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一種硅片切割液及其制備方法

文檔序號(hào):5121795閱讀:271來源:國知局
一種硅片切割液及其制備方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于光電材料新能源【技術(shù)領(lǐng)域】,涉及一種硅片切割液及其制備方法。為了克服現(xiàn)有硅片切割液成本高昂,且對(duì)碳化硅微粉的分散和再分散能力較差的缺點(diǎn),提供一種硅片切割液,包含76~80Wt%的二乙二醇,15~17Wt%的聚乙二醇、2~3.5Wt%的丙三醇、0.5~1.5Wt%的脂肪醇聚氧乙烯醚、0.7~1.2Wt%的去離子水、0.2~0.5Wt%的消泡劑、0.2~0.5Wt%的分散劑及0.1~0.3Wt%的抗氧劑。由于其主要原料為二乙二醇,制備工藝簡(jiǎn)單,易于操作,成本低廉,有效提高碳化硅微粉的分散性和再分散性,確保了漿料的穩(wěn)定性和持久性,且具有很好的潤滑效果,有效降低切割時(shí)的表面損失,提高切割良率。本發(fā)明適用于硅片切割工藝。
【專利說明】一種硅片切割液及其制備方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于光電材料新能源【技術(shù)領(lǐng)域】,具體涉及一種硅片切割液及其制備方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 在光伏太陽能硅片切割過程中,硅片切割液作為硅片切割過程中必須使用的一種 輔料耗材產(chǎn)品,其用量隨著光伏太陽能行業(yè)以及中國的硅片加工行業(yè)的壯大而擴(kuò)展。硅片 切割時(shí)一般是使用高硬度、粒度小且粒徑分布集中的碳化硅微粉作為主要的切削介質(zhì),為 使得碳化硅微粉在切削過程中分散均勻,同時(shí)及時(shí)帶走切削過程中產(chǎn)生的摩擦熱,通常需 要將碳化硅微粉按照一定比例加入到硅片切割液中,并充分分散,配置成均勻穩(wěn)定的切割 砂漿后再用于硅片切割。然而,現(xiàn)有的硅片切割液主要采用聚乙二醇,其成本高昂且對(duì)碳化 硅微粉的分散和再分散能力較差,在長(zhǎng)時(shí)間放置后,會(huì)出現(xiàn)碳化硅微粉沉積團(tuán)聚的現(xiàn)象,即 使再次攪拌,也無法使得碳化硅微粉再次分散在切割液中。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是為了克服上述問題,提供一種硅片切割液及其制備 方法,該硅片切割液制造成本低廉,對(duì)碳化硅微粉的分散和再分散能力較好,有效降低切割 成本,提高切割效果。
[0004] 本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種硅片切割液,包含76?80Wt% 的二乙二醇,15?17Wt%的聚乙二醇、2?3. 5Wt%的丙三醇、0. 5?I. 5Wt%的脂肪醇聚氧 乙烯醚、0. 7?I. 2Wt%的去離子水、0. 2?0. 5Wt%的消泡劑、0. 2?0. 5Wt%的分散劑及 0· 1?0· 3Wt%的抗氧劑。
[0005] 優(yōu)選的,該切割液包含77Wt %的二乙二醇、17Wt %的聚乙二醇、3Wt %的丙三醇、 IWt %的脂肪醇聚氧乙烯醚、IWt %的去離子水、0. 4Wt %的消泡劑、0. 35Wt %的分散劑及 0. 25Wt%的抗氧劑。
[0006] 具體的,所述分散劑為聚丙烯酸鈉。
[0007] 具體的,所述消泡劑為聚醚。
[0008] 進(jìn)一步的,所述去離子水的電導(dǎo)率小于I. 5US/MM。
[0009] 優(yōu)選的,所述抗氧劑為抗氧劑264。
[0010] 為了制備上述硅片切割液,所采用的一種硅片切割液的制備方法,包括以下步 驟:
[0011] A.將二乙二醇、聚乙二醇、丙三醇按照質(zhì)量百分比為(76?80) : (15?17) : (2? 3.5)的比例混合,并在室溫下將其攪拌均勻;
[0012] B.將抗氧劑、脂肪醇聚氧乙烯醚、去離子水按照質(zhì)量百分比為(0.1? 0. 3) : (0. 5 ?1. 5) : (0. 7 ?1. 2)的比例混合;
[0013] C.將步驟B形成的混合液加入到步驟A形成的混合液中,形成基礎(chǔ)切割液;
[0014] D.在步驟C中的基礎(chǔ)切割液中添加一定比例的消泡劑及分散劑,并攪拌均勾,形 成硅片切割液。
[0015] 優(yōu)選的,步驟A中二乙二醇、聚乙二醇、丙三醇的質(zhì)量百分比具體為77:17:3。
[0016] 優(yōu)選的,步驟B中抗氧劑、脂肪醇聚氧乙烯醚、去離子水的質(zhì)量百分比具體為 0. 25:1:1 〇
