一種供氣切換設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及氣體輸送技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種供氣切換設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著我國(guó)工業(yè)化進(jìn)程的推進(jìn)，各種設(shè)備被不斷優(yōu)化結(jié)構(gòu)以適應(yīng)節(jié)能等方面的需求。其中在氣體輸送設(shè)備中，需要用到供氣切換設(shè)備。
[0003]近年來(lái)，對(duì)于多通道供氣系統(tǒng)中，根據(jù)氣源設(shè)定指標(biāo)進(jìn)行不同通道之間的切換設(shè)備中，對(duì)可利用氣體最大化地利用以達(dá)到節(jié)能環(huán)保和節(jié)約成本，以及準(zhǔn)確地提供合格氣體以供使用等方面的要求越來(lái)越高，因此，根據(jù)氣體性能指標(biāo)，對(duì)合格氣體最大化地利用、節(jié)約成本和準(zhǔn)確地提供合格氣體等成設(shè)計(jì)目標(biāo)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中，常利用電子特氣柜與多氣瓶進(jìn)行并聯(lián)，氣瓶中存儲(chǔ)具有一定壓力與純度的待用氣體，待用氣體可以為某種特氣，所謂特氣，是指某些具有特別用途且價(jià)格較昂貴的氣體，例如鍺烷。純度為一定體積中特氣的含量，由于氣罐中存在一定量的雜質(zhì)，氣壓降低時(shí)，所輸出氣體的純度隨之下降。電子特氣柜對(duì)各個(gè)氣瓶中的氣壓進(jìn)行監(jiān)測(cè)，當(dāng)正使用中的某罐氣體的壓力值低于設(shè)定值時(shí)，電子特氣柜根據(jù)檢測(cè)到的氣壓值進(jìn)行氣瓶切換，將另一瓶待用的氣瓶接通以繼續(xù)提供特氣，而關(guān)閉前一瓶氣壓低于標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定值的氣瓶，這便于將此使用完畢的氣瓶進(jìn)行更換，以維持本管路接入口具有新的滿瓶待用的狀態(tài)。
[0005]而在上述電子特氣柜的結(jié)構(gòu)設(shè)置中，與電子特氣柜所連接的各個(gè)氣瓶被電子特氣柜所監(jiān)測(cè)的指標(biāo)僅為氣瓶壓力，對(duì)于密閉狀態(tài)下的氣瓶，其內(nèi)部壓力隨溫度的變化而變化，對(duì)于不同地域的溫差，特別是不同季節(jié)的溫度差異顯著，這使得單以氣瓶壓力判斷氣瓶中的特氣是否被完全地使用這一工藝設(shè)置方式具有局限性。第一、根據(jù)生產(chǎn)流程使用需求，所供特氣的壓力必須處于某一壓力值以上方能保障后續(xù)生產(chǎn)的順利進(jìn)行，因此，氣瓶壓力數(shù)值的檢測(cè)是必須的；第二、影響氣瓶中所使用氣體是否符合使用要求的另一個(gè)決定性指標(biāo)為純度，當(dāng)純度達(dá)不到使用要求時(shí)，也必須停止使用此氣瓶中的氣體。對(duì)于以上兩點(diǎn)，由于純度與壓力這兩個(gè)指標(biāo)存在一定的關(guān)聯(lián)性，當(dāng)氣瓶中的壓力較高時(shí)，所輸出的較高壓力的氣體的純度能夠符合要求，而當(dāng)壓力明顯過(guò)低時(shí)，所輸出氣體的純度存在不合格的概率較大。之所以不能夠?qū)⒓兌群蛪毫@兩個(gè)指標(biāo)作出絕對(duì)地對(duì)應(yīng)關(guān)系，與上述壓力隨溫度的變化而產(chǎn)生波動(dòng)有關(guān)。