本發(fā)明涉及半導(dǎo)體真空設(shè)備，具體為一種冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)：

1、目前，冷泵被廣泛應(yīng)用于制造薄膜的物理氣相沉積(pvd)設(shè)備，其利用冷凝的原理，采用冷泵冷板吸附反應(yīng)腔室內(nèi)的特定氣體來提升反應(yīng)腔室內(nèi)的真空度，并通過安裝在冷泵閥門入口、反應(yīng)腔室內(nèi)的擋板調(diào)節(jié)冷泵抽氣能力，以調(diào)節(jié)鍍膜時(shí)的工藝壓力和鍍膜后腔室內(nèi)的氣體。

2、冷泵的抽速和冷泵擋板高度所控制的進(jìn)氣量有關(guān)。冷泵擋板的設(shè)計(jì)高度由腔室(chamber)類型決定，在工藝過程中無法通過自由調(diào)節(jié)高度控制進(jìn)氣量從而實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)冷泵抽速的功能。

3、目前冷泵擋板無法在工藝過程中調(diào)節(jié)，若調(diào)節(jié)冷泵擋板高度需要將腔室充盈至大氣狀態(tài)，開腔取出冷泵擋板，調(diào)節(jié)螺釘間隙，實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)冷泵抽速的功能，完成后再恢復(fù)腔室真空。

4、目前的冷泵擋板調(diào)節(jié)方式比較繁瑣，有鑒于此，需要一種可以在不破壞腔室環(huán)境且可以在工藝過程中控制自動(dòng)調(diào)節(jié)冷泵抽速的裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、【技術(shù)問題】

2、為了解決如上所述的問題，本發(fā)明的目的在于，提供一種自動(dòng)調(diào)節(jié)冷泵進(jìn)氣量的裝置，布置在真空腔室冷泵的進(jìn)氣孔上，通過伺服驅(qū)動(dòng)裝置調(diào)節(jié)葉片組件所圍繞的孔徑，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)改變進(jìn)氣量從而調(diào)節(jié)冷泵抽速的功能，并且可以在工藝過程中實(shí)現(xiàn)無極調(diào)節(jié)的功能。

3、【技術(shù)方案】

4、一種冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置，包括：

5、主動(dòng)部，用于輸出旋轉(zhuǎn)動(dòng)力；

6、從動(dòng)部，用于在主動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)下旋轉(zhuǎn)；

7、連桿組件，用于連接所述從動(dòng)部和葉片組件，將從動(dòng)部的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞給葉片組件；

8、葉片組件，用于在連桿組件的動(dòng)作下擴(kuò)大或縮小葉片所圍繞的孔徑；

9、底板，安裝于腔室內(nèi)部冷泵進(jìn)氣孔上部，其板面上安裝有所述主從動(dòng)部、連桿組件以及葉片組件，所述底板具有大于等于所述葉片組件形成的最大孔徑的底孔。

10、可選的，所述主動(dòng)部包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和主動(dòng)齒輪，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的傳動(dòng)軸通過鍵與主動(dòng)齒輪連接。

11、可選的，所述從動(dòng)部是從動(dòng)齒輪，所述從動(dòng)齒輪與所述底孔同心布置。

12、可選的，所述連桿組件包括多根連桿，各連桿的一端與所述從動(dòng)齒輪圓周方向分布的各點(diǎn)對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述葉片組件包括多個(gè)葉片，多個(gè)葉片沿所述底孔圓周方向以部分層疊的方式轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述底板上；各連桿的另一端與各葉片對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

13、可選的，在從動(dòng)齒輪的圓周方向設(shè)置有多個(gè)第一螺紋孔，在所述連桿的一端設(shè)置有第一通孔，通過第一螺桿穿過所述第一通孔，并旋合在從動(dòng)齒輪的所述第一螺紋孔上，從而將連桿的一端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在從動(dòng)齒輪上。

14、可選的，在底板上沿圓周方向設(shè)置有多個(gè)第二螺紋孔，在葉片的一端設(shè)置有第二通孔，通過第二螺桿穿過所述第二通孔，并旋合在底板的所述第二螺紋孔上，從而將葉片的一端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在底板上。

15、可選的，在所述葉片上還設(shè)置有第三螺紋孔，在所述連桿的另一端設(shè)置有第三通孔，通過第三螺桿穿過所述第三通孔并旋合在葉片的所述第三螺紋孔上，將連桿的另一端與所述葉片轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

