一種生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及生產(chǎn)使用的過程中化學藥品的供給系統(tǒng)領域，具體地說是一種生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)。包括控制系統(tǒng)、補液桶、供液罐、控制閥體、電磁閥、產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)、上位液壓傳感器及下位液壓傳感器，其中供液罐上設有液體進、出口和氣體進、出口，所述液體進、出口和氣體進、出口分別通過單獨的所述控制閥體控制其開、關，各控制閥體分別與電磁閥連接；補液桶通過液體管路與供液罐上的液體進口連接，產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)通過氣體管路與供液罐上的氣體出口連接，上位液壓傳感器和下位液壓傳感器分別設置于供液罐的上部和下部，上位液壓傳感器、下位液壓傳感器及電磁閥均與所述控制系統(tǒng)連接。本發(fā)明保證設備生產(chǎn)的連續(xù)性以及危險化學品非人工自動供給的安全性。
【專利說明】—種生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)
【技術領域】
[0001]本發(fā)明屬于生產(chǎn)使用的過程中液體供給系統(tǒng)領域，具體地說是一種生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]目前，多數(shù)半導體設備，在液體供給過程中除了工廠自動化供應外，還需很多的手動供應液，而這些供應液有很多是有毒或是易揮發(fā)的液體，有的液體會頻繁供給，這樣就會給操作者帶來很多不必要的麻煩。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)。該管路系統(tǒng)保證設備 生產(chǎn)的連續(xù)性以及危險化學品非人工自動供給的安全性。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術方案:
[0005]一種生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)，包括控制系統(tǒng)、補液桶H、供液罐G、控制閥體、電磁閥、產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)、上位液壓傳感器C1及下位液壓傳感器C2，其中供液罐G上設有液體進、出口和氣體進、出口，所述液體進、出口和氣體進、出口分別通過獨立的所述控制閥體控制其開、關，所述各控制閥體分別與獨立的所述電磁閥連接、并由各電磁閥分別控制；所述供液罐G上的液體進口和液體出口分別通過液體管路與補液桶H和設備連接，所述供液罐G上的氣體進口和氣體出口分別通過氣體管路與氮氣源和產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)連接，所述上位液壓傳感器C1和下位液壓傳感器C2分別設置于供液罐G的上部和下部，所述上位液壓傳感器C1、下位液壓傳感器C2及各電磁閥均與所述控制系統(tǒng)連接。
[0006]所述產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)包括控制閥體Y4、控制閥體Y5及負壓真空發(fā)生器Z，其中負壓真空發(fā)生器Z的端部進氣口通過氣體管路與壓縮氣體源連接，所述負壓真空發(fā)生器Z的側壁通過氣體管路與供液罐G的氣體出口連接，所述負壓真空發(fā)生器Z的端部進氣口與壓縮氣體源及負壓真空發(fā)生器Z的側壁與供液罐G的氣體出口之間分別設有控制閥體￥4和控制閥體Y5,所述控制閥體Y4和控制閥體Y5分別與電磁閥D4和電磁閥D5連接、并分別由電磁閥D4和電磁閥D5控制。
[0007]所述壓縮氣體源供給的壓縮氣體通過負壓真空發(fā)生器Z排出時，使供液罐G內(nèi)的氣體通過控制閥體Y5被排出供液罐G的罐體外部。
[0008]所述供液罐G的排氣管路上設有由電磁閥D6控制的控制閥體Y6,所述控制閥體Y6與產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)并聯(lián)設置。所述供液罐G的氣體進、出口并聯(lián)設置，所述氣體進、出口通過共同的氣體管路與供液罐G連通。
[0009]所述控制閥體為氣動控制閥體，與氣動控制閥體連接的所述電磁閥與氣源連接。所述電磁閥與氣源之間設有壓縮空氣調(diào)壓閥T和壓力顯示表。所述供液罐G為密閉容器。
[0010]本發(fā)明的優(yōu)點及有益效果是:
[0011]1.本發(fā)明供液罐內(nèi)部產(chǎn)生的負壓不是靠外部真空管路提供的，而是靠自身的氣體流動產(chǎn)生的負壓，節(jié)省了真空供應能源。
