1.一種XYθ平面三自由度精密定位平臺，其特征在于：包括壓電陶瓷、復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)、橋型位移放大機構(gòu)、運動平臺和固定框架，所述壓電陶瓷安裝在所述復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)內(nèi)，四個所述復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)均平行設(shè)置且分別位于所述固定框架的四角，所述運動平臺位于所述固定框架的中心處，所述運動平臺的兩側(cè)面通過兩個所述橋型位移放大機構(gòu)分別與位于所述運動平臺兩側(cè)的所述復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種XYθ平面三自由度精密定位平臺，其特征在于：所述復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)包括四個斜邊柔性梁、剛性上端面、剛性下端面、輸出端面和固定端面，所述輸出端面和所述固定端面對稱設(shè)置，所述剛性上端面和所述剛性下端面對稱設(shè)置，且所述輸出端面與所述固定端面的連線與所述剛性上端面與所述剛性下端面之間的連線垂直，四個所述斜邊柔性梁依次將所述剛性上端面、所述剛性下端面、所述輸出端面和所述固定端面連接并組成菱形結(jié)構(gòu)，所述固定端面與所述固定框架的內(nèi)側(cè)面固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種XYθ平面三自由度精密定位平臺，其特征在于：四個所述復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)分為兩組，包括第一復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)組和第二復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)組，所述第一復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)組或所述第二復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)組內(nèi)的兩個所述復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)分別位于同一條直線，所述第一復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)組和所述第二復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)組對稱設(shè)置在所述運動平臺的第一側(cè)和第二側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種XYθ平面三自由度精密定位平臺，其特征在于：所述斜邊柔性梁包括多個平行設(shè)置的柔性臂，多個所述柔性臂層疊設(shè)置，且相鄰的柔性臂之間設(shè)置有間隙。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種XYθ平面三自由度精密定位平臺，其特征在于：兩個所述橋型位移放大機構(gòu)分別設(shè)置在所述運動平臺的第一側(cè)和第二側(cè)，所述橋型位移放大機構(gòu)包括兩個柔性梁，兩個所述柔性梁的剛性輸入端分別與所述第一復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)組/第二復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)組的兩個輸出端剛性連接，兩個所述柔性梁的剛性輸出端分別與所述運動平臺的第一側(cè)面/第二側(cè)面固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種XYθ平面三自由度精密定位平臺，其特征在于：所述第一復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)的兩個輸出端之間的距離大于所述運動平臺的第一側(cè)面的長度，兩個所述柔性梁均傾斜設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種XYθ平面三自由度精密定位平臺，其特征在于：還包括導(dǎo)向機構(gòu)，四個所述導(dǎo)向機構(gòu)均與所述第一復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)組和所述第二復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)組之間的連線垂直設(shè)置，所述導(dǎo)向機構(gòu)的第一端與所述固定框架固定連接，四個所述導(dǎo)向機構(gòu)的第二端分別與四個所述復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)位移放大機構(gòu)的輸出端剛性連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種XYθ平面三自由度精密定位平臺，其特征在于：所述復(fù)合菱形位移放大機構(gòu)的所述斜邊柔性梁與所述剛性上端面和所述剛性下端面的連接處、所述橋型位移放大機構(gòu)的所述柔性梁與所述運動平臺的連接處均采用柔性鉸鏈連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種XYθ平面三自由度精密定位平臺，其特征在于：所述固定框架的四角設(shè)置有固定螺紋孔，所述運動平臺上設(shè)置有試件安裝孔。