一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明主要涉及硅片切割液回收利用裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在硅片切割生產(chǎn)過(guò)程中，作為金屬絲切割的負(fù)責(zé)耗材，硅片切割液并不可少，且價(jià)格較貴，使用量大。因此針對(duì)切割液的回收再利用以及使用維護(hù)的改進(jìn)，能有效降低硅片加工的生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]發(fā)明目的:針對(duì)上述現(xiàn)有存在的問(wèn)題和不足，本發(fā)明的目的是提供一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，能有效對(duì)切割液進(jìn)行實(shí)時(shí)在線維護(hù)，以及對(duì)接近報(bào)廢切割液進(jìn)行聚乙二醇的回收再利用。
[0004]技術(shù)方案:為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，包括槽體和初選裝置，所述初選裝置設(shè)在槽體的入口處，所述槽體內(nèi)由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽，溢流槽的底部設(shè)有切割液出口 ；所述初選裝置為截面是矩形的長(zhǎng)條形，包括下殼體、上殼體和設(shè)在中間上下殼體中間的轉(zhuǎn)軸，所述下殼體的底部設(shè)有粗液出口，所述上殼體設(shè)有與轉(zhuǎn)軸平行相切的塑膠滾輪，上殼體還設(shè)有切割液進(jìn)口和雜質(zhì)顆粒出口，且該雜質(zhì)顆粒出口的前端設(shè)有與轉(zhuǎn)軸搭接的舌頭。
[0005]作為優(yōu)選，所述溢流槽內(nèi)液面上方空間連接有抽真空設(shè)備。
[0006]有益效果:與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能對(duì)切割液進(jìn)行初次篩選，過(guò)濾較大顆粒，為后續(xù)切割液的回收提供支持，實(shí)現(xiàn)了切割液的在線實(shí)時(shí)維護(hù)。
【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1為本發(fā)明所述回收槽的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明所述初選裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3為本發(fā)明所述初選裝置的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]其中，槽體1、沉降槽2、溢流槽3、切割液進(jìn)口 4、溢流隔板5、切割液出口 6、上殼體7、下殼體8、轉(zhuǎn)軸9、粗液出口 10、橡膠滾輪11、雜質(zhì)顆粒出口 12、舌頭13。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的各種等價(jià)形式的修改均落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求所限定的范圍。
[0010]如圖1所示，一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，包括槽體和初選裝置，所述初選裝置設(shè)在槽體的入口處，所述槽體內(nèi)由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽，溢流槽的底部設(shè)有切割液出口 ；所述初選裝置為截面是矩形的長(zhǎng)條形，包括下殼體、上殼體和設(shè)在中間上下殼體中間的轉(zhuǎn)軸，所述下殼體的底部設(shè)有粗液出口，所述上殼體設(shè)有與轉(zhuǎn)軸平行相切的塑膠滾輪，上殼體還設(shè)有切割液進(jìn)口和雜質(zhì)顆粒出口，且該雜質(zhì)顆粒出口的前端設(shè)有與轉(zhuǎn)軸搭接的舌頭。作為優(yōu)選，所述溢流槽內(nèi)液面上方空間連接有抽真空設(shè)備。
[0011]切割液經(jīng)過(guò)收集盤(pán)收集后從切割液進(jìn)口進(jìn)入初選裝置中，在轉(zhuǎn)軸的帶動(dòng)下，含顆粒懸浮物的漿液由轉(zhuǎn)軸的上方經(jīng)過(guò)搭接的舌頭從雜質(zhì)顆粒出口排出，而較清潔的切割液則直接從底部的粗液出口流入沉降槽中，并經(jīng)過(guò)沉降切割液中的懸浮沉降顆粒，然后隨著液面上升從第一溢流隔板的頂部留下后進(jìn)入兩塊隔板之間的間隙，并從第二溢流隔板的底部進(jìn)入溢流槽，依次再經(jīng)過(guò)第三溢流隔板并從其頂部流入溢流槽中，隨后在負(fù)壓狀態(tài)下經(jīng)過(guò)微孔濾膜進(jìn)行二級(jí)過(guò)濾，最后送至后續(xù)處理槽中進(jìn)行物料補(bǔ)充和回收。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，其特征在于:包括槽體和初選裝置，所述初選裝置設(shè)在槽體的入口處，所述槽體內(nèi)由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽，溢流槽的底部設(shè)有切割液出口 ；所述初選裝置為截面是矩形的長(zhǎng)條形，包括下殼體、上殼體和設(shè)在中間上下殼體中間的轉(zhuǎn)軸，所述下殼體的底部設(shè)有粗液出口，所述上殼體設(shè)有與轉(zhuǎn)軸平行相切的塑膠滾輪，上殼體還設(shè)有切割液進(jìn)口和雜質(zhì)顆粒出口，且該雜質(zhì)顆粒出口的前端設(shè)有與轉(zhuǎn)軸搭接的舌頭。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，其特征在于:所述溢流槽內(nèi)液面上方空間連接有抽真空設(shè)備。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，包括槽體和初選裝置，所述初選裝置設(shè)在槽體的入口處，所述槽體內(nèi)由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽，溢流槽的底部設(shè)有切割液出口；所述初選裝置為截面是矩形的長(zhǎng)條形，包括下殼體、上殼體和設(shè)在中間上下殼體中間的轉(zhuǎn)軸，所述下殼體的底部設(shè)有粗液出口，所述上殼體設(shè)有與轉(zhuǎn)軸平行相切的塑膠滾輪，上殼體還設(shè)有切割液進(jìn)口和雜質(zhì)顆粒出口，且該雜質(zhì)顆粒出口的前端設(shè)有與轉(zhuǎn)軸搭接的舌頭。本發(fā)明能有效對(duì)切割液進(jìn)行實(shí)時(shí)在線維護(hù)，以及對(duì)接近報(bào)廢切割液進(jìn)行聚乙二醇的回收再利用。
【IPC分類】B01D36/00, C10M175/00
【公開(kāi)號(hào)】CN105363273
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510791850
【發(fā)明人】朱琳
【申請(qǐng)人】揚(yáng)州市志高建筑防水材料有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月2日
【申請(qǐng)日】2015年11月17日