049]基板10例如為形成有導(dǎo)電性配線圖案或通孔的印刷基板。預(yù)定區(qū)域11相當(dāng)于應(yīng)涂布阻焊劑的區(qū)域。
[0050]如圖2A及圖2B所示，沿基板10表面的預(yù)定區(qū)域11的邊緣12(圖1A)形成脊?fàn)畹淖钃踅Y(jié)構(gòu)14。阻擋結(jié)構(gòu)14用于阻擋涂布于預(yù)定區(qū)域11的內(nèi)側(cè)的液體。
[0051]以下，對(duì)阻擋結(jié)構(gòu)14的形成方法進(jìn)行說明。首先，使具有多個(gè)噴嘴孔的噴嘴頭對(duì)置于基板10。接著，一邊使基板10相對(duì)于噴嘴頭移動(dòng)，一邊從噴嘴頭吐出經(jīng)液滴化的光固化性的液態(tài)薄膜材料，使液滴著落于預(yù)定區(qū)域11的邊緣12(圖1A)。薄膜材料使用例如紫外線固化性樹脂。并且，薄膜材料中含有染料或顏料等色素。通過在剛著落之后對(duì)薄膜材料照射臨時(shí)固化用光而使薄膜材料臨時(shí)固化。在此，“臨時(shí)固化”是指固化至尚未達(dá)到目標(biāo)耐熱性、目標(biāo)耐剝離性、目標(biāo)耐藥品性等的狀態(tài)的固化。與此相對(duì)，固化至達(dá)到目標(biāo)耐熱性、目標(biāo)耐剝離性、目標(biāo)耐藥品性等的狀態(tài)的固化稱作“正式固化”。例如，能夠?qū)⒐袒凉袒缺日焦袒臓顟B(tài)的固化度低的狀態(tài)的固化稱作臨時(shí)固化。通過進(jìn)行用于提高臨時(shí)固化的膜的固化度的正式固化處理，能夠?qū)崿F(xiàn)足夠的耐熱性、耐剝離性及耐藥品性。例如，可以通過傅立葉變換紅外分光光譜來評(píng)價(jià)光固化性樹脂的固化度。例如，可以將初始狀態(tài)的固化度設(shè)為0%，并將樹脂單體幾乎完全被消耗而來源于樹脂單體的光吸收峰值的強(qiáng)度成為O的狀態(tài)定義為固化度100%。另外，“正式固化”后的狀態(tài)的固化度未必一定為100%。作為一個(gè)例子，若在固化度為80%的狀態(tài)下可獲得足夠的耐熱性、耐剝離性及耐藥品性，則也可將固化度為80%以上的狀態(tài)定義為正式固化狀態(tài)。
[0052]在臨時(shí)固化的薄膜材料之上，進(jìn)一步涂布薄膜材料并使其臨時(shí)固化，由此能夠使阻擋結(jié)構(gòu)14變高。通過交替重復(fù)進(jìn)行薄膜材料的涂布與臨時(shí)固化，能夠形成所希望的高度的阻擋結(jié)構(gòu)14。在圖2B中，阻擋結(jié)構(gòu)14的寬度朝向上方變窄。
[0053]如圖3A及圖3B所示，在預(yù)定區(qū)域11內(nèi)形成多個(gè)膜要件15A。預(yù)定區(qū)域11內(nèi)的基板10的表面被層疊的膜要件15A完全覆蓋。
[0054]膜要件15A的形成方法與阻擋結(jié)構(gòu)14的形成方法相同。在臨時(shí)固化的薄膜材料之上進(jìn)一步涂布薄膜材料并使其臨時(shí)固化，由此能夠?qū)盈B多個(gè)膜要件15A。因?yàn)榻?jīng)液滴化的薄膜材料著落于基板10或臨時(shí)固化的膜要件15A之后立即被臨時(shí)固化，所以膜要件15A的表面未變得平坦，殘留有反映液滴形狀的凹凸。在此，“之后立即”表示到達(dá)著落于基板10的多個(gè)液滴相互連續(xù)而未能保留原形且表面變得平坦的狀態(tài)的時(shí)刻之前。
[0055]如圖4A及圖4B所示，通過在膜要件15A之上涂布薄膜材料，形成由液態(tài)薄膜材料構(gòu)成的液態(tài)膜16。接著，對(duì)液態(tài)膜16的形成方法進(jìn)行說明。首先，使具有多個(gè)噴嘴孔的噴嘴頭對(duì)置于基板10。接著，一邊使基板10相對(duì)于噴嘴頭移動(dòng)，一邊從噴嘴頭吐出經(jīng)液滴化的光固化性的液態(tài)薄膜材料，從而使薄膜材料著落于膜要件15A的表面。并且，不對(duì)薄膜材料進(jìn)行臨時(shí)固化。
[0056]由于未對(duì)薄膜材料進(jìn)行臨時(shí)固化，因此著落于膜要件15A的表面的薄膜材料的多個(gè)液滴向面內(nèi)方向擴(kuò)散而彼此連續(xù)。因此，反映了各液滴形狀的凹凸消失，液態(tài)膜16的表面變得幾乎平坦。另外，阻擋結(jié)構(gòu)14阻擋液態(tài)的薄膜材料，以免液態(tài)的薄膜材料流出至預(yù)定區(qū)域11的外側(cè)。因此，能夠防止薄膜材料附著于應(yīng)使基板10的表面暴露的區(qū)域。
