本技術屬于半導體制造設備以及光伏設備，尤其涉及一種濕氧工藝系統(tǒng)。

背景技術：

1、在光伏領域，濕氧工藝是指在工藝過程中，將攜源氣體通過鼓泡工藝裝置，攜帶水蒸氣進入反應室內(nèi)完成工藝。濕氧工藝可以有效降低反應室溫度，可提升石英件（石英舟，石英舟托，石英管）壽命；縮短工藝時間，提升設備產(chǎn)能；提升電池片效率；同時由于能降低反應溫度，可減少反應室密封部件的故障率，有利于設備穩(wěn)定運行?，F(xiàn)有光伏領域的濕氧工藝在應用上主要采取的是人工定期更換水的方式，大部分環(huán)節(jié)都需要人工參與，需要頻繁的人為操作，無法實現(xiàn)全自動化季量產(chǎn)?，F(xiàn)有少部分在使用的濕氧系統(tǒng)，要么純水僅能實現(xiàn)外圍-內(nèi)部主管道-水瓶這一流動次序，當外圍或內(nèi)部管道純水存在污染或者久放變質(zhì)情況時，不合格的純水無法直接排出該裝置，無法實現(xiàn)整個換水的循環(huán)。或者少部分帶補排水功能的裝置在應用于量產(chǎn)機臺時，僅僅解決了如何將水排出自身裝置的問題，未考慮到機臺外圍條件，未能實現(xiàn)整個系統(tǒng)的循環(huán)，仍然存在（1）主管道水易變質(zhì)，更換時會造成較多的純水浪費；（2）水質(zhì)檢測麻煩，難以長時間進行水質(zhì)在線監(jiān)測；（3）批量生產(chǎn)機臺內(nèi)換水時排出的水量大，處理負擔重等諸多問題。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型要解決的技術問題是克服現(xiàn)有技術的不足，提供一種有利于保持主管道中純水水質(zhì)、便于水質(zhì)在線監(jiān)測、節(jié)約純水的濕氧工藝系統(tǒng)。

2、為解決上述技術問題，本實用新型采用以下技術方案：

3、一種濕氧工藝系統(tǒng)，包括純水循環(huán)單元、濕氧單元和排水單元；所述純水循環(huán)單元包括依次連接的進水管段、循環(huán)管段和回水管段，所述進水管段的入口和回水管段的出口分別與外圍純水源連接，所述進水管段和回水管段之間設有外循環(huán)連接管，所述外循環(huán)連接管上設有外循環(huán)閥，所述循環(huán)管段的進水端設有進水閥，所述循環(huán)管段的出水端設有回水閥；所述循環(huán)管段上并聯(lián)設有多根進水支管，各根所述進水支管與相應的濕氧單元一一連接，用于補充濕氧單元所需的純水，各個所述濕氧單元排出的水經(jīng)排水單元排至外圍；所述循環(huán)管段上還設有水質(zhì)檢測儀、排水口及位于排水口上的第一排水閥。

4、進一步改進地，所述進水閥和進水支管之間的循環(huán)管段上還設有穩(wěn)壓節(jié)流閥。

5、進一步改進地，所述排水單元包括蓄水槽、多根排水支管、排水總管和外排管，各所述濕氧單元的排水口通過對應的排水支管與所述排水總管連接，所述排水總管與蓄水槽的入口連接，所述外排管與蓄水槽的出口連接，所述蓄水槽上設有液位計，所述液位計包括低水位液位計、中水位液位計和高水位液位計，各所述排水支管上設有第二排水閥，所述外排管上設有水泵、第二單向閥和外排閥。

6、進一步改進地，所述蓄水槽底部設有水槽漏水檢測儀。

7、進一步改進地，所述濕氧單元包括用于實現(xiàn)純水與攜源氣體混合形成蒸汽的氣液混合組件，所述氣液混合組件上連接有泄壓管，所述泄壓管上設有壓力傳感器和泄壓閥，所述泄壓管末端設有過濾器。

