專利名稱：熱塑性材料制成的容器的處理機(jī)器的制作方法
熱塑性材料制成的容器的處理機(jī)器本發(fā)明涉及一種對熱塑性材料制成的瓶子類容器的處理機(jī)器的改善，尤其是涉及 能夠在這些容器表面沉積一種能特別改善它們的滲透性的保護(hù)層的機(jī)器的改善。比如，用PET制成的瓶子對氣體的交換特別敏感，眾所周知，如在文獻(xiàn)W000/66804 中所描述的，通過沉積一層能夠?qū)怏w阻擋的保護(hù)層來處理這些瓶子的內(nèi)壁。這種保護(hù)層 降低了 PET的滲透性，因此能夠改善所述瓶子的壽命。這種處理包括在容器中，在真空下注入小量的一種乙炔類或其他前驅(qū)氣體，如乙 烯或一種氦、氧和HDMS的混合物，它們分解成一種成等離子體狀態(tài)的微粒云，這種等離子 體由微波能量產(chǎn)生且該等離子體包含的碳微粒沉積在內(nèi)壁，比如容器的內(nèi)壁上。一經(jīng)處理 結(jié)束，在處理區(qū)域中便建立起一個大氣壓，而被處理的容器便撤出。未被沉積在容器壁上的殘留碳微粒形成一種塵埃，它們很可能污染機(jī)器的不同通 路，對測量儀器，比如控制真空的壓力傳感器以及控制流量和前驅(qū)氣體壓力的壓力流量調(diào) 節(jié)器，產(chǎn)生影響。壓力的周期變化產(chǎn)生碳?xì)堄辔⒘５倪\動，該運動位于容器處理區(qū)域中，但也位于 與測量儀器相連的通路中。殘余微粒在通路中來回運動；在回復(fù)到被處理區(qū)域的大氣壓且在建立真空時，先 于對一新的瓶子進(jìn)行處理操作，這些殘余微粒就朝著測量儀器移動；在兩個運動之間，所述 微粒停滯在所述的處理區(qū)域及在與該區(qū)域相連的不同通路中。這些殘余微粒沾污測量儀器尤其是沾污那些保護(hù)儀器的過濾器，而這種沾污在將 儀器連接到處理區(qū)域的通路中產(chǎn)生負(fù)載失去的變化，這樣便引起指示值的漂移及誤差。通常，為克服這一對過濾器的污染問題，建立一個干預(yù)程序來有規(guī)律地，比如每隔 五天，對它們進(jìn)行清潔處理；當(dāng)然這種程序考慮了被機(jī)器處理的容器數(shù)量，但還呈現(xiàn)一種經(jīng) 驗的特點。此外，在實施這些干預(yù)程序的清除時還伴隨有機(jī)器的完全停機(jī)；它們極大地干擾 了機(jī)器的生產(chǎn)。本發(fā)明提出一種對通路污染和測量儀器保護(hù)過濾器的沾污的相關(guān)問題的解決方 案；該方案主要能取消干預(yù)程序，這些程序具有如停機(jī)以及停止容器尤其是瓶子的生產(chǎn)的 缺陷。本發(fā)明提出一種完善這類對瓶子進(jìn)行處理的機(jī)器，通過比如在它們的內(nèi)壁上迂回 沉積碳來改善它們的滲透性。本發(fā)明的這一改善由一種布置組成，面對這種由于碳的殘余微粒的循環(huán)產(chǎn)生的污 染，它能夠保護(hù)比如像壓力傳感器和/或壓力流量調(diào)節(jié)器那樣的測量儀器，同時解決負(fù)載 失去的變化問題。這種改善能夠避免測量誤差和漂移的經(jīng)典問題；它尤其能夠保證長期的壓力測量 和流量測量的重復(fù)性，它們各自影響控制真空的壓力傳感器的電平以及控制前驅(qū)氣體導(dǎo)入 的流量和壓力的流量計調(diào)節(jié)器的電平。本發(fā)明的機(jī)器包括至少一個壓力傳感器形式和/或具有壓力調(diào)節(jié)功能的流量計形式的測量儀器，它通過一個合適的通路與容器的真空處理區(qū)域相連通，在區(qū)域中通過微 波輻射，形成由乙炔類前驅(qū)氣體發(fā)展成的等離子體形式的微粒，所述乙炔類前驅(qū)氣體通過 一個注射器引入所述容器，所述測量儀器經(jīng)受一個連續(xù)周期的壓力變化，范圍從對應(yīng)于容 器處理階段的準(zhǔn)真空的值，到對應(yīng)于撤出已處理容器并導(dǎo)入新容器的階段的大氣壓力的值。