[0057]如圖5A及圖5B所示，向基板1照射正式固化用光18。待液態(tài)膜16(圖4B)的表面逐漸變?yōu)槠教怪敝恋竭_(dá)反映薄膜材料的液滴形狀的凹凸形狀消失程度之后，進(jìn)行正式固化用光18的照射。正式固化用光18在基板10的表面上的光強(qiáng)度(功率密度)比形成阻擋結(jié)構(gòu)14(圖2A、圖2B)及膜要件15A (圖3A、圖3B)時(shí)所使用的臨時(shí)固化用光在基板1的表面上的光強(qiáng)度強(qiáng)。
[0058]通過照射正式固化用光18，液態(tài)膜16(圖4B)固化而形成最上層的膜要件16A。最上層的膜要件16A的表面平坦。由下層的膜要件15A和最上層的膜要件16A構(gòu)成薄膜20。在薄膜20的形成中途階段，在膜要件15A的表面出現(xiàn)凹凸，但最終形成的薄膜20的表面則幾乎平坦。因此，能夠提高薄膜20的外觀效果。
[0059]參考圖6A及圖6B，對(duì)實(shí)施例1的薄膜形成方法的其他效果進(jìn)行說明。
[0060]圖6A表示利用實(shí)施例1的方法來形成的薄膜20的剖視圖以及厚度方向上的曝光量的分布的一例。表示曝光量的分布的曲線圖的橫軸表示曝光量，縱軸表示深度方向上的位置。虛線El?E7分別表示形成第I層?第7層膜要件15A時(shí)的基于臨時(shí)固化用光的曝光量的分布，虛線Ef表示基于正式固化用光18(圖5B)的曝光量的分布。實(shí)線Et表示基于臨時(shí)固化用光及正式固化用光18的曝光量的總分布。
[0061]圖6B表示利用比較例的方法來形成的薄膜20的剖視圖以及厚度方向上的曝光量的分布的一例。在比較例中，未對(duì)液態(tài)薄膜材料進(jìn)行臨時(shí)固化，而在形成所希望厚度的液態(tài)膜之后進(jìn)行正式固化。實(shí)線Et表示薄膜20的曝光量的分布。該分布與圖6A中用虛線Ef表示的基于正式固化用光18的曝光量的分布相同。
[0062]在比較例的薄膜形成方法中，由于正式固化用光在薄膜20內(nèi)衰減，因此在深部容易產(chǎn)生曝光不足。尤其，在薄膜材料包含染料或顏料等色素的情況下，光的衰減變大，更容易產(chǎn)生曝光不足。若產(chǎn)生曝光不足，則導(dǎo)致固化度不足，容易產(chǎn)生薄膜20的剝離。與此相對(duì)，在實(shí)施例1的方法中，位于薄膜20的深部的膜要件15A分別被臨時(shí)固化，因此在薄膜20的深部也能夠確保足夠的固化度。由此，能夠防止薄膜20的剝離。
[0063]圖7表示實(shí)施例1的薄膜形成裝置的概略俯視圖及框圖。實(shí)施例1的薄膜形成裝置可使用于利用上述實(shí)施例1的薄膜形成方法的薄膜的形成中。
[0064]基板10保持于載物臺(tái)30上。定義將與載物臺(tái)30的基板保持面平行的面作為xy面的xyz正交坐標(biāo)系。移動(dòng)機(jī)構(gòu)31受控制裝置50的控制而使載物臺(tái)30向X方向及y方向移動(dòng)?；?0與載物臺(tái)30—同向X方向及y方向移動(dòng)。另外，作為載物臺(tái)30，也可使用空氣懸浮式載物臺(tái)、超聲波懸浮式載物臺(tái)等。在該情況下，通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)31，使基板1相對(duì)于載物臺(tái)30向X方向及y方向移動(dòng)。
[0065]在載物臺(tái)30的上方配置有噴嘴單元40。噴嘴單元40包含多個(gè)例如8個(gè)噴嘴頭41以及多個(gè)臨時(shí)固化用光源43。各噴嘴頭41具有與基板10對(duì)置的多個(gè)噴嘴孔，并受控制裝置50的控制而使包含染料或顏料等色素的薄膜材料液滴化并從噴嘴孔朝向基板10吐出。
[0066]噴嘴頭41的各噴嘴孔在X方向上等間隔排列。并且，多個(gè)噴嘴頭41在y方向上排列。用朝向y軸的正方向從I開始依次標(biāo)注的序號(hào)#1?#8來識(shí)別多個(gè)噴嘴頭41。在彼此相鄰的2個(gè)噴嘴頭41之間，配置有臨時(shí)固化用光源43。另外，在比序號(hào)#1的噴嘴頭41更靠y軸的負(fù)側(cè)、以及比序號(hào)#8的噴嘴頭41更靠y軸的正側(cè)，也分別配置有臨時(shí)固化用光源43。即，若著眼于I個(gè)噴嘴頭41，則在噴嘴頭41的y軸的正側(cè)及負(fù)側(cè)分別配置有臨時(shí)固化用光源43。臨時(shí)固化用光源43向基板10的表面照射臨時(shí)固化用光，例如紫外線。
[0067]通過一邊使基板1向y軸的正方向或負(fù)方向移動(dòng)，一邊從噴嘴頭41吐出薄膜材料，由