專利名稱：測量儀、編碼器及編碼器的制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及測量儀、用于測量儀的編碼器及編碼器的制造方法。
背景技術：
現有各種測量距離、長度、角度等的測量儀。比如，測量長度的測量儀有游標卡尺。游標卡尺的結構包括具有一方的測爪的本尺；沿該本尺的長度方向滑動自如地設置、具有與所述一方的測爪一起與被測物抵接的測爪的游標。
這種游標卡尺，可長期維持其測量精度是很重要的。因此，本尺及游標最好由可精密加工且耐滑動的材料構成。為此，一般游標卡尺的本尺及游標，由線膨脹系數小、且具有耐磨性的經熱處理的金屬(諸如不銹鋼等)形成。
但是，將金屬機械性加工成所需的形態(tài)需花費大量的時間和費用。為了使本尺和游標有良好的滑動性，不得不用研磨加工等對本尺和游標的滑動面進行精加工。這種工序，對游標卡尺以外的精密測量儀器也是必須的。經過如此多的精加工制造所得到的測量儀器存在著生產線復雜化和高成本等的問題。
為了維持測量精度，需要將線膨脹控制在一定的范圍內。為此，一般的測量儀，作為測量條件，比如通過將溫度限制在20度即可抑制線膨脹引起的誤差。但是，在高溫和低溫等嚴酷的測量環(huán)境下，就會產生線膨脹引起的測量誤差的問題。
在用手握住測量儀的場合，因手的熱量引起的溫度分布，不同的地方出現不同的線膨脹，存在著容易產生測量誤差的問題。
如游標卡尺那樣具有滑動機構的測量儀中，還是存在重復使用引起的磨損問題。為了降低磨損、維持光滑的滑動，而不得不使用潤滑劑等，但在使用了潤滑劑的場合，會產生垃圾等粘附其上的問題。
另外，數字式的測量儀，諸如數字式游標卡尺和數字式千分尺等，在本尺與游標的滑動面上具有對可動構件相對于固定構件的移動量進行檢測的編碼器。
編碼器如

圖13所示，其包括具有將導電部141及絕緣部142沿本尺11的長度方向按規(guī)定的間距交替排列的電極結構的主尺15；設置在游標12上、與所述主尺15靜電容量結合而對游標相對于本尺的相對移動量進行檢測的檢測頭125。
主尺15具有絕緣構件161(比如，玻璃和聚碳酸酯等)；以規(guī)定的間距設置在該絕緣構件161的導電部141。絕緣構件161借助162固定于本尺1上(粘貼)。
來自檢測頭125的檢測值，在被輸出至電路126進行運算處理后，作為測量值顯示在未圖示的顯示部上。
但是，因為將主尺15粘接在本尺11上，故有可能主尺15產生彎曲，或主尺15從本尺11上剝離。其結果，容易引起檢測誤差的問題。
另外，主尺15產生的線膨脹、手的熱量引起的不均勻的溫度分布等問題與通常的測量儀的場合相同。
以上問題不局限于數字式游標卡尺，也是數字式千分尺和數字式度盤式指示器等、具有檢測可動構件相對于固定構件的相對移動量的編碼器的測量儀中產生的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明的第1目的在于提供一種測量儀，能解決傳統(tǒng)的問題，制造簡便且具有高性能。
為了達到上述目的，本發(fā)明的測量儀，其特征在于，至少一部分具有由含有毫微級物質的合成樹脂所形成的組成構件。
在此，測量儀，是測量長度、距離、角度等物理量的測量儀，諸如游標卡尺、千分尺、度盤式指示器等。組成構件，是構成測量儀的構件，諸如游標卡尺的本尺和游標、千分尺的框架和測量軸、度盤式指示器的外殼本體和齒輪及測量軸等。
一般合成樹脂，是脆弱的，且線膨脹率大，但將毫微級物質(比如碳毫微纖維)添加在合成樹脂的母材(比如，聚苯乙烯)中，通過設定合適的條件，能得到剛性強化、抑制線膨脹、提高耐磨性能、摩擦系數下降、提高導熱系數、付與導電性或絕緣性的效果。盡管其理由還不太明確，但一般認為是毫微物質在合成樹脂內構筑網絡引起的。
因此，具有由含有毫微級物質的合成樹脂構成的組成構件的測量儀，比如，本尺和游標用毫微物質的合成樹脂形成的游標卡尺中，由于可減小線膨脹系數，故可排除線膨脹引起的誤差，進行精密的測量。如線膨脹小，則不受測量溫度限制，即使在高溫和低溫等嚴酷的條件下也能進行精密的測量。
因為耐磨性能提高，故即使重復使用也不會磨損，可維持測量精度。
因為摩擦系數小，故滑動性好，即使無潤滑劑也可作為滑動機構使用。因此，污垢和垃圾不易粘附。
因為導熱系數好，即使用手握住測量儀進行測量的場合，手的熱量瞬間擴散，不會因地方不同而產生膨脹的差異。因此，即使是用手握著使用的手持式測量儀，也不會因手的熱量而產生測量誤差，可進行精密測量。
因為強化了剛性，故可抑制測量儀的組成構件的變形。尤其是，夾持被測物進行測量的測量儀，比如，即使游標卡尺和千分尺，也可抑制按壓力引起的變形，可提高測量精度。
因為強化了剛性，也可在維持剛性的同時使組成構件薄形化、小型化。
因為是合成樹脂，故測量儀可做得很輕。因是合成樹脂，故比金屬更適合于手，而不用擔心金屬過敏等。
所述至少一部分由含有毫微級物質的合成樹脂形成的組成構件，最好由注塑成型形成。
如將含有毫微級物質的合成樹脂進行注塑成型，則不需要機械加工，可簡便地進行制造。因此，可使生產線和制造工序簡略化，降低成本。含有毫微級物質的合成樹脂，其成型性能優(yōu)越，模具的復制性好，注塑成型后不需要對表面進行精加工等。
測量儀中設有具有基部、相對于所述基部設成滑動自如的滑動體的滑動機構的場合，所述基部及所述滑動體的至少某一方最好由包括所述毫微級物質的合成樹脂形成。
這里，也可是由包括所述毫微級物質的合成樹脂形成滑動機構的基部及滑動體雙方或其中某一方。含有毫微級物質的合成樹脂由于提高了耐磨性能，故即使重復使用也不會磨損，另外，摩擦系數小，故滑動性好，即使無潤滑劑也可作為滑動機構使用。
具有基部；相對于所述基部設成滑動自如的滑動體；設置在所述基部及所述滑動體的相對面的任何一方、且與另一方抵接并引導所述滑動體的滑動引導構件，所述滑動引導構件，最好由所述含有毫微級物質的合成樹脂形成。
通過滑動機構中抵接的滑動引導構件由含有毫微級物質的合成樹脂形成，可提高滑動機構的滑動性、耐磨性。
如將毫微級物質用作為導電性附加劑，則滑動引導構件具有導電性。這樣，可防止滑動面帶靜電。因此，即使在該滑動機構設置線性編碼器等，也可防止帶電，可防止編碼器的破損和錯誤動作，能進行精密的測量。
