本實(shí)用新型涉及一種工藝液體輸送系統(tǒng)，特別是涉及一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的工藝液體輸送系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體設(shè)備中通常會使用氣動隔膜泵來驅(qū)動工藝液體循環(huán)。參照圖1，其顯示一種現(xiàn)有用于半導(dǎo)體設(shè)備的工藝液體輸送系統(tǒng)10的示意圖。所述工藝液體輸送系統(tǒng)10包含電磁閥110、氣動隔膜泵120、儲存槽130、和連接在所述電磁閥110和所述氣動隔膜泵120之間的氣體輸送管路140以及連接在所述氣動隔膜泵120和所述儲存槽130之間的液體輸送管路150。所述電磁閥110通常設(shè)置在半導(dǎo)體設(shè)備的電控區(qū)170，所述電控區(qū)170設(shè)有多種電控裝置(例如電源控制器、計(jì)算機(jī)等等)和復(fù)雜的電路走線。所述電磁閥110會與一氣體供應(yīng)源160連接以導(dǎo)入一工作氣體，并通過所述氣體輸送管路140將所述工作氣體傳送至所述氣動隔膜泵120，以驅(qū)動所述氣動隔膜泵120的薄膜產(chǎn)生往復(fù)式運(yùn)動，使得所述氣動隔膜泵120能驅(qū)使工藝液體通過所述液體輸送管路150從所述儲存槽130抽出。抽出的工藝液體可通過管路循環(huán)后回到原來的所述儲存槽130，或者是通過管路在不同的槽體之間輸送。

參照圖2和圖3，圖2顯示圖1的所述工藝液體輸送系統(tǒng)10的電磁閥110于斷電狀態(tài)下的示意圖，以及圖3顯示圖1的所述工藝液體輸送系統(tǒng)10的電磁閥110于通電狀態(tài)下的示意圖。所述電磁閥110包含線圈組111、先導(dǎo)閥112、連動桿113、多個(gè)裝設(shè)在所述連動桿113的活塞114、進(jìn)氣口C1、第一排氣口C2、第二排氣口C3、第一接口C4、和第二接口C5。如圖2所示，當(dāng)所述電磁閥110于斷電狀態(tài)下時(shí)，所述氣體供應(yīng)源160會將工作氣體G通過所述進(jìn)氣口C1導(dǎo)入所述電磁閥110內(nèi)，使得所述工作氣體G通過所述第二接口C5輸送至所述氣體輸送管路140以進(jìn)入所述氣動隔膜泵120，進(jìn)而驅(qū)動所述氣動隔膜泵120的薄膜朝一方向移動。并且，所述氣動隔膜泵120內(nèi)的所述工作氣體G會再通過所述氣體輸送管路140回送至所述電磁閥110的所述第一接口C4，并通過所述第一排氣口C2排出。接著，如圖3所示，當(dāng)所述電磁閥110于通電狀態(tài)下時(shí)，通過將所述線圈組111通電可控制所述先導(dǎo)閥112向下移動，以連帶地將所述連動桿113及所述多個(gè)活塞114一并向下移動，進(jìn)而改變所述電磁閥110內(nèi)部的氣體通路。因此，所述氣體供應(yīng)源160將工作氣體G通過所述進(jìn)氣口C1導(dǎo)入所述電磁閥110內(nèi)后，所述工作氣體G會改通過所述第一接口C4輸送至所述氣體輸送管路140以進(jìn)入所述氣動隔膜泵120，進(jìn)而驅(qū)動所述氣動隔膜泵120的薄膜朝一反方向移動。因此，通過控制所述電磁閥110連續(xù)地進(jìn)行通電與斷電操作，以驅(qū)動所述氣動隔膜泵120的薄膜產(chǎn)生往復(fù)式運(yùn)動，進(jìn)而達(dá)到驅(qū)使工藝液體通過所述液體輸送管路150從所述儲存槽130抽出的功效。

然而，當(dāng)所述氣動隔膜泵120的薄膜破裂時(shí)，工藝液體會灌入所述氣體輸送管路140內(nèi)，并且沿著所述氣體輸送管路140流入位于所述電控區(qū)170的所述電磁閥110內(nèi)，導(dǎo)致所述電磁閥110與周圍的電控裝置損壞，并且還會因漏電而產(chǎn)生操作人員發(fā)生電擊的工安意外。