所述機(jī)器在將所述容器處理區(qū)域與所述測量儀器連接的通路上包括一恒定的無 負(fù)載型的過濾裝置，該過濾裝置由一回旋過濾器組成，它包括一沉積室，配置在一離心切向 管道和一泄出管道之間，所述回旋過濾器用其離心切向管道與伸展至實施對上述容器處理 的區(qū)域的通路段連接，以及用其泄出管道與伸展至測量儀器的通路段連接，其方式為能夠 一方面在所述回旋過濾器中上升流通過期間自動阻止殘余微粒并暫時保留住該殘余微粒 在后者的所述沉積室中，另一方面，通過回流來對沉積室自動進(jìn)行清掃，回流的氣流能夠激 勵在所述沉積室中的所述殘余微粒并將它們朝向外部排出。在一個大規(guī)模工作的容器處理機(jī)器上，流經(jīng)回旋過濾器的氣流和回流能夠避免沉 積室的飽和；它保持工作正常，保證無需維護(hù)的功能。本發(fā)明的機(jī)器還包括一通路，它的一部分位于回旋過濾器的下游，即位于后者和 測量儀器之間，其能夠接受氣體等，至于體積，它足以在所述回旋過濾器的沉積室中建立顯 著的回流，以激勵和自動排出停留在所述室中的殘余微粒。根據(jù)本發(fā)明的另一配置，該機(jī)器包括一通路，它的一部分位于回旋過濾器的上游， 在后者和處理區(qū)域之間，能夠接受氣體，至于體積，它小于下游段的體積，能將儲存在所述 回旋過濾器處的全部微粒通過位于上游的段朝向所述處理區(qū)域傳遞。根據(jù)本發(fā)明的機(jī)器還包括一由壓力傳感器構(gòu)成的測量儀器，它通過一通路連接到 一管路上，該管路一方面用作在容器中建立真空，另一方面在對容器處理之后重建大氣壓 力，該通路在其長度方向包括一回旋過濾器。根據(jù)本發(fā)明的另一配置，機(jī)器包括一由具有壓力調(diào)節(jié)功能的流量計構(gòu)成的測量儀 器，所述流量計通過一合適的通路為注射器供氣，該注射器把前驅(qū)氣體引進(jìn)到待處理的容 器中，所述通路在其長度方向上包括一回旋過濾器。根據(jù)本發(fā)明的機(jī)器還包括至少一個回旋過濾器，該回旋過濾器包括-一在垂直軸上為圓柱形的上體，-一管道，切向配置在所述圓柱體的上部，且與垂直于后者的軸的一軸同心，所述 管道與容器的處理區(qū)域連通，且能夠?qū)崿F(xiàn)對殘余微粒的離心作用，-一倒錐形的沉積室，配置在所述圓柱體下，用于重新接收所述殘余微粒，-一泄出通道，潛入所述圓柱體的中心，所述泄出通路朝對應(yīng)的測量儀器的方向延 伸至所述圓柱體之下。本發(fā)明的機(jī)器還包括一回旋過濾器，其泄出管道延伸到圓柱體中，管道的延伸高 度約為圓柱體直徑的2/3。本發(fā)明的機(jī)器還包括一回旋過濾器，它的沉積室的錐形部分在高度上延伸，該高 度對應(yīng)于圓柱體的工作圓柱壁的高度和該圓柱體的直徑。本發(fā)明還涉及一種過濾方法，它能保護(hù)至少一測量儀器來控制機(jī)器中操作的容器 的處理過程的參數(shù)，該機(jī)器在處理區(qū)域中，能夠在所述容器的壁上，通過用前驅(qū)氣體形成的等離子體，實現(xiàn)在所述容器上沉積碳微粒的保護(hù)層，所述測量儀器承受連續(xù)周期的壓力變 化，范圍從對應(yīng)于在容器處理階段的真空值，到在排出處理的容器并放置一新的容器期間 的大氣壓的值，所述方法在于-通過在一個合適的回旋過濾式的裝置中的氣旋效應(yīng)，利用上述微粒的離心作用， 將殘余微粒停止在待處理區(qū)域和所述儀器之間，氣流激勵所述離心作用，且利用離心作用 工作，該氣流在重建大氣壓力期間運動，-在原位將所述停止的微粒暫時儲存在一個沉積室中，-利用通過所述回旋過濾器的回流激起的氣流，在載有微粒的區(qū)域?qū)嵤┱婵掌陂g， 激勵被暫時儲存在所述沉積室中的所述殘余微粒，所述氣流的力度和數(shù)量準(zhǔn)備充分，以驅(qū) 動最近儲存的殘余微粒并用于將其排出。但本發(fā)明將在以下的敘述和附圖的幫助下進(jìn)一步作詳細(xì)說明，附圖中