在測量儀具有電路等的場合，設有內部具有電路的外殼體，所述外殼體最好由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
毫微級物質，相對于合成樹脂可起到導電性附加劑或絕緣性附加劑的作用。為此，利用毫微級物質的作為導電性附加劑的作用，而將電路收納在由含有毫微級物質的合成樹脂形成的外殼體內。外殼體本身構成電磁屏蔽。其結果，可將帶有電路的測量儀、比如數字式游標卡尺、數字式千分尺等的電路從外部磁場及外部電場進行保護。此時，外殼體本身起到電磁屏蔽的功能，沒有必要另外設置電磁屏蔽構件等，可實現測量儀的小型化和低成本化。
在測量儀具有傳遞動力的動力傳遞構件的場合，所述動力傳遞構件最好由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
作為動力傳遞構件，比如，通過齒條和齒輪列等由含有毫微級物質的合成樹脂形成，則動力傳遞構件的剛性、耐磨性得到提高。因此，可成為經得起重復使用的動力傳遞構件。因為強化了剛性，可使動力傳遞構件小型化、薄形化，其結果，可使測量儀本身小型化、輕量化。
測量儀，在具有裝載被測物的載物臺的場合，最好所述載物臺由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
測量儀，比如表面形狀測量儀等的載物臺，需要具有精密的表面精加工、和長時間無形狀(尺寸)變化的剛性及低線膨脹系數。含有毫微級物質的合成樹脂，由于具有長年累月不變的剛性和低線膨脹系數，故作為載物臺有許多優(yōu)點。與傳統(tǒng)的金屬和石頭(花崗巖)形成的載物臺相比，由含有毫微級物質的合成樹脂形成的載物臺較輕，可使測量儀本身輕量化。
另外，含有毫微級物質的合成樹脂，模型復制性好，注塑成型后不需進行表面加工，使制造工序簡單化，實現低成本。即使是進行更高精度的精加工的場合，其精加工工序也比傳統(tǒng)技術有很大的縮短。
本發(fā)明的第2個目的，在于提供一種在提高檢測精度的同時，實現小型化、輕量化，低成本制造的編碼器及制造該編碼器的編碼器制造方法。
本發(fā)明的編碼器，具有固定構件、相對于所述固定構件可相對移動而設置的可動構件，對所述可動構件相對于所述固定構件的相對移動量進行檢測的編碼器，其特征在于，所述固定構件及所述可動構件的至少某一方，其結構具有由含有毫微級物質的合成樹脂構成的絕緣構件所形成的本體、按規(guī)定的間距排列在所述本體表面上的導電性的電極。
將毫微級物質(比如碳毫微纖維)添加至合成樹脂內，通過合理設定各條件，可對合成樹脂的母材(比如，聚苯乙烯)附加導電性或絕緣性。一般，合成樹脂是脆弱的，且線膨脹率大，但通過將毫微級物質添加至合成樹脂內，能得到剛性強化、抑制線膨脹、降低摩擦系數、提高導熱系數等的效果。盡管其理由還不太明確，但一般認為是毫微物質在合成樹脂內構筑網絡引起的。
為此，固定構件及可動構件的至少某一方是由含有毫微級物質的絕緣體的合成樹脂形成，以此作為本體。而且，在該本體的表面按規(guī)定的間距設置導電性的電極。這樣，在本體的表面，本體本身即絕緣部與設置在表面的導電部被交替排列。因此，可將該表面排列了導電部的本體本身作為編碼器的刻度。
這里，電極可是金屬性，也可是含有毫微級物質的合成樹脂且具有導電性的材料。
以往，將玻璃等絕緣體的表面上形成導電性電極的刻度粘接在固定構件或可動構件的表面上。因此，除了需要粘接工序以外，還會產生刻度彎曲和剝離等。
但是，本發(fā)明中，由于固定構件或可動構件本身成為刻度，故不需粘接另外形成的刻度。因此，可簡化編碼器的制造工序，實現低成本化。因固定構件或可動構件本身成為刻度，故刻度不會產生彎曲和剝離。其結果，在提高編碼器的檢測精度的同時，可長期維持檢測精度。因固定構件或可動構件本身成為了刻度，故使用編碼器的測量儀可小型化。
可使含有毫微級物質的合成樹脂線膨脹系數小，因而也可使本體的線膨脹小。即，刻度的線膨脹減小。因此，可排除線膨脹引起的誤差、成為具有精密測量精度的編碼器。如刻度的線膨脹系數小，則不受測量溫度限制，成為即使在高溫和低溫等嚴酷的條件下也能進行精密的測量的編碼器。
含有毫微級物質的合成樹脂的導熱系數好。因此，即使作為用手握住本體進行測量的測量儀而使用該編碼器的場合，手的熱量瞬間擴散，不會因地方不同而產生膨脹的差異。因此，即使是用手握著使用的手持式測量儀，也不會因手的熱量產生測量誤差，可進行精密測量。
含有毫微級物質的合成樹脂的剛性得到了強化。故可在維持剛性的同時使本體薄形化、小型化。其結果，可使裝入該編碼器的測量儀薄形化、小型化。
在以上的編碼器中，所述本體最好用含有毫微級物質的合成樹脂通過注射成型形成。
含有毫微級物質的合成樹脂，成型性能優(yōu)良、模型復制性好。故通過注射成型形成的固定構件或可動構件的本體可形成可用作為編碼器的刻度的精度。在此場合，注射成型后，不需要機械加工和表面精加工等，非常簡便。因此，可使生產線和制造工序簡略化，降低成本。
以上的編碼器中，所述電極最好由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
毫微級物質可作為導電性附加劑給予合成樹脂以導電性。為此，在固定構件或可動構件的本體表面，形成含有該毫微級物質且附加有導電性的合成樹脂的電極。這樣，利用含有毫微級物質的合成樹脂的性質，可形成具有剛性強化、抑制線膨脹、提高耐磨性、降低摩擦系數、提高導熱系數等效果的電極。尤其是，能得到耐磨性的提高和摩擦系數的降低，即使在編碼器的滑動面直接接觸進行滑動的場合，可得到電極不會磨損、具有光滑的滑動性的編碼器。
本發(fā)明的編碼器制造方法，具有固定構件、相對于所述固定構件可相對移動而設置的可動構件，制造對相對于所述固定構件的所述可動構件的相對移動量進行檢測的編碼器，其特征在于，包括通過含有毫微級物質的合成樹脂構成的絕緣構件、而將所述固定構件及可動構件中的至少某一方的本體進行注射成型的本體形成工序；在所述本體的表面層疊導電層的導電層形成工序；將所述導電層按規(guī)定間距進行剝離的剝離工序。
