延長氣瓶使用時(shí)間的裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，包括氣瓶、氣壓計(jì)、氣壓控制器和加熱器，其中，氣瓶放置于加熱器的上表面，氣壓計(jì)放置于氣瓶出氣管路上，氣壓計(jì)與氣壓控制器電連接，氣壓控制器與加熱器亦電連接；從而克服了現(xiàn)有技術(shù)中由于頻繁更換氣瓶，導(dǎo)致能源浪費(fèi)、影響離子注入效率、增加風(fēng)險(xiǎn)和增加人力成本的問題，進(jìn)而提高了能源的使用率，延長了氣瓶的使用時(shí)間，提高了離子注入效率，減小了風(fēng)險(xiǎn)，且降低了人力成本，進(jìn)一步的降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。
【專利說明】延長氣瓶使用時(shí)間的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種延長氣瓶使用時(shí)間的裝置。【背景技術(shù)】
[0002]科學(xué)技術(shù)的發(fā)展離不開半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展,在半導(dǎo)體制造技術(shù)工藝中，離子注入工藝是必不可少的一個(gè)重要的工藝步驟。在離子注入工藝中，通常使用到氣瓶來給離子注入設(shè)備進(jìn)行供氣。
[0003]SDS氣瓶是大陽日酸公司的一種專利鋼瓶，與一般的高壓鋼瓶不同的是，它是一種吸附式的負(fù)壓鋼瓶，在離子注入制程中被大范圍的使用。這是由于，在離子注入工藝制程中，使用的氣體都是類似于BF3、AsH3、PH3這樣的劇毒氣體，而SDS氣瓶由于其是一種吸附式的負(fù)壓鋼瓶，在使用SDS氣瓶裝載上述劇毒氣體，當(dāng)在常壓下打開閥門時(shí)，使用檢測(cè)器也不會(huì)檢測(cè)到氣體的泄露，保證了半導(dǎo)體生產(chǎn)的安全性。
[0004]SDS氣瓶中的氣體是被吸附劑吸附而變成負(fù)壓的，這種吸附方式是一種純物理吸附，利用范德華力達(dá)到吸附的目的。當(dāng)然，這種吸附是可逆的，在需要使用氣瓶中的氣體進(jìn)行離子注入工藝時(shí)，只需將環(huán)境溫度升高，便會(huì)使得氣瓶中的氣體相互脫離，成為游離的氣體,從而使得氣瓶內(nèi)的壓力升高，當(dāng)達(dá)到一定的溫度時(shí),游離的氣體會(huì)更多,此時(shí)氣瓶內(nèi)的氣壓會(huì)超過大氣壓，此氣瓶成為高氣壓的氣瓶，進(jìn)而通過管道進(jìn)入離子注入設(shè)備進(jìn)行工藝。
[0005]當(dāng)氣瓶內(nèi)的氣體殘留很少量時(shí)，由于溫度的設(shè)定值是根據(jù)具有大量的氣體進(jìn)行設(shè)定的，這就導(dǎo)致在氣瓶內(nèi)殘留少量氣體時(shí)，由于溫度達(dá)不到相應(yīng)的使少量氣體脫離成為游離的氣體的狀態(tài)值，從而導(dǎo)致氣瓶內(nèi)的氣壓較低，使得殘留的氣體不能進(jìn)入到管道中進(jìn)行離子注入工藝，或者只有少量的氣體通過管道進(jìn)入離子注入設(shè)備，進(jìn)而影響了半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)效率。
[0006]當(dāng)前，業(yè)界的做法通常是更換氣瓶，以使得氣體能夠順利通過管道進(jìn)入離子注入設(shè)備，但是頻繁的更換氣瓶，導(dǎo)致能源的巨大浪費(fèi)，更換氣瓶同樣會(huì)影響到離子注入效率，又增加了換氣瓶帶來的風(fēng)險(xiǎn)，還增加了人力成本，進(jìn)而增加了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]針對(duì)上述存在的問題，本實(shí)用新型提供一種延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中由于頻繁更換氣瓶，導(dǎo)致能源浪費(fèi)、影響離子注入效率、增加風(fēng)險(xiǎn)和增加人力成本的問題，從而提高了能源的使用率，提高了離子注入效率，減小了風(fēng)險(xiǎn)，且降低了人力成本，進(jìn)而降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。
[0008]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為:
[0009]一種延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其中，包括氣瓶、氣壓計(jì)、氣壓控制器和加熱器；
[0010]所述加熱器與所述氣瓶接觸放置，以對(duì)所述氣瓶進(jìn)行加熱；
[0011]所述氣壓計(jì)設(shè)置在所述氣瓶的出氣管路上，以量測(cè)所述氣瓶內(nèi)部的氣壓；
[0012]所述氣壓計(jì)將量測(cè)的氣壓值數(shù)據(jù)傳送至所述氣壓控制器，該氣壓控制器根據(jù)接收到的氣壓值數(shù)據(jù)控制所述加熱器對(duì)所述氣瓶進(jìn)行加熱或停止加熱。
[0013]上述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其中，所述氣瓶是一種吸附式的負(fù)壓鋼瓶。
[0014]上述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其中，所述加熱器放置于所述氣瓶的底部以對(duì)所述氣瓶進(jìn)行加熱。
[0015]上述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其中，所述加熱器環(huán)抱所述氣瓶以對(duì)所述氣瓶進(jìn)行加熱。