圖1為一種處理一個瓶子內(nèi)表面的機(jī)器的局部示意圖，示出兩個測量儀器的保護(hù) 裝置，連接到實施處理的區(qū)域，在該區(qū)域中循環(huán)有載有微粒的氣體；圖2為過濾裝置的垂直剖視示意圖，該過濾裝置為旋流過濾器形式，將其集成在 每個測量儀器的固有的保護(hù)裝置上；圖3為沿圖2的3-3所作的剖視圖。圖1所示的處理機(jī)器能夠在在一個比如瓶子(1)的內(nèi)表面上沉積一保護(hù)層。該瓶子⑴配置在一密閉的圍體(2)中，所述圍體(2)本身配置在一室⑶中，它 起著微波腔的作用。一發(fā)生器(4)連接到室(3)，用于提供具有合適微波的輻射。限制圍體O)的壁(5)由一透輻射材料，如玻璃或石英組成。瓶子(1)以密閉方式固定到一種頂蓋(6)上，比如該頂蓋能夠保證同時密閉圍體 ⑵的密封性。在瓶子(1)的內(nèi)表面上沉積一保護(hù)層的處理在很小壓力的真空下進(jìn)行，在瓶子中 和瓶子外部都一樣，亦即在圍體O)中。真空在瓶子(1)中實現(xiàn)，約有0.05mbar的壓力，用一管路(11)實施，連接比如在 頂蓋(6)上。同樣，圍體(2)包括一管路(12)，它能夠?qū)崿F(xiàn)一相對真空，比瓶子(1)的真空稍低； 該真空比如約為50mbar。管路(11)包括一個三通型的電動閥門(13)，以在圍體⑵中實現(xiàn)大氣壓、真空或 在處理進(jìn)行期間保持真空。同樣，管路(12)包括一個三通型的電動閥門(14)，以在圍體⑵中實現(xiàn)大氣壓、真 空或在處理進(jìn)行期間保持真空。將前驅(qū)氣體引入瓶子(1)是用一器件來實現(xiàn)的，該器件組成前驅(qū)氣體的流量和壓 力的測量儀器(16)。該儀器(16)由一流量計(17)構(gòu)成，它還起著壓力調(diào)節(jié)器的功能。前 驅(qū)氣體的引入用一合適的通路(17’ )來實現(xiàn)，所述前驅(qū)氣體用一注射器(18)引入瓶子中。 該注射器(18)從頂蓋(6)延伸到瓶子(1)內(nèi)；它延長了通路(17’)。當(dāng)通過管路(11)在瓶子(1)中建立真空，且因此也在通路(17’ )中建立真空時， 前驅(qū)氣體便在流量計(17)的控制下被引入由所述通路(17’)組成的區(qū)域中，然后引入到注 射器(18)和瓶子(1)中，無需顯著地調(diào)節(jié)支配在所述瓶子(1)中的壓力。
包含前驅(qū)氣體的區(qū)域整體中的壓力，亦即在瓶子(1)中，在管路(11)中和在通路 (17’)中的壓力由另一測量儀器(16’)控制，該測量儀器由一壓力傳感器(19)組成。該壓 力傳感器(19)比如用一通路(19’ )連接到管路(11)，且該通路(19’ )明顯地也承受壓力 變化的周期影響。在瓶子處理操作之后，每個通路(17’，19’ )循環(huán)載有殘余微粒氣體的氣流和回 流，在該氣體的懸浮下，所述殘余微粒組成一種污染塵埃，它能干擾測量儀器(16，16’)，即 流量計(17)和壓力傳感器(19)。為保護(hù)該流量計(17)和該壓力傳感器(19)，將過濾裝置各自安裝在通路(17’)和 (19’)的長度上，尤其是在處理操作之后恢復(fù)到大氣壓時和在設(shè)置到真空時，安裝有阻止被 氣流傳送的殘余微粒的裝置，該氣流有流體和回流的形式，以實現(xiàn)對瓶子(1)內(nèi)表面的處
