專利名稱：一種液態(tài)源的汽化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種汽化裝置，尤其涉及一種液態(tài)源汽化裝置。
背景技術(shù)：
液態(tài)源和特種氣體一祥，是電子行業(yè)的重要原料。液態(tài)源常溫下蒸汽壓很低，以液態(tài)存在。但必須轉(zhuǎn)化為氣態(tài)，才能參與エ藝反應(yīng)。如光纖預(yù)制棒的制造エ藝需要用到SiC14、GeC14、P0C13等液態(tài)源。用于芯層和包層的沉積エ藝。硅基太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中用到的P0C13，需要經(jīng)過(guò)氮?dú)鈹y帶進(jìn)入擴(kuò)散爐，生成PN結(jié)。薄膜太陽(yáng)能電池成產(chǎn)用到的DEZn，蒸發(fā)后參與反應(yīng)，生成TCO玻璃。半導(dǎo)體芯片制造用到的TE0S，經(jīng)過(guò)蒸發(fā)進(jìn)入反應(yīng)腔，生成Si02絕緣層。芯片制造中用到的TCS，汽化后用于制造硅外延片。エ藝中化學(xué)品輸送需要使用的輸送設(shè)備是整個(gè)輸送系統(tǒng)的關(guān)鍵，而汽化裝置又是整個(gè)輸送設(shè)備的核心部分。對(duì)于光纖行業(yè)，汽化裝置的性能好壞將直接影響到預(yù)制棒的光學(xué)性能，決定了整個(gè)系統(tǒng)能否生產(chǎn)出合格預(yù)制棒。本申請(qǐng)人在申請(qǐng)?zhí)?01120160974. 8的實(shí)用新型專利中公開(kāi)了ー種液態(tài)源汽化裝置，包括汽化容器，其中，所述汽化容器頂部開(kāi)孔插有鼓泡管路、壓カ表和液位計(jì)，所述汽化容器設(shè)有內(nèi)部電加熱棒和外部加熱器，所述汽化容器出ロ處設(shè)置有質(zhì)量流量計(jì)和蒸汽出ロ閥門(mén)。汽化過(guò)程在汽化容器中完成，井根據(jù)終端用量需求切換使用蒸發(fā)模式或鼓泡模式，來(lái)實(shí)現(xiàn)汽化過(guò)程的控制。但此裝置的液位計(jì)和加熱器焊接固定在裝置本體上，裝置不可根據(jù)需求更換不同材料、規(guī)格的液位計(jì)和加熱器。因此裝置的應(yīng)用靈活性受到局限。本實(shí)用新型公布的裝置，改良了液位計(jì)和加熱器的應(yīng)用形式，可根據(jù)需求更換不同的材質(zhì)、規(guī)格的液位計(jì)內(nèi)芯和加熱器內(nèi)芯，使系統(tǒng)壓力、液位、溫度控制的可操作性更強(qiáng)，裝置維護(hù)更便利，液態(tài)源在汽化過(guò)程中的安全穩(wěn)定性和應(yīng)用范圍、靈活性得到大幅度改善。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上，提供一種液態(tài)源汽化裝置，用于高純液態(tài)源蒸發(fā)或鼓泡功能的實(shí)現(xiàn)，使系統(tǒng)在壓力、液位、溫度精確控制的同時(shí)具備更強(qiáng)的可操作性，裝置維護(hù)更便利，液態(tài)源在汽化過(guò)程中的安全穩(wěn)定性和應(yīng)用靈活性得到大幅度改善。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種液態(tài)源的汽化裝置，其特征在于，汽化裝置上設(shè)有液位計(jì)及加熱器，所述液位計(jì)包括液位計(jì)套管，液位計(jì)套管內(nèi)設(shè)有液位計(jì)內(nèi)芯，液位計(jì)內(nèi)芯的上端從液位計(jì)套管中露出，液位計(jì)套管的上端密封，浮球通過(guò)卡簧套于液位計(jì)套管外，置于1-100%中的任意液位區(qū)間；所述加熱器包括加熱器套管，加熱器套管內(nèi)設(shè)有加熱器內(nèi)芯，加熱器內(nèi)芯的上端從加熱器套管中露出，加熱器套管的上端密封。