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基片刻蝕方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7262657

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本發(fā)明提供的,其包括以下步驟主刻蝕步驟,向反應(yīng)腔室內(nèi)通入刻蝕氣體,并開(kāi)啟激勵(lì)電源和偏壓電源,以在基片上刻蝕形成圖形的基礎(chǔ)輪廓;過(guò)刻蝕步驟,繼續(xù)向反應(yīng)腔室內(nèi)通入刻蝕氣體,并保持激勵(lì)電源和偏壓電源開(kāi)啟,以修飾圖形形貌,使其達(dá)到工藝要求。本發(fā)明提供的,其可以在整個(gè)工藝進(jìn)行的過(guò)程中減少球形顆粒物掉落到基片上的數(shù)量,從而可以減少基片圖形形貌的缺陷。專利說(shuō)明 [0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,特別涉及一種。 背景技術(shù) [0002]目前,在采用電感I禹合等離子...
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