本技術(shù)涉及分子泵領(lǐng)域，尤其是一種配重結(jié)構(gòu)及分子泵。

背景技術(shù)：

1、分子真空泵(分子泵)因其工作穩(wěn)定可靠，在分子流態(tài)下具有很好的抽氣效率，已經(jīng)成為清潔高真空、超高真空應(yīng)用領(lǐng)域的主流獲得設(shè)備，在科學(xué)儀器、工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備中得到廣泛應(yīng)用。

2、在分子泵進行平衡調(diào)試時，需要打磨配重件來改變轉(zhuǎn)子的配重，這種調(diào)試方法效率較低且產(chǎn)生的金屬碎屑容易造成周圍環(huán)境和分子泵內(nèi)部的污染。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型旨在解決上述問題，提供了一種配重結(jié)構(gòu)及分子泵，解決了分子泵需要打磨配重件來改變轉(zhuǎn)子的配重的問題。

2、一種配重結(jié)構(gòu)，包括：平衡板和第一螺釘，所述平衡板頂部形成有多個第一螺紋孔，所述第一螺紋孔做圓周均勻排布，所述第一螺釘與第一螺紋孔螺紋連接。

3、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述平衡板為回轉(zhuǎn)體，所述第一螺紋孔以平衡板的回轉(zhuǎn)軸為中心做圓周均勻排布。

4、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括第二螺釘，所述平衡板還形成有第二螺紋孔，所述第二螺釘與第二螺紋孔螺紋連接，所述第二螺紋孔以平衡板的回轉(zhuǎn)軸為中心做圓周均勻排布，所述第二螺紋孔到平衡板的回轉(zhuǎn)軸的距離大于第一螺紋孔到平衡板的回轉(zhuǎn)軸的距離。

5、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，每個第一螺紋孔的徑向上都對應(yīng)有一個第二螺紋孔，兩個相鄰的第一螺紋孔徑向?qū)?yīng)的第二螺紋孔之間設(shè)置有至少一個第二螺紋孔。

6、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述第一螺釘?shù)闹亓看笥诘诙葆數(shù)闹亓俊?/p>

7、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，第一螺紋孔的內(nèi)徑大于第二螺紋孔的內(nèi)徑。

8、一種使用所述的配重結(jié)構(gòu)的分子泵，包括：外殼、馬達殼體、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)子、靜子和定子，所述外殼內(nèi)部與靜子固定連接，所述轉(zhuǎn)子位于靜子內(nèi)部，所述轉(zhuǎn)子與其內(nèi)部的轉(zhuǎn)軸固定連接，所述馬達殼體位于轉(zhuǎn)軸和轉(zhuǎn)子之間并與外殼位置固定，所述馬達殼體內(nèi)部與定子固定連接，所述定子驅(qū)動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，所述平衡板與轉(zhuǎn)軸和/或轉(zhuǎn)子固定連接，所述轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)子和平衡板同軸。

9、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括底座，所述底座位于外殼下方并與外殼固定連接，所述底座內(nèi)部分別與排氣口和外殼內(nèi)部相連通，所述馬達殼體與底座固定連接。

10、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括至少兩個磁軸承，兩個磁軸承分別套裝在轉(zhuǎn)軸外側(cè)，所述磁軸承與馬達殼體固定連接，所述磁軸承內(nèi)部設(shè)置有x軸位移傳感器和y軸位移傳感器；

11、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括上電磁鐵、間隔環(huán)、下電磁鐵和浮板，所述轉(zhuǎn)軸下部與浮板固定連接，所述上電磁鐵和下電磁鐵分別位于浮板上下兩側(cè)，所述上電磁鐵和下電磁鐵分別與馬達殼體固定連接，所述間隔環(huán)位于上電磁鐵和下電磁鐵之間并分別與上電磁鐵和下電磁鐵接觸；

12、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括z軸傳感器底座，所述z軸傳感器底座位于轉(zhuǎn)軸下方且位置相對馬達殼體固定，所述z軸傳感器底座上方安裝有z軸位移傳感器。

13、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括導(dǎo)氣環(huán)，所述導(dǎo)氣環(huán)與底座固定連接，所述導(dǎo)氣環(huán)內(nèi)部形成有螺紋板。

14、本實用新型具有如下優(yōu)點：通過平衡板上周向設(shè)置的第一螺紋孔和第二螺紋孔，將不同重量的螺釘分別與平衡板螺紋連接，便于在試驗時更換螺釘改變配重實現(xiàn)動平衡，解決了分子泵需要打磨配重件來改變轉(zhuǎn)子的配重的問題。