8、進一步改進地，所述濕氧單元還包括進氣管、伴熱管道、反應室；所述氣液混合組件包括水瓶和恒溫槽，所述水瓶分別與進水支管、進氣管、伴熱管道和排水支管連接，各所述進水支管上設有補水閥，所述進氣管上設有進氣閥和流量控制器，所述進氣管用于輸入攜源氣體，所述水瓶位于恒溫槽內(nèi)，所述恒溫槽用于使水瓶內(nèi)純水保持恒溫以保證攜源氣體帶出純水量達到工藝要求且穩(wěn)定，所述水瓶設有水瓶測溫儀、水瓶液位檢測儀和水瓶漏水檢測儀，所述伴熱管道用于輸送蒸汽至反應室，所述伴熱管道上設有伴熱管溫度檢測儀和第一單向閥。

9、進一步改進地，所述濕氧工藝系統(tǒng)還包括控制單元，所述補水閥、進氣閥、流量控制器、水瓶液位檢測儀、水瓶漏水檢測儀、出氣閥、壓力傳感器和泄壓閥均與控制單元連接，以實現(xiàn)濕氧單元自動補水、進氣、出氣和泄壓。

10、進一步改進地，所述進水閥、回水閥、外循環(huán)閥、第一排水閥、穩(wěn)壓節(jié)流閥和水質(zhì)檢測儀均與控制單元連接，以實現(xiàn)純水循環(huán)單元自動運行。

11、進一步改進地，所述第二排水閥、液位計、水泵、外排閥和水槽漏水檢測儀均與控制單元連接，控制單元根據(jù)液位計和水槽漏水檢測儀反饋的信息，控制水泵啟停、第二排水閥和外排閥的開關，以實現(xiàn)蓄水槽自動排水。

12、進一步改進地，所述純水循環(huán)單元還包括備用進水管段、備用回水管段，所述備用進水管段的入口和備用回水管段的出口分別與備用外圍純水源連接，所述進水閥和穩(wěn)壓節(jié)流閥之間的循環(huán)管段上設有備用進水口，所述備用進水管段的出口與備用進水口連接，靠近所述回水閥的循環(huán)管段上設有備用回水口，所述備用回水管段的入口與備用回水口連接，所述備用進水管段和備用回水管段之間設有備用外循環(huán)連接管，所述備用外循環(huán)連接管上設有備用外循環(huán)閥，所述備用外循環(huán)連接管與備用進水口之間設有備用進水閥，所述備用外循環(huán)連接管與備用回水口之間設有備用回水閥。

13、與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的優(yōu)點在于：

14、針對當前主流濕氧工藝用于提供純水的主管道中水易變質(zhì)，更換不便且會浪費較多純水資源、無法實時水質(zhì)檢測、批量生產(chǎn)機臺換水時排出的廢水量大等問題，本實用新型提出了一種濕氧工藝系統(tǒng)，將提供純水的主管道設置成具有進水管段和回水管道的循環(huán)管道，并在該循環(huán)管道上設置進水支管、水質(zhì)檢測儀、排水口及第一排水閥，由此實現(xiàn)機臺供水主管道中純水的循環(huán)流動，有利于保持水質(zhì)并監(jiān)測水質(zhì)。因為水的純度越高其溶解物質(zhì)的能力相對來說也越強，與空氣接觸時其中的二氧化碳、氧、氨等氣體極易快速溶于其中，導致水變質(zhì)、電導率增加，同時現(xiàn)有純水電阻率檢測裝置絕大部分都有流動性要求，否則數(shù)據(jù)不準確，因此將純水保持在潔凈密閉的管道內(nèi)保持流動，可以避免與空氣接觸或靜置引起的變質(zhì)和水質(zhì)檢測困難。本系統(tǒng)設置純水循環(huán)流動的主管道以滿足水質(zhì)檢測儀對水質(zhì)的實時監(jiān)測，水質(zhì)合格方可通過進水支管給對應的濕氧工藝供水，并可根據(jù)需求設置多根進水支管以同時滿足多個工藝單元的用水，水質(zhì)不合格可通過關閉進水閥和回水閥，開啟外循環(huán)閥將進水切換至外圍進行處理，同時打開排水口排出機臺主管道即循環(huán)管道中留存的不合格純水。本實用新型的濕氧工藝系統(tǒng)可以保持內(nèi)部主管道中純水的水質(zhì)，并能對水質(zhì)進行實時監(jiān)測，符合水質(zhì)檢測儀在線檢測的主流設計要求，使水質(zhì)檢測更方便準確，且不合格的水不會進入工藝單元，避免對濕氧工藝造成污染，且因不合格而排出的水量少，大大減少了純水資源的浪費，由此也減輕了廢水處理的負擔。