理操作。對于每個通路(17’)和(19’)來講，該過濾裝置優(yōu)選地可由一氣旋型過濾器組成， 它能夠通過對所述微粒的離心作用實施有效的過濾。該過濾優(yōu)選地在沒有負(fù)載隨時間的消失而任何變化的情況下實施；在這類氣旋過 濾器中的負(fù)載消失組成了恒定性的優(yōu)點。這種過濾器，在全文中稱回旋過濾器(21)，通過簡單的離心作用，能夠停止將測量 儀器(16，16’)與處理區(qū)域相連的各個通路中循環(huán)的微粒。同樣，有一個回旋過濾器(217) 安裝在通路(17’ )的長度方向，和一個回旋過濾器(219)安裝在通路(19’ )的長度方向， 所述通路(17’ )和(19’ )分別對應(yīng)于測量儀器(16，16’)。由于被通路(17’)和(19’)中的氣流所攜帶的微粒的循環(huán)速度，因此該離心作用 是可能的。該回旋過濾器的正常功能在對瓶子(1)處理后實施，亦即在真空破壞之后，尤其 是在瓶子(1)中建立大氣壓力時實施。通過打開電動閥門(13)，在管路(11)攜帶的頂蓋 (6)處讓空氣進(jìn)入容器(1)，以實現(xiàn)處理區(qū)域大氣壓的回復(fù)。在回復(fù)到大氣壓時，在不同的通路中如通路(17’)和(19’)中建立一種載有碳?xì)?余微粒的氣流形式的氣流。該氣流在很短時間內(nèi)產(chǎn)生，且有關(guān)通路隨后保持大氣壓，在該時 間排出剛被處理過的瓶子(1)，放置一新的待處理瓶子。一旦一個新的容器(1)被放置到位，在瓶子(1)中便建立起真空，同時，通過管路 (11)在不同通路(17’)和(19’)中建立起真空，更精確地說，通過管路(12)在圍體⑵中
建立起真空。該真空的建立引發(fā)對氣體的吸氣作用和對在處理區(qū)域中的微粒的吸氣作用，且它 在回旋過濾器處，引發(fā)一反氣流或回流，它實際上如在以下要解說的，激勵那些已經(jīng) 被事先離心和被停止在所述回旋過濾器處的微粒?；匦^濾器(21)，對安裝在通路(17’)中的標(biāo)記為(217)和對安裝在通路(19’) 中的標(biāo)記為019)，實現(xiàn)將每個所述通路(17’ )和(19’ )分成兩段。伸展在注射器(18)和流量計(17)間的通路(17’)包括一個位于所述注射器(18) 和回旋過濾器(217)之間的下游段(171)，以及一個位于回旋過濾器和所述流量計(17)之 間的上游段(172)。同樣，從管路(11)到壓力傳感器(19)的通路(19’)包括一上游段(191)，它伸展 在所述管路(11)和回旋過濾器(219)間，以及一下游段(192)，位于回旋過濾器和所述壓力傳感器(19)之間。每個回旋過濾器(21)，如圖2所示，包括一圓柱體(22)，位于垂直軸，其體積適配 于安裝，約為幾個cm3。該圓柱體02)包括一管道(23)，它被切向插入圓柱體上部。如圖3所示，該管道 (23)被切向插入圓柱體02)上，以實現(xiàn)對微粒的離心作用，同時微粒滲透進(jìn)所述圓柱體 (22)中。該管道還與一根垂直于圓柱體0 的軸垂直的軸同心，且它根據(jù)情況被連 接到通路(17，)的段(171)和通路(19，)的段(191)上。圓柱體0 還包括一根垂直地伸入到所述圓柱體0 中心的泄出管道(M)，該 管道在圓柱體中凸出地延伸，其高度約為所述圓柱體直徑的2/3。泄出管道04)根據(jù)情況被連接到通路(17’)的段(172)和通路(19’)的段(192)上。圓柱體02)的工作圓柱壁的高度與所述圓柱體02)直徑為相同的數(shù)量級，在該 壁上對包含在氣體中的微粒進(jìn)行離心?；匦^濾器的下部由一個沉積室06)組成。該室06)為尖朝底的倒錐形， 制造在一個圓柱塊、2Τ)中，該圓柱塊、2Τ)位于圓柱體0 的下部中，并可用任何合適的 方式將其固定在圓柱體上。