專利名稱：高效粒子撲集器的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于分離氣、固體處理技術領域。
在微電子工業(yè)中，常用CVD(化學氣相淀積)技術淀積二氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiN)、非晶硅(a－Si)等微電子薄膜。由于主要的反應氣體是硅烷(SiH4)，所以，在化學氣相反應中會形成無用的粉塵產物(多數(shù)為SiO2)顆粒。這些粉塵產物會造成反應管路堵塞，污染真空泵油，致使氣相反應不能正常進行，甚至在有些反應中，也可能將某種毒害物質排放到大氣環(huán)境中，造成環(huán)境污染。因此，收集并處理粉塵裝置是半導體工藝中必不可少的一個裝置。但目前已有的排塵裝置多數(shù)是用于大型化工系統(tǒng)，其結構有裝有顆粒物質的分離或過濾，該裝置體積大，結構粗造，效率低，不能用于半導體器件制造工業(yè)。日本特開照63－51918(63.3.5)特愿照61－196621(61.8.22)題為“半導體制造用氣體純凈裝置”的專利。其作用是吸收雜質氣體分子，凈化供半導體工藝用的單一原料氣體，而不能用來清除CVD反應中產生的微粒粉塵和防止環(huán)境污染。
本實用新型的目的是提供一種即能撲集化學氣相反應中產生的粉塵粒子，防止反應系統(tǒng)堵塞，又可過濾混合氣體中微小雜質，凈化氣體的雙功能粒子撲集器。
本實用新型采用離心及過濾原理撲集氣體中微粒物質。整個裝置包括進氣嘴、螺旋通道、收集器、高效過濾器、排氣嘴、腔體等部件。其中由螺旋通道和收集器完成大顆粒粉塵的撲集，由高效過濾器完成小顆粒粉塵的過濾。
以下參照附圖詳細描述本實用新型的結構原理。


圖1為本實用新型的結構圖。
圖2為本實用新型撲集到的粉塵物質圖。
參照
圖1，腔體(6)的側邊開有進氣嘴(1)，上端通過螺釘固定有上蓋(7)，下端與底座(8)連接在一起。底座(8)的下端設有收集器(3)，該收集器可定期拆卸，以便清除收集物。腔體(6)的內部設有螺旋通道(2)，螺栓通道(2)內固定有高效過濾器(4)，真空排氣嘴(5)與過濾器(4)相接通過上蓋(7)穿出。整個裝置除高效過濾器用鎳或不銹鋼粉末冶金制作外，其余均用不銹鋼制作。其工作過程為帶有粉塵顆粒的混合氣體由進氣嘴(1)進入腔體(6)內，經螺旋通道(2)形成高速旋轉氣流，產生離心力，使較大顆粒的粉塵墜入收集器(3)，而含有微小顆粒粉塵的混合氣體則通過高效過濾器(4)過濾后由真空排氣嘴(5)抽出。如反應過程中有毒害物質，往往沾附在收集物中，可進行適當處理，避免排放到環(huán)境中。長期使用后，反應過程中產生的微小顆粒物質有可能粘附在過濾器(4)的外側壁，造成過濾器堵塞。為此，可對過濾器(4)進行反吹處理，即由排氣嘴(5)吹入高壓氮氣以吹落過濾器外壁的粘附物，或將過濾器(4)用HFH2O＝110溶液腐蝕10－20秒鐘，用去離子水沖洗后烘干即可重新使用。
本實用新型結構簡單，小巧精細，撲集粉塵效率高，具有撲集混合氣體中大顆粒粉塵和過濾微小顆粒粉塵之雙功能；可避免管路堵塞和泵油污染變質，保持CVD工藝質量。實用證明可達到如下技術指標氣體凈化級別高于100級撲集顆粒尺寸直徑＞0.3μm最大耐壓10kg／cm2進出氣體壓差＜0.7kg／cm2(進氣壓為10kg／cm2時)該裝置除用于撲集化學氣相反應中產生的無用粉塵，也可用于一切需要純凈氣體的系統(tǒng)，以達到收集粉塵顆?；騼艋瘹怏w的目的。
權利要求1.一種粒子撲集器，包括進氣嘴，排氣嘴，高效過濾器和腔體，其特征在于腔體內設有螺旋通道，底部裝有可拆卸的粉塵收集器，使其進入腔體的氣體形成高速旋轉氣流，產生離心力，將大顆粒粉塵墜入收集器。
2.根據權利要求1所述的撲集器，其特征在于高效過濾器用鎳或不銹鋼粉末冶金制作。
專利摘要本實用新型涉及一種撲集化學氣相反應中產生的無用粉塵粒子，防止反應氣體系統(tǒng)堵塞，真空泵油變質及環(huán)境污染裝置。其特征是腔體內設有螺旋通道，底部裝有可拆卸的粉塵收集器。該裝置采用離心及過濾原理，撲集氣體中的微粒物質。帶有粉塵顆粒的氣體由進氣嘴(1)進入螺旋通道(2)，形成高速旋轉氣流，產生離心力，使較大的粉塵顆粒墜入收集器(3)，而含有微小顆粒的氣體則由高效過濾器(4)過濾后由真空排氣嘴(5)抽出。 用該撲集器可撲集直徑＞0.3μm的粉塵顆粒，使氣體凈化級別高于100級，是一種理想的撲集粉塵粒子和凈化氣體裝置。
文檔編號B01D50/00GK2062652SQ9020316
公開日1990年9月26日 申請日期1990年3月17日 優(yōu)先權日1990年3月17日
發(fā)明者孫建成 申請人:西安電子科技大學