1.榫槽面真空法蘭,設(shè)置于真空管的端部用于連接兩個(gè)真空管(11)，其特征在于包括兩個(gè)部分，分別連接在一個(gè)真空管(11)的端部，每個(gè)部分包括環(huán)形盤面(1)和多個(gè)通孔(2)，所述通孔(2)用于兩個(gè)真空管(11)的內(nèi)管(12)之間的相互連通以及外管(13)之間的相互連通，所述內(nèi)管(12)與外管(13)之間形成真空，在兩個(gè)部分相互接觸的面上，其中一個(gè)設(shè)置有限位凸臺(tái)(3)，另一個(gè)設(shè)置有與限位凸臺(tái)(3)匹配的凹槽(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的榫槽面真空法蘭，其特征在于所述限位凸臺(tái)(3)與凹槽(4)配合的面上設(shè)置有O形密封圈。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的榫槽面真空法蘭，其特征在于包括兩個(gè)O形密封圈，且兩個(gè)O形密封圈的直徑不同，直徑較大的為O形密封圈一(5)，直徑較小的為O形密封圈二(6)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的榫槽面真空法蘭，其特征在于所述直徑較大的O形密封圈一(5)用于對(duì)所述真空管(11)外管(13)連通的部位進(jìn)行密封，所述直徑較小的O形密封圈二(6)用于對(duì)所述真空管(11)內(nèi)管(12)連通的部位進(jìn)行密封。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的榫槽面真空法蘭，其特征在于所述O形密封圈一(5)的壓縮量大于O形密封圈二(6)的壓縮量。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4或5其中之一所述的榫槽面真空法蘭，其特征在于所述O形密封圈一(5)的截面形狀為圓形，凹槽(4)內(nèi)設(shè)置有與O形密封圈一(5)匹配的嵌入槽(7)，所述嵌入槽(7)的開口尺寸小于其底部尺寸且略大于O形密封圈一(5)的尺寸，O形密封圈一(5)從嵌入槽(7)的開口嵌入。
7.根據(jù)權(quán)利要求3或4或5其中之一所述的榫槽面真空法蘭，其特征在于所述O形密封圈二(6)的截面形狀為方形，凹槽(4)內(nèi)設(shè)置有與O形密封圈二(6)匹配的方形環(huán)槽(8)，所述O形密封圈二(6)位于方形環(huán)槽(8)中。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的榫槽面真空法蘭，其特征在于所述限位凸臺(tái)(3)上設(shè)置有環(huán)形凸起結(jié)構(gòu)(9)，該環(huán)形凸起結(jié)構(gòu)(9)與方形環(huán)槽(8)形狀匹配，且其外凸的部分延伸至方形環(huán)槽(8)中與O形密封圈二(6)接觸。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的榫槽面真空法蘭，其特征在于所述O形密封圈二(6)采用聚四氟乙烯墊片。