一種抗大氣沖擊的分子泵的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于流體機(jī)械【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及用于半導(dǎo)體、節(jié)能燈、太陽(yáng)能制造行業(yè)獲得真空的一種抗大氣沖擊的分子泵，本分子泵包括底盤(pán)，底盤(pán)中部安裝有電機(jī)，轉(zhuǎn)子扣裝在底盤(pán)上，泵殼通過(guò)螺釘固定扣裝在轉(zhuǎn)子與底座上，泵殼頂部設(shè)有進(jìn)氣口，底盤(pán)側(cè)面靠近底部設(shè)有排氣口；轉(zhuǎn)子由圓柱形硬質(zhì)鋁合金材料整體加工成型，轉(zhuǎn)子從頂部至底部均勻開(kāi)有4～8個(gè)螺旋形排氣槽，轉(zhuǎn)子內(nèi)部設(shè)有一個(gè)安裝層，其上下兩側(cè)為中空腔體，安裝層中心位置開(kāi)有一個(gè)錐形通孔；電機(jī)主軸延伸到底盤(pán)上部的部分插入轉(zhuǎn)子安裝層上的錐形通孔內(nèi)，與錐形通孔緊密配合，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于維護(hù)，能降低生產(chǎn)成本，易于加工，轉(zhuǎn)子強(qiáng)度高，具有抗大氣沖擊能力等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】一種抗大氣沖擊的分子栗
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于流體機(jī)械【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及用于半導(dǎo)體、節(jié)能燈、太陽(yáng)能制造行業(yè)獲得真空的一種抗大氣沖擊的分子泵。
【背景技術(shù)】
[0002]分子真空泵是在1911年由德國(guó)人蓋德(w -Gaede)首先發(fā)明的。其原理是靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動(dòng)量，使氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)，從而達(dá)到抽氣的目的。1958年，聯(lián)邦德國(guó)的W.貝克首次提出有實(shí)用價(jià)值的渦輪分子泵。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子(即動(dòng)葉輪)、靜葉輪和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)等組成。動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度(一般為150?400米/秒)。單個(gè)葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成。動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列。動(dòng)、靜葉輪幾何尺寸基本相同，但葉片傾斜角相反。傾斜葉片的運(yùn)動(dòng)使氣體分子從進(jìn)氣側(cè)穿過(guò)葉片到達(dá)排氣側(cè)的幾率，比從排氣側(cè)穿過(guò)葉片到達(dá)進(jìn)氣側(cè)的幾率大得多。葉輪連續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體分子便不斷地由進(jìn)氣側(cè)流向排氣側(cè)，從而產(chǎn)生抽氣作用。
[0003]蓋德?tīng)恳迷诜肿恿鲬B(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體，但存在抽速小的特點(diǎn)。渦輪分子泵則存在加工多級(jí)動(dòng)靜葉片工藝復(fù)雜的特點(diǎn)。
[0004]隨著科技發(fā)展，特別是節(jié)能減排驅(qū)使下，半導(dǎo)體、節(jié)能燈、太陽(yáng)能等領(lǐng)域得到大力發(fā)展，而分子泵在上述領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，現(xiàn)有的分子泵通常都具有結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不便于維護(hù)，加工難度大，制造成本高，不耐沖擊的缺點(diǎn)；尤其在排氣過(guò)程中，常遇到一些因被抽真空裝置損壞，大氣直接充入分子泵，造成分子泵碎裂狀況，目前雖然對(duì)分子泵轉(zhuǎn)子有所改進(jìn)(專利號(hào)CN202381395U)，但只能在一定程度提高抗氣壓強(qiáng)，比如可以達(dá)到4000Pa，但并不能實(shí)現(xiàn)完全暴露在大氣中。