沉積室06)的高度和圓柱體02)的工作圓柱壁的高度為同樣數(shù)量級的大小。回旋過濾器用循環(huán)方式工作，具有與容器處理機(jī)器(1)相同的頻率。它們的 功能經(jīng)過幾個狀態(tài)，這些狀態(tài)為氣流的一個循環(huán)序列，中間被停止周期所中斷。當(dāng)回旋過濾器正常工作時，為用離心來停止微粒，泄出管道04)起著出口的 作用。該出口有時為死路，且它能通過氣體直至在相應(yīng)通路(17’)和(19’)中以及在所有 處理區(qū)域中實現(xiàn)壓力平衡。返回時，該管道04)起入口管道的功能，而回旋過濾器則用作 對抗氣流，而位于對應(yīng)沉積室中的殘余微粒在回流的作用下激發(fā)，退出所述室06)。而在瓶子(1)處理周期階段，它對應(yīng)于在所述瓶子(1)中的大氣壓重新建立的階 段，亦即在所述瓶子的壁上沉積一保護(hù)層的操作之后，回旋過濾器以傳統(tǒng)方式工作， 以停止懸浮在氣體中的微粒。從該對應(yīng)于回旋分離階段的兩方面考慮，回旋過濾器休息。在瓶子(1)和不 同通路的抽真空階段，它重新被氣體所穿越，但受回流作用，與氣流方向相反。在回流期間， 沉積在沉積室06)中的微粒被氣體逆流激勵，這些微粒被后者驅(qū)動，從而所述沉積室06) 自動抽空；它自動清掃。每個回旋過濾器攔住漂浮在氣體中的微粒，而該后者在從載有該微粒的區(qū) 域中出來在對應(yīng)的通路(17’，19’ )中循環(huán)，亦即瓶子(1)、管路(11)和注射器(18)中循 環(huán)，朝向?qū)?yīng)的器件(16，16’)，而此時所述區(qū)域回復(fù)到大氣壓。在該壓力變化周期的特殊 階段，微粒被離心處理，并沉積在每個回旋過濾器的沉積室06)中。在沉積室06) 中的這種沉積具有一瞬時的特征。事實上，如前所述，在將真空加到有關(guān)區(qū)域中時，每個回旋過濾器被氣體回 流所穿過，而尤其被該回流所產(chǎn)生的氣流通過泄出管道04)導(dǎo)引到位于相應(yīng)沉積室06) 中的微粒上，所述微粒被該回流所激勵，它們被來自管路(11)的吸氣所驅(qū)動。對于通路(17’)，通過流量計(17)向瓶子(1)注入前驅(qū)氣體，增加了對上述通路(17’ )的自動清洗作用，尤其是增加了對注射器(18)的清洗。為在通路(19’ )中得到足夠的回流通過對應(yīng)的回旋過濾器019)，尤其是能清掃 沉積室06)的足夠回流，下游段(19 可以根據(jù)氣體量具有高于上游段(191)能力的一貫 能力。以這樣的布置方式，，在通過回旋過濾器(219)中的氣流時停止的微粒量完全被回流 收回，并被帶回到管路(11)中；于是實現(xiàn)對回旋過濾器019)的自動清掃。作為一例，根據(jù)本發(fā)明的一種可能的實施模式，位于回旋過濾器(219)和傳感器 (19)之間的通路(19’)的段(19 為可自由使用的體積，約為18cm3。施加回流的時間，亦 即尤其是在該通路(19’ )中建立真空所需的時間，為50ms，瞬時最大流量為88Ncm7s。在 重新上升至大氣壓時，該氣流的瞬時最大流量約為500Ncm7s。通常，為重新建立大氣壓力而在安裝中施加氣流的時間約為100ms。氣流的最小瞬 時速度約為166mbar/10ms，而在建立真空時回流的最小瞬時速度約為-IOOmbar/10ms。對于流量計(17)，數(shù)據(jù)并不同，確實，所連接的回旋過濾器017)的功能同樣與和 壓力傳感器(19)相連的回旋過濾器不同。實際上，在真空建立之后，它通常對應(yīng)于回流，流量計的通路(17’)，在前驅(qū)氣體的 情況下，是氣體控制的一個循環(huán)的所在地。