首先，在本體形成工序中，通過含有毫微級物質的合成樹脂的注射成型，將固定構件或可動構件的本體形成為絕緣體。在導電層形成工序中，在該本體表面形成導電層。該導電層也可在本體表面電鍍薄層狀的金屬。另外，也可在本體表面設置薄層狀的含有毫微級物質且具有導電性的合成樹脂。剝離工序中，按規(guī)定間距剝離導在電層形成工序中所形成的導電層，形成電極結構。
采用這種結構，可在形成絕緣性的固定構件或可動構件的本體上直接形成電極。即，固定構件或可動構件的本體本身成為編碼器的刻度。故沒有必要像傳統(tǒng)技術那樣將另外形成的刻度粘貼在固定構件或可動構件的本體上，本發(fā)明中，可簡便地形成編碼器。其結果，可簡化制造線，降低成本。而且，由于本體本身成為刻度，故不會像傳統(tǒng)技術那樣刻度會產生彎曲、或刻度剝離，可提高測量精度。
由于本體本身由注射成型形成，故非常簡便，同時，含有毫微級物質的合成樹脂的成型性能優(yōu)良、模型復制性好，故注射成型后不需要機械加工和表面精加工。
在以上的編碼器制造方法中，所述導電層形成工序，最好是將含有毫微級物質的導電性的合成樹脂注射成型在所述本體上。
首先，在本體形成工序中，利用含有毫微級物質且導電性的合成樹脂通過注射成型形成本體。然后，在該本體上，利用含有毫微級物質且是導電性的合成樹脂通過注射成型而雙重成型導電層。如此結構，與在本體上電鍍金屬相比是非常簡便的，可利用制造工序的簡化，來提高制造效率。
由于通過本體與導電構件都是含有毫微級物質的合成樹脂而使結合面的相性良好(浸濕性好)，故不易產生導電層的剝離，成為能長期維持測量精度的編碼器。
本發(fā)明的編碼器制造方法，具有固定構件、相對于所述固定構件可相對移動而設置的可動構件，制造對相對于所述固定構件的所述可動構件的相對移動量進行檢測的編碼器，其特征在于，包括通過含有毫微級物質的合成樹脂構成的絕緣構件、而將所述固定構件及可動構件中的至少某一方的本體進行注射成型的本體形成工序；在所述本體的表面按規(guī)定間距形成槽的槽形成工序；將含有毫微級物質的導電性的合成樹脂注射成型在所述本體上而在所述本體表面的槽內形成電極的槽充填工序。
首先，在本體形成工序中，由含有毫微級物質且絕緣性的合成樹脂通過注塑成型而形成本體。然后，在槽形成工序中，對應于電極形成位置，在該本體的表面以規(guī)定的間距形成槽。在槽充填工序中，將含有毫微級物質且絕緣性的合成樹脂通過注射成型充填在槽形成工序中所形成的槽內。這樣，充填至槽內的合成樹脂成為電極，可形成編碼器的刻度。
這里，槽形成工序，也可切削本體的表面形成槽。含有碳毫微級物質的合成樹脂具有與金屬同等的剛性，可由機械加工進行精密成型。
槽形成工序，也可通過在注射成型本體的模具內設置形成槽的凸部，從而在本體表面形成槽。碳毫微級物質的成型性能優(yōu)良、模型復制性好，即使是注塑成型，也能以精密的間距形成槽。然后在槽充填工序中，若采用雙重成型形成電極，則非常簡便，可使制造線簡化，提高制造效率。
由于設有槽、并在該槽內形成電極，故可作成無電極凹凸的刻度。這樣，可將該刻度部分作為滑動面。含有毫微級物質的合成樹脂具有耐磨性提高、摩擦系數低下等的性質。故即使讓該刻度部分滑動的場合，也不會產生磨損，并能進行光滑的滑動。
本發(fā)明的編碼器制造方法，具有固定構件、相對于所述固定構件可相對移動而設置的可動構件，制造對所述可動構件相對于所述固定構件的相對移動量進行檢測的編碼器，其特征在于，包括通過含有毫微級物質的合成樹脂構成的絕緣構件、而將所述固定構件及可動構件中的至少某一方的本體進行注射成型的本體形成工序；在基材上通過含有毫微級物質且絕緣性的油墨印刷電極層的電極印刷工序；在所述電極層上形成粘接層的粘接層形成工序；將所述基材借助所述粘接層而粘貼在所述本體上的基材粘貼工序。
即使利用該編碼器制造方法，也能得到性能優(yōu)越的編碼器。
本發(fā)明的編碼器，具有固定構件、相對于所述固定構件可相對移動而設置的可動構件，制造對相對于所述固定構件的所述可動構件的相對移動量進行檢測的編碼器，其特征在于，包括對所述可動構件向所述固定構件施力的施力裝置；設置在所述固定構件及所述可動構件的相對面中的任何一方并與另一方的相對面抵接、將所述間隔維持一定的間隔保持裝置，所述間隔保持裝置由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
如此結構中，固定構件與可動構件之間設有保持間隔的間隔保持裝置，同時，可動構件由施力裝置朝固定構件施力。則，設置在固定構件與可動構件之間的編碼器，比如使固定構件側的刻度與可動構件側的檢測頭始終保持一定的間隔而滑動，以維持編碼器的檢測精度。
間隔保持裝置，是從固定構件及可動構件的任何一方與另外一方側進行抵接用的，比如，只要是在可動構件的檢測頭周圍設置規(guī)定個數的凸部，通過凸部的前端與固定構件的抵接而能保持固定構件與可動構件的間隔即可。這種間隔保持裝置，通過由含有毫微級物質的合成樹脂形成，從而可獲得耐磨損性提高、摩擦系數低下等的效果。這樣，間隔保持裝置不會磨損，可長期保持間隔一定。其結果，可長期維持測量精度。因摩擦系數下降，故可使固定構件與可動構件的滑動光滑，不需要使用潤滑劑等。
以上的編碼器中，所述施力裝置，是相對于滑動面大致平行且從所述可動構件突設的推壓力傳遞構件，可動構件及所述推壓力傳遞構件，最好由含有毫微級物質的合成樹脂一體成型。
可對含有毫微級物質的合成樹脂賦予彈性。因此，當用含有毫微級物質的合成樹脂形成諸如薄片構件、對該薄片構件向規(guī)定的方向施加力的作用時，則像板簧那樣產生作用。當將該薄片構件設置在可動構件上、向該薄片構件作用推壓力時，則該薄片構件作為推壓力傳遞構件而傳遞推壓力，使可動構件受到施力。
以往，施力裝置是另外形成的，并通過附設在可動構件上以將可動構件施力在固定構件上。但是，通過將推壓力傳遞裝置與可動構件一起用含有毫微級物質的合成樹脂一體注射成型，則可簡化制造工序(組裝工序)。由此，在提高制造效率的同時，可實現低成本化。
本發(fā)明的編碼器，具有固定構件、相對于所述固定構件可相對移動而設置的可動構件，對所述可動構件相對于所述固定構件的相對移動量進行檢測的編碼器，其特征在于，所述固定構件及所述可動構件的至少某一方，具有由含有毫微級物質及磁性材料的合成樹脂形成的本體、按規(guī)定的間距交替排列在所述本體表面上的磁極。