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)制造的分子泵結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不便于維護(hù)，加工難度大，制造成本高，不耐沖擊的問(wèn)題，而提供結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于維護(hù)，易于加工，制造難度小，加工成本低，耐沖擊，尤其可抵抗大氣直接沖擊而不會(huì)發(fā)生碎泵現(xiàn)象的一種抗大氣沖擊的分子泵。
[0006]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:
[0007]一種抗大氣沖擊的分子泵，包括底盤(pán)、安裝在底盤(pán)上的電機(jī)、連接在電機(jī)主軸上的轉(zhuǎn)子和固定扣裝在轉(zhuǎn)子與底盤(pán)上的泵殼，所述底盤(pán)的中部軸向有一個(gè)圓柱形通孔，圓柱形通孔外圍設(shè)有一個(gè)環(huán)形槽，底盤(pán)外側(cè)面靠近底部位置設(shè)有一個(gè)排氣口，排氣口與環(huán)形槽連通；所述電機(jī)為嵌入安裝在底盤(pán)上的圓柱形通孔內(nèi)，電機(jī)主軸向上延伸到底盤(pán)頂部外側(cè)；所述的轉(zhuǎn)子為圓柱形，其外表面從頂部至底部均勻開(kāi)有4?8條螺旋形排氣槽，排氣槽從起始端開(kāi)始沿軸向延伸，深度逐漸由深變淺，寬度逐漸由寬變窄，直至轉(zhuǎn)子外表面底端，轉(zhuǎn)子內(nèi)部居中部位設(shè)有一個(gè)安裝層，安裝層中心位置開(kāi)有一個(gè)通孔，安裝層的上下兩側(cè)各有一個(gè)中空腔體，所述泵殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，其底部開(kāi)放，內(nèi)為圓柱形腔體，頂部設(shè)有進(jìn)氣口。
[0008]所述的轉(zhuǎn)子由圓柱形硬質(zhì)鋁合金材料整體加工成型。
[0009]所述排氣槽的起始端深度為30?60mm，尾端深度為2?5mm，中間深度梯度遞減。
[0010]所述相鄰兩個(gè)排氣槽形成的筋部的橫截面外輪廓為近似梯形的曲面，所述橫截面的高度隨排氣槽深度的遞減而逐漸遞減。
[0011]所述的轉(zhuǎn)子能伸入到底盤(pán)上的環(huán)形槽內(nèi)，轉(zhuǎn)子外部排氣槽構(gòu)成的筋部與環(huán)形槽存在間隙配合，配合間隙為0.2?0.6mm ;底盤(pán)環(huán)形槽內(nèi)靠近中心的一側(cè)套裝有螺旋封，轉(zhuǎn)子安裝層下層腔體內(nèi)壁與螺旋封存在間隙配合，其配合間隙為0.3?0.6mm ;泵殼扣裝在轉(zhuǎn)子上，其腔體內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子外部排氣槽構(gòu)成的筋部存在間隙配合，配合間隙為0.3?0.7_。
[0012]所述的轉(zhuǎn)子內(nèi)部安裝層中心通孔為錐形。
[0013]所述的底盤(pán)下部中心部位安裝有油池座，油池座內(nèi)放置有潤(rùn)滑油，電機(jī)主軸下端伸入到油池座內(nèi)。
[0014]所述底盤(pán)上的排氣口外側(cè)裝有排氣口法蘭。
[0015]本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0016]1.因?yàn)楝F(xiàn)有技術(shù)通常是在轉(zhuǎn)子外表面加工安裝葉片，本實(shí)用新型提供的一種抗大氣沖擊的分子泵，其轉(zhuǎn)子采用整塊圓柱形材料直接在其外表面加工出螺旋形排氣槽，相鄰兩個(gè)排氣槽構(gòu)成的筋部與轉(zhuǎn)子本身為一體結(jié)構(gòu)，較之現(xiàn)有技術(shù)的葉片與轉(zhuǎn)子本身為連接結(jié)構(gòu)大幅增加了轉(zhuǎn)子強(qiáng)度，使其擁有抵抗大氣直接沖擊的能力，并且螺旋形排氣槽相比葉片更易加工，使得轉(zhuǎn)子的制造成本也大幅降低；
[0017]2.本實(shí)用新型提供的一種抗大氣沖擊的分子泵，取消了定片、隔環(huán)，降低了設(shè)備的復(fù)雜程度，降低了生產(chǎn)成本，且便于維護(hù)；
