測裝置的制造方法，其特征在于，該方法包括在形成有將放射線直接變換成電信號的多個(gè)變換元件的直接型傳感器板的具有所述變換元件的表面?zhèn)壬?，粘結(jié)由具有拉伸或擠壓方向的第1樹脂薄膜構(gòu)成的防濕保護(hù)層的步驟；以及在所述直接型傳感器板的沒有所述變換元件的表面?zhèn)壬贤ㄟ^粘結(jié)層粘結(jié)具有拉伸或擠壓方向的第2樹脂薄膜，以使該方向與所述防濕保護(hù)層的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较虻牟襟E。
11.一種放射線檢測系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括權(quán)利要求1～5任何一項(xiàng)所述的放射線檢測裝置。
12.一種放射線檢測系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括權(quán)利要求6所述的放射線檢測裝置。
13.一種放射線檢測系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括權(quán)利要求7所述的放射線檢測裝置。
全文摘要
在具有在支撐基板的一個(gè)表面上形成多個(gè)光電變換元件的傳感器板的放射線檢測裝置中，在形成了傳感器板的光電變換元件的表面?zhèn)券B層防濕保護(hù)層，在傳感器板的另一表面?zhèn)券B層彎曲矯正層，并且，防濕保護(hù)層和彎曲矯正層由具有相同拉伸或擠壓方向的樹脂膜構(gòu)成，以使兩樹脂薄膜的拉伸或擠壓方向?yàn)榻品较蚨徽辰Y(jié)。通過上述那樣形成，來防止熱位移引起的放射線檢測板的彎曲。
文檔編號G01T1/20GK1530667SQ200410028430
公開日2004年9月22日 申請日期2004年3月11日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月12日
發(fā)明者長野和美, 之, 田村知之, 岡田聰, 郎, 竹中克郎 申請人:佳能株式會社