技術特征：

1.一種濕氧工藝系統(tǒng)，其特征在于，包括純水循環(huán)單元（1）、濕氧單元（2）和排水單元（3）；所述純水循環(huán)單元（1）包括依次連接的進水管段（11）、循環(huán)管段（12）和回水管段（13），所述進水管段（11）的入口和回水管段（13）的出口分別與外圍純水源連接，所述進水管段（11）和回水管段（13）之間設有外循環(huán)連接管（14），所述外循環(huán)連接管（14）上設有外循環(huán)閥（141），所述循環(huán)管段（12）的進水端設有進水閥（121），所述循環(huán)管段（12）的出水端設有回水閥（122）；所述循環(huán)管段（12）上并聯(lián)設有多根進水支管（123），各根所述進水支管（123）與相應的濕氧單元（2）一一連接，用于補充濕氧單元（2）所需的純水，各個所述濕氧單元（2）排出的水經(jīng)排水單元（3）排至外圍；所述循環(huán)管段（12）上還設有水質(zhì)檢測儀（124）、排水口及位于排水口上的第一排水閥（125）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕氧工藝系統(tǒng)，其特征在于，所述進水閥（121）和進水支管（123）之間的循環(huán)管段（12）上還設有穩(wěn)壓節(jié)流閥（126）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濕氧工藝系統(tǒng)，其特征在于，所述排水單元（3）包括蓄水槽（31）、多根排水支管（32）、排水總管（33）和外排管（34），各所述濕氧單元（2）的排水口通過對應的排水支管（32）與所述排水總管（33）連接，所述排水總管（33）與蓄水槽（31）的入口連接，所述外排管（34）與蓄水槽（31）的出口連接，所述蓄水槽（31）上設有液位計（35），所述液位計（35）包括低水位液位計（351）、中水位液位計（352）和高水位液位計（353），各所述排水支管（32）上設有第二排水閥（321），所述外排管（34）上設有水泵（341）、第二單向閥（342）和外排閥（343）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的濕氧工藝系統(tǒng)，其特征在于，所述蓄水槽（31）底部設有水槽漏水檢測儀（311）。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的濕氧工藝系統(tǒng)，其特征在于，所述濕氧單元（2）包括用于實現(xiàn)純水與攜源氣體混合形成蒸汽的氣液混合組件（21），所述氣液混合組件（21）上連接有泄壓管（22），所述泄壓管（22）上設有壓力傳感器（221）和泄壓閥（222），所述泄壓管（22）末端設有過濾器（223）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的濕氧工藝系統(tǒng)，其特征在于，所述濕氧單元（2）還包括進氣管（23）、伴熱管道（24）、反應室（25）；所述氣液混合組件（21）包括水瓶（211）和恒溫槽（212），所述水瓶（211）分別與進水支管（123）、進氣管（23）、伴熱管道和排水支管連接，各所述進水支管（123）上設有補水閥（1231），所述進氣管（23）上設有進氣閥（231）和流量控制器（232），所述進氣管（23）用于輸入攜源氣體，所述水瓶（211）位于恒溫槽（212）內(nèi)，所述恒溫槽（212）用于使水瓶（211）內(nèi)純水保持恒溫以保證攜源氣體帶出純水量達到工藝要求且穩(wěn)定，所述水瓶（211）設有水瓶測溫儀（2111）、水瓶液位檢測儀（2112）和水瓶漏水檢測儀（2113），所述伴熱管道（24）用于輸送蒸汽至反應室（25），所述伴熱管道（24）上設有伴熱管溫度檢測儀（241）和第一單向閥（242）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濕氧工藝系統(tǒng)，其特征在于，還包括控制單元（4），所述補水閥（1231）、進氣閥（231）、流量控制器（232）、水瓶液位檢測儀（2112）、水瓶漏水檢測儀（2113）、出氣閥（243）、壓力傳感器（221）和泄壓閥（222）均與控制單元（4）連接，以實現(xiàn)濕氧單元（2）自動補水、進氣、出氣和泄壓。

