專利名稱：帶有清洗裝置的旋轉(zhuǎn)活塞真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空泵領(lǐng)域，具體涉及但不限于帶有螺旋結(jié)構(gòu)的真空泵。
背景技術(shù)：
螺旋泵通常包括兩個(gè)間隔開的平行軸，各自支承帶外螺紋的轉(zhuǎn)子，軸固定到泵殼體上，可使轉(zhuǎn)子的螺紋互相嚙合?；ハ鄧Ш咸幍霓D(zhuǎn)子螺紋與通常作為定子的泵體內(nèi)部表面之間的嚴(yán)格允許誤差使得泵送到入口和出口之間的大量氣體聚集在轉(zhuǎn)子螺紋和內(nèi)表面之間，當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)推動(dòng)氣體通過泵。
在許多的生產(chǎn)工藝中，螺旋泵被廣泛認(rèn)為是一種產(chǎn)生真空條件的可靠裝置。因此，螺旋泵應(yīng)用在許多的生產(chǎn)過程。這些應(yīng)用可涉及具有“蠟質(zhì)”或“多油脂”性能的材料，如基于脂肪的增塑劑。在泵的操作中，這些產(chǎn)品可在泵的表面形成沉積。當(dāng)泵關(guān)閉時(shí)，這些表面冷卻，沉積物也冷卻，在泵內(nèi)固化。當(dāng)這些沉積物位于部件之間的間隙區(qū)，可使泵卡住阻礙重新啟動(dòng)，甚至不能重新啟動(dòng)。
許多使用真空泵的半導(dǎo)體工藝遇到類似問題，尤其是化學(xué)氣相沉積(CVD)這種生產(chǎn)工藝。這種工藝可產(chǎn)生大量的副產(chǎn)品材料。這些材料具有粉末或塵粒的形式，其可保持松散或變得緊湊，或具有硬化固體的形式，特別是在生產(chǎn)氣體冷凝和升華到低溫表面的情況下。這些材料可在操作腔、腔和泵之間的前級(jí)管道，和/或真空泵本身形成。如果這些材料在操作過程中聚集在泵的內(nèi)表面，能夠有效地充填泵的轉(zhuǎn)子和定子件之間的空隙，還可能造成真空泵的馬達(dá)電流需量的尖峰狀態(tài)。如果這種情況不減退而是繼續(xù)下去，那么形成的固體材料最終將使得馬達(dá)過載，使得控制系統(tǒng)關(guān)斷真空泵。如果真空泵冷卻到環(huán)境溫度，那么累積的材料將在轉(zhuǎn)子和定子件之間收縮。由于在轉(zhuǎn)子和定子件之間形成的潛在接觸表面積可能較大，副產(chǎn)品材料的收縮可將阻擋轉(zhuǎn)動(dòng)的摩擦力提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。
為了釋放現(xiàn)有技術(shù)的泵的轉(zhuǎn)子，設(shè)置了一種機(jī)構(gòu)，通過檢查口插入棒到與轉(zhuǎn)子主軸相連接的插座。該棒用作轉(zhuǎn)動(dòng)主軸和釋放裝置的桿，可使機(jī)器重新啟動(dòng)。這樣的桿系統(tǒng)允許比馬達(dá)力更大的轉(zhuǎn)動(dòng)力施加到內(nèi)部件。這樣的力可傳遞到轉(zhuǎn)子葉片，可證明所產(chǎn)生的應(yīng)力對(duì)轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)是有害的。如果該系統(tǒng)未能釋放裝置，則有必要拆卸該機(jī)構(gòu)，將液體溶劑注入泵殼體中，溶解殘余物，達(dá)到軸可以手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的水平。該拆卸工作不僅要使泵下線一段時(shí)間，泵后來還要重新投入使用和測(cè)試，以保證與周圍裝置連接的可靠性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服與泵技術(shù)相關(guān)的前述問題。
本發(fā)明提供了一種泵，包括轉(zhuǎn)子件、定子件和殼體，所述殼體包圍所述轉(zhuǎn)子件和定子件，并設(shè)有可接受泵送流體的入口，位于所述入口下游的至少一個(gè)端口，和通過至少一個(gè)端口注入流體到殼體內(nèi)的機(jī)構(gòu)，流體作用于部件表面的沉積物，將沉積物從泵中排出。由于端口位于入口的下游，注入轉(zhuǎn)子和定子件的流體可直接注入到工作容積，撞擊這些部件的表面。與通過殼體的泵送流體入口引入清洗流體的系統(tǒng)相比，這樣可極大地提高清洗效率。由于設(shè)置了多個(gè)端口，這些端口可形成排列。例如，端口可沿徑向圍繞殼體設(shè)置，和/或沿轉(zhuǎn)子件的長(zhǎng)度設(shè)置。