通過在含有毫微級物質的合成樹脂中進一步添加磁性材料，則可對其附加磁性。通過將用含有毫微級物質及磁性材料的合成樹脂形成的本體表面按規(guī)定的間距磁化成N極及S極，從而可形成電磁式編碼器的傳感器結構。這種結構，在由注射成型形成本體后，僅進行磁化，非常簡便，故可提高制造效率及降低成本。
本發(fā)明的編碼器，具有固定構件、相對于所述固定構件可相對移動而設置的可動構件，對所述可動構件相對于所述固定構件的相對移動量進行檢測的編碼器，其特征在于，所述固定構件及所述可動構件的至少某一方，具有由含有毫微級物質的合成樹脂形成且表面呈鏡面狀的本體、按規(guī)定的間距形成在所述本體表面上的非反射光部。
含有毫微級物質的合成樹脂，其表面可做成鏡面狀。因此，若用含有毫微級物質的合成樹脂形成具有鏡面狀表面的本體，在該表面上按規(guī)定的間距形成不反射光的非反射光部，即可形成光電式編碼器的刻度。非反射光部，在注射成型了本體后，也可將含有毫微級物質的合成樹脂在本體表面上提高雙重成型而形成非反射。非反射光部也可在本體表面粘貼不反光構件，也可切削表面使其不反光。這樣的結構，可簡便地形成反射型的光電式編碼器，在提高制造效率的同時，實現低成本化。
在以上的測量儀、編碼器或編碼器的制造方法中，所述含有毫微級物質，最好是由碳毫微纖維或碳毫微管為代表的碳毫微級物質的任何一種。
碳毫微級物質表示以碳毫微纖維為代表，碳毫微管、弗拉棱(日文フラ-レン)等碳原子構成的毫微級物質。將如此碳毫微級物質添加到合成樹脂(比如，聚苯乙烯等)的母材中，能得到剛性強化、抑制線膨脹、提高耐磨性能、降低摩擦系數、提高導熱系數等的效果。另外，通過合理地設定各條件，可附加導電性或絕緣性。故通過使用如此含有碳毫微級物質的合成樹脂來形成固定構件或可動構件的本體和電極等，可提高編碼器的性能。因是合成樹脂，可可通過注射成型進行成型。其結果，可簡化制造工序，實現低成本化。
附圖的簡單說明圖1是表示本發(fā)明的第1實施例的測量儀即數字式游標卡尺。
圖2是表示所述第1實施例中主尺的放大圖。
圖3是表示所述第1實施例中編碼器的制造方法。
圖4是表示本發(fā)明的第2實施例的度盤式指示器。
圖5是表示在所述測量軸上形成刻度的例子。
圖6是表示作為本發(fā)明的第3實施例的測量儀的移動量測量儀的線性編碼器的剖視圖。
圖7是表示所述線性編碼器的游標。
圖8是表示本發(fā)明的第4實施例的具有推壓力傳遞構件及間隔保持部的測量儀。
圖9是表示本發(fā)明的變形例的編碼器及編碼器的制造方法。
圖10是表示本發(fā)明的變形例的編碼器及編碼器的制造方法。
圖11是表示本發(fā)明的變形例的光電式編碼器的主尺。
圖12是表示本發(fā)明的變形例的磁式編碼器的主尺。
圖13是表示傳統(tǒng)的編碼器。
具體實施例以下利用附圖對本發(fā)明的實施例作說明。
(第1實施例)圖1是表示作為本發(fā)明的第1實施例，使用了本發(fā)明的編碼器的數字式游標卡尺1。
該游標卡尺1，由作為基部的長桿狀的本尺11、設置成可沿該本尺11長度滑動的作為可動構件(滑動體)的游標12構成。
本尺11，由設置在縱向一端側的外側用測量爪111及內側用測量爪112、沿本尺11的縱向設置的靜電容量式編碼器的主刻度14構成。
本尺11，包括外側用測量爪111及內側用測量爪112，由作為含有毫微級物質的含有碳毫微纖維的聚苯乙烯的合成樹脂通過注射成型而一體成型。
主刻度14如圖2的放大圖所示，是由沿本尺11的縱向按規(guī)定間距形成的、作為電極的導電部141及絕緣部142構成的電極結構。該主刻度14由注射成型形成，詳細用圖3后述。
游標12具有游標本體121；設置在該游標12的一端側、與本尺11的外側用測量爪111及內側用測量爪112一起與被測量物的被測量部位抵接的外側用測量爪122及內側用測量爪123。游標本體121的內部，設有與主刻度14的電極機構靜電結合并對相對于主刻度14的相對移動量進行檢測的檢測頭125；對來自檢測頭125的檢測值進行運算處理的電路126；將運算處理結果作為測量值進行顯示的顯示部124。有關檢測頭125及電路126與背景技術的圖13所示的相同。游標12，包括游標本體121、外側用測量爪122及內側用測量爪123，由含有碳毫微纖維的合成樹脂(聚苯乙烯)通過注射成型一體成型。構成游標12的含有碳毫微纖維的合成樹脂，通過添加碳毫微纖維，而可被賦予導電性。
這里，由本尺11的主刻度14和游標12的檢測頭25構成靜電容量式編碼器。
(主尺的制造方法)現參照圖3對本尺11的主刻度14的制造方法作說明。
主刻度14的制造方法，具有形成本尺11的本尺形成工序(本體形成工序)；在本尺11表面層疊導電層143的導電層形成工序；將導電層143按規(guī)定的間距進行剝離的剝離工序。
本尺形成工序中，本尺11由含有碳毫微纖維且絕緣性的合成樹脂來注射成型(參照圖3(A))。此時，本尺11包括外側用測量爪111及內側用測量爪112而一體注射成型。
含有碳毫微纖維的合成樹脂的成型性能優(yōu)良、模型復制性好，注射成型后不需要進行機械加工和表面精加工。
在導電層形成工序中，接著本尺形成工序，將含有碳毫微纖維且導電性的合成樹脂注射成型(雙重成型)為薄層狀(參照圖3(B))。導電層143，形成于以本尺11的縱向部分與游標12的檢測頭125相對的面上。
在剝離工序中，將導電層形成工序中形成的導電層143沿本尺11的縱向按規(guī)定的間距剝離。這樣，本尺11即絕緣部142顯現在導電部141之間。由此，在本尺11上直接形成靜電容量式編碼器的主刻度14。
(第1實施例的效果)如此結構，能起到以下效果。
本尺11及游標12，由于由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成，故能得到剛性強化、抑制線膨脹、提高耐磨性能、降低摩擦系數、提高導熱系數、賦予導電性或絕緣性等的效果。
