本技術(shù)涉及pecvd工藝系統(tǒng)，具體為吸附式真空過濾器。

背景技術(shù)：

1、本裝置實際應(yīng)用于真空、半導(dǎo)體、化工、冶金、太陽能光伏等行業(yè)，裝配連接在真空泵進氣口前端，對真空泵起到保護作用的裝置。

2、經(jīng)檢索，專利號cn202921043u，名稱為調(diào)壓式真空吸附過濾器的實用新型，包括密封的過濾箱(1)，通過研究分析發(fā)現(xiàn)，雖然過濾裝置具有大大提高了過濾速度，并且能夠方便的根據(jù)需要調(diào)節(jié)過濾箱內(nèi)的壓力功能等優(yōu)點，但是，在一定程度上還存在以下缺點；

3、如：過濾裝置的結(jié)構(gòu)大多為固定狀態(tài)，不具有對過濾結(jié)構(gòu)進行拆卸更換的功能，從而不方便對其進行清理，若不及時清理容易降低過濾結(jié)構(gòu)的利用率，氣體中的雜質(zhì)容易堵塞無法自動配合使用，使得污濁雜質(zhì)無法進行快速抽取除塵，使得過濾裝置的安裝使用受到限制，為了解決以上技術(shù)問題，為此我們設(shè)計出吸附式真空過濾器來解決上述問題很有必要。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供吸附式真空過濾器，具備可自制絲網(wǎng)纏繞式濾芯結(jié)構(gòu)，對過濾結(jié)構(gòu)進行拆卸更換的功能，提高吸附式真空過濾器清潔過濾效果的優(yōu)點，解決了不能夠?qū)ξ蹪犭s質(zhì)進行快速抽取，若不及時清理更換容易降低利用率，氣體中的雜質(zhì)容易堵塞無法自動配合使用的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：吸附式真空過濾器，包括罐體，所述罐體的頂部固定連接有連接法管，所述連接法管的表面接觸有頂蓋板，所述頂蓋板的頂部貫穿設(shè)置有螺栓，所述罐體的底部設(shè)置有連接蓋板，所述連接蓋板的底部連通有排氣口，所述罐體的內(nèi)腔設(shè)置有濾芯機構(gòu)，所述排氣口的底部設(shè)置有直管用法盤，所述罐體的一側(cè)設(shè)置有內(nèi)連管。

3、優(yōu)選的，所述螺栓的數(shù)量為若干個，所述螺栓貫穿頂蓋板與連接法蘭管螺紋連接，所述螺栓之間等距離排列。

4、優(yōu)選的，所述濾芯機構(gòu)包括固定連接支架，所述固定連接支架設(shè)置于連接蓋板的內(nèi)腔，所述連接蓋板的頂部接觸有密封圈，所述密封圈的頂部設(shè)置有底座，所述底座的表面套設(shè)有棱形網(wǎng)筒，所述棱形網(wǎng)筒的頂部設(shè)置有網(wǎng)上蓋，所述固定連接支架的頂部依次貫穿密封圈、底座、棱形網(wǎng)筒和網(wǎng)上蓋并延伸至網(wǎng)上蓋的外部。

5、優(yōu)選的，所述固定連接支架與網(wǎng)上蓋的內(nèi)壁活動連接，所述網(wǎng)上蓋的表面與棱形網(wǎng)筒的內(nèi)壁活動連接。

6、優(yōu)選的，所述固定連接支架的頂部螺紋套設(shè)有螺母，所述螺母的一側(cè)與網(wǎng)上蓋的表面接觸。

7、優(yōu)選的，所述頂蓋板的頂部焊接有把手，所述底座和網(wǎng)上蓋與棱形網(wǎng)筒相適配。

8、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果如下：

9、1、本實用新型通過頂蓋板、螺栓、棱形網(wǎng)筒和罐體的配合，能夠便于對吸附式真空過濾器進行簡制組裝，達到了提高了過濾器的實用性。

10、2、本實用新型通過頂蓋板、螺栓、連接蓋板、固定連接支架、密封圈、底座、網(wǎng)上蓋和螺母的配合，能夠通過螺母驅(qū)動網(wǎng)上蓋和底座之間相互靠近對棱形網(wǎng)筒進行拆裝，通過固定連接支架可對網(wǎng)上蓋進行穩(wěn)定定位，提高后續(xù)對過濾結(jié)構(gòu)清理的高效性。

