化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，包括：化學(xué)品桶、泵、桶空過(guò)濾器，所述化學(xué)品桶通過(guò)第一管線與所述泵連接，所述泵通過(guò)第二管線與所述桶空過(guò)濾器連接；還包括氣液分離回收裝置和氣體平衡器，所述氣液分離回收裝置分別與桶空過(guò)濾器、第一管線及氣體平衡器連接。桶空過(guò)濾器排放的氣液混合物進(jìn)入到氣液分離回收裝置內(nèi)；在氣液分離回收裝置內(nèi)，液體下沉，氣體上升，氣液自然分離。其中，分離出來(lái)的液體進(jìn)入到所述第一管線中，被重復(fù)利用；分離出來(lái)的氣體通過(guò)氣體平衡器排出，避免了氣體進(jìn)入化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的管線。既保證了液體完全回收，避免了化學(xué)品的浪費(fèi)，又保證了化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的管道中沒(méi)有氣泡。
【專利說(shuō)明】化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的繼續(xù)發(fā)展，芯片生產(chǎn)線在我國(guó)也已開始越來(lái)越規(guī)?；?，其目的是實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片上的雜質(zhì)、微粒子進(jìn)行清洗等。并且，由于半導(dǎo)體制程的不斷發(fā)展，線寬越來(lái)越窄，工藝的要求也越來(lái)越高，這些因素都對(duì)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)提出了更高的要求。
[0003]如圖1所示，一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，包括:化學(xué)品桶101，氣體平衡器102，桶空過(guò)濾器103，泵106，所述化學(xué)品桶101分別與所述氣體平衡器102和所述泵106連接，所述泵106的輸出端與桶空過(guò)濾器103連接。所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)依靠N2/Vacuum做動(dòng)力的供應(yīng)方式，且其供應(yīng)和傳輸共用一套動(dòng)力，其優(yōu)點(diǎn)是供應(yīng)壓力平穩(wěn)且節(jié)省空間節(jié)約成本；但由于傳輸時(shí)會(huì)有氣泡進(jìn)入管線，為了避免對(duì)生產(chǎn)造成影響，在液體到達(dá)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)之前會(huì)將氣泡排放掉，原始設(shè)計(jì)在桶空過(guò)濾器103頂端設(shè)有桶空傳感器104及閥門105，當(dāng)桶空傳感器104感覺(jué)到氣泡時(shí)，閥門105打開排放掉氣泡，但同時(shí)部分液體也隨之排放掉，造成生產(chǎn)成本提聞。
[0004]目前采用的方法是盡量保證化學(xué)品桶接頭的密閉性，同時(shí)增加桶空傳感器103的靈敏度。但采用上訴措施造成的后果是桶內(nèi)剩余化學(xué)品較多，同樣增加生產(chǎn)成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，既保證輸送液體的品質(zhì)又避免化學(xué)品的浪費(fèi)。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，包括:化學(xué)品桶、泵、桶空過(guò)濾器，所述化學(xué)品桶通過(guò)第一管線與所述泵連接，所述泵通過(guò)第二管線與所述桶空過(guò)濾器連接；
[0007]還包括氣液分離回收裝置和氣體平衡器，所述氣液分離回收裝置分別與桶空過(guò)濾器、第一管線及氣體平衡器連接。
[0008]優(yōu)選的，在上述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，所述氣液分離回收裝置包括:回收桶、液位控制管和抽吸管，所述回收桶與桶空過(guò)濾器連接，所述液位控制管與所述回收桶連通，所述抽吸管的一端置于所述位控制管內(nèi)，所述抽吸管的另一端與所述第一管線連接。
[0009]優(yōu)選的，在上述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，所述回收桶的頂部設(shè)置有液位控制連接頭；所述液位控制管呈回字型，所述液位控制管穿過(guò)所述回收桶的側(cè)壁，其通過(guò)所述液位控制連接頭與所述抽吸管連接。
[0010]優(yōu)選的，在上述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，所述回收桶的頂部還設(shè)置有液端連接頭，所述回收桶通過(guò)液端連接頭與桶空過(guò)濾器連接。
[0011]優(yōu)選的，在上述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，所述回收桶的頂部還設(shè)置有氣端連接頭，所述回收桶通過(guò)所述氣端連接頭與氣體平衡器連接。
[0012]優(yōu)選的，在上述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，所述回收桶的側(cè)壁與液位控制管的連接處設(shè)置有開關(guān)。
[0013]優(yōu)選的，在上述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，所述開關(guān)呈“L”型。
[0014]優(yōu)選的，在上述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，所述開關(guān)與所述回收桶的側(cè)壁之間的夾角為
5。?20°。
[0015]優(yōu)選的，在上述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，所述桶空過(guò)濾器的頂端設(shè)置有桶空傳感器。
[0016]優(yōu)選的，在上述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，所述化學(xué)品桶與所述氣體平衡器連接。