[0018]3.轉(zhuǎn)子的排氣槽從起始端開(kāi)始沿軸向深度逐漸由深變淺，寬度逐漸由寬變窄，直至排氣槽尾端，可取的較大的抽速和壓縮比，合理的排氣槽的深度與寬度也使得和常規(guī)分子泵相比，在IOOPa到0.0lPa之間有更優(yōu)越的排氣能力，大大縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間，降低了系統(tǒng)運(yùn)營(yíng)成本；
[0019]4.轉(zhuǎn)子安裝層的上下兩側(cè)各有一個(gè)中空腔體，其中上層中空腔體既可以在有異物掉入時(shí)起到收集作用，大大降低了異物對(duì)泵的損壞，又可以減去轉(zhuǎn)子重量，降低生產(chǎn)成本；下層中空腔體使得整個(gè)轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)更加合理，便于安裝；
[0020]5.轉(zhuǎn)子由硬質(zhì)鋁合金材料整體加工成型，也使得轉(zhuǎn)子具有較高的強(qiáng)度，在工作過(guò)程中能抵抗大氣的直徑?jīng)_擊；
[0021]6.轉(zhuǎn)子外表面相鄰兩個(gè)排氣槽形成的筋部的橫截面外輪廓為近似梯形的曲面，使得筋部具有較高的強(qiáng)度，耐沖擊，并同時(shí)利于排氣；
[0022]7.各部件間合理的配合間隙尺寸，也使得本實(shí)用新型提供的分子泵整體具有更好的排氣能力；
[0023]8.轉(zhuǎn)子內(nèi)部安裝層中心通孔為錐形，可以與電機(jī)主軸頂端配合的更加緊密，不易滑脫；
[0024]9.底盤(pán)下部中心部位安裝有油池座，油池座內(nèi)放置有潤(rùn)滑油，電機(jī)主軸下端伸入到油池座內(nèi)，可以使電機(jī)主軸在工作時(shí)獲得不間斷潤(rùn)滑，提高分子泵的使用效率，延長(zhǎng)使用壽命。
[0025]本實(shí)用新型很好地解決了因被抽真空裝置損壞，大氣直接充入分子泵，造成分子泵碎裂的問(wèn)題，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于維護(hù)，易于加工，制造難度小，加工成本低，耐沖擊，尤其可抵抗大氣直接沖擊而不會(huì)發(fā)生碎泵現(xiàn)象的優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0026]圖1為本實(shí)用新型提供的一種抗大氣沖擊的分子泵的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]圖2為本實(shí)用新型提供的一種抗大氣沖擊的分子泵的轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖3為本實(shí)用新型提供的一種抗大氣沖擊的分子泵的轉(zhuǎn)子的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]圖中:1、泵殼；2、轉(zhuǎn)子；3、底盤(pán)；4、螺旋封；5、排氣口法蘭；6、油池座；7、下軸承；
8、電機(jī)主軸；9、電機(jī)；10、上軸承；11、軸承座；12、軸承座壓蓋；13、固定螺釘。
【具體實(shí)施方式】
[0030]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0031]實(shí)施例1，如圖1、圖2、圖3所示一種抗大氣沖擊的分子泵，包括底盤(pán)3，所述的底盤(pán)3中部軸向有一個(gè)圓柱形通孔，圓柱形通孔外圍設(shè)有一個(gè)環(huán)形槽，底盤(pán)3外側(cè)面靠近底部位置設(shè)有一個(gè)排氣口，排氣口與環(huán)形槽連通，底盤(pán)3上的排氣口外側(cè)裝有排氣口法蘭5，底座3上部設(shè)有軸承座11，軸承座11上部設(shè)有軸承座壓蓋12，底盤(pán)3環(huán)形槽內(nèi)靠近中心的一側(cè)套裝有螺旋封4，;在底盤(pán)3上的圓柱形通孔內(nèi)嵌入安裝有電機(jī)9，電機(jī)主軸8通過(guò)上軸承10與下軸承7支撐定位，上軸承10裝于軸承座11中，并通過(guò)軸承座壓蓋12與底盤(pán)3固定，下軸承6與底盤(pán)3直接固定，電機(jī)主軸8向上延伸到底盤(pán)3頂部外側(cè)，底盤(pán)3下部中心部位安裝有油池座6，油池座6內(nèi)放置有潤(rùn)滑油，電機(jī)主軸8下端伸入到油池座6內(nèi)；在電機(jī)主軸8上部安裝有一個(gè)由圓柱形硬質(zhì)鋁合金材料整體加工成型的轉(zhuǎn)子2，其外表面從頂部至底部均勻開(kāi)有5條螺旋形排氣槽，排氣槽從起始端開(kāi)始沿軸向延伸，深度逐漸由深變淺，寬度逐漸由寬變窄，直至轉(zhuǎn)子外表面底端，所述排氣槽的起始端深度為40mm，尾端深度為4mm，中間深度梯度遞減，相鄰兩個(gè)排氣槽形成的筋部橫截面外輪廓為