鐵氟龍接頭的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種鐵氟龍接頭，其包括：螺紋部、腰部和銷，所述螺紋部為具有外螺紋的圓柱，所述腰部為正六面體，所述銷為圓柱形；所述腰部一側(cè)為螺紋部，另一側(cè)為銷，由一條真空孔貫穿所述螺紋部、腰部和銷。所述真空孔位于所述螺紋部的部分孔徑擴(kuò)大，并且在所述螺紋部開口處孔徑逐漸擴(kuò)大形成一個(gè)喇叭口。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)緊湊，工作穩(wěn)定，能夠防止打火，提高生產(chǎn)效率。
【專利說(shuō)明】鐵氟龍接頭
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造業(yè)中使用的一種部件，具體是一種鐵氟龍接頭。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造業(yè)中，鐵氟龍接頭用于固定腔體內(nèi)的一些陶瓷環(huán)。它能夠先將下部的陶瓷環(huán)鎖住，再將上部的陶瓷環(huán)通過另一端固定。現(xiàn)有的一些接頭工作不夠穩(wěn)定，會(huì)打火，因此需要鐵氟龍材質(zhì)并帶有真空的接頭。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種鐵氟龍接頭，在固定部件的同時(shí)也防止打火。
[0004]按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述的鐵氟龍接頭包括:螺紋部、腰部和銷，所述螺紋部為具有外螺紋的圓柱，所述腰部為正六面體，所述銷為圓柱形；所述腰部一側(cè)為螺紋部，另一側(cè)為銷，由一條真空孔貫穿所述螺紋部、腰部和銷。
[0005]進(jìn)一步的，所述真空孔位于所述螺紋部的部分孔徑擴(kuò)大，并且在所述螺紋部開口處孔徑逐漸擴(kuò)大形成一個(gè)喇叭口。
[0006]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:結(jié)構(gòu)緊湊，工作穩(wěn)定，能夠防止打火，提高生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]圖2是圖1的右視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0010]如圖1，2所示，本實(shí)用新型的鐵氟龍接頭包括螺紋部1、腰部2和銷3，所述螺紋部I為具有外螺紋的圓柱，所述腰部2為正六面體，所述銷3為圓柱形；所述腰部2 —側(cè)為螺紋部1，另一側(cè)為銷3，由一條真空孔4貫穿所述螺紋部1、腰部2和銷3。所述螺紋部I長(zhǎng)度為15mm,腰部2長(zhǎng)度7mm,銷3長(zhǎng)度21?30mm。銷3外徑9.5mm,螺紋部I外徑11.5mm。
[0011]裝配時(shí)，夾持該鐵氟龍接頭的腰部2進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，通過螺紋部I鎖緊下部陶瓷環(huán)，然后通過真空孔4將殘留氣體抽盡，再經(jīng)過銷3插入上部陶瓷環(huán)以達(dá)到固定。
[0012]如圖1所示，為了方便與抽真空管道的連接，所述真空孔4位于所述螺紋部I的部分孔徑擴(kuò)大，從5.95_變成8.1_，形成一個(gè)圓臺(tái)階，并且在所述螺紋部I開口處孔徑逐漸擴(kuò)大形成一個(gè)喇叭口，供管道插入。
[0013]因此，本鐵氟龍接頭將上、下部分的陶瓷環(huán)固定的同時(shí)，防止了抽真空時(shí)有殘留氣體，防止打火。用鐵氟龍材質(zhì)，性能穩(wěn)定。
【權(quán)利要求】
1.鐵氟龍接頭，其特征是:包括螺紋部(I)、腰部(2)和銷(3)，所述螺紋部(I)為具有外螺紋的圓柱，所述腰部(2)為正六面體，所述銷(3)為圓柱形；所述腰部(2)—側(cè)為螺紋部(1)，另一側(cè)為銷(3)，由一條真空孔(4)貫穿所述螺紋部(I)、腰部(2)和銷(3)。
2.如權(quán)利要求1所述鐵氟龍接頭，其特征是，所述真空孔(4)位于所述螺紋部(I)的部分孔徑擴(kuò)大。
3.如權(quán)利要求1或2所述鐵氟龍接頭，其特征是，所述真空孔(4)在所述螺紋部(I)開口處孔徑逐漸擴(kuò)大形成一個(gè)喇叭口。
【文檔編號(hào)】F16L47/16GK203571310SQ201320779010
【公開日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】廖海濤, 孫文斌, 郭衛(wèi)衛(wèi) 申請(qǐng)人:無(wú)錫邑文電子科技有限公司