[0012]2.本發(fā)明為自動供給，避免人員操作帶來的危險性。
[0013]3.本發(fā)明操作簡單，避免人為誤操作，保障設備的連續(xù)運轉(zhuǎn)，節(jié)省人力。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明的管路示意圖；
[0015]圖2為本發(fā)明產(chǎn)生負壓的局部管路示意圖；
[0016]其中:1為電磁閥D1, 2為電磁閥D2, 3為電磁閥D3,4為電磁閥D6, 5為電磁閥D5,6為電磁閥D4, 7為控制閥體Y6,8為控制閥體Y5,9為控制閥體Y4，10為控制閥體Y3，11為控制閥體Y2,12為控制閥體Y1,13為壓縮空氣調(diào)壓閥T，14為壓力顯示表Α，15為負壓真空發(fā)生器Ζ，16為供液罐G，17為 上位液壓傳感器C1,18為下位液壓傳感器C2,19為藥液桶H。
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖對本發(fā)明作進一步的描述。
[0018]如圖1所示，本發(fā)明包括控制系統(tǒng)、補液桶Η19、供液罐G16、控制閥體、電磁閥、產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)、氣源、上位液壓傳感器CJ7及下位液壓傳感器C218，其中供液罐G16為密閉的容器，供液罐G16上設有液體進、出口和氣體進、出口，供液罐G16上的氣體進口與氣體出口并聯(lián)設置、并通過共同的氣體管路與供液罐G16連接。所述液體進、出口和氣體進、出口分別通過單獨的所述控制閥體控制其開、關，所述各控制閥體分別與所述電磁閥連接、并由各電磁閥分別控制。供液罐G16的液體出口通過液體管路與設備連接，供液罐G16與設備之間的液體管路上設有由電磁閥D22控制的控制閥體Y2II，供液罐G16的液體進口通過液體管路與藥液桶H19連接，供液罐G16與藥液桶H19之間的液體管路上設有由電磁閥D1I控制的控制閥體Y112。供液罐G16的氣體進口與氮氣源連接，供液罐G16的氣體進口與氮氣源之間的氣體管路上設有由電磁閥D33控制的控制閥體￥310。所述產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)通過氣體管路與壓縮氣源II及供液罐G16上的氣體出口連接。本實施例所述各控制閥體均采用二位二通氣動控制閥體，各電磁閥為二位三通電磁閥、并均與壓縮氣源I連接，壓縮氣源I的氣體出口處設有壓縮空氣調(diào)壓閥T13和壓力顯示表14 ;上位液壓傳感器C1H和下位液壓傳感器C2IS分別設置于供液罐G16的上部和下部，上位液壓傳感器CJ7、下位液壓傳感器C2IS及各電磁閥均與所述控制系統(tǒng)連接，所述控制系統(tǒng)為現(xiàn)有技術。
[0019]所述產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)與包括控制閥體Y49和控制閥體Y5S及負壓真空發(fā)生器Z15，其中負壓真空發(fā)生器Z15的端部進氣口通過氣體管路與壓縮氣源II連接，所述負壓真空發(fā)生器Z15的側壁通過氣體管路與供液罐G16的氣體出口連接，所述負壓真空發(fā)生器Z15的端部進氣口與壓縮氣源II及負壓真空發(fā)生器Z15的側壁與供液罐G16的氣體出口之間分別設有控制閥體Y49和控制閥體Y58，所述控制閥體Y49和控制閥體Y5S分別與電磁閥D46和電磁閥D55連接、并分別由電磁閥D46和電磁閥D55控制，控制閥體Y58與控制閥體Y3IO并聯(lián)設置。供液罐G16的排氣管路上還設有與控制閥體Y5S并聯(lián)設置的由電磁閥D64控制的控制閥體Y67。控制閥體Y67總是關閉，只有在打開供液罐G16的密封蓋前才打開，卸掉供液罐G16內(nèi)部壓力達到內(nèi)外壓力平衡。
[0020]本發(fā)明的工作原理是:[0021 ] 供液罐G16給設備供液時，控制閥體Y112為關閉狀態(tài)，控制閥體Y211為開放狀態(tài)。當供液罐G16內(nèi)的藥液少到下位液壓傳感器C2IS的下位時，下位液壓傳感器C2IS發(fā)出信號，控制系統(tǒng)接受信號、并發(fā)出指令，電磁_D22控制與其連接的控制閥體Y2Il關閉，電磁閥D1I控制與其連接的控制閥體Y1U打開，電磁閥D33控制與其連接的控制閥體Y3IO關閉，電磁閥D64控制與其連接的控制閥體Y67關閉(Y67總是關閉，只有在打開供液罐G16密封蓋前才打開，卸掉供液罐G16內(nèi)部壓力達到內(nèi)外壓力平衡)。同時，電磁_D46控制與其連接的控制閥體Y49打開，電磁閥D55控制與其連接的控制閥體Y58打開，這樣大量的壓縮氣體通過負壓真空發(fā)生器Z15，使供液罐G16內(nèi)的氣體通過控制閥體￥58被排到供液罐G16的罐體外部，如圖2所示。從而使供液罐G16的內(nèi)部形成負壓，為了達到壓力平衡，迫使補給藥液的藥液桶H19內(nèi)的藥液被吸入供 液罐G16內(nèi)。當供液罐G16內(nèi)的藥液上升到上位液壓傳感器C1H的上位時，上位液壓傳感器C1H發(fā)出信號，控制系統(tǒng)接收信號、并發(fā)出指令，電磁閥D1I控制與其連接的控制閥體Y1U關閉，電磁閥D22控制與其連接的控制閥體Y2Il打開，電磁閥D33控制與其連接的控制閥體Y3IO打開，電磁閥D55控制與其連接的控制閥體Y58關閉，從而達到供液罐G16的藥液繼續(xù)給設備供給的過程。