在回流期間，，回旋過濾器017)的沉積室06) 以同回旋過濾器019)的沉積室相同的高速被清掃，而隨后它被前驅(qū)氣體繼續(xù)清掃，但以 一個慢得多的速度，所述前驅(qū)氣體被引入處理區(qū)域中尤其是瓶子(1)中。位于回旋過濾器017)和流量計(17)之間的通路(17’ )的段(172)的體積約為 3cm3。該體積足以在建立真空期間實現(xiàn)對位于沉積室06)中的殘余微粒的重大激勵，所述 微粒隨后被通過所述室06)和回旋過濾器(217)的前驅(qū)氣體的循環(huán)所驅(qū)動。另外，對于流量計(17)，施加回流的總時間約為2s，流量為15 3Ncm7s ；該回流 的瞬時最大流量約為15Ncm7s。還是對于流量計(17)，氣流的瞬時最大流量在重新上升到大氣壓過程中約為 100Ncm3/s。
權(quán)利要求
1.一種容器處理機(jī)器，采用一種由前驅(qū)氣體形成等離子體的方法，在每個容器的壁上 真空沉積碳微粒保護(hù)層，所述機(jī)器包括至少一個壓力傳感器(19)形式和/或具有壓力調(diào)節(jié) 功能的流量計(17)形式的測量儀器(16，16’)，它通過一個合適的通路與容器的處理區(qū)域 相連通，在該區(qū)域中通過微波輻射，形成由乙炔類前驅(qū)氣體發(fā)展成的等離子體形式的微粒， 所述乙炔類前驅(qū)氣體通過一個注射器(18)引入所述容器，所述測量儀器承受一個連續(xù)周 期的壓力變化，范圍從對應(yīng)于容器處理階段的準(zhǔn)真空的數(shù)值，到對應(yīng)于撤出已處理容器并 導(dǎo)入新容器的階段的大氣壓力的數(shù)值，其特征為在將所述容器處理區(qū)域與上述測量儀器連接的通路上，包括一恒定無負(fù)載型的過濾裝 置，該過濾裝置由一回旋過濾器組成，該回旋過濾器包括一沉積室( )，配置在一離 心切向管道03)和一泄出管道04)之間，所述回旋過濾器通過其離心切向管道03)與伸 展至對所述容器進(jìn)行處理的區(qū)域的通路的段連接，以及通過其泄出管道04)與伸展至測 量儀器的通路的段連接。
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)器，其特征為它包括一通路，其一段位于回旋過濾器的下游，亦即位于該后者和測量儀器之間，其能夠接受氣體等，至于體積，它足以在所述回 旋過濾器的沉積室中建立顯著的回流，以激勵并自動排出停留在所述室中的殘余微粒。
3.如權(quán)利要求1所述的機(jī)器，其特征為它包括一通路，其一段位于回旋過濾器的上 游，亦即位于該后者和處理區(qū)域之間，其能夠接受氣體，至于體積，它小于下游段的體積，能 夠?qū)Υ嬖谒龌匦^濾器處的全部微粒經(jīng)過位于上游的所述通路的段朝向所述處理區(qū) 域傳遞。
4.如權(quán)利要求1所述的機(jī)器，其特征為它包括一個由壓力傳感器(19)構(gòu)成的測量儀 器(16’)，它通過一通路(19’ )連接到一管路(11)上，該管路一方面用作在容器中建立真 空，另一方面用來在容器處理后重建大氣壓力，所述通路(19’ )在其長度上具有一回旋過 濾器。
5.如權(quán)利要求1所述的機(jī)器，其特征為它包括一個由具有壓力調(diào)節(jié)功能的流量計 (17)構(gòu)成的測量儀器(16)，所述流量計(17)通過一合適的通路(17’ )為注射器(18)供 氣，該注射器將前驅(qū)氣體引進(jìn)到待處理的容器中，所述通路(17’ )在其長度方向上有一回 旋過濾器01)。
