本申請涉及閥門，具體而言涉及一種三位置角閥。

背景技術(shù)：

1、真空技術(shù)，作為一種在特定空間內(nèi)創(chuàng)造并維持低于一個(gè)大氣壓力的技術(shù)，被廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體制造、航空航天、科研實(shí)驗(yàn)、食品加工、醫(yī)療制藥等行業(yè)領(lǐng)域，而真空閥門，作為真空系統(tǒng)中的關(guān)鍵組成部分，能夠通過控制氣體的流動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對真空度、流量和壓力等關(guān)鍵參數(shù)的精確控制，具體來說，憑借真空閥門的開啟和關(guān)閉功能，可以減少氣體泄漏和污染，從而維持真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。

2、相關(guān)技術(shù)中的真空閥門，通過直線運(yùn)動(dòng)使閥瓣升降來開啟或關(guān)閉閥門，從而使得真空系統(tǒng)與其他系統(tǒng)保持隔離，然而這種設(shè)計(jì)使得在流量控制上較為粗略，難以實(shí)現(xiàn)高精度的調(diào)節(jié)，因?yàn)殚y瓣的升降動(dòng)作通常只能實(shí)現(xiàn)全開、全關(guān)或部分開啟的狀態(tài)，而無法實(shí)現(xiàn)細(xì)微的流量調(diào)節(jié)，且調(diào)節(jié)方式通常較為簡單，缺乏反饋和自動(dòng)控制系統(tǒng)，這使得在需要實(shí)時(shí)、精確控制氣體流量和真空度的應(yīng)用場景中，截止閥可能無法滿足要求。

3、為解決上述存在的問題，特提供一種三位置角閥。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請?zhí)峁┑囊环N三位置角閥，旨在解決相關(guān)技術(shù)中真空閥門存在流量控制精度不足、缺乏實(shí)時(shí)反饋和自動(dòng)控制系統(tǒng)的問題。

2、本申請?zhí)峁┑囊环N三位置角閥采用如下技術(shù)方案：

3、一種三位置角閥，包括閥體、閥芯以及設(shè)置在閥體一端的驅(qū)動(dòng)件，所述閥體內(nèi)具有腔室、分別連通于腔室的第一氣道及第二氣道以及與閥芯相適配的閥座，所述驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端與所述閥芯相連接，所述驅(qū)動(dòng)件上設(shè)置有用來控制驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)閥芯沿直線運(yùn)動(dòng)的電磁閥。

4、通過采用上述技術(shù)方案：利用設(shè)置在驅(qū)動(dòng)件上的電磁閥來控制驅(qū)動(dòng)件的運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)閥芯的運(yùn)動(dòng)，具有響應(yīng)速度快、控制精度高等優(yōu)點(diǎn)，適用于需要精確控制流體流量的場合。該設(shè)計(jì)具有結(jié)構(gòu)緊湊、控制精度高、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)，能夠滿足復(fù)雜和精細(xì)的流體控制需求，在工業(yè)自動(dòng)化和流體控制領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

5、優(yōu)選的，所述電磁閥的一端連接有自動(dòng)化控制系統(tǒng)。

6、通過采用上述技術(shù)方案：可以實(shí)現(xiàn)對三位置角閥的遠(yuǎn)程監(jiān)控和管理，減少人工干預(yù)和錯(cuò)誤操作的可能性，同時(shí)自動(dòng)化控制系統(tǒng)還可以根據(jù)生產(chǎn)需求實(shí)時(shí)調(diào)整閥芯的位置，以優(yōu)化流體的流動(dòng)和控制效果。

7、優(yōu)選的，所述閥體與驅(qū)動(dòng)件之間設(shè)置有閥蓋，所述閥蓋和閥體的接觸面設(shè)置有o型密封圈。

8、通過采用上述技術(shù)方案：o型密封圈能夠有效地在閥蓋和閥體之間形成密封，阻止流體或氣體從接觸面泄漏，這種密封性能對于保證角閥的穩(wěn)定運(yùn)行和安全性至關(guān)重要。

9、優(yōu)選的，所述閥芯包括活塞軸和復(fù)位件，所述復(fù)位件能夠使活塞軸在不受外力作用下返回初始狀態(tài)。

10、通過采用上述技術(shù)方案：活塞軸受到外力作用并改變位置后，一旦外力消失，能夠自動(dòng)將活塞軸推回或拉回至初始位置，這種自動(dòng)復(fù)位功能確保了角閥在不需要人工干預(yù)的情況下能夠恢復(fù)到初始狀態(tài)，提高了系統(tǒng)的自動(dòng)化水平和可靠性；

11、并且，自動(dòng)復(fù)位功能能夠確保在異常情況（如電源中斷、控制系統(tǒng)故障等）下，角閥能夠迅速關(guān)閉或恢復(fù)到安全狀態(tài)，從而防止流體泄漏或系統(tǒng)失控等安全事故的發(fā)生。

12、優(yōu)選的，所述復(fù)位件為復(fù)位彈簧。

13、通過采用上述技術(shù)方案：采用復(fù)位彈簧作為復(fù)位件的三位置角閥具有可靠性高、成本低廉、適應(yīng)性強(qiáng)、易于安裝和維護(hù)以及提高系統(tǒng)穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)，是一種經(jīng)濟(jì)實(shí)用的技術(shù)選擇。

14、優(yōu)選的，所述閥座上設(shè)置有供閥座封閉在閥體內(nèi)的密封件。

15、通過采用上述技術(shù)方案：使得在閥座與閥體之間形成一道可靠的屏障，防止流體或氣體在閥座關(guān)閉時(shí)從閥體與閥座之間的間隙泄漏，這種增強(qiáng)的密封性能可以顯著提高角閥的工作效率和安全性。