由于剛性得到強化，故可在將測量爪(本尺11的外側用測量爪111及內側用測量爪112、游標12的外側用測量爪122及內側用測量爪123)保持剛性的同時能形成薄形。因此，即使是狹窄的待測量部位，也可進行測量。另外，如提高了測量爪的剛性，即使將測量爪與被測量物抵接的場合，也不會產生塑性(日文レなり)等的變形，可提高測量精度。
由于線膨脹系數小，故可抑制線膨脹引起的本尺11及主刻度14的變形。因而可進行精密的測量。由于線膨脹系數小，故不受測量的溫度限制，不受高溫和低溫等周圍環(huán)境的影響，可進行精密的測量。
由于耐磨性能提高，故即使將游標12相對于本尺11重復滑動也不會磨損，耐用年數長且可長期維持測量精度。尤其是，由于可使游標12相對主刻度14直接接觸滑動，故不需要維持主刻度14與游標12之間間隔等的機構。
因摩擦系數小，故本尺11與游標12的滑動性好，在無潤滑劑的情況下可使用。因此，污垢和垃圾不易粘附。
因為導熱系數好，即使是用手握住本尺11進行測量的場合，手的熱量瞬間也向整體擴散，不會因本尺11(主刻度14)的地方不同而產生膨脹的差異。因此，不會因手的熱量產生測量誤差，可進行精密測量。
由于本尺11及游標12都是由合成樹脂形成的，故游標卡尺1可做得很輕。故移動和操作性優(yōu)良。因是合成樹脂，故與金屬相比，握住本尺11時手感好，不用擔心金屬過敏等。
由于可由注射成型形成，故游標卡尺1的制造簡便，能以低成本進行生產。此時，含有碳毫微纖維的合成樹脂，其模型復制性好，故注射成型后不需要機械加工和表面精加工，非常簡便。
由于游標本體121具有導電性，故游標本體121可起到電磁屏障的功能，內部電路與外部磁場及外部電場進行屏蔽。其結果，游標本體121的內部電路得到保護，可防止破損和誤動作。
本尺11本身是絕緣部142，導電部141也直接形成在本尺11上。即，在本尺11本身直接形成有主刻度14。因此，與將同本尺11分別形成的刻度用粘接劑進行粘貼的場合不同，主刻度14不會產生彎曲和主尺從本尺11上剝離。其結果，可提高編碼器的檢測精度，而且，可長期維持檢測精度。
本尺11注射成型后，進一步注射成型形成導電層143。因而可簡便地形成主刻度14，提高制造效率，降低成本。本尺11及導電層143都是含有碳毫微纖維的合成樹脂，故浸濕性好，導電層143(電極)不易從本體上剝離。因而可延長編碼器的使用年數。
由于本尺11及游標12都是由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成的，故能得到剛性強化、抑制線膨脹、提高耐磨性能、降低摩擦系數、提高導熱系數等的效果。
由于游標12具有導電性，故游標12與本尺11之間不會帶靜電，可防止主刻度14及檢測頭的破損和誤動作。通過防止帶電，可防止靜電引起垃圾粘附等。其結果，可保持精密的測量精度。
(第2實施例)圖4是作為本發(fā)明的測量儀的第2實施例的度盤式指示器2。圖4是拆去度盤式指示器2后蓋后的圖。本實施例列舉了度盤式指示器，千分尺等也可是相同的結構。
該度盤式指示器2，具有外殼本體21、貫穿該外殼本體21的外周壁并沿軸向滑動自如地被支承的作為滑動體的測量軸22、將該測量軸22的位移進行動力傳遞的動力傳遞部23、將通過動力傳遞部23傳遞來的動力作為測量軸22的變位量進行顯示的顯示部(未圖示)。
外殼本體21，具有將測量軸22沿軸向進行滑動引導的作為滑動引導構件的軸套211A、在圖4中朝下方突設的管212。外殼本體21上，在內周沿著測量軸22的滑動方向形成有卡合槽213。在管212內，設有作為測量軸22的滑動引導構件的軸套211B。外殼本體21、軸套21A、管212及軸套211B都由含有碳毫微纖維的合成樹脂注射成型形成的。
測量軸22，具有沿軸向設置的齒條221、設置在前端的接觸部222。在測量軸22的軸向中間部分設有與測量軸22的軸垂直的卡合銷223，該卡合銷223與外殼本體21的卡合槽213卡合。該測量軸22包括齒條221和接觸部222，都由含有碳毫微纖維的合成樹脂通過注射成型一體形成?？ê箱N223由含有碳毫微纖維的合成樹脂注射成型。
動力傳遞部23，由從測量軸22的齒條221將動力進行傳遞的作為動力傳遞構件的齒輪列構成。齒輪列，具有與測量軸22的齒條221嚙合的小齒輪231、與該小齒輪231一體旋轉的大齒輪232、與該大齒輪232嚙合并旋轉顯示部的指針241的指針軸233、與指針軸233嚙合以防止齒隙的齒隙防止齒輪234。該齒輪列的各個齒輪，由含有碳毫微纖維的合成樹脂通過注射成型形成。
如圖5(A)所示，沿測量軸22的軸向形成有靜電容量式編碼器的主刻度25。
以軸為中心的環(huán)狀導電部141，在由含有碳毫微纖維且絕緣性的合成樹脂形成的測量軸22的表面上沿軸向以規(guī)定的間距形成。主刻度25的制造方法與第1實施例相同。
圖5(B)中，在測量軸22的圓周形成有靜電容量式編碼器的主刻度26。
沿軸向延伸的導電部141，在由含有碳毫微纖維且絕緣性的合成樹脂形成的測量軸22的表面、在以軸為中心的圓周上按規(guī)定間隔形成。主刻度26的制造方法與第1實施例相同。
本實施例中形成的是靜電容量式編碼器的刻度，也可是光電式編碼器的刻度、或磁式編碼器的刻度。
刻度也可是以測量軸的軸為中心形成螺旋狀。
這種度盤式指示器2具有以下效果。
外殼本體21、測量軸22、動力傳遞部23，都由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成，故具有剛性，線膨脹系數小、滑動性好，耐磨損性能得到提高。因此，提高了測量精度的同時延長了耐用年數。尤其是，提高了測量軸22與軸套211A、211B之間的滑動性、耐磨損性。
動力傳遞部23的各齒輪，由于由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成，故在維持剛性的同時，可使齒輪(小齒輪231、大齒輪232、指針軸233、齒隙防止齒輪234)小型化、薄形化。因而能使度盤式指示器2本身小型化。
另外，也可在千分尺和度盤式指示器的測量軸22上直接形成編碼器的主刻度25、26。因而對于千分尺和度盤式指示器等測量軸的移動量進行測量的測量儀，可簡便地組裝編碼器，使其成為數字式。