[0017]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果:
[0018]在本實(shí)用新型提供的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，桶空過(guò)濾器排放的氣液混合物進(jìn)入到氣液分離回收裝置內(nèi)；在所述氣液分離回收裝置內(nèi)，液體下沉，氣體上升，氣液自然分離。其中，分離出來(lái)的液體進(jìn)入到所述第一管線中，被重復(fù)利用；分離出來(lái)的氣體通過(guò)氣體平衡器排出，避免了氣體進(jìn)入化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的管線。既保證了液體完全回收，避免了化學(xué)品的浪費(fèi)，又保證了化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的管道中沒(méi)有氣泡。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)不意圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的氣液分離回收裝置放大結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的開關(guān)處于關(guān)閉狀態(tài)的放大結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的開關(guān)處于打開狀態(tài)的放大結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖中，101-化學(xué)品桶；102_氣體平衡器；103-桶空過(guò)濾器；104-桶空傳感器；105-閥門；
[0025]201-化學(xué)品桶；202_氣體平衡器；203_泵；204_桶空過(guò)濾器；205_氣液分離回收裝置；206_桶空傳感器；207_第一管線；208_回收桶；209_液位控制管；210_開關(guān)；211_液端連接頭；212_接收管；213_液位控制連接頭；214_氣端連接頭；215_輸入管；216_抽吸管；217-第二管線。

【具體實(shí)施方式】
[0026]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)的描述。根據(jù)下列描述并結(jié)合權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0027]本實(shí)用新型提供了一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，如圖2所示，包括:化學(xué)品桶201、泵203、桶空過(guò)濾器204，所述化學(xué)品桶201通過(guò)第一管線207與所述泵203連接，所述泵203通過(guò)第二管線217與所述桶空過(guò)濾器204連接；
[0028]還包括氣液分離回收裝置205和氣體平衡器202，所述氣液分離回收裝置205分別與桶空過(guò)濾器204、第一管線207及氣體平衡器202連接。
[0029]具體的，桶空過(guò)濾器204排放的氣液混合物進(jìn)入到氣液分離回收裝置205內(nèi)；在所述氣液分離回收裝置205內(nèi)，液體下沉，氣體上升，氣液自然分離。其中，分離出來(lái)的液體進(jìn)入到所述第一管線207中，被重復(fù)利用；分離出來(lái)的氣體通過(guò)氣體平衡器202排出。
[0030]進(jìn)一步的，所述桶空過(guò)濾器204的頂端設(shè)置有桶空傳感器206。當(dāng)桶空傳感器206檢測(cè)到氣泡時(shí)，就將桶空過(guò)濾器204中氣液混合物排入到所述氣液分離回收裝置205中。
[0031]具體的，如圖3所示，所述氣液分離回收裝置205，包括:回收桶208、液位控制管209和抽吸管216，所述回收桶208與所述桶空過(guò)濾器204連接，所述液位控制管209的進(jìn)口連接于所述回收桶208的側(cè)壁，所述抽吸管216的一端置于所述位控制管209內(nèi)，所述抽吸管216的另一端與所述第一管線207連接。。所述液位控制管209為回字型，穿過(guò)所述回收桶208的側(cè)壁。
[0032]所述回收桶208的頂部設(shè)置有液位控制連接頭213，所述液位控制管209通過(guò)液位控制連接頭213與抽吸管216連接。所述回收桶208的側(cè)壁與液位控制管209的連接處設(shè)置有開關(guān)210。
[0033]化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)在應(yīng)用中，第一管線207中每隔一定時(shí)間(例如20秒)會(huì)出現(xiàn)一次真空狀態(tài)，每次持續(xù)一定時(shí)間(例如5秒)。隨著回收桶208內(nèi)的液體增多，當(dāng)回收桶208內(nèi)的液位增高到液位控制管209的進(jìn)口處時(shí)，當(dāng)?shù)谝还芫€207中處于真空間歇狀態(tài)時(shí)，回收桶208內(nèi)的壓強(qiáng)與液位控制管209內(nèi)的壓強(qiáng)相等，也就是說(shuō)開關(guān)210左右的壓強(qiáng)相等，開關(guān)210在液體浮力的作用下打開，如圖4所示，液體從回收桶208內(nèi)流入到液位控制管209內(nèi)，并將液位控制管209內(nèi)的氣體擠入到所述回收桶208中。
[0034]接著，第一管線207中出現(xiàn)真空狀態(tài)，液位控制管209內(nèi)的液體被吸入到第一管線207中，通過(guò)第一管線207進(jìn)入化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中。同時(shí)，所述回收桶208內(nèi)的液位下降，當(dāng)液位下降到低于所述液位控制管209的進(jìn)口時(shí)，所述開關(guān)210在重力作用下關(guān)閉，如圖5所
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[0035]具體的，所述開關(guān)210為“L”型，增大了與液體的接觸面積，從而增大了浮力，更有利于開關(guān)210的打開。