現(xiàn)有技術(shù)中，為得到所需壓力值以上，同時(shí)純度符合要求的氣體，通常以調(diào)高壓力檢測(cè)的最低值方式進(jìn)行保障，以鍺烷為例，按標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置，滿罐壓力為1235PIS(PIS為英制壓力單位)，凈重為2.6公斤，而行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是在重量剩余10%作為更換氣罐的設(shè)定值，按此行標(biāo)，鍺烷罐應(yīng)在123.5PSI壓力時(shí)應(yīng)予以更換，而對(duì)于半導(dǎo)體、光伏行業(yè)的工藝需求，鍺烷氣在15PSI壓力以上便能夠符合使用要求，但顧及低氣壓狀態(tài)的鍺烷氣能否滿足純度要求的考慮，故實(shí)際應(yīng)用中，通常以行標(biāo)的123.5PSI壓力作為指導(dǎo)標(biāo)準(zhǔn)，因此，在更換氣罐時(shí)，可能存在依然能夠被利用的鍺烷氣被浪費(fèi)的狀態(tài)。相對(duì)應(yīng)地，若罐內(nèi)氣體的壓力符合檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，而實(shí)際輸出氣體的純度達(dá)不到使用要求，則供氣切換設(shè)備無(wú)法滿足合格供氣的要求。由此，現(xiàn)有技術(shù)中只通過(guò)壓力測(cè)量裝置所檢測(cè)出的壓力數(shù)據(jù)作為切換氣瓶的單一指標(biāo)這一結(jié)構(gòu)設(shè)置降低了合格氣體利用的效率、提高了用氣成本，同時(shí)無(wú)法準(zhǔn)確地提供合格氣體。
[0006]上述現(xiàn)有技術(shù)中的供氣切換設(shè)備的合格氣體利用率低、用氣成本高和提供合格氣體的準(zhǔn)確性低是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型的目的是提供一種供氣切換設(shè)備，通過(guò)本實(shí)用新型的應(yīng)用，將明顯提高合格氣體的利用率、降低用氣成本，同時(shí)提高合格氣體供給的準(zhǔn)確性。
[0008]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種供氣切換設(shè)備，包括至少兩個(gè)并聯(lián)的氣罐、分別檢測(cè)各個(gè)所述氣罐壓力的壓力檢測(cè)裝置，與所述壓力檢測(cè)裝置信號(hào)接通且能夠控制各個(gè)所述氣罐通斷切換的第一控制器，還包括用于檢測(cè)各個(gè)所述氣罐輸出氣體的純度的純度檢測(cè)裝置和能夠控制各個(gè)所述氣罐通斷切換的第二控制器，所述純度檢測(cè)裝置與所述第二控制器信號(hào)接通。
[0009]優(yōu)選地，所述第一控制器和所述第二控制器為一體結(jié)構(gòu)控制器，能夠控制各個(gè)所述氣罐通斷切換的所述一體結(jié)構(gòu)控制器分別與所述壓力檢測(cè)裝置和所述純度檢測(cè)裝置信號(hào)接通。
[0010]優(yōu)選地，所述一體結(jié)構(gòu)控制器具體為可編程邏輯控制器。
[0011]優(yōu)選地，還包括用于發(fā)出通斷切換提示信息的提示裝置，所述提示設(shè)備與所述可編程邏輯控制器信號(hào)接通。
[0012]優(yōu)選地，所述純度檢測(cè)裝置具體為純度分析儀。
[0013]優(yōu)選地，還包括壓力調(diào)節(jié)閥，所述純度檢測(cè)裝置通過(guò)所述壓力調(diào)節(jié)閥與所述氣罐連通。
[0014]優(yōu)選地，還包括流量調(diào)節(jié)閥，所述純度檢測(cè)裝置通過(guò)所述流量調(diào)節(jié)閥與所述氣罐連通。