6.如權(quán)利要求1所述的機(jī)器，其特征為它包括至少一個回旋過濾器(21)，該回旋過濾 器包括在垂直軸上為圓柱形的上體02)；管道(23)，切向配置在所述圓柱體的上部，且與垂直于后者的軸的一軸同心，所述管道 (23)與容器的處理區(qū)域連通，且可實現(xiàn)對殘余微粒的離心作用，倒錐形的沉積室( )，配置在所述圓柱體0 之下，用于重新接收所述殘余微粒，泄出管道(M)，它伸入所述圓柱體0 的中心，所述泄出管道04)朝相應(yīng)的測量儀器 (16，16’ )的方向延伸至所述圓柱體02)之下。
7.如權(quán)利要求6所述的機(jī)器，其特征為它包括一回旋過濾器(21)，其泄出管道04) 延伸到圓柱體02)中，其高度約為所述圓柱體02)的直徑的2/3。
8.如權(quán)利要求6所述的機(jī)器，其特征為它包括一回旋過濾器(21)，其沉積室06)的 錐形部在高度上延伸，該高度對應(yīng)于圓柱體0 的工作圓柱壁的高度和該圓柱體的直徑。
9.一種過濾方法，它能保護(hù)至少一測量儀器(16，16’ )來控制機(jī)器中操作的容器的處 理過程的參數(shù)，該機(jī)器在處理區(qū)域中，能夠在所述容器的壁上，通過用前驅(qū)氣體形成的等離 子體，實現(xiàn)在所述容器上沉積碳微粒的保護(hù)層，所述測量儀器承受連續(xù)周期的壓力變化，范 圍從一對應(yīng)于在容器處理階段的真空值，到一對應(yīng)于在排出處理的容器并放置一新的容器 期間的大氣壓的值，所述方法包括通過在一個合適的回旋過濾器式的裝置中的氣旋效應(yīng)，利用所述微粒的離心作 用，將殘余微粒停止在待處理區(qū)域和所述儀器之間，氣流激勵所述離心作用，利用離心作用 工作，該氣流在重建大氣壓力期間運動，在原位將所述停止的微粒暫時儲存在一個沉積室06)中，利用通過所述回旋過濾器的回流激起的氣流，在載有微粒的區(qū)域?qū)嵤┱婵掌陂g， 激勵被暫時儲存在所述沉積室06)中的所述殘余微粒，所述氣流的力度和數(shù)量準(zhǔn)備充分， 以驅(qū)動最近儲存的殘余微粒并用于將其排出。
10.如權(quán)利要求9所述的過濾方法，其特征為該方法在于在至少其中一個通路中，尤 其是在壓力傳感器(19)的通路(19’ )中，當(dāng)壓力重新上升到大氣壓力的過程中，建立一個 瞬時氣流流量，其值約為500Ncm7s，且在建立真空時，建立一個回流的瞬時流量，其值約為 88Ncm3/s。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種容器處理機(jī)器，采用一種由前驅(qū)氣體形成等離子體的方法，在每個容器的壁上真空沉積碳微粒保護(hù)層，機(jī)器包括至少一個測量儀器(16，16’)，它通過合適的通路與容器的處理區(qū)域相連通，在該區(qū)域中通過微波輻射形成乙炔類前驅(qū)氣體生成的離子體形式的微粒，所述乙炔類前驅(qū)氣體通過注射器(18)引入所述容器。測量儀器承受連續(xù)周期的壓力變化，范圍從對應(yīng)于容器處理階段的準(zhǔn)真空的數(shù)值，到對應(yīng)于排出已處理容器并導(dǎo)入新容器的階段的大氣壓力的數(shù)值。為保護(hù)測量儀器(16，16’)，機(jī)器包括恒定無負(fù)載型的過濾裝置，其包括回旋過濾器(21)，該回旋過濾器包括沉積室(26)，配置在離心切向管道(23)和泄出管道(24)之間，所述回旋過濾器通過離心切向管道(23)與伸展至對所述容器處理的區(qū)域的通路段連接，以及通過泄出管道(24)與伸展至測量儀器的通路段連接。
文檔編號B04C5/185GK102066606SQ200980122211
公開日2011年5月18日 申請日期2009年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月13日
發(fā)明者伊維斯-厄本·杜克拉斯 申請人:西得樂公司