[0036]所述開關(guān)210與所述回收桶208的側(cè)壁之間有夾角，在5°?20°之間，是的開關(guān)210在重力作用下能更好的關(guān)閉。
[0037]進(jìn)一步的，所述回收桶208的頂部設(shè)置有氣端連接頭214，所述回收桶208通過(guò)所述氣端連接頭214與氣體平衡器202的輸入管215連接，從而與氣體平衡器202連接。
[0038]具體的，當(dāng)回收桶208內(nèi)的氣壓高于液位控制管209內(nèi)的氣壓時(shí)，真空通過(guò)氣體平衡器202接入到所述回收桶208，使得回收桶208內(nèi)的氣體排出，從而使得回收桶208內(nèi)的氣壓與液位控制管209內(nèi)的氣壓平衡。當(dāng)回收桶208內(nèi)的氣壓低于液位控制管209內(nèi)的氣壓時(shí)，將氮?dú)馔ㄟ^(guò)氣體平衡器202充入到所述回收桶208內(nèi)，使得回收桶208內(nèi)的氣壓與液位控制管209內(nèi)的氣壓平衡。
[0039]進(jìn)一步的，由于回收桶208內(nèi)的氣壓與液位控制管209內(nèi)的氣壓平衡，當(dāng)開關(guān)210關(guān)閉時(shí)，第一管線207中出現(xiàn)真空狀態(tài)，也能保證沒(méi)有液位控制管209內(nèi)的氣體不會(huì)通過(guò)第一管線207進(jìn)入到化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中。
[0040]所述回收桶208的頂部還設(shè)置有液端連接頭211，所述回收桶208通過(guò)液端連接頭211與桶空過(guò)濾器204的接收管212連接。當(dāng)有氣泡產(chǎn)生時(shí)，氣液混合物通過(guò)桶空過(guò)濾器204進(jìn)入到所述回收桶208內(nèi)，并在所述回收桶208內(nèi)實(shí)現(xiàn)氣液分離。
[0041]在本實(shí)施例中，所述化學(xué)品桶201與所述氣體平衡器202連接。在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述化學(xué)品桶也可以與其他氣體平衡器連接，即在本實(shí)用新型提供的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，可以設(shè)置兩個(gè)氣體平衡器。
[0042]綜上，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中，桶空過(guò)濾器排放的氣液混合物進(jìn)入到氣液分離回收裝置內(nèi)；在所述氣液分離回收裝置內(nèi)，液體下沉，氣體上升，氣液自然分離。其中，分離出來(lái)的液體進(jìn)入到所述第一管線中，被重復(fù)利用；分離出來(lái)的氣體通過(guò)氣體平衡器排出，避免了氣體進(jìn)入化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的管線。既保證了液體完全回收，避免了化學(xué)品的浪費(fèi)，又保證了化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的管道中沒(méi)有氣泡。
[0043]上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，包括:化學(xué)品桶、泵、桶空過(guò)濾器，所述化學(xué)品桶通過(guò)第一管線與所述泵連接，所述泵通過(guò)第二管線與所述桶空過(guò)濾器連接； 還包括氣液分離回收裝置和氣體平衡器，所述氣液分離回收裝置分別與桶空過(guò)濾器、第一管線及氣體平衡器連接。
2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述氣液分離回收裝置包括:回收桶、液位控制管和抽吸管，所述回收桶與桶空過(guò)濾器連接，所述液位控制管與所述回收桶連接，所述抽吸管的一端置于所述位控制管內(nèi)，所述抽吸管的另一端與所述第一管線連接。
3.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述回收桶的頂部設(shè)置有液位控制連接頭；所述液位控制管呈回字型，所述液位控制管穿過(guò)所述回收桶的側(cè)壁，其通過(guò)所述液位控制連接頭與所述抽吸管連接。
4.如權(quán)利要求3所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述回收桶的頂部還設(shè)置有液端連接頭，所述回收桶通過(guò)液端連接頭與桶空過(guò)濾器連接。
5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述回收桶的頂部還設(shè)置有氣端連接頭，所述回收桶通過(guò)所述氣端連接頭與氣體平衡器連接。
6.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述回收桶的側(cè)壁與液位控制管的連接處設(shè)置有開關(guān)。
7.如權(quán)利要求6所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述開關(guān)呈“L”型。
8.如權(quán)利要求6所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述開關(guān)與所述回收桶的側(cè)壁之間的夾角為5°?20°。
9.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述桶空過(guò)濾器的頂端設(shè)置有桶空傳感器。
10.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，所述化學(xué)品桶與所述氣體平衡器連接。
【文檔編號(hào)】F17D3/01GK204083814SQ201420454473
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年8月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月12日
【發(fā)明者】王學(xué)利 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司