殼體可包括內(nèi)層和外層，其間形成空腔，泵操作時(shí)，流體通過空腔。泵體的內(nèi)層可用作泵的定子。
端口可包括噴嘴，使用時(shí)流體經(jīng)噴嘴噴射。噴嘴可整體形成于端口內(nèi)。
泵是螺旋泵，包括兩個(gè)帶螺紋的轉(zhuǎn)子。其中，端口可定位在距轉(zhuǎn)子入口端的轉(zhuǎn)子前兩圈完整螺紋后。泵可以是Northey(claw)泵或是羅茨泵。
流體是液體或是蒸氣。流體可以是溶劑，當(dāng)使用泵時(shí)，可溶解聚集在轉(zhuǎn)子上的殘留物；或是蒸氣。所述流體包括可與沉積物反應(yīng)的反應(yīng)物。還可以包括鹵族元素。當(dāng)泵用作CVD工藝的部件時(shí)，這樣的流體非常適合用作清洗流體，清除CVD工藝的固體副產(chǎn)品。
因此，本發(fā)明還提出一種泵，包括轉(zhuǎn)子件、定子件和殼體，殼體包圍轉(zhuǎn)子件和定子件，并設(shè)有至少一個(gè)端口，和通過所述至少一個(gè)端口注入流體到殼體內(nèi)的機(jī)構(gòu)，流體包括可與部件表面的微粒反應(yīng)的反應(yīng)物，將所述微粒從泵中排出。
流體包括鹵族元素，比如氟。還可以是氟化氣體，如前氟化氣體，流體的示例包括ClF3，F(xiàn)2和NF3。
本發(fā)明還延伸到化學(xué)氣相沉積裝置，其包括操作腔和前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的用于排空操作腔的泵，使用時(shí)，沉積物是化學(xué)氣相沉積過程的副產(chǎn)品。
根據(jù)本發(fā)明，還提供了一種處理泵內(nèi)沉積物的方法，所述泵包括轉(zhuǎn)子件、定子件和殼體，殼體包圍轉(zhuǎn)子件和定子件，并設(shè)有接受泵送流體的入口，位于入口下游的至少一個(gè)端口，方法包括通過至少一個(gè)端口注入流體到殼體內(nèi)，流體作用于部件表面的沉積物，使沉積物從泵中排出。
本發(fā)明還提供了一種處理泵內(nèi)沉積物的方法，泵包括轉(zhuǎn)子件、定子件和殼體，殼體包圍轉(zhuǎn)子件和定子件，并設(shè)有至少一個(gè)端口，方法包括通過至少一個(gè)端口注入流體到殼體內(nèi)，流體包括可與部件表面的微粒反應(yīng)的反應(yīng)物，使微粒從泵中排出。
泵操作期間，可利用電磁閥以預(yù)定的時(shí)間間隔輸送流體。此外，可進(jìn)行監(jiān)測(cè)步驟，其中，例如，可通過測(cè)量轉(zhuǎn)子速度、能量消耗和氣體體積流量等參數(shù)中的至少一個(gè)對(duì)泵的性能實(shí)施監(jiān)測(cè)?？筛鶕?jù)這些測(cè)量的參數(shù)來確定在泵的內(nèi)部工作表面累積的沉積物的數(shù)量范圍。然后計(jì)算流體流量；該流量足夠補(bǔ)償上面確定的聚集沉積物數(shù)量。接下來，可對(duì)輸送到轉(zhuǎn)子的流體流量進(jìn)行調(diào)節(jié)以反映新計(jì)算出的流量值。
根據(jù)本發(fā)明，還提供了一種處理泵機(jī)構(gòu)內(nèi)沉積物的方法，其引入適合溶解、稀釋、或分離累積在泵的內(nèi)部工作表面的沉積物的流體，該方法包括步驟(a)監(jiān)測(cè)泵的性能，例如，通過記錄轉(zhuǎn)子速度、能量消耗和氣體體積流速等參數(shù)中的至少一個(gè)；(b)根據(jù)監(jiān)測(cè)的性能，計(jì)算沉積物在泵的內(nèi)部工作表面累積的速率；(c)計(jì)算補(bǔ)償步驟(b)確定的累積的沉積物所需的流體流量；和(d)調(diào)節(jié)輸入到轉(zhuǎn)子的的流體流量，以反映步驟(c)的計(jì)算流量值。
當(dāng)輸入流體所述泵不工作時(shí)，例如，當(dāng)出現(xiàn)卡住或需要進(jìn)行清洗時(shí)，在這種情況下，該方法還包括施加扭矩到泵的轉(zhuǎn)子，以克服殘留的阻力，阻力可能由泵的內(nèi)部工作部件上的沉積物造成。在某些條件下，例如，傳輸?shù)牟牧暇哂蟹浅４蟮恼承曰蛳炠|(zhì)時(shí)，通過加溫使粘性降低。該方法還包括引入熱流體到設(shè)置在泵殼體內(nèi)的空腔，空腔包圍轉(zhuǎn)子。加熱空腔內(nèi)的熱流體，使流體和沉積物的溫度上升到足夠高，以便在上面討論的扭矩施加步驟之前消除沉積物。