技術(shù)特征：

1.吸附式真空過濾器，包括罐體(8)，其特征在于：所述罐體(8)的頂部固定連接有連接法管(4)，所述連接法管(4)的表面接觸有頂蓋板(3)，所述頂蓋板(3)的頂部貫穿設(shè)置有螺栓(2)，所述罐體(8)的底部設(shè)置有連接蓋板(12)，所述連接蓋板(12)的底部連通有排氣口(10)，所述罐體(8)的內(nèi)腔設(shè)置有濾芯機構(gòu)(15)，所述排氣口(10)的底部設(shè)置有直管用法盤(9)，所述罐體(8)的一側(cè)設(shè)置有內(nèi)連管(13)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附式真空過濾器，其特征在于：所述螺栓(2)的數(shù)量為若干個，所述螺栓(2)貫穿頂蓋板(3)與連接法蘭管()螺紋連接，所述螺栓(2)之間等距離排列。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附式真空過濾器，其特征在于：所述濾芯機構(gòu)(15)包括固定連接支架(11)，所述固定連接支架(11)設(shè)置于連接蓋板(12)的內(nèi)腔，所述連接蓋板(12)的頂部接觸有密封圈(5)，所述密封圈(5)的頂部設(shè)置有底座(7)，所述底座(7)的表面套設(shè)有棱形網(wǎng)筒(6)，所述棱形網(wǎng)筒(6)的頂部設(shè)置有網(wǎng)上蓋(14)，所述固定連接支架(11)的頂部依次貫穿密封圈(5)、底座(7)、棱形網(wǎng)筒(6)和網(wǎng)上蓋(14)并延伸至網(wǎng)上蓋(14)的外部。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的吸附式真空過濾器，其特征在于：所述固定連接支架(11)與網(wǎng)上蓋(14)的內(nèi)壁活動連接，所述網(wǎng)上蓋(14)的表面與棱形網(wǎng)筒(6)的內(nèi)壁活動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的吸附式真空過濾器，其特征在于：所述固定連接支架(11)的頂部螺紋套設(shè)有螺母(1)，所述螺母(1)的一側(cè)與網(wǎng)上蓋(14)的表面接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的吸附式真空過濾器，其特征在于：所述頂蓋板(3)的頂部焊接有把手，所述底座(7)和網(wǎng)上蓋(14)與棱形網(wǎng)筒(6)相適配。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及PECVD工藝系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是吸附式真空過濾器，包括罐體，所述罐體的頂部固定連接有連接法管，所述連接法管的表面接觸有頂蓋板，所述頂蓋板的頂部貫穿設(shè)置有螺栓，所述罐體的底部設(shè)置有連接蓋板，所述連接蓋板的底部連通有排氣口。本技術(shù)通過頂蓋板、螺栓、棱形網(wǎng)筒和罐體的配合，能夠便于對吸附式真空過濾器進行簡制組裝，達到了提高了過濾器的實用性，通過頂蓋板、螺栓、連接蓋板、固定連接支架、密封圈、底座、網(wǎng)上蓋和螺母的配合，能夠通過螺母驅(qū)動網(wǎng)上蓋和底座之間相互靠近對棱形網(wǎng)筒進行拆裝，通過固定連接支架可對網(wǎng)上蓋進行穩(wěn)定定位，提高后續(xù)對過濾結(jié)構(gòu)清理的高效性。

技術(shù)研發(fā)人員：張大強,莊麗,鄭瑞富,曾喆
受保護的技術(shù)使用者：沈陽裕強科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240223
技術(shù)公布日：2024/12/30