專(zhuān)利名稱(chēng)：一種寬量程氦質(zhì)譜檢漏儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種寬量程氦質(zhì)譜檢漏儀，屬于分析儀器領(lǐng)域。主要適用于有較高密封度要求的物體的檢漏。
現(xiàn)有的氦質(zhì)譜檢漏儀國(guó)內(nèi)外都有生產(chǎn)。國(guó)內(nèi)所生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀的不足點(diǎn)之一就是檢漏范圍太小。
本實(shí)用新型的目的就是通過(guò)其結(jié)構(gòu)的變化，以及電氣系統(tǒng)方面的改變，提供一套設(shè)計(jì)合理，功能完善，適合于較大量程范圍檢漏的寬量程檢漏儀。
根據(jù)所述目的，一種寬量程氦質(zhì)譜檢漏儀，由質(zhì)譜室1、分子泵13、機(jī)械泵6、微漏氣流通路檢漏閥9、中漏氣流通路檢漏閥5、大漏氣流通路檢漏閥12、真空計(jì)8、4及電子控制系統(tǒng)組成，其特征在于分子泵13有兩個(gè)抽氣口2、3，上抽氣口2與微漏氣流通路的檢漏閥9相連，下抽氣口3與中漏氣流通路的檢漏閥5相連，大漏氣流通路的檢漏閥12與微漏氣流通路的檢漏閥9旁通或大漏氣流通路的檢漏閥12與中漏氣流通路的檢漏閥5旁通。其中所述的電子控制系統(tǒng)由電源模塊，離子源供電模塊，發(fā)射電流穩(wěn)定模塊，數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊，離子流放大模塊，量程轉(zhuǎn)換模塊，顯示報(bào)警模塊組成。電源模塊給發(fā)射電流穩(wěn)定模塊、數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊、離子流放大模塊、量程轉(zhuǎn)換模塊及顯示報(bào)警模塊供給電源，離子流放大模塊與量程轉(zhuǎn)換模塊連接，同時(shí)把經(jīng)過(guò)離子流放大模塊放大了的離子流送給顯示模塊進(jìn)行顯示。其中所述的離子流放大模塊被封裝在金屬盒子里，并通過(guò)安裝在金屬盒子上的接口與電源模塊、離子源供電模塊、發(fā)射電流穩(wěn)定模塊、數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊、量程轉(zhuǎn)換模塊及顯示報(bào)警模塊電路相連。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)1.該檢漏儀包括與分子泵上口相連的微漏氣流通路檢漏閥和與分子泵下口相連的中漏氣流通路檢漏閥。
2.該檢漏儀包括與分子泵上口相連的微漏氣流通路檢漏閥與分子泵下口相連的中漏氣流通路檢漏閥，和被稱(chēng)為大漏氣流通路檢漏閥的分流式檢漏閥。
3.該檢漏儀包括與分子泵上口相連的微漏氣流通路檢漏閥，與分子泵下口相連的中漏氣流通路檢漏閥，和被稱(chēng)為大漏氣流通路檢漏閥的分流式檢漏閥，它是微漏氣流通路檢漏閥的旁通閥和/或中漏氣流通路檢漏閥的旁通閥。
4.電路模塊化，一方面提高了系統(tǒng)抗干擾的能力，另一方面提高了整個(gè)系統(tǒng)的可維修性。
5.離子流放大模塊用金屬盒封裝，由安裝在該金屬盒上的接口與外部電路連接。
現(xiàn)結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。


圖1為本實(shí)用新型所提出的氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)示意圖。