干燥泵裝置的控制器可包括設(shè)置在計(jì)算機(jī)內(nèi)的微處理器，其可通過計(jì)算機(jī)軟件程序化，當(dāng)安裝到計(jì)算機(jī)時(shí)，可使其執(zhí)行上述方法步驟(a)到(d)。該程序的載體介質(zhì)可選擇但不限于，軟盤、光盤、小型磁盤或數(shù)字磁帶。


現(xiàn)在通過參考附圖對(duì)本發(fā)明的示例進(jìn)行介紹，附圖中圖1是本發(fā)明的螺旋泵的示意圖；圖2是本發(fā)明的雙端螺旋泵的示意圖；圖3是圖1和圖2的泵的端部截面圖；圖4是水套的部分截面詳圖，顯示了注入端口的結(jié)構(gòu)；和圖5顯示了提供流體到泵的系統(tǒng)。
具體實(shí)施例方式
盡管圖1和圖2顯示的泵是螺旋泵，應(yīng)認(rèn)識(shí)到本發(fā)明可應(yīng)用到任何形式的真空泵，尤其是爪形泵。
在圖1的示例中，兩個(gè)轉(zhuǎn)子1設(shè)置在外殼體5中，殼體用作泵的定子。兩個(gè)互相反向轉(zhuǎn)動(dòng)和互相嚙合的轉(zhuǎn)子1設(shè)置成，其中心線互相平行。轉(zhuǎn)子通過軸承10進(jìn)行固定，由馬達(dá)11(見圖2)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。注入端口2沿轉(zhuǎn)子的長(zhǎng)度設(shè)置，在圖1和2的示例中(在圖3中用實(shí)線顯示)，泵內(nèi)側(cè)面上的注入端口2位于轉(zhuǎn)子的嚙合區(qū)的兩側(cè)。但是，端口2可位于圍繞定子5的任何徑向位置。圖3顯示出一些位置。
端口2包括噴嘴，允許注入流體，端口最好沿定子件5的長(zhǎng)度分布，使得溶劑或蒸氣能夠容易地施加到整個(gè)轉(zhuǎn)子?；蛘?，端口的分布使得流體容易集中到可能出現(xiàn)的任何特定問題區(qū)。當(dāng)操作期間注入溶劑時(shí)這點(diǎn)非常重要，以便限制對(duì)泵性能的影響。例如，如果泵的入口3設(shè)置了一個(gè)端口，這將對(duì)通過泵從真空腔(未顯示)輸出副產(chǎn)品的能力有負(fù)面影響。通過使溶劑在螺紋的前幾圈后與轉(zhuǎn)子1接觸，腔中溶劑后向污染的可能性將減少。
此外，當(dāng)引入溶劑到泵的入口區(qū)，入口區(qū)的壓力有增加的危險(xiǎn)，致使溶劑逸出。在必須使溶劑保持液相的操作過程中，引入的溶劑一定要接近泵的排出區(qū)，排出區(qū)的壓力將上升。當(dāng)溶劑通過沿定子長(zhǎng)度的多個(gè)端口2引入時(shí)，由于存在累積在轉(zhuǎn)子1上的殘留物朝排出區(qū)增加的可能性，總的作用是逐漸增加溶劑的數(shù)量。可觀察到某些結(jié)構(gòu)具有其他優(yōu)越性，其中施加液體到轉(zhuǎn)子螺紋的最后數(shù)圈將使得泵的這個(gè)區(qū)域的定子和轉(zhuǎn)子之間間隙密封。因此，氣體的泄漏將基本上消除，并提高了泵的性能。
在某些工藝過程中，不應(yīng)當(dāng)在操作期間引入溶劑，因?yàn)槌鲇谀撤N原因，真空腔中的無用產(chǎn)品集聚在泵的出口，這些材料不應(yīng)當(dāng)受到污染。其他的應(yīng)用有可能不產(chǎn)生保證操作恒定注入溶劑的殘留物水平。在這些情況下，以及在意外關(guān)閉泵使得標(biāo)準(zhǔn)操作，如清洗，不能進(jìn)行時(shí)，操作過程的殘留物隨裝置的溫度下降得到冷卻。在這些情況下，因?yàn)槌练e物累積并變成更有粘性或固化，可能使裝置不能動(dòng)作。在根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)中，注入端口2可以散布的方式引入溶劑到定子腔6，不必付出拆卸裝置的代價(jià)或麻煩。一旦溶劑作用到沉積物，使沉積物軟化或溶解；可通過馬達(dá)或手動(dòng)使軸轉(zhuǎn)動(dòng)來釋放各部件，不必施加過大的力到轉(zhuǎn)子，以免造成可能的損壞。