[0015]在一個(gè)關(guān)于供氣切換設(shè)備的優(yōu)選實(shí)施方式中，至少兩個(gè)氣罐并聯(lián)，壓力檢測(cè)裝置用于分別檢測(cè)各個(gè)氣罐的壓力，同時(shí)壓力檢測(cè)裝置與第一控制器信號(hào)接通，第一控制器根據(jù)壓力數(shù)據(jù)能夠控制各個(gè)氣罐進(jìn)行通斷切換。與此同時(shí)，用于檢測(cè)各個(gè)氣罐輸出氣體的純度的純度檢測(cè)裝置與第二控制器信號(hào)接通，第二控制器能夠根據(jù)純度數(shù)據(jù)控制各個(gè)氣罐進(jìn)行通斷。通過(guò)以上結(jié)構(gòu)設(shè)置，當(dāng)自某一氣罐中輸出的氣體被壓力檢測(cè)裝置檢測(cè)出壓力數(shù)值超底線，即壓力過(guò)低時(shí)，由壓力檢測(cè)裝置向第一控制器發(fā)出壓力信號(hào)，第一控制器根據(jù)此壓力信號(hào)控制氣罐進(jìn)行切換，關(guān)斷此壓力低的氣罐并開(kāi)啟另一備用氣罐，以保證合格壓力氣體的持續(xù)供應(yīng)；平行地，當(dāng)上述被檢測(cè)壓力的氣罐在正常供氣的狀態(tài)下，其輸出的氣體同時(shí)被純度檢測(cè)裝置檢測(cè)純度，當(dāng)壓力數(shù)據(jù)被壓力檢測(cè)裝置檢測(cè)為合格，而純度數(shù)據(jù)被純度檢測(cè)裝置檢測(cè)為不合格時(shí)，純度數(shù)據(jù)被接通至第二控制器，由第二控制器控制氣罐進(jìn)行切換，即將輸出純度不合格的氣體的氣罐關(guān)斷，開(kāi)啟另一備用氣管以持續(xù)供氣。對(duì)于以上配合設(shè)置的壓力檢測(cè)裝置與第一控制器，純度檢測(cè)裝置和第二控制器，其兩組為檢測(cè)指標(biāo)項(xiàng)不同的平行控制結(jié)構(gòu)。由此，將壓力參數(shù)調(diào)節(jié)至后續(xù)生產(chǎn)流程所需的最低壓力值，而不必以高壓力值來(lái)保障純度數(shù)據(jù)的合格性，即當(dāng)輸出氣體的壓力為達(dá)到最低使用限制時(shí)，同時(shí)由純度檢測(cè)裝置檢測(cè)到的純度數(shù)值為合格時(shí)，便可以對(duì)氣罐內(nèi)的氣體進(jìn)行充分地，有質(zhì)量保證地利用。
[0016]現(xiàn)有技術(shù)中，為避免較低壓力的輸出氣體的純度數(shù)據(jù)不合格，而需要設(shè)置較高的最低壓力輸出底線，而此壓力設(shè)置值高于后續(xù)生產(chǎn)工藝所實(shí)際需要的壓力值，則在氣體壓力合格時(shí)，同時(shí)氣體純度數(shù)據(jù)未被檢測(cè)是否合格的狀態(tài)下便對(duì)氣罐進(jìn)行了更換，這大概率地存在被更換掉的氣罐的壓力與純度均合格。如此被更換掉的氣罐浪費(fèi)掉了可利用的氣體，增加了生產(chǎn)成本。同時(shí)，對(duì)應(yīng)地，因溫度等因素造成氣罐氣壓的變化，在氣壓仍合格的情況下，而未被檢測(cè)的純度數(shù)據(jù)為不合格狀態(tài)的氣體被輸送并使用將造成不合格氣體的輸出。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型同時(shí)并列地設(shè)置檢測(cè)壓力和純度的裝置，這將明顯提高合格氣體的利用率、降低用氣成本，同時(shí)提高合格氣體供給的準(zhǔn)確性。
【附圖說(shuō)明】
[0017]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。
[0018]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；