16、優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)件為氣缸。

17、通過采用上述技術(shù)方案：氣缸通常具有較高的可靠性和穩(wěn)定性，能夠在各種工作條件下穩(wěn)定運(yùn)行。其結(jié)構(gòu)簡單、耐用，且維護(hù)成本相對較低，這使得采用氣缸作為驅(qū)動(dòng)件的三位置角閥具有較長的使用壽命和較低的故障率。

18、優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)件為電動(dòng)推桿。

19、通過采用上述技術(shù)方案：電動(dòng)推桿通過電驅(qū)動(dòng)，能夠在短時(shí)間內(nèi)快速完成推拉動(dòng)作，從而實(shí)現(xiàn)對角閥的快速、精確控制。

20、綜上所述，本申請包括以下至少一種有益技術(shù)效果：

21、1.本申請通過用電磁閥控制驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)閥芯，使得能夠?qū)崿F(xiàn)對流體流量的精確控制，無論是關(guān)閉狀態(tài)、部分開啟狀態(tài)還是完全開啟狀態(tài)，閥門均能保持優(yōu)異的密封效果，這種精確控制對于需要高精度流體管理的工業(yè)應(yīng)用至關(guān)重要，能夠確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性，同時(shí)當(dāng)真空泵停止工作或電源突然中斷時(shí)，電磁閥能夠自動(dòng)將真空系統(tǒng)封閉，并將大氣通過泵的進(jìn)氣口充入泵腔，從而避免泵油返流污染真空系統(tǒng)，這有助于保持真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性，防止因外部因素導(dǎo)致的系統(tǒng)故障；

22、2.本申請通過將電磁閥與自動(dòng)化控制系統(tǒng)連接，可以實(shí)現(xiàn)對三位置角閥的遠(yuǎn)程監(jiān)控和管理，并且具備快速切換功能，可以在短時(shí)間內(nèi)完成從關(guān)閉到部分開啟或完全開啟的狀態(tài)切換，這一特點(diǎn)使得真空系統(tǒng)能夠迅速響應(yīng)外部條件的變化，提高系統(tǒng)的靈活性和穩(wěn)定性。從而減少了人工干預(yù)和錯(cuò)誤操作的可能性，還使得系統(tǒng)能夠根據(jù)生產(chǎn)需求實(shí)時(shí)調(diào)整閥芯的位置，優(yōu)化流體的流動(dòng)和控制效果。這種高度的自動(dòng)化和遠(yuǎn)程控制功能，極大地提高了系統(tǒng)的靈活性和適應(yīng)性。

技術(shù)特征：

1.一種三位置角閥，其特征在于，包括閥體(1)、閥芯(2)以及設(shè)置在閥體(1)一端的驅(qū)動(dòng)件(3)，所述閥體(1)內(nèi)具有腔室、分別連通于腔室的第一氣道(11)及第二氣道(12)以及與閥芯(2)相適配的閥座(13)，所述驅(qū)動(dòng)件(3)的驅(qū)動(dòng)端與所述閥芯(2)相連接，所述驅(qū)動(dòng)件(3)上設(shè)置有用來控制驅(qū)動(dòng)件(3)驅(qū)動(dòng)閥芯(2)沿直線運(yùn)動(dòng)的電磁閥(4)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三位置角閥，其特征在于，所述電磁閥(4)的一端連接有自動(dòng)化控制系統(tǒng)(5)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三位置角閥，其特征在于，所述閥體(1)與驅(qū)動(dòng)件(3)之間設(shè)置有閥蓋(6)，所述閥蓋(6)和閥體(1)的接觸面設(shè)置有o型密封圈(7)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三位置角閥，其特征在于，所述閥芯(2)包括活塞軸(21)和復(fù)位件(22)，所述復(fù)位件(22)能夠使活塞軸(21)在不受外力作用下返回初始狀態(tài)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三位置角閥，其特征在于，所述復(fù)位件(22)為復(fù)位彈簧。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三位置角閥，其特征在于，所述閥座(13)上設(shè)置有供閥座(13)封閉在閥體(1)內(nèi)的密封件(131)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三位置角閥，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)件(3)為氣缸。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三位置角閥，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)件(3)為電動(dòng)推桿。

技術(shù)總結(jié)
本申請涉及閥門技術(shù)領(lǐng)域，具體而言涉及一種三位置角閥。一種三位置角閥，包括閥體、閥芯以及設(shè)置在閥體一端的驅(qū)動(dòng)件，閥體內(nèi)具有腔室、分別連通于腔室的第一氣道及第二氣道以及與閥芯相適配的閥座，驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端與閥芯相連接，驅(qū)動(dòng)件上設(shè)置有用來控制驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)閥芯沿直線運(yùn)動(dòng)的電磁閥。本申請通過用電磁閥控制驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)閥芯，使得能夠?qū)崿F(xiàn)對流體流量的精確控制，這種精確控制對于需要高精度流體管理的工業(yè)應(yīng)用至關(guān)重要，能夠確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性，同時(shí)氣缸作為驅(qū)動(dòng)件，能夠在短時(shí)間內(nèi)快速完成推拉動(dòng)作，進(jìn)一步提高了控制的精度和響應(yīng)速度。

技術(shù)研發(fā)人員：葛東原,顧文偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日揚(yáng)電子科技（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240528
技術(shù)公布日：2025/1/6