【權利要求】
1.一種生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)，包括控制系統(tǒng)，其特征在于:還包括補液桶H(19)、供液罐G(16)、控制閥體、電磁閥、產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)、上位液壓傳感器(；(17)及下位液壓傳感器C2 (18)，其中供液罐G(16)上設有液體進、出口和氣體進、出口，所述液體進、出口和氣體進、出口分別通過獨立的所述控制閥體控制其開、關，所述各控制閥體分別與獨立的所述電磁閥連接、并由各電磁閥分別控制；所述供液罐G(16)上的液體進口和液體出口分別通過液體管路與補液桶H(19)和設備連接，所述供液罐G(16)上的氣體進口和氣體出口分別通過氣體管路與氮氣源和產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)連接，所述上位液壓傳感器C1 (17)和下位液壓傳感器C2 (18)分別設置于供液罐G (16)的上部和下部，所述上位液壓傳感器C1 (17)、下位液壓傳感器C2(IS)及各電磁閥均與所述控制系統(tǒng)連接。
2.按權利要求1所述生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)，其特征在于:所述產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)包括控制閥體Y4(9)、控制閥體￥5(8)及負壓真空發(fā)生器Z(15)，其中負壓真空發(fā)生器Z (15)的端部進氣口通過氣體管路與壓縮氣體源連接，所述負壓真空發(fā)生器Z(15)的側壁通過氣體管路與供液罐G(16)的氣體出口連接，所述負壓真空發(fā)生器Z(15)的端部進氣口與壓縮氣體源及負壓真空發(fā)生器Z(15)的側壁與供液罐G(16)的氣體出口之間分別設有控制閥體Y4 (9)和控制閥體Y5(8)，所述控制閥體Y4 (9)和控制閥體Y5(8)分別與電磁閥D4(6)和電磁_D5(5)連接、并分別由電磁閥D4(6)和電磁_D5(5)控制。
3.按權利要求1所述生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)，其特征在于:所述壓縮氣體源供給的壓縮氣體通過負壓真空發(fā)生器Z (15)排出時，使供液罐G (16)內(nèi)的氣體通過控制閥體Y5(8)被排出供液罐G(16)的罐體外部。
4.按權利要求1所述生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)，其特征在于:所述供液罐G(16)的排氣管路上設有由電磁閥D6(4)控制的控制閥體￥6(7)，所述控制閥體Y6(7)與產(chǎn)生負壓的管路系統(tǒng)并聯(lián)設置。
5.按權利要求1所述生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)，其特征在于:所述供液罐G(16)的氣體進、出口并聯(lián)設置`，所述氣體進、出口通過共同的氣體管路與供液罐G(16)連通。
6.按權利要求1所述生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)，其特征在于:所述控制閥體為氣動控制閥體，與氣動控制閥體連接的所述電磁閥與氣源連接。
7.按權利要求6所述生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)，其特征在于:所述電磁閥與氣源之間設有壓縮空氣調(diào)壓閥T(13)和壓力顯示表(14)。
8.按權利要求1所述生產(chǎn)使用過程中化學品自動供給的管路系統(tǒng)，其特征在于:所述供液罐G(16)為密閉容器。
【文檔編號】F17D1/08GK103727389SQ201210393826
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2012年10月16日 優(yōu)先權日:2012年10月16日
【發(fā)明者】汪明波 申請人:沈陽芯源微電子設備有限公司