主刻度25、26在同一面上形成，故該主刻度25、26的部分也可用作滑動部。這樣，不必避開刻度部分以確保滑動部分，可使測量軸縮短。以往，無法使測量軸的刻度成為滑動部，故測量軸不得不具有刻度長度再加上滑動部分。但是，主刻度可用作滑動部，則測量軸可縮短。其結果，可使千分尺和度盤式指示器小型化。
(第3實施例)圖6是表示作為本發(fā)明的測量儀的用于移動量測量儀的線性編碼器3。圖6是該線性編碼器3的剖視圖。
該線性編碼器3具有作為基部的框架31；設置在該框架31內的刻度32；相對于框架31滑動自如而設置的作為滑動體的滑塊33；與該滑塊33一體移動并對相對于刻度32的相對移動量進行檢測的檢測部34；設置在滑塊33上、與框架31及刻度32抵接并引導滑塊33滑動的作為滑動引導構件的滾子型滑動構件35。圖6中，滑塊33的滑動方向與紙面垂直。另外，圖7表示滑塊33的側視圖。
框架31、滑塊33及滑動構件35，都由含有碳毫微纖維的合成樹脂通過注射成型形成。這里，滑動構件35由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成，具有導電性。
滑動構件35，在保持刻度32與檢測部34的間隔為一定的同時引導滑塊33的滑動。
本實施例的測量儀的編碼器結構與第1實施例相同。
如此結構具有以下效果。
由于框架31及滑塊33由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成，故具有剛性，線膨脹系數小、滑動性好，耐磨損性能得到提高。因此，提高了測量精度的同時延長了耐用年數。
另外，由注射成型形成，簡便，可實現低成本化。
滑動構件35由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成，故滑動性好、耐磨損性得到提高。因此，經得住重復使用。
滑動構件35是由通過添加碳毫微纖維而具有導電性的合成樹脂所形成，故可防止帶靜電。因此，可防止帶靜電引起的線性編碼器3的破損和錯誤動作，還可防止靜電引起的垃圾粘附。
由于框架31由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成，故可對該框架31附加導電性。這樣，該框架作為外殼體成為將內部的刻度32、檢測部34與外部磁場及外部電場進行屏蔽的電磁屏蔽構件。因而可防止刻度32及檢測部34的誤動作及破損，可長期維持測量精度。
(第4實施例)圖8是本發(fā)明的測量儀的第4實施例。
該測量儀具有固定構件51；設置在該固定構件51上的主刻度511；相對于固定構件51可相對移動的可動構件61；設置在該可動構件6上、與主刻度511靜電容量結合而對相對于主刻度511的相對移動量進行檢測的檢測頭62。圖8中，可動構件61的滑動方向是與紙面正交方向。
可動構件61上設有間隔保持部63，該間隔保持部63從可動構件61向固定構件51側凸狀形成，作為用來保持主刻度511與檢測頭之間間隔的間隔保持裝置。間隔保持部63夾著檢測頭設置在兩側。
可動構件61上設有與可動構件61的移動面大致平行且形成薄片狀的作為施力裝置的推壓力傳遞構件64?？蓜訕嫾?1包括間隔保持部63及推壓力傳遞構件64，由含有碳毫微纖維的合成樹脂一體形成。推壓力傳遞構件64的端部641被從固定的構件81向可動構件61側以力F1推壓。推壓力傳遞構件64通過在其中途固定的支承構件71固定支承，可動構件6被力F2朝固定構件51施力。
本實施例的測量儀的編碼器結構與第1實施例相同。
如此結構具有以下效果。
間隔保持部63由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成。含有碳毫微纖維的合成樹脂，耐磨損性好、摩擦系數小，故間隔保持部63不會磨損，可長期維持主刻度511與檢測頭之間的間隔。因而可長期維持檢測精度。
由于間隔保持部63與可動構件61一體成型，故與將間隔保持機構等另外設置的場合相比，不需要組裝工序，因而簡便。由于作為施力裝置的推壓力傳遞構件64與可動構件61設成一體，故與將施力裝置與可動構件61分別設置的場合相比，零件個數減少且簡便。如此，間隔保持部63及推壓力傳遞構件64與可動構件61一體成型，故裝置工序大大簡化，同時沒有必要另外設置間隔保持機構和施力裝置等，可實現小型化。
(變形例)本發(fā)明的測量儀，并不局限于所述實施例。在不脫離本發(fā)明的宗旨范圍內可進行各種變更。
本發(fā)明，并不局限于游標卡尺和度盤式指示器，也可適用于千分尺、測徑儀、三維測量儀、表面形狀測量儀等各種測量儀。應用本發(fā)明，可提高剛性、線膨脹、滑動性、耐磨損性，并且通過注射成型，得到能簡便和低成本制造的測量儀。
三維測量儀和表面形狀測量儀中，載放被測量物的載放臺也可用含有碳毫微纖維的合成樹脂形成。另外，塊規(guī)也可由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成。可得到耐用年數長、無變形的載物臺和塊規(guī)。
第2實施例中，軸套211A也可與外殼本體21一體形成。含有碳毫微纖維的合成樹脂，具有剛性、滑動性、耐磨損性，故外殼本體21本身可兼作滑動軸承。因此，不必另設軸套211，可簡化制造工序，降低成本。
第3實施例中，滑動構件35也可不是滾子，而是具有與框架31抵接的單純凸面的構件。如用含有碳毫微纖維的合成樹脂形成滑動構件35，則可提高耐磨損性和滑動性，故不必需要滾子。
所述實施例中，本尺1與滑塊12、測量軸22與軸套211等滑動機構的基部及滑動體都由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成，但并不一定要雙方都是，僅其中一方由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成也可以。另外，動力傳遞部23中，一部分也可由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成。含有碳毫微纖維的合成樹脂是剛性、成型性能、線膨脹、耐磨損性、滑動性等高性能材料，即使是測量儀的組成構件的一部分是含有碳毫微纖維的合成樹脂的場合，測量儀的測量精度、耐用年數等各方面也能得到提高。