輸送流體可通過簡(jiǎn)單的端口進(jìn)行，如液體通過殼體上的孔滴入，或設(shè)置噴嘴，流體通過噴嘴注入。可設(shè)置控制系統(tǒng)，使得溶劑輸送反映泵裝置內(nèi)變化的狀態(tài)。例如，在圖5所示的系統(tǒng)中，控制系統(tǒng)20提供清洗流體，一級(jí)一級(jí)地通過管路22到達(dá)泵21的端口2。如24所示，也可提供吹掃氣體系統(tǒng)，以提供吹掃氣體，如氮?dú)猓奖?1。
當(dāng)生產(chǎn)的材料是蠟質(zhì)或多油脂的，需要將兼容的溶劑引入進(jìn)行稀釋/清潔。這些溶劑可以液體或蒸氣形式提供?？墒褂萌魏斡行У那逑唇橘|(zhì)，如碳?xì)浠衔锘?溶解產(chǎn)品的二甲苯，或水基/溶解產(chǎn)品的水，或使用清潔劑。
當(dāng)處理的材料是CVD工藝的副產(chǎn)品時(shí)，清洗溶液可包括氟化氣體。這類清洗氣體的示例包括但不限于ClF3，F(xiàn)2，NF3。氟的高反應(yīng)性意味著這類氣體可與泵裝置上的固體副產(chǎn)品反應(yīng)，以便用廢氣將副產(chǎn)品從泵清洗掉。為了避免泵的內(nèi)部件被氟化氣體的腐蝕，需要仔細(xì)選擇形成泵的部件的材料，比如轉(zhuǎn)子和定子件，和任何將與清洗氣體接觸的彈性密封件。
圖3所示的殼體5設(shè)置成雙層結(jié)構(gòu)，內(nèi)層6和外層9。內(nèi)層6用作泵的定子。空腔7設(shè)置在殼體5的層6，9之間，使得冷卻流體，如水，可圍繞定子循環(huán)，以便從泵的工作部分將熱傳導(dǎo)開?？涨?設(shè)置在轉(zhuǎn)子的整個(gè)長(zhǎng)度上，即在入口區(qū)3及排出區(qū)4。在由于轉(zhuǎn)子冷卻泵不能轉(zhuǎn)動(dòng)的情況下，轉(zhuǎn)子和定子之間表面出現(xiàn)固化的殘留物，可對(duì)殼體5的空腔7中的冷卻液體加熱，提高轉(zhuǎn)子1的溫度。這可增強(qiáng)殘留物的柔性，幫助釋放裝置。殼體5還設(shè)有穿過空腔7的實(shí)心材料柱8，以便提供形成注入端口2的區(qū)域。
本發(fā)明不限于螺旋泵，可容易地應(yīng)用于其他類型的泵，比如Northey(爪形)泵或羅茨泵。
總之，泵包括至少一個(gè)轉(zhuǎn)子1、定子5和殼體5，殼體5包圍轉(zhuǎn)子1。殼體5包括至少一個(gè)端口2，其延伸通過殼體5，以直接輸送流體到至少一個(gè)轉(zhuǎn)子1的表面。
應(yīng)當(dāng)知道前面顯示的只是本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施例，在本發(fā)明的確定范圍內(nèi)，毫無疑問本發(fā)明所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可進(jìn)行其他的實(shí)施例，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.一種泵，包括轉(zhuǎn)子件、定子件和殼體，所述殼體包圍所述轉(zhuǎn)子件和定子件，并設(shè)有可接受泵送流體的入口，位于所述入口下游的至少一個(gè)端口，和通過所述至少一個(gè)端口注入流體到所述殼體內(nèi)的機(jī)構(gòu)，可使流體作用于所述部件表面的沉積物，將所述沉積物從泵中排出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵，其特征在于，所述泵包括多個(gè)所述端口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的泵，其特征在于，所述端口沿徑向位于所述殼體周圍。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的泵，其特征在于，所述端口沿所述轉(zhuǎn)子件的長(zhǎng)度設(shè)置。
5.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的泵，其特征在于，至少一個(gè)所述端口包括噴嘴，使用時(shí)，流體通過噴嘴噴射。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的泵，其特征在于，所述噴嘴整體形成于所述端口內(nèi)。
