一種具有拖動(dòng)功能的分子泵底盤(pán)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有拖動(dòng)功能的分子泵底盤(pán)，包括盤(pán)體（1）以及設(shè)置在所述盤(pán)體（1）上的抽氣溝槽（2），所述盤(pán)體為安裝分子泵電機(jī)及轉(zhuǎn)子總成的底盤(pán)。該實(shí)用新型的分子泵底盤(pán)加工制作后，變形量極小，質(zhì)量易保證，裝配工藝簡(jiǎn)單。
【專利說(shuō)明】
一種具有拖動(dòng)功能的分子泵底盤(pán)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種分子栗底盤(pán)。具體地說(shuō)是一種加工制作后，變形量極小，質(zhì)量易保證，裝配工藝簡(jiǎn)單的具有分子拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]分子栗屬于一種高速高精密高端真空獲得設(shè)備，從結(jié)構(gòu)上分為兩大類:普通渦輪分子栗和復(fù)合分子栗，前者的抽氣模塊全部由渦輪動(dòng)靜葉片相間匹配組成，后者的抽氣模塊則由渦輪級(jí)合理串接分子牽引級(jí)組成，而牽引級(jí)又分為筒式牽引級(jí)(柱拖栗)和盤(pán)式牽引級(jí)(盤(pán)拖栗)，目前盤(pán)拖栗或串接有盤(pán)式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子栗中的抽氣盤(pán)均為鋁件薄盤(pán)， 而分子栗的底盤(pán)為光面底盤(pán)，如中國(guó)專利文獻(xiàn)CN87208695或CN201615077中提到的抽氣盤(pán)， 在盤(pán)體的一面或兩面開(kāi)有抽氣溝槽，盤(pán)體厚度尤其是抽氣溝槽的底壁厚度與盤(pán)體外形尺寸之比較小，抽氣溝槽加工后，由于加工應(yīng)力較大，盤(pán)體較薄，零件變形量較大，導(dǎo)致?tīng)恳P(pán)質(zhì)量不易保證，這種現(xiàn)象在大型分子栗中更為明顯，而牽引級(jí)的軸向間隙本身要求很小，不容許抽氣盤(pán)有較大的變形量，且在加工制作中，為了盡可能的減小抽氣盤(pán)的變形量，需采用高速低進(jìn)給量的銑削方式，效率低下?！緦?shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為此，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服現(xiàn)有技術(shù)中盤(pán)體較薄，抽氣溝槽加工后，由于加工應(yīng)力較大，導(dǎo)致零件變形量較大、質(zhì)量不易保證的問(wèn)題，提供一種加工制作后，變形量極小，質(zhì)量易保證，裝配工藝簡(jiǎn)單的具有分子拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的一種具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，包括盤(pán)體及抽氣溝槽;所述盤(pán)體為安裝分子栗電機(jī)及轉(zhuǎn)子總成的底盤(pán)，所述抽氣溝槽設(shè)置在所述盤(pán)體上端面。
[0005]上述的一種具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，所述盤(pán)體上設(shè)有用于安裝電機(jī)及轉(zhuǎn)子總成的通孔。
[0006]上述的一種具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，所述盤(pán)體上靠近所述抽氣溝槽下方設(shè)有排氣通道及排氣口，且所述排氣通道與所述排氣口連通。
[0007]上述的一種具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，所述盤(pán)體外邊緣上靠近所述抽氣溝槽處設(shè)有用于安裝栗殼的定位凸臺(tái)。
[0008]上述的一種具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，所述抽氣溝槽為以所述通孔的軸心線為中心且沿圓周呈放射狀均勻分布的抽氣溝槽，其槽壁型線為圓弧曲線或?qū)?shù)曲線或阿基米德曲線或雙曲線或直線等。
[0009]上述的一種具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，所述抽氣溝槽也可以為以所述通孔的軸心線為中心的具有分子拖動(dòng)功能的其他形式的抽氣溝槽，如環(huán)形抽氣溝槽。
[0010]上述的一種具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，所述抽氣溝槽靠近所述通孔一端與所述排氣通道相通。
[0011]本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型所述的一種具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，將所述抽氣溝槽設(shè)置在所述盤(pán)體上端面，由于分子栗底盤(pán)本身很厚，盤(pán)體厚度與外形尺寸之比較大，抽氣溝槽加工完畢后，所產(chǎn)生的加工應(yīng)力不足以讓盤(pán)體產(chǎn)生對(duì)零件質(zhì)量有影響的變形，也即變形量極小，質(zhì)量易保證;且該抽氣單元與底盤(pán)設(shè)置于一體，裝配簡(jiǎn)單;再者，由于盤(pán)體本身較厚，加工過(guò)程中，可以采用較大的進(jìn)給量，提高加工效率。本實(shí)用新型所述的分子栗底盤(pán)可用于中大型分子栗，尤其是用于大型渦輪分子栗，構(gòu)成末級(jí)拖動(dòng)壓縮單元，能有效提高栗的排氣性能和前級(jí)耐壓性能，降低其對(duì)前級(jí)栗要求。【附圖說(shuō)明】