第1實施例的導電層形成工序中，導電層143是由含有碳毫微纖維且導電性的合成樹脂通過注射成型而形成的，也可在本尺11的表面電鍍金屬形成導電層143。
第4實施例中，間隔保持部63是設置在可動構件61側的，但間隔保持部63也可設置在固定構件51側。即，也可夾著刻度沿可動構件61的滑動方向設置間隔保持部63。該場合，最好間隔保持部63與固定構件51一起由含有碳毫微纖維的合成樹脂一體成型。
另外，第4實施例中，對直線滑動的編碼器進行了說明，但轉動編碼器等滑動面也可是旋轉面。比如，作為轉子和定子之間的間隔保持裝置，如使用含有碳毫微纖維的合成樹脂，則可起到與第4實施例相同的效果。
以上，主要對在固定構件側形成編碼器的刻度的場合進行了說明，當然也可在可動構件側形成編碼器的刻度。即，可動構件的本體由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成，也可在其表面形成刻度結構。
毫微級物質并不局限于碳毫微纖維，也可使用以碳毫微管、フラ-レン等碳為主要組成元素的毫微級物質。
作為合成樹脂的母材，可使用聚苯乙烯和聚碳酸酯等。
而且，第1實施例的主刻度也可用以下方法進行制造。
如圖9(C)所示，該主刻度14A基本上與第1實施例的主刻度14相同。即，由含有碳毫微纖維且導電性的合成樹脂形成的導電部141，在由含有碳毫微纖維且具有絕緣性的合成樹脂形成的本尺11的表面上按規(guī)定的間距進行排列。該變形例1與第1實施例的不同點如下。即，導電部141充填于本尺11上形成的槽113內。因此，本尺11的表面不存在導電部141的凸部，而為平面狀。在本尺11的表面設有絕緣性的絕緣膜144。
下面對該主刻度14A的制造方法作說明。
主刻度14A的制造方法是，具有形成本尺11的本尺形成工序(本體形成工序)、在本尺11的表面以規(guī)定的間距形成槽113的槽形成工序、將導電構件充填至該槽113內的槽充填工序。
本尺形成工序中，與第1實施例相同，本尺11由含有碳毫微纖維且絕緣性的合成樹脂通過注射成型而形成。不過，在進行該本尺形成工序的注射成型的模具內，在與形成導電部141的間距相對應的位置設有凸部。即，在本尺形成工序的同時，進行在本尺11的表面上按規(guī)定的間距形成槽13的槽形成工序(參照圖9(A))。
槽充填工序中，接著本尺形成工序，進行將含有碳毫微纖維且導電性的合成樹脂充填至槽113內的注射成型(雙重成型)。這樣，埋掉槽113，導電部141按規(guī)定的間距形成(參照圖9(B))。而且，在本尺11的表面粘貼絕緣膜144(參照圖9(C))。這樣，成為靜電容量式的主刻度14A。
以上，槽形成工序，是與本尺11注射成型同時進行的，但也可將本尺11注射成型后，經機械加工切削形成槽113。這是因為含有碳毫微纖維的合成樹脂具有金屬的剛性，因而可進行機械加工。
如此變形例1，除了與第1實施例相同的效果以外，還具有以下效果。
導電部141埋入槽內而形成，故主刻度14A的表面形成平面狀。而且，在主刻度14A的表面設有絕緣膜144。因此，夾著絕緣膜144直接將游標12在主刻度14A上滑動。
只要注射成型即可，非常簡便，簡化制造線，可實現低成本化。為了形成電極，不需要第1實施例那樣剝離電極等的工序，故非常簡便。
而且，也可由圖10所示的方法制造主刻度。
圖10(A)所示的主刻度14B，在帶狀的基材151上設有裝飾印刷層152、電極層153、粘接層154。
基材151是將具有柔軟性的薄的滌綸制的透明薄膜按規(guī)定的形狀裁斷而成，具有絕緣性。
裝飾印刷層152，是在基材151的表面上直接印刷的油墨的層，可印刷文字和圖案。印刷的文字和圖案，可借助透明的基材151進行觀察。
電極層153是將具有含有碳毫微纖維的合成樹脂的導電性油墨在裝飾印刷層152上進行印刷形成的。通過該電極層53，與圖2所示的相同的電極沿長度方向大量形成。
粘接層154是涂在電極層153上的例如雙面膠帶等的粘接材料的層。粘接層154進入各電極之間，電極層153中無電極的部分153A，粘接層154到達裝飾印刷面152的表面。
如圖10(B)所示，該主刻度14B借助粘接層154粘貼在含有碳毫微纖維且絕緣性的合成樹脂制的本尺11上。
根據該方法，將主刻度14B通過事先印刷可簡易地制造。
所述實施例中，是以靜電容量式的編碼器為例的，也可利用其他編碼器。
圖11是一例使用光電式編碼器的主刻度。
使用該光電式編碼器的主刻度14C具有由反光部171和非反射光部172構成的光柵。
該主刻度14C是由含有碳毫微纖維的合成樹脂形成的表面呈鏡面狀的本尺11(本體)的表面按規(guī)定的間距形成的非反射光部172。該非反射光部172是將表面粗切削以使不反射光。
游標12的檢測頭只要具有將光照射到主刻度14C的光源、接收從主刻度14C反射的光的感光部即可。
以上，非反射光部172是將本尺11的表面進行切削而不反射光的，但也可粘貼不反射光的構件，也可涂上不反射光的涂料。
另外，將本尺11以不反射光的表面粗糙度注射成型后，也可將反光部171在本尺11表面上形成。
如此結構，除了與第1實施例相同的效果以外，還能簡便地形成光電式編碼器，提高制造效率的同時，可實現低成本化。
圖12是主刻度使用了磁式編碼器的例子。
使用了該磁式編碼器的主刻度14D具有將N極181及S極182按規(guī)定的間距交替排列的結構。
該主刻度14D，是進一步向含有碳毫微纖維的合成樹脂添加磁性材料后、經注射成型而形成的本尺11(本體)。磁極是在形成本尺11后，比如，按磁記錄媒介物磁化的要領，將電磁鐵或磁鐵靠近進行磁化即可。
游標12的檢測頭，只要是具有因主刻度14D的磁性引起感應電流變化的線圈的結構即可。
如此結構，除了與第1實施例相同的效果以外，由于由注射成型形成本體后，只要進行磁化，故非常簡便，可提高制造效率和實現低成本化。
權利要求
1.一種測量儀，其特征在于，至少一部分是由含有毫微級物質的合成樹脂形成的組成構件。
2.根據權利要求1所述的測量儀，其特征在于，所述組成構件由注射成型形成。