7.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的泵，其特征在于，所述殼體包括兩層壁，在所述壁的內(nèi)層和外層之間形成空腔，使用時(shí)，流體通過空腔。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的泵，其特征在于，所述殼體的內(nèi)層提供所述定子件。
9.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的泵，其特征在于，所述泵是螺旋泵，包括兩個(gè)帶螺紋的轉(zhuǎn)子件。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的螺旋泵，其特征在于，所述至少一個(gè)端口位于距所述入口的所述轉(zhuǎn)子件的前兩整圈螺紋處。
11.根據(jù)權(quán)利要求1到8中任一項(xiàng)所述的泵，其特征在于，所述泵是爪式泵。
12.根據(jù)權(quán)利要求1到8中任一項(xiàng)所述的泵，其特征在于，所述泵是羅茨泵。
13.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的泵，其特征在于，所述流體是液體。
14.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的泵，其特征在于，所述流體是溶劑，當(dāng)泵使用時(shí)，可溶解聚集到所述轉(zhuǎn)子件的微粒。
15.根據(jù)權(quán)利要求1到12中任一項(xiàng)所述的泵，其特征在于，所述流體是氣體。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的泵，其特征在于，所述流體是蒸氣。
17.根據(jù)權(quán)利要求1到15中任一項(xiàng)所述的泵，其特征在于，所述流體包括可與所述微粒反應(yīng)的反應(yīng)物。
18.一種泵，包括轉(zhuǎn)子件、定子件和殼體，所述殼體包圍所述轉(zhuǎn)子件和定子件，并設(shè)有至少一個(gè)端口，和通過所述至少一個(gè)端口注入流體到所述殼體內(nèi)的機(jī)構(gòu)，流體包括可與所述部件表面的微粒反應(yīng)的反應(yīng)物，將所述微粒從泵中排出。
19.根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的泵，其特征在于，所述流體包括鹵族元素，比如氟。
20.根據(jù)權(quán)利要求17到19中任一項(xiàng)所述的泵，其特征在于，所述流體包括ClF3，F(xiàn)2和NF3中的一種。
21.一種化學(xué)氣相沉積裝置，其包括操作腔和前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的用于排空所述操作腔的泵，使用時(shí)，所述沉積物是化學(xué)氣相沉積過程的副產(chǎn)品。
22.一種處理泵內(nèi)沉積物的方法，所述泵包括轉(zhuǎn)子件、定子件和殼體，所述殼體包圍所述轉(zhuǎn)子件和定子件，并設(shè)有接受泵送流體的入口，和位于所述入口下游的至少一個(gè)端口，所述方法包括通過所述至少一個(gè)端口注入流體到所述殼體內(nèi)，使流體作用于所述部件表面的沉積物，將所述沉積物從泵中排出。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其特征在于，流體從多個(gè)所述端口注入。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，其特征在于，所述端口沿徑向位于所述殼體周圍。
25.根據(jù)權(quán)利要求22到24中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述端口沿所述轉(zhuǎn)子件的長(zhǎng)度設(shè)置。
26.根據(jù)權(quán)利要求22到25中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述流體是液體。
27.根據(jù)權(quán)利要求22到26中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述流體是溶劑，當(dāng)泵使用時(shí)，可溶解聚集在所述轉(zhuǎn)子件的微粒。
