一種用于電子化學品生產(chǎn)中除雜的加料反應裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及生產(chǎn)電子化學品的加料反應裝置領域，特別涉及一種用于電子化學品生產(chǎn)中除雜的加料反應裝置。
【背景技術】
[0002]電子化學品是大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路制作過程中的關鍵性基礎化工材料，它的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電學性能及可靠性有十分重要的影響，在目前國內電子化學品的生產(chǎn)過程中所采用的去除雜質的方法中，包括通過氧化反應轉換雜質沸點除雜的方法，該方法是先利用氧化物氧化雜質以形成沸點低于電子化學品原料的雜質，使得雜質能夠在電子化學品原料保持液態(tài)時被氣化，然后將氣化的雜質與液態(tài)的電子化學品原料分離。
[0003]現(xiàn)有技術中采用的氧化物一般為高錳酸鉀、雙氧水等，但是采用此類化合物氧化反應后會帶入新的雜質，利用具有強氧化性的氣體氧化雜質對其進行降低其沸點不會帶入新的雜質，因此，利用強氧化性的氣體降低雜質沸點是最佳選擇，但由于強氧化性的氣體的化學性質非?；顫?，大多是腐蝕性、劇毒性氣體，操作和使用都具有一定的危險性，而目前在生產(chǎn)中為實現(xiàn)這種除雜方法，通常采用在反應釜中進行氣液反應，然后再將反應后的氣體和溶液在精餾塔中進行分離，這種方式需要兩種不同的設備配合才能實現(xiàn)，因而設備復雜，不易操作，并且在兩個設備中分別完成氧化反應和分離，導致生產(chǎn)效率較低。

【發(fā)明內容】

[0004]本實用新型的目的是提供一種用于電子化學品生產(chǎn)中除雜的加料反應裝置，以解決目前使用的利用強氧化性氣體除雜的加料反應裝置設備復雜、生產(chǎn)效率較低的問題。
[0005]本實用新型的技術方案是:一種用于電子化學品生產(chǎn)中除雜的加料反應裝置，其特征在于:所述的加料反應裝置包括填料塔，所述填料塔包括內腔、固定于內腔中的柵板、設于內腔中的處于柵板上面的填料，填料塔具有進液口、出液口、處于相應填料塔的柵板下方的進氣口、處于相應填料塔的頂端的出氣口，其中填料塔的進液口和出液口在上下方向上處于相應填料塔的柵板的兩側，所述填料塔是一級填料塔、或者是相鄰兩級填料塔中的上一級填料塔的出液口與下一級填料塔的進液口連通的兩級以上的填料塔。
[0006]所述填料塔是兩級以上的填料塔，第一級填料塔的進液口處于柵板之上并靠近出氣口位置、出液口處于柵板以下，最后一級的填料塔的出液口處于柵板之上并靠近出氣口位置、進液口處于柵板之下。
[0007]第一級填料塔的進液口高于其他任何一級填料塔的進液口及出液口。
[0008]所述各級填料塔結構相同，第一級填料塔的高度高于最后一級填料塔的高度或者各級填料塔的高度相同并通過墊高第一級填料塔以使第一級填料塔的進液口高于最后一級填料塔的出液口。
[0009]所述的至少一個填料塔為由上下兩節(jié)組成的分體式填料塔，所述分體式填料塔的上節(jié)部分的底部和下節(jié)部分的頂部固定有與柵板可拆卸固定連接的柵板連接頭，分體式填料塔的柵板與柵板連接頭之間分別設置有密封墊。
[0010]所述的分體式填料塔的柵板與柵板連接頭采用螺栓連接。
[0011 ] 所述的至少一個填料塔的出氣口設置在頂部密封結構橫截面的中心。
[0012]所述的至少一個填料塔的出氣口分別密封固定連接有氣體處理裝置。
[0013]所述的至少一個填料塔的頂部密封結構為密封蓋、固定在填料塔頂部與密封蓋可拆卸固定連接的密封蓋連接頭以及設置在密封蓋連接頭與密封蓋之間的密封墊。
[0014]所述的至少一個填料塔的底部密封結構為與填料塔不可拆卸固定連接的底部密封蓋。