3.根據權利要求1或2所述的測量儀，其特征在于，包括基部；具有相對于所述基部設成滑動自如的滑動體的滑動機構，所述基部及所述滑動體的至少某一方由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
4.根據權利要求1或2所述的測量儀，其特征在于，具有基部；相對于所述基部設成滑動自如的滑動體；設置在所述基部及所述滑動體的相對面的任何一方并與另一方抵接、引導所述滑動體的滑動引導構件，所述滑動引導構件由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
5.根據權利要求1～4中任一項所述的測量儀，其特征在于，設有內部具有電路的外殼體，所述外殼體由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
6.根據權利要求1～5中任一項所述的測量儀，其特征在于，具有傳遞動力的動力傳遞構件，所述動力傳遞構件由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
7.根據權利要求1～6中任一項所述的測量儀，其特征在于，具有用于裝載被測物的載物臺，所述載物臺由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
8.根據權利要求1～7中任一項所述的測量儀，其特征在于，所述毫微級物質，是由碳毫微纖維或碳毫微管為代表的碳毫微級物質中的任何一種。
9.一種編碼器，具有固定構件、相對于所述固定構件設成可相對移動的可動構件，對所述可動構件相對于所述固定構件的相對移動量進行檢測的編碼器，其特征在于，所述固定構件及所述可動構件的至少某一方，具有由含有毫微級物質的合成樹脂構成的絕緣構件形成的本體、按規(guī)定的間距排列在所述本體表面上的導電性的電極。
10.根據權利要求9所述的編碼器，其特征在于，所述本體由含有毫微級物質的合成樹脂經注射成型形成。
11.根據權利要求9或10所述的編碼器，其特征在于，所述電極由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
12.一種編碼器，具有固定構件、相對于所述固定構件而設成一邊維持規(guī)定的間隔一邊相對移動的可動構件，對所述可動構件相對于所述固定構件的相對移動量進行檢測的編碼器，其特征在于，包括將所述可動構件朝所述固定構件方向施力的施力裝置；所述固定構件及所述可動構件的相對面中的任何一方設有與另一方的相對面抵接、并將所述間隔維持一定的間隔保持裝置，所述間隔保持裝置由含有毫微級物質的合成樹脂形成。
13.根據權利要求12所述的編碼器，其特征在于，所述施力裝置，是相對于滑動面大致平行地從所述可動構件突設的推壓力傳遞構件，可動構件及所述推壓力傳遞構件，由含有毫微級物質的合成樹脂一體成型。
14.一種編碼器，具有固定構件、相對于所述固定構件而設成可相對移動的可動構件，對所述可動構件相對于所述固定構件的相對移動量進行檢測的編碼器，其特征在于，所述固定構件及所述可動構件的至少某一方，具有由含有毫微級物質及磁性材料的合成樹脂所形成的本體、按規(guī)定的間距交替排列在所述本體表面上的磁極。
15.一種編碼器，具有固定構件、相對于所述固定構件而設成可相對移動的可動構件，對所述可動構件相對于所述固定構件的相對移動量進行檢測的編碼器，其特征在于，所述固定構件及所述可動構件的至少某一方，具有由含有毫微級物質的合成樹脂形成的表面呈鏡面狀的本體、按規(guī)定的間距形成在所述本體表面上的非反射光部。
16.根據權利要求9～15中任一項所述的編碼器，其特征在于，所述毫微級物質，是由碳毫微纖維或碳毫微管為代表的碳毫微級物質中的任何一種。
17.一種編碼器的制造方法，對具有固定構件和相對于所述固定構件而設成可相對移動的可動構件、檢測所述可動構件相對于所述固定構件的相對移動量的編碼器進行制造，其特征在于，包括通過含有毫微級物質的合成樹脂構成的絕緣構件，將所述固定構件及所述可動構件中的至少某一方的本體進行注射成型的本體形成工序；在所述本體的表面層疊導電層的導電層形成工序；將所述導電層按規(guī)定間距進行剝離的剝離工序。
18.根據權利要求17所述的編碼器的制造方法，其特征在于，所述導電層形成工序是在所述本體上注射成型含有毫微級物質的導電性的合成樹脂。
19.一種編碼器的制造方法，對具有固定構件和相對于所述固定構件而設成可相對移動的可動構件、檢測所述可動構件相對于所述固定構件的相對移動量的編碼器進行制造，其特征在于，包括通過含有毫微級物質的合成樹脂構成的絕緣構件，將所述固定構件及所述可動構件中的至少某一方的本體進行注射成型的本體形成工序；在所述本體的表面按規(guī)定的間距形成槽的槽形成工序；將含有毫微級物質的導電性的合成樹脂注射成型在所述本體上、在所述本體表面的槽內形成電極的槽充填工序。
20.一種編碼器的制造方法，對具有固定構件和相對于所述固定構件而設成可相對移動的可動構件、檢測所述可動構件相對于所述固定構件的相對移動量的編碼器進行制造，其特征在于，包括通過含有毫微級物質的合成樹脂構成的絕緣構件，將所述固定構件及所述可動構件中的至少某一方的本體進行注射成型的本體形成工序；在基材上利用含有毫微級物質的絕緣性的油墨印刷電極層的電極印刷工序；在所述電極層上形成粘接層的粘接層形成工序；將所述基材借助所述粘接層而粘貼在所述本體上的基材粘貼工序。
21.根據權利要求18～20中任一項所述的編碼器的制造方法，其特征在于，所述毫微級物質，是由碳毫微纖維或碳毫微管為代表的碳毫微級物質中的任何一種。
全文摘要
一種測量儀，用含有碳毫微纖維的合成樹脂而形成測量儀的組成構件，比如游標卡尺(1)的本尺(11)和游標(12)，通過形成按規(guī)定的間距排列在所述本尺(11)的表面上的導電性的電極(15)，從而可簡化制造工序，并強化組成構件的合成，降低線膨脹，提高耐磨損性，在提高測量精度的同時，可延長耐用年數。
文檔編號G01B1/00GK1459616SQ03136459
公開日2003年12月3日 申請日期2003年5月21日 優(yōu)先權日2002年5月21日
發(fā)明者松宮貞行, 吉岡晉, 林田秀二, 佐佐木康二 申請人:株式會社三豐