一種石墨烯薄膜摻雜設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種薄膜摻雜設備，具體涉及一種石墨烯薄膜摻雜設備。
【背景技術】
[0002]石墨烯是由碳原子直接緊密堆積而成的二維蜂窩狀晶格結構的一種碳質(zhì)材料。目前石墨烯薄膜的制備方法主要有微機械玻璃法、液相化學法、碳化硅外延石墨烯薄膜閥、化學氣相沉積法等，其中通過微機械剝離法獲得石墨烯不僅面積小，且產(chǎn)量少，不具有工業(yè)使用價值；而通過液相化學法、碳化硅外延石墨烯薄膜法、化學氣相沉積法得到的石墨烯薄膜方阻較大，液相化學法獲得的石墨烯薄膜方阻在5 X 13 Ω左右，碳化硅外延石墨烯薄膜方阻在1.05Χ105Ω左右，通過化學氣相沉積法得到的單層石墨烯薄膜方阻在I XlO3 Ω左右?；瘜W氣相沉積法得到的石墨烯薄膜疊加多層后，可以有效降低石墨烯薄膜的方阻；但疊加多層的同時石墨烯薄膜的光透射率也在降低，因此限制了石墨烯薄膜在顯示技術領域及其他工業(yè)領域的應用。
[0003]現(xiàn)有技術中，為了克服石墨烯薄膜方阻大的缺陷通常采用硝酸摻雜或氯金酸摻雜的方法，而硝酸摻雜或氯金酸摻雜主要通過手工噴涂，首先將摻雜劑裝進噴壺，再由壓縮空氣帶出形成霧化，手持噴嘴正對石墨烯膜進行摻雜。手工噴涂效率低，摻雜質(zhì)量難以保證。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明目的是為了克服現(xiàn)有技術的不足而提供一種石墨烯薄膜摻雜設備。
[0005]為達到上述目的，本發(fā)明所采用的技術方案為:一種石墨烯薄膜摻雜設備，它包括密封箱體、可轉(zhuǎn)動地安裝在所述密封箱體內(nèi)的輸送帶、用于驅(qū)動所述輸送帶轉(zhuǎn)動的輸送電機、安裝在所述密封箱體內(nèi)且位于所述輸送帶上方的擺動組件、安裝在所述擺動組件上且錯開設置的兩排噴霧組件、與所述噴霧組件分別相連通用于向其中加入摻雜劑的添加盒以及與所述噴霧組件分別相連通用于向其中導入壓縮氣體的進氣管路，兩排所述噴霧組件相平行設置，所述噴霧組件的霧化粒度為0.2-5微米。
[0006]優(yōu)化地，所述輸送帶底部安裝有風機，所述風機連接有廢氣回收組件。
[0007]進一步地，所述擺動組件包括擺動框、安裝在所述擺動框底部且對稱設置的多個滾輪以及與所述擺動框相連接用于驅(qū)動其進行擺動的擺動電機。
[0008]進一步地，它還包括與所述噴霧組件分別相連通的加料管路，所述加料管路安裝有總閥以及設置在所述噴霧組件和所述加料管路之間的獨立控制手動閥。
[0009]優(yōu)化地，所述進氣管路上安裝有進氣減壓閥。
[0010]優(yōu)化地，所述噴霧組件上可拆卸地安裝有噴頭，所述噴頭由PVC塑料制成。
[0011]由于上述技術方案運用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比具有下列優(yōu)點:本發(fā)明石墨烯薄膜摻雜設備，一方面在密封箱體內(nèi)設置輸送帶，用于將待摻雜的石墨烯薄膜向前輸送；另一方面在擺動組件上安裝兩排噴霧組件，并且噴霧組件錯開設置，這樣能夠提高摻雜劑噴灑的均勻程度，進而確保石墨烯薄膜的摻雜均勻。
【附圖說明】
[0012]附圖1是本發(fā)明石墨烯薄膜摻雜設備的結構示意圖；
附圖2是附圖1的部分結構示意圖；
其中，1、密封箱體；2、輸送帶；3、輸送電機；4、擺動組件；41、擺動框；42、滾輪；43、擺動電機；5、添加盒；6、總閥；7、獨立控制手動閥；8、噴霧組件；81、噴頭；9、加料管路；10、進氣管路；11、進氣減壓閥；12、風機；13、廢氣回收組件。
【具體實施方式】
[0013]下面將結合附圖對本發(fā)明優(yōu)選實施方案進行詳細說明。
[0014]如圖1和圖2所示的石墨烯薄膜摻雜設備，它包括密封箱體1、輸送帶2、輸送電機3、擺動組件4、添加盒5、噴霧組件8以及進氣管路10。
[0015]其中，密封箱體I安裝在地面上，它的底部設置有多個支撐腳，由于摻雜劑是硝酸或氯金酸等腐蝕性化學物質(zhì)，因此密封箱體I需要密封并且使用耐腐蝕材料，避免上述化學物質(zhì)對環(huán)境的污染。輸送帶2可轉(zhuǎn)動地安裝在密封箱體I內(nèi)，用于不斷向前輸送石墨烯薄膜。輸送電機3與輸送帶2相連接，用于驅(qū)動輸送帶2轉(zhuǎn)動。擺動組件4安裝在密封箱體I內(nèi)，并位于輸送帶2的上方，它在輸送帶2的上方來回擺動。噴霧組件8有多個，它們均勻分布并且形成整齊的兩排，這兩排噴霧組件8相平行設置并且這兩排噴霧組件8中相對應需要錯開設置，這樣能夠提高摻雜劑噴灑的均勻程度，進而確保石墨烯薄膜的摻雜均勻；噴霧組件8能夠形成超微細霧，超微細霧的霧化粒度為0.2-5微米。添加盒5與噴霧組件8分別相連通，用于向其中加入摻雜劑；進氣管路10與噴霧組件8分別相連通，用于向其中導入壓縮氣體，這樣摻雜劑可以經(jīng)由壓縮氣體在噴霧組件8中霧化后噴出。將該噴霧組件8與添加盒5、進氣管路10聯(lián)合使用產(chǎn)生了意想不到的效果:形成的超微細霧從噴霧組件8中噴出時是沒有沖擊力的，因此能夠獲得極度均勻的摻雜劑沉積效果，其效果類似膜片放置于霧中，靠霧氣與膜片接觸形成緩慢沉積，沉積厚度極易控制，穩(wěn)定性極高；另外，從噴霧組件8中噴出的藥水消耗量僅為傳統(tǒng)的消耗量的0.5°/『1%，由于藥水的成本非常昂貴，這樣能夠極大地降低摻雜的成本。