8.根據(jù)權(quán)利要求2～6任一項所述的濕氧工藝系統(tǒng)，其特征在于，還包括控制單元（4），所述進水閥（121）、回水閥（122）、外循環(huán)閥（141）、第一排水閥（125）、穩(wěn)壓節(jié)流閥（126）和水質(zhì)檢測儀（124）均與控制單元（4）連接，以實現(xiàn)純水循環(huán)單元（1）自動運行。

9.根據(jù)權(quán)利要求4～6任一項所述的濕氧工藝系統(tǒng)，其特征在于，還包括控制單元（4），所述第二排水閥（321）、液位計（35）、水泵（341）、外排閥（343）和水槽漏水檢測儀（311）均與控制單元（4）連接，控制單元（4）根據(jù)液位計（35）和水槽漏水檢測儀（311）反饋的信息，控制水泵（341）啟停、第二排水閥（321）和外排閥（343）的開關，以實現(xiàn)蓄水槽（31）自動排水。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～7任一項所述的濕氧工藝系統(tǒng)，其特征在于，所述純水循環(huán)單元（1）還包括備用進水管段（101）、備用回水管段（102），所述備用進水管段（101）的入口和備用回水管段（102）的出口分別與備用外圍純水源連接，所述進水閥（121）和穩(wěn)壓節(jié)流閥（126）之間的循環(huán)管段（12）上設有備用進水口（103），所述備用進水管段（101）的出口與備用進水口（103）連接，靠近所述回水閥（122）的循環(huán)管段（12）上設有備用回水口（104），所述備用回水管段（102）的入口與備用回水口（104）連接，所述備用進水管段（101）和備用回水管段（102）之間設有備用外循環(huán)連接管（105），所述備用外循環(huán)連接管（105）上設有備用外循環(huán)閥（106），所述備用外循環(huán)連接管（105）與備用進水口（103）之間設有備用進水閥（107），所述備用外循環(huán)連接管（105）與備用回水口（104）之間設有備用回水閥（108）。

技術總結(jié)
本技術公開了一種濕氧工藝系統(tǒng)，包括純水循環(huán)單元、濕氧單元和排水單元；純水循環(huán)單元包括依次連接的進水管段、循環(huán)管段和回水管段，進水管段的入口和回水管段的出口分別與外圍純水源連接，進水管段和回水管段之間設有外循環(huán)連接管，外循環(huán)連接管上設有外循環(huán)閥，循環(huán)管段的進水端設有進水閥，循環(huán)管段的出水端設有回水閥；循環(huán)管上并聯(lián)設有多根進水支管，各根進水支管與相應的濕氧單元一一連接，用于補充濕氧單元所需的純水，各個濕氧單元排出的水經(jīng)排水單元排至外圍；循環(huán)管段上還設有水質(zhì)檢測儀、排水口及第一排水閥。該系統(tǒng)可以保持內(nèi)部主管道的純水水質(zhì)，便于對水質(zhì)進行實時監(jiān)測，且換水時浪費的水量少。

技術研發(fā)人員：周天昊,謝成,趙志然,龍輝
受保護的技術使用者：湖南紅太陽光電科技有限公司
技術研發(fā)日：20240430
技術公布日：2025/1/2