有鑒于此，有必要提出一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的工藝液體輸送系統(tǒng)，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的工藝液體輸送系統(tǒng)，通過在電磁閥與泵之間增設(shè)一氣動閥，以解決因所述電磁閥與泵直接地連接，使得當(dāng)泵內(nèi)的工藝液體沿著所述輸送管路流入所述電磁閥內(nèi)時(shí)，造成所述電磁閥與周圍的電控裝置損壞的問題，并且還可防止因漏電而產(chǎn)生操作人員發(fā)生電擊的工安意外。

為達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的工藝液體輸送系統(tǒng)，包含：一電磁閥，與一氣體供應(yīng)源連接以導(dǎo)入一工作氣體；一氣動閥，與所述電磁閥連接以接收所述工作氣體，并且包含至少一接口用于將所述工作氣體通過所述至少一接口排出；一儲存槽，用于儲存一工藝液體；以及一泵，連接在所述氣動閥的所述至少一接口與所述儲存槽之間，用于接收所述工作氣體以驅(qū)動所述泵產(chǎn)生將所述工藝液體從所述儲存槽抽出的動力。

于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述氣動閥，包含：一第一接口和一第二接口；以及一作動桿和多個(gè)組裝在所述作動桿的間隔件，其中通過控制所述作動桿的移動以連帶改變所述多個(gè)間隔件的位置，進(jìn)而改變所述氣動閥內(nèi)部的氣體輸送通道，使得所述工作氣體通過所述第一接口或所述第二接口其中之一排出。

于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述泵與所述氣動閥的所述第一接口和所述第二接口連接以接收所述工作氣體。

于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，通過控制所述氣動閥的所述作動桿往復(fù)地移動，使得所述工作氣體交替且連續(xù)地通過所述第一接口或所述第二接口其中之一排出。

于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述泵包含一氣動隔膜泵。

于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，通過控制所述氣動閥的所述作動桿的移動以使得所述工作氣體交替地通過所述第一接口或所述第二接口其中之一排出，進(jìn)而驅(qū)動所述氣動隔膜泵的薄膜產(chǎn)生往復(fù)式運(yùn)動，因而驅(qū)動所述氣動隔膜泵產(chǎn)生將所述工藝液體從所述儲存槽抽出的動力。

于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述電磁閥位在所述半導(dǎo)體設(shè)備的一電控區(qū)，以及所述氣動閥位在所述半導(dǎo)體設(shè)備的一管路區(qū)。

于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述電控區(qū)與所述管路區(qū)相距一距離以充分隔離所述電控區(qū)和所述管路區(qū)。

于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述電控區(qū)位在所述半導(dǎo)體設(shè)備的上方，以及所述管路區(qū)位在所述半導(dǎo)體設(shè)備的下方。

于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述電磁閥包含一與所述氣體供應(yīng)源連接的輸入口和兩個(gè)接口，其中所述兩個(gè)接口其中之一與所述氣動閥連接以將所述工作氣體輸送至所述氣動閥，另一接口則為關(guān)閉狀態(tài)。

本實(shí)用新型還提供一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的工藝液體輸送系統(tǒng)，包含：一氣體供應(yīng)源；一電磁閥，與所述氣體供應(yīng)源連接；一氣動閥，與所述電磁閥連接；一儲存槽，用于儲存一工藝液體；以及一泵，連接在所述氣動閥與所述儲存槽之間；其中，在所述工藝液體輸送系統(tǒng)作動時(shí)，所述氣體供應(yīng)源中的工作氣體通過所述電磁閥流至所述氣動閥，所述氣動閥作用來反復(fù)通過不同管路將所述工作氣體導(dǎo)入所述泵中以驅(qū)動所述泵產(chǎn)生將所述工藝液體從所述儲存槽抽出的動力。