所述液位計(jì)內(nèi)芯采用磁簧開(kāi)關(guān)感應(yīng)內(nèi)芯。所述的液位計(jì)套管采用不銹鋼，液位計(jì)套管上設(shè)有出線，所述出線采用200°C以上耐高溫線。所述的浮球采用不銹鋼316L。[0010]所述的加熱器套管采用不銹鋼316L。本實(shí)用新型中的液位計(jì)與加熱器均使用套管與內(nèi)芯分體式裝配，可根據(jù)需求選用不同形式的液位計(jì)內(nèi)芯和不同功率、材質(zhì)的加熱器內(nèi)芯。本實(shí)用新型中的加熱器由不銹鋼加熱套管和加熱內(nèi)芯組成，可根據(jù)需求更換不同功率、材質(zhì)的加熱內(nèi)芯。本實(shí)用新型應(yīng)用靈活性強(qiáng)，應(yīng)用范圍廣，液位計(jì)及加熱器的套管的上端都采用卡套、卡箍等快速密封部件，方便更換內(nèi)芯，更換時(shí)不影響裝置的正常工作，保證系統(tǒng)穩(wěn)定性。本實(shí)用新型采用高級(jí)別材料保證高純環(huán)境，避免污染高純液態(tài)源，有效降低環(huán)境污染和人身傷害可能性。本實(shí)用新型在現(xiàn)有汽化裝置的基礎(chǔ)上，改變了液位計(jì)和加熱器的應(yīng)用形式，配置的液位計(jì)內(nèi)芯和加熱器內(nèi)芯可根據(jù)需要更換材質(zhì)和規(guī)格,使系統(tǒng)壓カ、液位、溫度控制的可操作性更強(qiáng)，裝置維護(hù)更便利，液態(tài)源在汽化過(guò)程中的安全穩(wěn)定性和應(yīng)用范圍、靈活性得到大幅度改善。

圖I為本實(shí)用新型提供的一種液態(tài)源的汽化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中I、汽化裝置；5、限位卡簧；2、液位計(jì)套管；6、加熱器套管；3、液位計(jì)內(nèi)芯；7、加熱器內(nèi)芯。4、快速密封部件；
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖與實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述。實(shí)施例如圖I所示，為本實(shí)用新型提供的ー種新型液態(tài)源的汽化裝置，在原來(lái)的汽化裝置I上安裝了一個(gè)液位計(jì)和ー個(gè)加熱器。液位計(jì)由液位計(jì)套管2及液位計(jì)內(nèi)芯3組成,液位計(jì)內(nèi)芯3外套上液位計(jì)套管2，液位計(jì)內(nèi)芯3的上端從液位計(jì)套管2中露出，然后用快速密封部件4將液位計(jì)套管2的上端密封，液位計(jì)與汽化裝置I上端的法蘭焊接，并用限位卡簧固定在汽化裝置I上。加熱器由加熱器套管6及加熱器內(nèi)芯7組成，加熱器內(nèi)芯7外套上加熱器套管，加熱器內(nèi)芯7的上端從加熱器套管6中露出，然后用快速密封部件4將加熱器套管6的上端密封，加熱器與汽化裝置I上端的法蘭焊接固定。液位計(jì)采用浮球液位計(jì)，浮球采用不銹鋼浮球，浮球固定在卡簧上，再將卡簧套在液位計(jì)套管外。液位計(jì)套管采用不銹鋼套管，液位計(jì)內(nèi)芯采用帶有磁簧開(kāi)關(guān)的感應(yīng)內(nèi)芯。液位計(jì)指示液位時(shí)，當(dāng)汽化裝置I內(nèi)液位低于補(bǔ)液下限吋，控制閥門(mén)打開(kāi)，開(kāi)始向汽化裝置I內(nèi)補(bǔ)液，當(dāng)浮球到達(dá)補(bǔ)液上限吋，補(bǔ)液停止。汽化裝置I內(nèi)的液體通過(guò)蒸發(fā)或鼓泡的方式達(dá)到飽和蒸汽壓，以氣態(tài)方式輸出。液位計(jì)與加熱器均使用套管與內(nèi)芯分體式裝配，可根據(jù)需求選用不同形式的液位計(jì)內(nèi)芯和不同功率、材質(zhì)的加熱器內(nèi)芯。