[0016]在本實施例中，輸送帶2底部安裝有風機12，風機12連接有廢氣回收組件13，這樣可以將剩余的化學物質(zhì)收集于廢氣回收組件13中，起到保護環(huán)境、維持車間工作條件的作用。擺動組件4包括擺動框41、安裝在擺動框41底部且對稱設置的多個滾輪42以及與擺動框41相連接用于驅(qū)動其進行擺動的擺動電機43。噴霧組件8還分別與兩根加料管路9相連通，加料管路9形成主路和支路，主路上安裝有總閥6 ;每根支路分別與每個噴霧組件8相連通，它上面安裝有獨立控制手動閥7，利用總閥6和獨立控制手動閥7的配合能夠?qū)崿F(xiàn)對加入噴霧組件8中摻雜劑的精確控制；另外進氣管路10上安裝有進氣減壓閥11，這樣能夠調(diào)節(jié)壓縮空氣的載量，從而可以與總閥6、獨立控制手動閥7相互配合，實現(xiàn)對噴霧組件8噴液量的精確控制。噴霧組件8上安裝有噴頭81，噴頭81可拆卸地安裝在噴霧組件8上，它使用透明的PVC塑料制成。
[0017]上述實施例只為說明本發(fā)明的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本發(fā)明的保護范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種石墨烯薄膜摻雜設備，其特征在于:它包括密封箱體(1)、可轉(zhuǎn)動地安裝在所述密封箱體(I)內(nèi)的輸送帶(2 )、用于驅(qū)動所述輸送帶(2 )轉(zhuǎn)動的輸送電機(3 )、安裝在所述密封箱體(I)內(nèi)且位于所述輸送帶(2)上方的擺動組件(4)、安裝在所述擺動組件(4)上且錯開設置的兩排噴霧組件(8)、與所述噴霧組件(8)分別相連通用于向其中加入摻雜劑的添加盒(5)以及與所述噴霧組件(8)分別相連通用于向其中導入壓縮氣體的進氣管路(10)，兩排所述噴霧組件(8)相平行設置，所述噴霧組件(8)的霧化粒度為0.2-5微米。
2.根據(jù)權利要求1所述的石墨烯薄膜摻雜設備，其特征在于:所述輸送帶(2)底部安裝有風機(12 )，所述風機(12 )連接有廢氣回收組件(13 )。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的石墨烯薄膜摻雜設備，其特征在于:所述擺動組件(4)包括擺動框(41)、安裝在所述擺動框(41)底部且對稱設置的多個滾輪(42)以及與所述擺動框(41)相連接用于驅(qū)動其進行擺動的擺動電機(43 )。
4.根據(jù)權利要求1或2所述的石墨烯薄膜摻雜設備，其特征在于:它還包括與所述噴霧組件(8)分別相連通的加料管路(9)，所述加料管路(9)安裝有總閥(6)以及設置在所述噴霧組件(8)和所述加料管路(9)之間的獨立控制手動閥(7)。
5.根據(jù)權利要求1所述的石墨烯薄膜摻雜設備，其特征在于:所述進氣管路(10)上安裝有進氣減壓閥(11)。
6.根據(jù)權利要求1所述的石墨烯薄膜摻雜設備，其特征在于:所述噴霧組件(8)上可拆卸地安裝有噴頭(81 )，所述噴頭(81)由PVC塑料制成。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種石墨烯薄膜摻雜設備，它包括密封箱體、可轉(zhuǎn)動地安裝在所述密封箱體內(nèi)的輸送帶、用于驅(qū)動所述輸送帶轉(zhuǎn)動的輸送電機、安裝在所述密封箱體內(nèi)且位于所述輸送帶上方的擺動組件、安裝在所述擺動組件上且錯開設置的兩排噴霧組件、與所述噴霧組件分別相連通用于向其中加入摻雜劑的添加盒以及與所述噴霧組件分別相連通用于向其中導入壓縮氣體的進氣管路，兩排所述噴霧組件相平行設置。本發(fā)明石墨烯薄膜摻雜設備，一方面在密封箱體內(nèi)設置輸送帶，用于將待摻雜的石墨烯薄膜向前輸送；另一方面在擺動組件上安裝兩排噴霧組件，并且噴霧組件錯開設置，這樣能夠提高摻雜劑噴灑的均勻程度，進而確保石墨烯薄膜的摻雜均勻。
【IPC分類】B05B13-02, B05B15-12
【公開號】CN104607344
【申請?zhí)枴緾N201510036776
【發(fā)明人】施利君, 徐鴿
【申請人】蘇州晶洲裝備科技有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2015年1月26日