近似于梯形的拱形曲面，所述橫截面的高度隨排氣槽深度的遞減而逐漸遞減，使得筋部上任一點(diǎn)與轉(zhuǎn)子中心軸線的垂直距離均相等，轉(zhuǎn)子2內(nèi)部居中部位設(shè)有一個(gè)安裝層，安裝層中心位置開(kāi)有一個(gè)錐形通孔，安裝層的上下兩側(cè)各有一個(gè)中空腔體，其中上層中空腔體既可以在有異物掉入時(shí)起到收集作用，大大降低了異物對(duì)泵的損壞，又可以減去轉(zhuǎn)子2重量，節(jié)省材料，降低生產(chǎn)成本，轉(zhuǎn)子下層腔壁伸入到底盤(pán)3的環(huán)形槽內(nèi)，扣裝在底盤(pán)3上，覆蓋底盤(pán)3中心部位及嵌入安裝在底盤(pán)3上的圓柱形通孔內(nèi)的電機(jī)9，轉(zhuǎn)子2與電機(jī)主軸8通過(guò)錐形通孔形成錐面配合，并通過(guò)固定螺釘13固定，轉(zhuǎn)子2高度H與直徑D的取值一般為:H=(1?1.5) D，此種比例關(guān)系可在一定轉(zhuǎn)子質(zhì)量下，可獲得比較好的真空性能，本實(shí)施例中選取轉(zhuǎn)子2高度H與直徑D的關(guān)系為:H=D ;在轉(zhuǎn)子2與底盤(pán)3上扣裝由泵殼1，所述泵殼I為圓柱形結(jié)構(gòu)，其底部開(kāi)放，內(nèi)為圓柱形腔體，頂部設(shè)有進(jìn)氣口 ；轉(zhuǎn)子2伸入到底盤(pán)3上的環(huán)形槽內(nèi)，轉(zhuǎn)子2外部排氣槽構(gòu)成的筋部與環(huán)形槽存在間隙配合，配合間隙為0.2mm ;轉(zhuǎn)子2安裝層下層腔體內(nèi)壁與螺旋封4存在間隙配合，其配合間隙為0.3mm ;泵殼I扣裝在轉(zhuǎn)子2上，其腔體內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子2外部排氣槽構(gòu)成的筋部存在間隙配合，配合間隙為0.3_。[0032]具體使用時(shí)的抽氣過(guò)程為:在電機(jī)9驅(qū)動(dòng)下，電機(jī)主軸8帶動(dòng)轉(zhuǎn)子2高速旋轉(zhuǎn)，氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子碰撞獲得動(dòng)量，并在轉(zhuǎn)子2與外殼I及底盤(pán)3形成抽氣通道作用下，由進(jìn)氣口排向排氣口法蘭5，經(jīng)前級(jí)抽氣系統(tǒng)抽走。泵體內(nèi)部氣體通過(guò)轉(zhuǎn)子2與螺旋封4形成的排氣通道排走。
[0033]實(shí)施例2，如圖1、圖2、圖3所示一種抗大氣沖擊的分子泵，其與實(shí)施例1的區(qū)別在于轉(zhuǎn)子2高度H與直徑D的關(guān)系為:H=1.5D,轉(zhuǎn)子外表面從頂部至底部均勻開(kāi)有5條螺旋形排氣槽，排氣槽的起始端深度為30mm，尾端深度為2mm，中間深度梯度遞減，轉(zhuǎn)子2外部排氣槽構(gòu)成的筋部與環(huán)形槽存在間隙配合，配合間隙為0.6mm ;轉(zhuǎn)子2安裝層下層腔體內(nèi)壁與螺旋封4存在間隙配合，其配合間隙為0.6mm ;泵殼I扣裝在轉(zhuǎn)子2上，其腔體內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子2外部排氣槽構(gòu)成的筋部存在間隙配合，配合間隙為0.7_，其他結(jié)構(gòu)特征均與實(shí)施例1相同，不再重復(fù)敘述。
[0034]實(shí)施例3，如圖1、圖2、圖3所示一種抗大氣沖擊的分子泵，其與實(shí)施例1的區(qū)別在于轉(zhuǎn)子2高度H與直徑D的關(guān)系為:H=1.2D，轉(zhuǎn)子外表面從頂部至底部均勻開(kāi)有5條螺旋形排氣槽，排氣槽的起始端深度為45mm，尾端深度為3.5mm,中間深度梯度遞減，轉(zhuǎn)子2外部排氣槽構(gòu)成的筋部與環(huán)形槽存在間隙配合，配合間隙為0.4mm ;轉(zhuǎn)子2安裝層下層腔體內(nèi)壁與螺旋封4存在間隙配合，其配合間隙為0.4mm ;泵殼I扣裝在轉(zhuǎn)子2上，其腔體內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子2外部排氣槽構(gòu)成的筋部存在間隙配合，配合間隙為0.4_，其他結(jié)構(gòu)特征均與實(shí)施例1相同，不再重復(fù)敘述。