相較于先前技術(shù)，本實(shí)用新型通過在電磁閥與泵之間增設(shè)一氣動閥，以避免所述電磁閥與泵直接地連接。并且通過將與所述泵直接地連接的所述氣動閥設(shè)置在半導(dǎo)體設(shè)備的管路區(qū)，使得所述氣動閥與位在電控區(qū)的所述電磁閥相距一距離。因此，當(dāng)泵內(nèi)薄膜破裂導(dǎo)致工藝液體沿著所述輸送管路逆流時(shí)，所述工藝液體不會流進(jìn)所述位在電控區(qū)的所述電磁閥內(nèi)，故可避免所述電磁閥與周圍的電控裝置損壞的問題，并且還可防止因漏電而產(chǎn)生操作人員發(fā)生電擊的工安意外。

附圖說明

圖1顯示一種現(xiàn)有的用于半導(dǎo)體設(shè)備的工藝液體輸送系統(tǒng)的示意圖；

圖2顯示圖1的所述工藝液體輸送系統(tǒng)的電磁閥于斷電狀態(tài)下的示意圖；

圖3顯示圖1的所述工藝液體輸送系統(tǒng)的電磁閥于通電狀態(tài)下的示意圖；

圖4顯示一種根據(jù)本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的用于半導(dǎo)體設(shè)備的工藝液體輸送系統(tǒng)的示意圖；

圖5顯示圖4的所述工藝液體輸送系統(tǒng)的氣動閥于第一狀態(tài)的作動示意圖；以及

圖6顯示圖4的所述工藝液體輸送系統(tǒng)的氣動閥于第二狀態(tài)的作動示意圖。

具體實(shí)施方式

為了讓本實(shí)用新型的上述及其他目的、特征、優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文將特舉本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下。

請參照圖4，其顯示一種根據(jù)本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的用于半導(dǎo)體設(shè)備的工藝液體輸送系統(tǒng)20的示意圖。所述工藝液體輸送系統(tǒng)20包含電磁閥210、氣動閥280、泵220、儲存槽230、和連接在所述電磁閥110和所述氣動閥280之間的第一氣體輸送管路242、連接在所述氣動閥280和所述泵220之間的第二氣體輸送管路244以及連接在所述泵220和所述儲存槽230之間的液體輸送管路250。所述電磁閥110設(shè)置在半導(dǎo)體設(shè)備的電控區(qū)270，所述電控區(qū)270設(shè)有多種電控裝置(例如電源控制器、計(jì)算機(jī)等等)和復(fù)雜的電路走線。所述氣動閥280設(shè)置在所述半導(dǎo)體設(shè)備的管路區(qū)290，其中所述電控區(qū)270與所述管路區(qū)290相距一距離以充分地隔離管路區(qū)290的所述氣動閥280和電控區(qū)270的所述電磁閥210。優(yōu)選地，所述電控區(qū)270位在所述半導(dǎo)體設(shè)備的上方，以及所述管路區(qū)290位在所述半導(dǎo)體設(shè)備的下方。

如圖4所示，所述電磁閥210與一氣體供應(yīng)源260連接以導(dǎo)入一工作氣體，并通過所述第一氣體輸送管路242將所述工作氣體傳送至所述氣動閥280，接著再通過所述第二氣體輸送管路244將所述工作氣體傳送至所述泵220。通過所述工作氣體驅(qū)動所述泵220產(chǎn)生將所述工藝液體從所述儲存槽230抽出的動力。具體來說，所述泵220可為氣動隔膜泵，且所述第二氣體輸送管路244包含兩條獨(dú)立的管路，故可通過將所述工作氣體交替且連續(xù)地通過所述兩條獨(dú)立的管路傳送，使得所述泵220的薄膜產(chǎn)生往復(fù)式運(yùn)動，進(jìn)而使得所述氣動隔膜泵220能驅(qū)使工藝液體通過所述液體輸送管路250從所述儲存槽230抽出。抽出的工藝液體可通過所述液體輸送管路250循環(huán)后回到原來的所述儲存槽130，或者是通過不同的管路在不同的槽體之間輸送。