[0015]本實用新型的有益效果為:所述的加料反應裝置包括填料塔，填料塔具有進液口、出液口、處于相應填料塔的柵板下方的進氣口、處于相應填料塔的頂端的出氣口，其中填料塔的進液口和出液口在柵板的兩側，設于填料塔內腔中的處于柵板上面的填料可以使強氧化性氣和要處理的原料液充分接觸反應，當進液口在柵板上面時，填料塔可以逆流操作，當進液口在柵板下面時，填料塔可以并流操作，當所述反應裝置為一級填料塔時，一級填料塔通過并流操作或逆流操作都可以完成強氧化氣體與雜質的氧化反應和雜質氣體與原料液的分離，與傳統(tǒng)的采用反應釜和精餾塔配合的方式相比，一級填料塔同時實現(xiàn)了氣液反應和廢氣排出，設備簡單，生產(chǎn)效率較低。當所述反應裝置為是相鄰兩級填料塔中的上一級填料塔的出液口與下一級填料塔的進液口連通的兩級以上的填料塔時，通過多個填料塔的串聯(lián)可以更徹底地去除雜質。
[0016]更進一步的，所述的兩級以上的填料塔的第一級填料塔的進液口處于柵板之上并靠近出氣口位置、出液口處于柵板以下，最后一級的填料塔的出液口處于柵板之上并靠近出氣口位置、進液口處于柵板之下。最后一級填料塔的出液口設置在柵板上方并靠近出氣口使兩級填料罐的原料液不過快流出，可以控制填料塔內原料液的反應時間，使強氧化性氣體利用率高，雜質去除徹底。
[0017]更進一步的，所述兩級以上的填料塔的第一級填料塔的進液口高于其他任何一級填料塔的出液口及進液口，原料液從第一級填料塔的進液口進入，經(jīng)過多級凈化后得到的凈化液從最后一級的填料塔的出液口流出，利用連通器的原理，實現(xiàn)了原料液在第一級填料塔內自上而下流動，經(jīng)中間多級填料塔反應除雜后進入到最后一級填料塔自下而上流動，原料液從進入到流出的整個過程不需要栗輸入、栗輸出，避免了栗對產(chǎn)品的二次污染，降低生產(chǎn)成本。
[0018]更進一步的，所述兩級以上的填料塔的各級填料塔的高度結構都相同，簡化生產(chǎn)工序，方便批量制造，降低生產(chǎn)成本。
[0019]更進一步的，所述的至少一個填料塔為由上下兩節(jié)組成的分體式填料塔，所述分體式填料塔的上節(jié)部分的底部和下節(jié)部分的頂部固定有與柵板可拆卸固定連接的柵板連接頭，分體式填料塔的柵板與柵板連接頭之間分別設置有密封墊，可以實現(xiàn)填料塔的上下兩節(jié)拆卸以方便塔體的檢修以及柵板、填料的維修更換。
[0020]更進一步的，所述的至少一個填料塔的出氣口密封固定連接的氣體處理裝置，可以避免排出廢氣對環(huán)境產(chǎn)生污染。
【附圖說明】
[0021]圖1為本實用新型的總裝視圖；
[0022]圖2是圖1中A的放大視圖；
[0023]圖3是圖1中B的放大視圖；
[0024]圖4是圖1中的柵板零件圖。
【具體實施方式】
[0025]實施例1:如圖1-圖4所示，本實用新型所述的加料反應裝置，所用的強氧化性氣體為氟氣，所述的加料反應裝置包括結構相同高度不同的第一級填料塔2和第二級填料塔8，第一級填料塔2、第二級填料塔8均為管狀立式分體式填料塔，均由上節(jié)塔體、下節(jié)塔體兩部分組成，第一、二級填料塔下節(jié)塔體的底部均固定有密封結構，密封結構為底部密封蓋6，底部密封蓋6分別與第一級、二級填料塔下節(jié)塔體焊接連接，第一、二級填料塔上節(jié)塔體的頂部均密封焊固定有用于和頂部密封蓋1連接的密封蓋連接頭7，密封蓋連接頭7和頂部密封蓋1之間螺栓連接，且頂部密封蓋1和密封蓋連接頭7之間均設置有密封墊11。第一、二級填料塔上節(jié)塔體的內腔均設置有可以使氟氣和要處理的原料液充分接觸的填料4，上節(jié)塔體與下節(jié)塔體之間均設有對填料4起支撐作用的柵板5，柵板5均與設置在上節(jié)塔體底部和下節(jié)塔體頂部的柵板連接頭3連接，柵板5夾在兩個柵板連接頭3之間，通過螺栓14、螺母13和墊片12的配合連接在一起，可以實現(xiàn)填料塔的上下兩節(jié)拆卸以方便塔體的檢修、柵板5和填料