[0016]上述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其中，所述氣壓計(jì)為水銀氣壓計(jì)或者無液氣壓計(jì)。
[0017]上述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其中，所述氣壓計(jì)通過一管道與所述氣瓶出氣管路連接，以量測(cè)所述氣瓶內(nèi)部的氣壓。
[0018]上述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其中，所述氣壓計(jì)與所述氣壓控制器電連接，以將所述氣壓值數(shù)據(jù)傳送至所述氣壓控制器。
[0019]上述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其中，所述氣壓控制器與所述加熱器電連接，以控制所述加熱器對(duì)所述氣瓶進(jìn)行加熱或者停止加熱。
[0020]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或者有益效果:
[0021]本實(shí)用新型提供的一種延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，包括氣瓶、氣壓計(jì)、氣壓控制器和加熱器，其中，氣瓶放置于加熱器的上表面，氣壓計(jì)放置于氣瓶出氣管路上，氣壓計(jì)與氣壓控制器電連接，氣壓控制器與加熱器亦電連接；從而克服了現(xiàn)有技術(shù)中由于頻繁更換氣瓶，導(dǎo)致能源浪費(fèi)、影響離子注入效率、增加風(fēng)險(xiǎn)和增加人力成本的問題，進(jìn)而提高了能源的使用率，延長了氣瓶的使用時(shí)間，提高了離子注入效率，減小了風(fēng)險(xiǎn)，且降低了人力成本，進(jìn)一步的降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]通過閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型及其特征、外形和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更加明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按照比例繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本實(shí)用新型的主旨。
[0023]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的一種延長氣瓶使用時(shí)間的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明，但是不作為本實(shí)用新型的限定。
[0025]實(shí)施例1:
[0026]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的一種延長氣瓶使用時(shí)間的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖所示，本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置包括:氣瓶101、加熱器102、氣壓計(jì)103以及氣壓控制器104 ;氣瓶101與加熱器102接觸放置，如加熱器102可以放置于氣瓶101的底部，或者加熱器102為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，加熱器102環(huán)抱氣瓶101，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，加熱器102優(yōu)選為放置于氣瓶101底部，加熱器102用以對(duì)氣瓶101進(jìn)行加熱；同時(shí)，氣壓計(jì)103放置于氣瓶的出氣管路上，具體為:氣壓計(jì)103通過一管道01與氣瓶101的出氣管路連接，通過此結(jié)構(gòu)，氣壓計(jì)103能夠測(cè)量氣瓶101內(nèi)部的氣壓；另外，氣壓計(jì)103亦與氣壓控制器104電連接，通過電連接，使得氣壓計(jì)103能夠?qū)⑵錅y(cè)量得到的氣瓶101內(nèi)部的氣壓值數(shù)據(jù)傳送至氣壓控制器104，由于氣壓控制器104與加熱器102亦電連接，從而使得氣壓控制器104根據(jù)其接收到的氣瓶101內(nèi)部的氣壓值數(shù)據(jù)，控制加熱器102對(duì)氣瓶101進(jìn)行加熱或者停止加熱。
[0027]其中，上述的氣瓶是一種吸附式的負(fù)壓鋼瓶，而氣壓計(jì)為水銀氣壓計(jì)或者無液氣壓計(jì)。
[0028]根據(jù)工藝需求，會(huì)設(shè)置一氣壓標(biāo)準(zhǔn)值在氣壓控制器104內(nèi)，而當(dāng)氣壓控制器104接收到的氣瓶101內(nèi)部的氣壓值低于該設(shè)置的氣壓標(biāo)準(zhǔn)值時(shí)，則控制加熱器102繼續(xù)進(jìn)行加熱，如此，可以保證氣瓶101內(nèi)部的氣體能夠最大程度的游離化，溫度的升高使得氣瓶101內(nèi)部的氣壓逐步上升，從而達(dá)到氣壓標(biāo)準(zhǔn)值，當(dāng)氣瓶101內(nèi)部的氣壓值達(dá)到氣壓標(biāo)準(zhǔn)值后，氣壓控制器104則控制加熱器102停止加熱。此時(shí)，氣瓶101內(nèi)部的氣體由于已經(jīng)達(dá)到需要的氣壓值，從而能夠順利的通過管道進(jìn)入離子注入設(shè)備進(jìn)行離子注入工藝。通過控制氣瓶內(nèi)部的氣壓，而非現(xiàn)有技術(shù)中的溫度，從而能夠最大程度的使得氣瓶內(nèi)部的氣體能夠游離化，提高了氣瓶內(nèi)的氣體的使用率，也就延長了氣瓶的使用時(shí)間，減少了換瓶次數(shù)，降低了換瓶所帶來的風(fēng)險(xiǎn)。
