專利名稱：一種真空泵密封結(jié)構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及真空泵技術領域，具體說涉及一種真空泵密封結(jié)構。
背景技術：
干式機械真空泵(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。伴隨半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，國內(nèi)外干式機械真空泵市場不斷增長，由于這些行業(yè)的發(fā)展又對真空環(huán)境要求越來越嚴格，也就對真空泵提出了更高的要求，一個是極限真空度要盡量高，另一個是獲得的真空環(huán)境應該是清潔無油的。在這些新工藝新要求下，對干式機械真空泵的軸封提出了更高的要求，普通干式機械真空泵會通過軸封向真空泵腔體內(nèi)返油蒸汽，這個問題亟待解決。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術中的真空泵返油，密封效果差的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種真空泵密封結(jié)構，本發(fā)明密封效果好，解決了向泵腔返油的問題。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術方案。一種真空泵密封結(jié)構，包括依次貫穿油腔軸承腔及泵腔的軸，還包括雙唇軸封、過濾裝置及油氣分離裝置，所述軸在軸承腔與油腔的部分沿軸向設有盲孔，所述過濾裝置設置在該盲孔的靠近油腔的一端，所述軸的軸承腔段沿徑向設有與所述盲孔連通的通孔；所述雙唇軸封位于軸承腔的軸承座內(nèi)，雙唇軸封的兩密封片中間圓周方向設有通氣孔，與雙唇軸封所述軸的盲孔相連通；所述油氣分離裝置位于軸承腔的上部，軸承腔的腔體內(nèi)設有氣孔一和氣孔二，所述氣孔一的一端與油氣分離裝置的上部連通，另一端與雙唇軸封上的通氣孔連通；所述氣孔二的一端與油氣分離裝置的底部連通，另一端與泵腔連通。所述雙唇軸封與軸之間設有軸封環(huán)，該軸封環(huán)上設有通孔，該通孔兩端分別與雙唇軸封上的通氣孔和所述軸上的徑向通孔連通。所述軸承環(huán)與所述軸之間采用矩形氟橡膠圈密封。所述過濾裝置包括軸端固定螺母、擋片及過濾墊片，其中軸端固定螺母內(nèi)設有凹槽，所述擋片及過濾墊片置于該凹槽內(nèi)。所述油氣分離裝置包括連通器和油分濾芯。所述連通器與軸承腔體之間采用O型氟膠圈密封。所述雙唇軸封采用特氟隆類材料。所述軸承腔內(nèi)的雙唇軸封與軸承之間設有軸套。所述軸套與軸承座凹槽之間的間隙小于0.15毫米。所述軸套與所述軸之間采用矩形氟橡膠圈密封。本發(fā)明具有以下優(yōu)點:1.本發(fā)明軸封采用雙唇軸封，雙唇軸封采用特氟隆類材料制作，減少了摩擦系數(shù)、更耐磨、使用壽命高，密封效果好。2.本發(fā)明雙唇軸封過盈安裝在軸承座內(nèi)，軸封雙唇中間周向開有通氣孔，與固定螺母、軸、軸封環(huán)、軸承腔形成連通油腔和泵腔的氣道，從而平衡兩腔壓力，防止由于壓力差油蒸汽通過軸封向泵腔滲漏，并防止產(chǎn)生夾氣。3.本發(fā)明在油腔的固定螺母內(nèi)設置過濾墊，軸承腔設置油氣分離裝置，保證從油腔流向泵腔的氣體是無油的氣體。4.本發(fā)明軸封環(huán)、軸套與軸采用矩形氟橡膠圈密封，軸套與軸承座凹槽間隙小于
0.15毫米，形成間隙密封，減少油蒸汽軸向通過到達軸封的數(shù)量。5.本發(fā)明采用油氣分離裝置，該裝置由油分濾芯和聯(lián)通器組成，保證流過氣體清潔無油，油氣分離裝置與外界和泵腔采用形氟橡膠圈密封。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構示意圖；圖2為油氣分離裝置示意圖；其中:1為固定螺母，2為擋片，3為過濾墊，4為油腔，5、為矩形氟膠圈，6為軸套，7為軸承腔，8為軸封環(huán)，9為雙唇軸封，10為O型氟膠圈，11為聯(lián)通器，12為油分濾芯，13為氣孔一，14為氣孔二。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步描述。如圖1、圖2所示，本發(fā)明包括依次貫穿油腔4、軸承腔7及泵腔的軸、雙唇軸封9、過濾裝置及油氣分離裝置，所述軸在軸承腔7與油腔4的部分沿軸向設有盲孔，所述過濾裝置設置在該盲孔的靠近油腔4的一端，所述軸的軸承腔段沿徑向設有與所述盲孔連通的通孔；雙唇軸封9過盈安裝在軸承腔7的軸承座內(nèi)，并設置在所述軸的徑向通孔處，雙唇軸封9的兩密封片中間圓周方向設有通氣孔，與雙唇軸封9所述軸的盲孔相連通；所述油氣分離裝置位于軸承腔7的上部，軸承腔7的腔體內(nèi)設有氣孔一 13和氣孔二 14，氣孔一 13的一端與油氣分離裝置的上部連通，另一端與雙唇軸封9上的通氣孔連通；所述氣孔二 14的一端與油氣分離裝置的底部連通，另一端與泵腔連通。