[0035]由以上的【具體實(shí)施方式】可以看出，合理選擇轉(zhuǎn)子2高度H與直徑D的比例關(guān)系，排氣槽的深度及各部件間的配合間隙，既可以保證泵安全運(yùn)轉(zhuǎn)，又可以獲得較好的真空性能?？傊?，本實(shí)用新型提供的一種抗大氣沖擊的分子泵很好地解決了一些因被抽真空裝置損壞，大氣直接充入分子泵，造成分子泵碎裂的問(wèn)題，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于維護(hù)，易于加工，制造難度小，加工成本低，耐沖擊，可直接承受大氣沖擊而不會(huì)碎裂的優(yōu)點(diǎn)，大大提高泵的安全性。同時(shí)獨(dú)特的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)及排氣方式，和常規(guī)分子泵相比，在IOOPa到0.0lPa之間有更優(yōu)越的排氣能力，大大縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間，降低了系統(tǒng)運(yùn)營(yíng)成本。
【權(quán)利要求】
1.一種抗大氣沖擊的分子泵，包括底盤(pán)、安裝在底盤(pán)上的電機(jī)、連接在電機(jī)主軸上的轉(zhuǎn)子和固定扣裝在轉(zhuǎn)子與底盤(pán)上的泵殼，其特征在于:所述底盤(pán)的中部軸向有一個(gè)圓柱形通孔，圓柱形通孔外圍設(shè)有一個(gè)環(huán)形槽，底盤(pán)外側(cè)面靠近底部位置設(shè)有一個(gè)排氣口，排氣口與環(huán)形槽連通；所述電機(jī)為嵌入安裝在底盤(pán)上的圓柱形通孔內(nèi)，電機(jī)主軸向上延伸到底盤(pán)頂部外側(cè)；所述的轉(zhuǎn)子為圓柱形，其外表面從頂部至底部均勻開(kāi)有4?8條螺旋形排氣槽，排氣槽從起始端開(kāi)始沿軸向延伸，深度逐漸由深變淺，寬度逐漸由寬變窄，直至轉(zhuǎn)子外表面底端，轉(zhuǎn)子內(nèi)部居中部位設(shè)有一個(gè)安裝層，安裝層中心位置開(kāi)有一個(gè)通孔，安裝層的上下兩側(cè)各有一個(gè)中空腔體，所述泵殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，其底部開(kāi)放，內(nèi)為圓柱形腔體，頂部設(shè)有進(jìn)氣□。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于:所述的轉(zhuǎn)子由圓柱形硬質(zhì)鋁合金材料整體加工成型。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于:所述排氣槽的起始端深度為30?60mm，尾端深度為2?5mm，中間深度梯度遞減。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于:所述相鄰兩個(gè)排氣槽形成的筋部的橫截面外輪廓為近似梯形的曲面，所述橫截面的高度隨排氣槽深度的遞減而逐漸遞減。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于:所述的轉(zhuǎn)子能伸入到底盤(pán)上的環(huán)形槽內(nèi)，轉(zhuǎn)子外部排氣槽構(gòu)成的筋部與環(huán)形槽存在間隙配合，配合間隙為0.2?0.6mm ;底盤(pán)環(huán)形槽內(nèi)靠近中心的一側(cè)套裝有螺旋封，轉(zhuǎn)子安裝層下側(cè)腔體內(nèi)壁與螺旋封存在間隙配合，其配合間隙為0.3?0.6mm ;泵殼扣裝在轉(zhuǎn)子上，其腔體內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子外部排氣槽構(gòu)成的筋部存在間隙配合，配合間隙為0.3?0.7_。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于:所述的轉(zhuǎn)子內(nèi)部安裝層中心通孔為錐形。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于:所述的底盤(pán)下部中心部位安裝有油池座,油池座內(nèi)放置有潤(rùn)滑油，電機(jī)主軸下端伸入到油池座內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于:所述底盤(pán)上的排氣口外側(cè)裝有排氣口法蘭。
【文檔編號(hào)】F04D25/06GK203488393SQ201320578477
【公開(kāi)日】2014年3月19日 申請(qǐng)日期:2013年9月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月18日
【發(fā)明者】董欣, 郁晉軍, 劉敏強(qiáng), 于天化 申請(qǐng)人:北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司