由圖1所示，本實(shí)用新型寬量程氦質(zhì)譜檢漏儀由質(zhì)譜室1、分子泵13、機(jī)械泵6、微漏氣流通路檢漏閥9、中漏氣流通路檢漏閥5、大漏氣流通路檢漏閥12、真空計(jì)8、4及電子控制系統(tǒng)組成。其特征在于分子泵13有兩個(gè)抽氣口2、3，上抽氣口2與微漏氣流通路的檢漏閥9相連，下抽氣口3與中漏氣流通路的檢漏閥5相連，大漏氣流通路的檢漏閥12與微漏氣流通路的檢漏閥9旁通或大漏氣流通路的檢漏閥12與中漏氣流通路的檢漏閥5旁通。其中所述的電子控制系統(tǒng)由電源模塊，離子源供電模塊，發(fā)射電流穩(wěn)定模塊，數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊，離子流放大模塊，量程轉(zhuǎn)換模塊，顯示報(bào)警模塊組成。電源模塊給發(fā)射電流穩(wěn)定模塊、數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊、離子流放大模塊、量程轉(zhuǎn)換模塊及顯示報(bào)警模塊供給電源，離子流放大模塊與量程轉(zhuǎn)換模塊連接，同時(shí)把經(jīng)過(guò)離子流放大模塊放大了的離子流送給顯示模塊進(jìn)行顯示。其中所述的離子流放大模塊被封裝在金屬盒子里，并通過(guò)安裝在金屬盒子上的接口與電源模塊、離子源供電模塊、發(fā)射電流穩(wěn)定模塊、數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊、量程轉(zhuǎn)換模塊及顯示報(bào)警模塊電路相連。
本實(shí)用新型的實(shí)施過(guò)程如下
先把被檢工件安裝在檢漏口11，然后打開(kāi)預(yù)抽閥7、機(jī)械泵6開(kāi)始對(duì)檢漏口11所裝工件14抽氣，當(dāng)檢漏口真空計(jì)8所測(cè)的壓力以及抽氣時(shí)間滿(mǎn)足微漏氣流通路檢漏閥9打開(kāi)的條件時(shí)，則打開(kāi)微漏氣流通路檢漏閥9，而中漏氣流通路檢漏閥5和大漏氣流通路檢漏閥12關(guān)閉；當(dāng)檢漏口真空計(jì)8所測(cè)的壓力以及抽氣時(shí)間達(dá)到中漏氣流通路檢漏閥5打開(kāi)的條件時(shí)，則打開(kāi)中漏氣流通路檢漏閥5，而微漏氣流通路檢漏閥9與大漏氣流通路檢漏閥12關(guān)閉；當(dāng)檢漏口真空計(jì)8所測(cè)的壓力以及抽氣時(shí)間達(dá)到大漏氣流通路檢漏閥12打開(kāi)的條件時(shí)，則打開(kāi)大漏氣流通路檢漏閥12，而微漏氣流通路檢漏9和中漏氣流通路檢漏閥5關(guān)閉，檢漏完成后，打開(kāi)放氣閥10，取下工件14。
質(zhì)譜室1包含離子源和前級(jí)放大器，離子源電離所漏進(jìn)的及其本底的氦分子，使之形成He離子，前級(jí)放大器則放大氦離子流，根據(jù)其大小折算成漏率的大小，從而判斷被檢工件的密封情況。
電子控制系統(tǒng)由下列模塊組成電源模塊，離子源供電模塊，發(fā)射電流穩(wěn)定模塊，數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊，離子流放大模塊，量程轉(zhuǎn)換模塊，顯示報(bào)警模塊。電源模塊給發(fā)射電流穩(wěn)定模塊、數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊、離子流放大模塊、量程轉(zhuǎn)換模塊及顯示報(bào)警模塊供給電源。離子源供電模塊為離子源提供電源，發(fā)射電流穩(wěn)定模塊是通過(guò)調(diào)節(jié)加在離子源燈絲上的電壓大小來(lái)穩(wěn)定熱電子在電離電壓作用下進(jìn)入電離盒形成的發(fā)射電流。