雙唇軸封9與所述軸之間設有軸封環(huán)8，該軸封環(huán)8上設有通孔，該通孔兩端分別與雙唇軸封9上的通氣孔和所述軸上的徑向通孔連通，軸承環(huán)8與所述軸之間采用矩形氟橡膠圈5密封。雙唇軸封9采用特氟隆類材料。所述過濾裝置包括軸端固定螺母1、擋片2及過濾墊片3，其中軸端固定螺母I內(nèi)設有凹槽，擋片2及過濾墊片3置于該凹槽內(nèi)。所述油氣分離裝置包括連通器11和油分濾芯12，連通器11與軸承腔體之間采用O型氟膠圈密封。軸承腔7內(nèi)的雙唇軸封9與軸承之間設有軸套6，軸套6與軸承座凹槽之間的間隙小于0.15毫米，軸套(6)與所述軸之間采用矩形氟橡膠圈密封。本發(fā)明的工作原理:當泵開始工作時，油腔4與泵腔通過氣道連通，油氣分離裝置和過濾墊片3，將油氣過濾干凈，平衡兩個腔內(nèi)的壓力，防止油蒸汽由于兩個腔體壓力差通過雙唇軸封向泵腔滲漏，防止產(chǎn)生夾氣。軸套6與軸承座形成間隙密封結(jié)構，配合雙唇軸封結(jié)構，保證油蒸汽不通過軸封向泵腔滲漏。抽氣過程中可保持真空環(huán)境不受油氣污染，實現(xiàn)真正的清潔真空。
權利要求
1.一種真空泵密封結(jié)構，包括依次貫穿油腔(4)、軸承腔(7)及泵腔的軸，其特征在于:還包括雙唇軸封(9)、過濾裝置及油氣分離裝置，所述軸在軸承腔(7)與油腔(4)的部分沿軸向設有盲孔，所述過濾裝置設置在該盲孔的靠近油腔(4)的一端，所述軸的軸承腔段沿徑向設有與所述盲孔連通的通孔；所述雙唇軸封(9)位于軸承腔(7)的軸承座內(nèi)，雙唇軸封(9)的兩密封片中間圓周方向設有通氣孔，與雙唇軸封(9)所述軸的盲孔相連通；所述油氣分離裝置位于軸承腔(7)的上部，軸承腔(7)的腔體內(nèi)設有氣孔一(13)和氣孔二(14)，所述氣孔一(13)的一端與油氣分離裝置的上部連通，另一端與雙唇軸封(9)上的通氣孔連通；所述氣孔二(14)的一端與油氣分離裝置的底部連通，另一端與泵腔連通。
2.按權利要求1所述的真空泵密封結(jié)構，其特征在于:所述雙唇軸封(9)與軸之間設有軸封環(huán)(8)，該軸封環(huán)(8)上設有通孔，該通孔兩端分別與雙唇軸封(9)上的通氣孔和所述軸上的徑向通孔連通。
3.按權利要求2所述的真空泵密封結(jié)構，其特征在于:所述軸承環(huán)(8)與所述軸之間采用矩形氟橡膠圈(5)密封。
4.按權利要求1所述的真空泵密封結(jié)構，其特征在于:所述過濾裝置包括軸端固定螺母(I)、擋片(2)及過濾墊片(3)，其中軸端固定螺母(I)內(nèi)設有凹槽，所述擋片(2)及過濾墊片(3)置于該凹槽內(nèi)。
5.按權利要求1所述的真空泵密封結(jié)構，其特征在于:所述油氣分離裝置包括連通器(11)和油分濾芯(12)。
6.按權利要求5所述的真空泵密封結(jié)構，其特征在于:所述連通器(11)與軸承腔體之間采用O型氟膠圈密封。
7.按權利要求1所述的真空泵密封結(jié)構，其特征在于:所述雙唇軸封(9)采用特氟隆類材料。
8.按權利要求1所述的真空泵密封結(jié)構，其特征在于:所述軸承腔(7)內(nèi)的雙唇軸封(9)與軸承之間設有軸套(6)。
9.按權利要求8所述的真空泵密封結(jié)構，其特征在于:所述軸套(6)與軸承座凹槽之間的間隙小于0.15毫米。
10.按權利要求8所述的真空泵密封結(jié)構，其特征在于:所述軸套(6)與所述軸之間采用矩形氟橡膠圈(5)密封。
全文摘要
本發(fā)明涉及真空泵領域，具體說是一種真空泵密封結(jié)構。包括依次貫穿油腔、軸承腔及泵腔的軸、雙唇軸封、過濾裝置及油氣分離裝置，所述軸在軸承腔與油腔的部分沿軸向設有盲孔，過濾裝置設置在該盲孔的靠近油腔的一端，所述軸的軸承腔段沿徑向設有與所述盲孔連通的通孔；雙唇軸封位于軸承腔的軸承座內(nèi)，雙唇軸封的兩密封片中間圓周方向設有通氣孔，雙唇軸封所述軸的盲孔相連通；油氣分離裝置位于軸承腔的上部，軸承腔的腔體內(nèi)設有氣孔一和氣孔二，氣孔一的一端與油氣分離裝置的上部連通，另一端與雙唇軸封上的通氣孔連通；氣孔二的一端與油氣分離裝置的底部連通，另一端與泵腔連通。本發(fā)明密封效果好，解決了向泵腔返油的問題。
文檔編號F04B39/16GK103104437SQ201110358078
公開日2013年5月15日 申請日期2011年11月11日 優(yōu)先權日2011年11月11日
發(fā)明者張振厚, 王光玉, 劉在行 申請人:中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司