[0012]為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，其中。
[0013]圖1是本實(shí)用新型的具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)俯視圖。
[0014]圖2是本實(shí)用新型的具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)剖面圖。
[0015]圖3是本實(shí)用新型的具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)軸測(cè)圖。
[0016]圖中附圖標(biāo)記表示為:1-盤(pán)體、2-抽氣溝槽、3-槽壁、4-通孔、5-氣體緩存空間、6-定位凸臺(tái)、7-排氣通道、8-排氣口?！揪唧w實(shí)施方式】
[0017]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說(shuō)明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限制本實(shí)用新型。
[0018]如圖1-圖3所示，本實(shí)用新型的一種具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，包括盤(pán)體1，抽氣溝槽2,所述盤(pán)體1為安裝分子栗電機(jī)及轉(zhuǎn)子總成的底盤(pán)，所述抽氣溝槽2設(shè)置在所述盤(pán)體1 上端面，所述盤(pán)體1上還設(shè)有用于安裝電機(jī)及轉(zhuǎn)子總成的通孔4,在盤(pán)體上靠近所述抽氣溝槽2下方設(shè)有排氣通道7及排氣口 8，且二者連通，在盤(pán)體外邊緣上靠近所述抽氣溝槽2處設(shè)有用于安裝栗殼的定位凸臺(tái)6;所述抽氣溝槽2為以所述通孔4的軸心線為中心且沿圓周呈放射狀均勻分布的抽氣溝槽，共計(jì)15個(gè)，其槽壁型線為圓弧線，所述抽氣溝槽2靠近所述通孔4 一端與所述排氣通道7通過(guò)氣體緩存空間相通。分子栗工作時(shí)，氣體分子通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子獲得動(dòng)量，被迫沿著抽氣溝槽由外向內(nèi)拖動(dòng)，然后流向氣體緩存空間，再經(jīng)過(guò)排氣通道從排氣口排出。該種結(jié)構(gòu)的分子栗底盤(pán)，抽氣溝槽加工完畢后，所產(chǎn)生的加工應(yīng)力不足以讓盤(pán)體產(chǎn)生對(duì)零件質(zhì)量有影響的變形，也即變形量極小，質(zhì)量易保證，裝配簡(jiǎn)單，且加工過(guò)程中，可以采用較大的進(jìn)給量，提高加工效率。該種結(jié)構(gòu)的底盤(pán)可用于中大型分子栗，尤其是用于大型渦輪分子栗，構(gòu)成末級(jí)拖動(dòng)壓縮單元，能有效提高栗的排氣性能和前級(jí)耐壓性能，降低其對(duì)前級(jí)栗的要求。
[0019]本實(shí)用新型的實(shí)施例不限制所述抽氣溝槽2的數(shù)量及大小，技術(shù)人員可根據(jù)實(shí)際需要采用不同的數(shù)量及大小。
[0020]顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說(shuō)明所作的舉例，而并非對(duì)實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)。這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見(jiàn)的變化或變動(dòng)仍處于本實(shí)用新型創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，包括盤(pán)體(1);抽氣溝槽(2)，其特征在于:所述盤(pán) 體(1)為安裝分子栗電機(jī)及轉(zhuǎn)子總成的底盤(pán)，所述抽氣溝槽(2)設(shè)置在所述盤(pán)體(1)上端面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，其特征在于:所述盤(pán)體(1)上設(shè) 有用于安裝電機(jī)及轉(zhuǎn)子總成的通孔(4)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，其特征在于:所述盤(pán)體(1)上靠 近所述抽氣溝槽(2)下方設(shè)有排氣通道(7)及排氣口( 8)，且所述排氣通道(7)與所述排氣口 (8)連通。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，其特征在于:所述盤(pán)體(1)外邊 緣上靠近所述抽氣溝槽(2)處設(shè)有用于安裝栗殼的定位凸臺(tái)(6)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，其特征在于:所述抽氣溝槽(2) 為以所述通孔(4)的軸心線為中心且沿圓周呈放射狀均勻分布的抽氣溝槽，或以所述通孔 (4 )的軸心線為中心的具有分子拖動(dòng)功能的其他形式的抽氣溝槽。6.根據(jù)權(quán)利要求3或5所述的具有拖動(dòng)功能的分子栗底盤(pán)，其特征在于:所述抽氣溝槽 (2)靠近所述通孔(4) 一端與所述排氣通道(7)相通。
【文檔編號(hào)】F04D19/04GK205605460SQ201620415430
【公開(kāi)日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年5月10日
【發(fā)明人】劉安良, 何毅, 唐洪
【申請(qǐng)人】成都舒派博真空技術(shù)有限公司