數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊是對(duì)雜散離子流進(jìn)行放大、比較，從而判斷質(zhì)譜室真空的好壞，發(fā)出保護(hù)燈絲的命令；離子流放大模塊被封裝在金屬盒內(nèi)，它與量程轉(zhuǎn)換模塊共同完成離子流放大，放大的離子流被送至顯示報(bào)警模塊；顯示報(bào)警模塊對(duì)本身的顯示器件具有自測(cè)試功能，同時(shí)它與離子流放大模塊、量程轉(zhuǎn)換模塊在借助于標(biāo)準(zhǔn)漏孔計(jì)的前提下共同實(shí)現(xiàn)離子流校準(zhǔn)成實(shí)際漏率的過(guò)程，并且當(dāng)實(shí)際漏率大于設(shè)定漏率時(shí)發(fā)出報(bào)警信號(hào)。檢漏口真空計(jì)測(cè)量檢漏口壓力的大小，由電子控制系統(tǒng)或PLC控制器根據(jù)檢漏口壓力對(duì)預(yù)抽閥7、微漏氣流通路檢漏閥9、中漏氣流通路檢漏閥5、大漏氣流通路檢漏閥12、放氣閥10進(jìn)行控制。
權(quán)利要求1.一種寬量程氦質(zhì)譜檢漏儀，由質(zhì)譜室(1)、分子泵(13)、機(jī)械泵(6)、微漏氣流通路檢漏閥(9)、中漏氣流通路檢漏閥(5)、大漏氣流通路檢漏閥(12)、真空計(jì)(8)(4)及電子控制系統(tǒng)組成，其特征在于分子泵(13)有兩個(gè)抽氣口(2)(3)，上抽氣口(2)與微漏氣流通路的檢漏閥(9)相連，下抽氣口(3)與中漏氣流通路的檢漏閥(5)相連，大漏氣流通路的檢漏閥(12)與微漏氣流通路的檢漏閥(9)旁通或大漏氣流通路的檢漏閥(12)與中漏氣流通路的檢漏閥(5)旁通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種寬量程氦質(zhì)譜檢漏儀，其中所述的電子控制系統(tǒng)由電源模塊，離子源供電模塊，發(fā)射電流穩(wěn)定模塊，數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊，離子流放大模塊，量程轉(zhuǎn)換模塊，顯示報(bào)警模塊組成。電源模塊給發(fā)射電流穩(wěn)定模塊、數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊、離子流放大模塊、量程轉(zhuǎn)換模塊及顯示報(bào)警模塊供給電源，離子流放大模塊與量程轉(zhuǎn)換模塊連接，同時(shí)把經(jīng)過(guò)離子流放大模塊放大了的離子流送給顯示模塊進(jìn)行顯示。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種寬量程氦質(zhì)譜檢漏儀，其中所述的離子流放大模塊被封裝在金屬盒子里，并通過(guò)安裝在金屬盒子上的接口與電源模塊、量程轉(zhuǎn)換模塊及顯示報(bào)警模塊電路相連。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種寬量程氦質(zhì)譜檢漏儀，它由質(zhì)譜室1、分子泵13、機(jī)械泵6、微漏氣流通路檢漏閥9、中漏氣流通路檢漏閥5、大漏氣流通路檢漏閥12、真空計(jì)8、4及電子控制系統(tǒng)組成，其特征在于分子泵13有兩個(gè)抽氣口2、3，上抽氣口2與微漏氣流通路的檢漏閥9相連，下抽氣口3與中漏氣流通路的檢漏閥5相連，大漏氣流通路的檢漏閥12與微漏氣流通路的檢漏閥9旁通或大漏氣流通路的檢漏閥12與中漏氣流通路的檢漏閥5旁通。其中所述的電子控制系統(tǒng)由電源模塊，離子源供電模塊，發(fā)射電流穩(wěn)定模塊，數(shù)據(jù)采集及燈絲保護(hù)模塊，離子流放大模塊，量程轉(zhuǎn)換模塊，顯示報(bào)警模塊組成。
文檔編號(hào)G01N23/00GK2549462SQ02239670
公開(kāi)日2003年5月7日 申請(qǐng)日期2002年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月8日
發(fā)明者郭躍輝, 黃威 申請(qǐng)人:郭躍輝