16、可選的，所述葉片形狀是月牙形。

17、本申請(qǐng)另一方面提供一種真空腔室，包括：晶圓基座、冷泵，冷泵閥門以及以上所述的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置。

18、可選的，所述冷泵的閥門安裝于真空腔室的外壁上，而冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置安裝于真空腔室的內(nèi)部。

19、【有益效果】

20、本申請(qǐng)的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置通過連桿組件帶動(dòng)葉片組件旋轉(zhuǎn)，從而改變?nèi)~片組件圍繞的孔徑大小，無需手動(dòng)操作，提高設(shè)備自動(dòng)化能力。

21、本申請(qǐng)的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置無需將真空腔室充盈至大氣狀態(tài)再進(jìn)行調(diào)節(jié)操作，而是可以在不破壞真空腔室的真空狀態(tài)條件下進(jìn)行調(diào)節(jié)，減少了等待時(shí)間，提高了調(diào)節(jié)效率，以及提高生產(chǎn)效率。

22、本申請(qǐng)的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置可在工藝過程中調(diào)節(jié)，為晶圓生產(chǎn)工藝的研發(fā)提供條件，有助于提高工藝質(zhì)量。

技術(shù)特征：

1.一種冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述主動(dòng)部包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和主動(dòng)齒輪，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的傳動(dòng)軸通過鍵與主動(dòng)齒輪連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述從動(dòng)部是從動(dòng)齒輪，所述從動(dòng)齒輪與所述底孔同心布置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述連桿組件包括多根連桿，各連桿的一端與所述從動(dòng)齒輪圓周方向分布的各點(diǎn)對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述葉片組件包括多個(gè)葉片，多個(gè)葉片沿所述底孔圓周方向以部分層疊的方式轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述底板上；各連桿的另一端與各葉片對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在從動(dòng)齒輪的圓周方向設(shè)置有多個(gè)第一螺紋孔，在所述連桿的一端設(shè)置有第一通孔，通過第一螺桿穿過所述第一通孔，并旋合在從動(dòng)齒輪的所述第一螺紋孔上，從而將連桿的一端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在從動(dòng)齒輪上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在底板上沿圓周方向設(shè)置有多個(gè)第二螺紋孔，在葉片的一端設(shè)置有第二通孔，通過第二螺桿穿過所述第二通孔，并旋合在底板的所述第二螺紋孔上，從而將葉片的一端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在底板上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在所述葉片上還設(shè)置有第三螺紋孔，在所述連桿的另一端設(shè)置有第三通孔，通過第三螺桿穿過所述第三通孔并旋合在葉片的所述第三螺紋孔上，將連桿的另一端與所述葉片轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空腔室，其特征在于，所述葉片形狀是月牙形。

9.一種真空腔室，其特征在于，包括：晶圓基座、冷泵，冷泵閥門以及權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空腔室，其特征在于，所述冷泵的閥門安裝于真空腔室的外壁上，而冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置安裝于真空腔室的內(nèi)部。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)屬于半導(dǎo)體真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開一種冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置，包括：主動(dòng)部，用于輸出旋轉(zhuǎn)動(dòng)力；從動(dòng)部，用于在主動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)下旋轉(zhuǎn)；連桿組件，用于連接所述從動(dòng)部和葉片組件，將從動(dòng)部的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞給葉片組件；葉片組件，用于在連桿組件的動(dòng)作下擴(kuò)大或縮小葉片所圍繞的孔徑；底板，安裝于腔室內(nèi)部冷泵進(jìn)氣孔上部，其板面上安裝有所述主從動(dòng)部、連桿組件以及葉片組件，所述底板具有大于等于所述葉片組件形成的最大孔徑的底孔。本申請(qǐng)的冷泵抽速調(diào)節(jié)裝置通過連桿組件帶動(dòng)葉片組件旋轉(zhuǎn)，從而改變?nèi)~片組件圍繞的孔徑大小，無需手動(dòng)操作，提高設(shè)備自動(dòng)化能力。

技術(shù)研發(fā)人員：張迎晨,崔凡振
受保護(hù)的技術(shù)使用者：盛吉盛半導(dǎo)體技術(shù)（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9