更換維護(hù)液位計(jì)時(shí),不需打開(kāi)容器密封法蘭，只需松開(kāi)套管頂部快速密封部件，即可完成更換操作。液位計(jì)出線采用200°C以上耐高溫線，液位計(jì)套管2的材質(zhì)為不銹鋼316L，外部經(jīng)過(guò)電解拋光，適用于高純介質(zhì)，并且可以耐溫180°C以上。加熱器套管6采用不銹鋼加熱套管，不銹鋼采用不銹鋼316L，耐腐蝕性高，不會(huì)污染高純液態(tài)源。加熱器套管6及加熱器內(nèi)芯7可根據(jù)需求更換不同功率、材質(zhì)的加熱內(nèi)芯，需要更換或維護(hù)加熱器時(shí)，不需取出套管，只需松開(kāi)套管頂部的卡套等快速密封部件，更換內(nèi)芯即可，且更換時(shí)裝置不需要排空，不需要打開(kāi)容器法蘭蓋，不影響裝置的正常 工作，保證系統(tǒng)穩(wěn)定性，大幅度提高了裝置應(yīng)用的范圍和靈活性。
權(quán)利要求1.一種液態(tài)源的汽化裝置，其特征在于，汽化裝置(I)上還設(shè)有液位計(jì)及加熱器，所述液位計(jì)包括液位計(jì)套管(I)，液位計(jì)套管(2)內(nèi)設(shè)有液位計(jì)內(nèi)芯(3),液位計(jì)內(nèi)芯(3)的上端從液位計(jì)套管(2)中露出，液位計(jì)套管(2)的上端密封，浮球通過(guò)卡簧套于液位計(jì)套管夕卜，置于1-100%中的任意液位區(qū)間；所述加熱器包括加熱器套管出)，加熱器套管(6)內(nèi)設(shè)有加熱器內(nèi)芯(7)，加熱器內(nèi)芯(7)的上端從加熱器套管￠)中露出，加熱器套管￠)的上端密封。
2.如權(quán)利要求I所述的ー種液態(tài)源的汽化裝置，其特征在于，所述液位計(jì)內(nèi)芯(3)采用磁簧開(kāi)關(guān)感應(yīng)內(nèi)芯。
3.如權(quán)利要求I所述的ー種液態(tài)源的汽化裝置，其特征在于，所述的液位計(jì)套管(2)采用不銹鋼，液位計(jì)套管(2)上設(shè)有出線，所述出線采用200°C以上耐高溫線。
4.如權(quán)利要求I所述的ー種液態(tài)源的汽化裝置，其特征在于，所述的浮球采用不銹鋼316L。
5.如權(quán)利要求I所述的ー種液態(tài)源的汽化裝置，其特征在于，所述的加熱器套管(6)采用不銹鋼316L。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種液態(tài)源的汽化裝置，其特征在于，汽化裝置上還設(shè)有液位計(jì)及加熱器，所述液位計(jì)包括液位計(jì)套管，液位計(jì)套管內(nèi)設(shè)有液位計(jì)內(nèi)芯，液位計(jì)內(nèi)芯的上端從液位計(jì)套管中露出，液位計(jì)套管的上端密封，浮球通過(guò)卡簧套于液位計(jì)套管外，置于1-100％中的任意液位區(qū)間；所述加熱器包括加熱器套管，加熱器套管內(nèi)設(shè)有加熱器內(nèi)芯，加熱器內(nèi)芯的上端從加熱器套管中露出，加熱器套管的上端密封。本實(shí)用新型在現(xiàn)有汽化裝置的基礎(chǔ)上，改變了液位計(jì)和加熱器的應(yīng)用形式，配置的液位計(jì)內(nèi)芯和加熱器內(nèi)芯可根據(jù)需要更換材質(zhì)和規(guī)格，使系統(tǒng)壓力、液位、溫度控制的可操作性更強(qiáng)，裝置維護(hù)更便利，液態(tài)源在汽化過(guò)程中的安全穩(wěn)定性和應(yīng)用范圍、靈活性得到大幅度改善。
文檔編號(hào)F17C7/04GK202452106SQ20122006694
公開(kāi)日2012年9月26日 申請(qǐng)日期2012年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月27日
發(fā)明者張敏, 李東升, 繆南山, 龔小雷 申請(qǐng)人:上海正帆半導(dǎo)體設(shè)備有限公司, 上海正帆科技有限公司