一種鋼包銅飛靶的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種鋼包銅飛靶,包括內(nèi)層鋼體、中層銅和外層鋼,中層銅包裹在內(nèi)層鋼體外壁上,外層鋼為呈鏡像分布的兩片L形狀的鋼片組成,兩片鋼片卡接在中層銅的外壁上,將中層銅密封在其的內(nèi)部,鋼片、中層銅、內(nèi)層鋼體三者通過固定螺栓緊固在一起。本實(shí)用新型的鋼包銅飛靶,為三層結(jié)構(gòu)復(fù)合式飛靶,在外層純銅的再次包裹一層耐腐蝕材料SUS316鋼制成的外層鋼,有效防止被酸性藥水腐蝕變形,降低因腐蝕銅排更換帶來的成本支出,而且,不影響飛靶導(dǎo)電性,產(chǎn)品鍍銅厚度得到有效保證,結(jié)構(gòu)簡單,容易實(shí)現(xiàn),具有良好的應(yīng)用前景。
【專利說明】一種鋼包銅飛靶
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種鋼包銅飛靶,屬于PCB生產(chǎn)制造【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]電鍍二次銅制程,目前廣泛使用在垂直龍門型電鍍?cè)O(shè)備進(jìn)行圖形電鍍上,由整流機(jī)、陽極、陰極等設(shè)備構(gòu)成電鍍回路。飛靶作為陰極的最重要組成部分,如圖1所示,一般采用外層純銅、內(nèi)層鋼雙層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)構(gòu)成,在實(shí)際使用中存在缺陷,外層純銅一次掛架會(huì)直接暴露在空氣之中,因槽液蒸發(fā)、鼓風(fēng)等問題使電鍍PH = I?2的酸性藥水飛濺至飛靶上,長時(shí)間接觸導(dǎo)致外層純銅被腐蝕變形,使設(shè)備完整性及結(jié)合緊密型受到影響,導(dǎo)致電鍍過程中電流分布不均勻,產(chǎn)品有鍍銅偏厚或偏薄風(fēng)險(xiǎn),影響產(chǎn)品質(zhì)量。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題是傳統(tǒng)的電鍍二次銅制程中飛靶,外層的純銅容易被腐蝕變形,導(dǎo)致電鍍過程中電流分布不均勻,產(chǎn)品有鍍銅偏厚或偏薄風(fēng)險(xiǎn),影響產(chǎn)品質(zhì)量的問題。本實(shí)用新型的鋼包銅飛靶,有效防止被酸性藥水腐蝕變形,降低因腐蝕銅排更換帶來的成本支出,而且,不影響飛靶導(dǎo)電性,產(chǎn)品鍍銅厚度得到有效保證,結(jié)構(gòu)簡單,容易實(shí)現(xiàn),具有良好的應(yīng)用前景。
[0004]為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:
[0005]一種鋼包銅飛靶,其特征在于:包括內(nèi)層鋼體、中層銅和外層鋼,所述中層銅包裹在內(nèi)層鋼體外壁上,所述外層鋼為呈鏡像分布的兩片L形狀的鋼片組成,兩片鋼片卡接在中層銅的外壁上,將中層銅密封在其的內(nèi)部,所述鋼片、中層銅、內(nèi)層鋼體三者通過固定螺栓緊固在一起。
[0006]前述的一種鋼包銅飛靶,其特征在于:所述內(nèi)層鋼體厚度為中層銅厚度的兩倍,所述中層銅厚度為鋼片厚度的兩倍。
[0007]前述的一種鋼包銅飛靶,其特征在于:所述兩片鋼片的接觸處通過焊接膠進(jìn)行密封。
[0008]前述的一種鋼包銅飛靶,其特征在于:所述外層鋼采用SUS316鋼材料制成。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型的鋼包銅飛靶,為三層結(jié)構(gòu)復(fù)合式飛靶,在外層純銅的再次包裹一層耐腐蝕材料SUS316鋼制成的外層鋼,有效防止被酸性藥水腐蝕變形,降低因腐蝕銅排更換帶來的成本支出,而且,不影響飛靶導(dǎo)電性,產(chǎn)品鍍銅厚度得到有效保證,結(jié)構(gòu)簡單,容易實(shí)現(xiàn),具有良好的應(yīng)用前景。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010]圖1是傳統(tǒng)的飛靶的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2是本實(shí)用新型的鋼包銅飛靶的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面將結(jié)合說明書附圖,對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。
[0013]如圖2所示,一種鋼包銅飛靶,包括內(nèi)層鋼體1、中層銅2和外層鋼3,構(gòu)成三層結(jié)構(gòu)復(fù)合式的飛靶,中層銅2包裹在內(nèi)層鋼體I外壁上,外層鋼3為呈鏡像分布的兩片L形狀的鋼片組成,兩片鋼片卡接在中層銅2的外壁上,將中層銅2密封在其的內(nèi)部,兩片鋼片的接觸處通過焊接膠進(jìn)行密封,密封效果好,將中層銅2密封住,防止因酸性藥水腐蝕飛靶的中層銅2,鋼片、中層銅2、內(nèi)層鋼體I三者通過固定螺栓緊固在一起,固定牢固,導(dǎo)電性佳、鍍銅均勻。
[0014]本實(shí)用新型的所述內(nèi)層鋼體I厚度為中層銅2厚度的兩倍,中層銅2厚度為鋼片厚度的兩倍,經(jīng)生產(chǎn)測(cè)試,此三層結(jié)構(gòu)復(fù)合式的飛靶,導(dǎo)電性佳,電鍍效率90%以上,符合電鍍生產(chǎn)設(shè)備需求,產(chǎn)品鍍銅厚度得到有效保證。
[0015]所述外層鋼3采用SUS316鋼材料制成,耐腐蝕性強(qiáng),尤其對(duì)酸性藥水,有效避免了電鍍酸性藥水的腐蝕,降低了成本,也改善了產(chǎn)品質(zhì)量。
[0016]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制,上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理,在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下,本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【權(quán)利要求】
1.一種鋼包銅飛靶,其特征在于:包括內(nèi)層鋼體(1)、中層銅(2)和外層鋼(3),所述中層銅(2)包裹在內(nèi)層鋼體(I)外壁上,所述外層鋼(3)為呈鏡像分布的兩片L形狀的鋼片組成,兩片鋼片卡接在中層銅(2)的外壁上,將中層銅(2)密封在其的內(nèi)部,所述鋼片、中層銅(2)、內(nèi)層鋼體(I)三者通過固定螺栓緊固在一起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋼包銅飛靶,其特征在于:所述內(nèi)層鋼體(I)厚度為中層銅(2)厚度的兩倍,所述中層銅(2)厚度為鋼片厚度的兩倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋼包銅飛靶,其特征在于:所述兩片鋼片的接觸處通過焊接膠進(jìn)行密封。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋼包銅飛靶,其特征在于:所述外層鋼(3)采用SUS316鋼材料制成。
【文檔編號(hào)】C25D17/06GK204251744SQ201420731264
【公開日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2014年11月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月26日
【發(fā)明者】楊長基 申請(qǐng)人:常熟金像電子有限公司