[0017] 具體的,步驟D中的消泡劑為聚醚,其質(zhì)量百分比為0. 2?0. 5% ;分散劑為聚丙 烯酸鈉,其質(zhì)量百分比為〇. 2?0. 5%。
[0018] 本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明中的硅片切割液,其主要原料為二乙二醇,制備工藝 簡(jiǎn)單,易于操作,成本低廉,有效提高碳化硅微粉的分散性和再分散性,確保了漿料的穩(wěn)定 性和持久性,且具有很好的潤滑效果,有效降低切割時(shí)的表面損失,提高切割良率。本發(fā)明 適用于硅片切割工藝。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019] 圖1為本發(fā)明中硅片切割液的制備方法流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0020] 下面結(jié)合附圖及實(shí)施例,詳細(xì)描述本發(fā)明的技術(shù)方案。
[0021] 本發(fā)明中的一種硅片切割液,包含76?80Wt%的二乙二醇,15?17Wt%的聚乙 二醇、2?3. 5Wt%的丙三醇、0. 5?I. 5Wt%的脂肪醇聚氧乙烯醚、0. 7?I. 2Wt%的去離子 水、0. 2?0. 5Wt%的消泡劑、0. 2?0. 5Wt%的分散劑及0. 1?0. 3Wt%的抗氧劑。Wt%即 質(zhì)量百分比。
[0022] 實(shí)施例1
[0023] 本例中的硅片切割液,其消泡劑采用聚醚,分散劑采用聚丙烯酸鈉,抗氧劑采用抗 氧劑264,組分如表1所示:
[0024] 表1實(shí)施例1的組分表
[0025]

【權(quán)利要求】
1. 一種硅片切割液,其特征在于,包含76?80Wt%的二乙二醇,15?17Wt%的聚乙 二醇、2?3. 5Wt%的丙三醇、0. 5?1. 5Wt%的脂肪醇聚氧乙烯醚、0. 7?1. 2Wt%的去離子 水、0. 2?0. 5Wt%的消泡劑、0. 2?0. 5Wt%的分散劑及0. 1?0. 3Wt%的抗氧劑。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種硅片切割液,其特征在于,包含77Wt%的二乙二醇、17Wt% 的聚乙二醇、3Wt %的丙三醇、1 Wt %的脂肪醇聚氧乙烯醚、1 Wt %的去離子水、0. 4Wt %的消 泡劑、0. 35Wt%的分散劑及0. 25Wt%的抗氧劑。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的一種硅片切割液,其特征在于,所述分散劑為聚丙烯酸鈉。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的一種硅片切割液,其特征在于,所述消泡劑為聚醚。
5. 如權(quán)利要求1或2所述的一種硅片切割液,其特征在于,所述去離子水的電導(dǎo)率小于 1.5US/MM。
6. 如權(quán)利要求1或2所述的一種硅片切割液,其特征在于,所述抗氧劑為抗氧劑264。
7. -種硅片切割液的制備方法,其特征在于,包括以下步驟: A. 將二乙二醇、聚乙二醇、丙三醇按照質(zhì)量百分比為(76?80) : (15?17) : (2?3. 5) 的比例混合,并在室溫下將其攪拌均勻; B. 將抗氧劑、脂肪醇聚氧乙烯醚、去離子水按照質(zhì)量百分比為(0. 1?0. 3) : (0. 5? 1. 5) : (0. 7?1. 2)的比例混合; C. 將步驟B形成的混合液加入到步驟A形成的混合液中,形成基礎(chǔ)切割液; D. 在步驟C中的基礎(chǔ)切割液中添加一定比例的消泡劑及分散劑,并攪拌均勻,形成硅 片切割液。
8. 如權(quán)利要求7所述的一種硅片切割液的制備方法,其特征在于,步驟A中二乙二醇、 聚乙二醇、丙三醇的質(zhì)量百分比具體為77:17:3。
9. 如權(quán)利要求8所述的一種硅片切割液的制備方法,其特征在于,步驟B中抗氧劑、月旨 肪醇聚氧乙烯醚、去離子水的質(zhì)量百分比具體為0. 25:1: 1。
10. 如權(quán)利要求9所述的一種硅片切割液的制備方法,其特征在于,步驟D中的消泡劑 為聚醚,其質(zhì)量百分比為〇. 2?0. 5%;分散劑為聚丙烯酸鈉,其質(zhì)量百分比為0. 2?0. 5%。
【文檔編號(hào)】C10M161/00GK104498142SQ201410707054
【公開日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2014年11月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月27日
【發(fā)明者】陳五奎, 李軍, 耿榮軍, 徐文州, 陳磊, 馮加保 申請(qǐng)人:樂山新天源太陽能科技有限公司
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