技術(shù)特征：

1.一種配重結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：平衡板(20)和第一螺釘，所述平衡板(20)頂部形成有多個第一螺紋孔(201)，所述第一螺紋孔(201)做圓周均勻排布，所述第一螺釘與第一螺紋孔(201)螺紋連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種配重結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述平衡板(20)為回轉(zhuǎn)體，所述第一螺紋孔(201)以平衡板(20)的回轉(zhuǎn)軸為中心做圓周均勻排布。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種配重結(jié)構(gòu)，其特征在于：還包括第二螺釘，所述平衡板(20)還形成有第二螺紋孔(202)，所述第二螺釘與第二螺紋孔(202)螺紋連接，所述第二螺紋孔(202)以平衡板(20)的回轉(zhuǎn)軸為中心做圓周均勻排布，所述第二螺紋孔(202)到平衡板(20)的回轉(zhuǎn)軸的距離大于第一螺紋孔(201)到平衡板(20)的回轉(zhuǎn)軸的距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種配重結(jié)構(gòu)，其特征在于：每個第一螺紋孔(201)的徑向上都對應(yīng)有一個第二螺紋孔(202)，兩個相鄰的第一螺紋孔(201)徑向?qū)?yīng)的第二螺紋孔(202)之間設(shè)置有至少一個第二螺紋孔(202)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種配重結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一螺釘?shù)闹亓看笥诘诙葆數(shù)闹亓俊?/p>

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種配重結(jié)構(gòu)，其特征在于：第一螺紋孔(201)的內(nèi)徑大于第二螺紋孔(202)的內(nèi)徑。

7.一種使用如權(quán)利要求1到6任意一項所述的配重結(jié)構(gòu)的分子泵，其特征在于，包括：外殼(2)、馬達殼體(3)、轉(zhuǎn)軸(4)、轉(zhuǎn)子(5)、靜子(6)和定子(7)，所述外殼(2)內(nèi)部與靜子(6)固定連接，所述轉(zhuǎn)子(5)位于靜子(6)內(nèi)部，所述轉(zhuǎn)子(5)與其內(nèi)部的轉(zhuǎn)軸(4)固定連接，所述馬達殼體(3)位于轉(zhuǎn)軸(4)和轉(zhuǎn)子(5)之間并與外殼(2)位置固定，所述馬達殼體(3)內(nèi)部與定子(7)固定連接，所述定子(7)驅(qū)動轉(zhuǎn)軸(4)轉(zhuǎn)動，所述平衡板(20)與轉(zhuǎn)軸(4)和/或轉(zhuǎn)子(5)固定連接，所述轉(zhuǎn)軸(4)、轉(zhuǎn)子(5)和平衡板(20)同軸。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種分子泵，其特征在于：還包括底座(1)，所述底座(1)位于外殼(2)下方并與外殼(2)固定連接，所述底座(1)內(nèi)部分別與排氣口(18)和外殼(2)內(nèi)部相連通，所述馬達殼體(3)與底座(1)固定連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種分子泵，其特征在于：還包括至少兩個磁軸承(8)，兩個磁軸承(8)分別套裝在轉(zhuǎn)軸(4)外側(cè)，所述磁軸承(8)與馬達殼體(3)固定連接，所述磁軸承(8)內(nèi)部設(shè)置有x軸位移傳感器和y軸位移傳感器；

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種分子泵，其特征在于：還包括導(dǎo)氣環(huán)(17)，所述導(dǎo)氣環(huán)(17)與底座(1)固定連接，所述導(dǎo)氣環(huán)(17)內(nèi)部形成有螺紋板(171)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種配重結(jié)構(gòu)及分子泵，包括：外殼、馬達殼體、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)子、靜子和定子，所述外殼內(nèi)部與靜子固定連接，所述轉(zhuǎn)子位于靜子內(nèi)部，所述轉(zhuǎn)子與其內(nèi)部的轉(zhuǎn)軸固定連接，所述馬達殼體位于轉(zhuǎn)軸和轉(zhuǎn)子之間并與外殼位置固定，所述馬達殼體內(nèi)部與定子固定連接，所述定子驅(qū)動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。本技術(shù)通過平衡板上周向設(shè)置的第一螺紋孔和第二螺紋孔，將不同重量的螺釘分別與平衡板螺紋連接，便于在試驗時更換螺釘改變配重實現(xiàn)動平衡，解決了分子泵需要打磨配重件來改變轉(zhuǎn)子的配重的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：崔漢寬,王占杰
受保護的技術(shù)使用者：上海富玖帕精密設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231204
技術(shù)公布日：2024/12/23