參照圖5和圖6，圖5顯示圖4的所述工藝液體輸送系統(tǒng)的氣動閥280于第一狀態(tài)的作動示意圖，以及圖6顯示圖4的所述工藝液體輸送系統(tǒng)的氣動閥280于第二狀態(tài)的作動示意圖。所述電磁閥210包含與所述氣體供應(yīng)源260連接的進(jìn)氣口F1以及一第一接口F2和第二接口F3。通過控制所述電磁閥210的通電與斷電，可改變所述電磁閥210內(nèi)部的氣體輸送通道，進(jìn)而控制工作氣體G通過所述第一接口F2或第二接口F3其中之一輸出。應(yīng)當(dāng)理解的是，在本實(shí)用新型中所述電磁閥210不會被連續(xù)地進(jìn)行通電與斷電操作，故所述工作氣體G只會固定地通過所述第一接口F2或第二接口F3其中之一輸出。在本優(yōu)選實(shí)施例中以將所述第一接口F2作為固定的排氣口舉例說明。當(dāng)所述工作氣體G固定地通過所述第一接口F2輸出時(shí)，所述第二接口F3為關(guān)閉狀態(tài)。

如圖5所示，所述氣動閥280包含與所述電磁閥210的所述第一接口F2連接的輸入口E1、一第一排氣口E2、一第二排氣口E3、一第一接口E4和一第二接口E5，其中所述第一接口E4和所述第二接口E5通過所述第二氣體輸送管路244與所述泵220連接。具體來說，所述第二氣體輸送管路244包含兩條獨(dú)立的氣體輸送管路，所述第一接口E4和所述第二接口E5分別通過所述兩條獨(dú)立的氣體輸送管路與所述泵220連接。所述氣動閥280還包含一作動桿281和多個(gè)組裝在所述作動桿281的間隔件282。如圖5所示，當(dāng)所述氣動閥280于第一狀態(tài)時(shí)，所述工作氣體G會通過所述第一接口E4輸送至所述泵220，驅(qū)動所述泵220的薄膜朝一方向移動。并且，所述泵220內(nèi)的所述工作氣體G會再通過所述第二氣體輸送管路244回送至所述氣動閥280的所述第二接口E5，并通過所述第二排氣口E3排出。接著，如圖6所示，當(dāng)所述氣動閥280于第二狀態(tài)時(shí)，通過控制所述作動桿281向下移動，以連帶地將所述多個(gè)間隔件282一并向下移動，進(jìn)而改變所述氣動閥280內(nèi)部的氣體通道。因此，所述工作氣體G會改通過所述第二接口E5傳送至所述泵220，進(jìn)而驅(qū)動所述泵220的薄膜朝一反方向移動。因此，在本實(shí)用新型中所述氣動閥280于第一狀態(tài)和所述第二狀態(tài)意旨通過控制所述作動桿281的移動以連帶改變所述多個(gè)間隔件282的位置，進(jìn)而改變所述氣動閥280內(nèi)部的氣體輸送通道，使得所述工作氣體G通過所述第一接口E4或所述第二接口E5其中之一排出。也就是說，在本實(shí)用新型中通過控制所述作動桿281連續(xù)地進(jìn)行上下移動，以驅(qū)動所述泵220的薄膜產(chǎn)生往復(fù)式運(yùn)動，進(jìn)而達(dá)到驅(qū)動所述泵220產(chǎn)生將所述工藝液體從所述儲存槽抽出的動力的功效。

綜上所述，本實(shí)用新型通過在電磁閥與泵之間增設(shè)一氣動閥，以避免所述電磁閥與泵直接地連接。并且通過將與所述泵直接連接的所述氣動閥設(shè)置在半導(dǎo)體設(shè)備的管路區(qū)，使得位在管路區(qū)的所述氣動閥與位在電控區(qū)的所述電磁閥相距一距離，以充分地隔離管路區(qū)的所述氣動閥和電控區(qū)的所述電磁閥。優(yōu)選地，所述電控區(qū)位在所述半導(dǎo)體設(shè)備的上方，以及所述管路區(qū)位在所述半導(dǎo)體設(shè)備的下方。因此，當(dāng)泵內(nèi)薄膜破裂導(dǎo)致工藝液體沿著所述輸送管路逆流時(shí)，所述工藝液體不會流進(jìn)所述位在電控區(qū)的所述電磁閥內(nèi)，故可避免所述電磁閥與周圍的電控裝置損壞的問題，并且還可防止因漏電而產(chǎn)生操作人員發(fā)生電擊的工安意外。

以上僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于所屬領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。