[0029]所以，本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的一種延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，包括氣瓶、氣壓計(jì)、氣壓控制器和加熱器，其中，氣瓶放置于加熱器的上表面，氣壓計(jì)放置于氣瓶出氣管路上，氣壓計(jì)與氣壓控制器電連接，氣壓控制器與加熱器亦電連接；從而克服了現(xiàn)有技術(shù)中由于頻繁更換氣瓶，導(dǎo)致能源浪費(fèi)、影響離子注入效率、增加風(fēng)險(xiǎn)和增加人力成本的問題，進(jìn)而提高了能源的使用率，延長了氣瓶的使用時(shí)間，提高了離子注入效率，減小了風(fēng)險(xiǎn)，且降低了人力成本，進(jìn)一步的降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。
[0030]綜上所述，本實(shí)用新型提供的一種延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，包括氣瓶、氣壓計(jì)、氣壓控制器和加熱器，其中，氣瓶放置于加熱器的上表面，氣壓計(jì)放置于氣瓶出氣管路上，氣壓計(jì)與氣壓控制器電連接，氣壓控制器與加熱器亦電連接；從而克服了現(xiàn)有技術(shù)中由于頻繁更換氣瓶，導(dǎo)致能源浪費(fèi)、影響離子注入效率、增加風(fēng)險(xiǎn)和增加人力成本的問題，進(jìn)而提高了能源的使用率，延長了氣瓶的使用時(shí)間，提高了離子注入效率，減小了風(fēng)險(xiǎn)，且降低了人力成本，進(jìn)一步的降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。
[0031 ] 本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)以及上述實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)所述變化例，在此不予贅述。這樣的變化例并不影響本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容，在此不予贅述。
[0032]以上對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本實(shí)用新型并不局限于上述特定實(shí)施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實(shí)施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對(duì)本實(shí)用新型方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例，這并不影響本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其特征在于，包括氣瓶、氣壓計(jì)、氣壓控制器和加熱器； 所述加熱器與所述氣瓶接觸放置，以對(duì)所述氣瓶進(jìn)行加熱； 所述氣壓計(jì)設(shè)置在所述氣瓶的出氣管路上，以量測(cè)所述氣瓶內(nèi)部的氣壓； 所述氣壓計(jì)將量測(cè)的氣壓值數(shù)據(jù)傳送至所述氣壓控制器，該氣壓控制器根據(jù)接收到的氣壓值數(shù)據(jù)控制所述加熱器對(duì)所述氣瓶進(jìn)行加熱或停止加熱。
2.如權(quán)利要求1所述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其特征在于，所述氣瓶是一種吸附式的負(fù)壓鋼瓶。
3.如權(quán)利要求1所述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其特征在于，所述加熱器放置于所述氣瓶的底部以對(duì)所述氣瓶進(jìn)行加熱。
4.如權(quán)利要求1所述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其特征在于，所述加熱器環(huán)抱所述氣瓶以對(duì)所述氣瓶進(jìn)行加熱。
5.如權(quán)利要求1所述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其特征在于，所述氣壓計(jì)為水銀氣壓計(jì)或者無液氣壓計(jì)。
6.如權(quán)利要求1所述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其特征在于，所述氣壓計(jì)通過一管道與所述氣瓶出氣管路連接，以量測(cè)所述氣瓶內(nèi)部的氣壓。
7.如權(quán)利要求1所述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其特征在于，所述氣壓計(jì)與所述氣壓控制器電連接，以將所述氣壓值數(shù)據(jù)傳送至所述氣壓控制器。
8.如權(quán)利要求1所述的延長氣瓶使用時(shí)間的裝置，其特征在于，所述氣壓控制器與所述加熱器電連接，以控制所述加熱器對(duì)所述氣瓶進(jìn)行加熱或者停止加熱。
【文檔編號(hào)】F17C13/02GK203477882SQ201320475965
【公開日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年8月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月5日
【發(fā)明者】鄧尚上, 常明剛, 蘇俊銘, 張旭昇 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司