28.根據(jù)權(quán)利要求22到25中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述流體是氣體。
29.根據(jù)權(quán)利要求26所述的方法，其特征在于，所述流體是蒸氣。
30.根據(jù)權(quán)利要求22到29中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述流體包括與微粒反應(yīng)的反應(yīng)物。
31.一種處理泵內(nèi)沉積物的方法，所述泵包括轉(zhuǎn)子件、定子件和殼體，所述殼體包圍所述轉(zhuǎn)子件和定子件，并設(shè)有至少一個(gè)端口，所述方法包括通過所述至少一個(gè)端口注入流體到所述殼體，所述流體包括可與所述部件表面的微粒反應(yīng)的反應(yīng)物，將所述微粒從泵中排出。
32.根據(jù)權(quán)利要求30或31所述的泵，其特征在于，所述流體包括鹵族，比如氟。
33.根據(jù)權(quán)利要求30到32中任一項(xiàng)所述的泵，其特征在于，所述流體可包括ClF3，F(xiàn)2和NF3中的一種。
34.根據(jù)權(quán)利要求22到33中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述流體在操作時(shí)以預(yù)定的間隔時(shí)間注入。
35.根據(jù)權(quán)利要求22到34中任一項(xiàng)所述的方法，所述方法包括步驟(a)監(jiān)測(cè)泵的性能；(b)根據(jù)監(jiān)測(cè)的性能確定在內(nèi)部件表面累積的沉積物；(c)計(jì)算補(bǔ)償步驟(b)確定的累積的沉積物所需的流體流量；和(d)調(diào)節(jié)注入的流體流量以反映步驟(c)的計(jì)算流量。
36.一種處理泵機(jī)構(gòu)內(nèi)沉積物的方法，其引入能夠溶解、稀釋、或分離累積在所述泵的內(nèi)部工作表面的沉積物的溶液，所述方法包括步驟(a)監(jiān)測(cè)泵的性能；(b)根據(jù)監(jiān)測(cè)的性能確定在內(nèi)部件表面累積的沉積物；(c)計(jì)算補(bǔ)償步驟(b)確定的累積的沉積物所需的流體流量；和(d)調(diào)節(jié)輸入到所述轉(zhuǎn)子的的流體流量，以反映步驟(c)的計(jì)算流量。
37.根據(jù)前面權(quán)利要求35或36所述的方法，其特征在于，當(dāng)輸入流體時(shí)所述泵不工作的話，所述方法包括步驟施加扭矩到泵的轉(zhuǎn)子，以克服殘留的阻力。
38.根據(jù)權(quán)利要求37所述的方法，所述方法包括步驟引入熱流體到設(shè)置在泵殼體內(nèi)的空腔，所述空腔圍繞所述轉(zhuǎn)子，加熱空腔內(nèi)的熱流體，使流體和沉積物的溫度足夠高，以便在扭矩施加步驟之前消除所述沉積物。
39.一種計(jì)算機(jī)程序，當(dāng)安裝到計(jì)算機(jī)時(shí)，計(jì)算機(jī)可執(zhí)行權(quán)利要求22到38中任一項(xiàng)所述的方法。
40.一種計(jì)算機(jī)可讀的載體介質(zhì)，其儲(chǔ)存有如權(quán)利要求39所述的計(jì)算機(jī)程序。
41.根據(jù)權(quán)利要求40所述的計(jì)算機(jī)可讀的載體介質(zhì)，其特征在于，可從軟盤、光盤、小型磁盤或數(shù)字磁帶中選擇所述介質(zhì)。
全文摘要
一種泵，包括至少一個(gè)轉(zhuǎn)子(1)、定子(5)和殼體(5)，轉(zhuǎn)子(1)封閉在殼體(5)內(nèi)。殼體(5)包括至少一個(gè)通過殼體(5)延伸的端口(2)，使得流體直接輸送到至少一個(gè)轉(zhuǎn)子(1)的表面。
文檔編號(hào)F04C29/00GK1703583SQ200380101214
公開日2005年11月30日 申請(qǐng)日期2003年10月6日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月14日
發(fā)明者M·C·霍普, C·M·L·滕納, F·J·昂德伍德 申請(qǐng)人:英國(guó)氧氣集團(tuán)有限公司