專利名稱：晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，能對晶圓研磨液混合定量筒將填注溢滿的晶圓研磨原液，另加以旁引暫存再回送回研磨液混合定量筒，使晶圓研磨液混合定量筒不會注滿溢出晶圓研磨原液，能充分回收利用溢出的晶圓研磨原液的新潁技術。
背景技術：
集成電路以及CPU都少不了晶圓的原料，但是晶圓從原礦中一提煉出來，須先加工處理鑄聚成預定的形狀及大小，再特別對煉制成產能的每塊標準直徑晶圓，進行一塊塊切割研磨，才能形成個別集成電路以及CPU所需的芯片，而對晶圓的研磨也必須非常精細講究，否則粗糙的磨制也會浪費很多晶圓材料，使芯片成本大增，也因此晶圓的研磨皆 仰賴專用的研磨機為之，而這些研磨機的前生產階段，也都有其晶圓研磨反應液取用比例及混合攪拌的專用設備(取用比例仰賴晶圓研磨液混合定量筒，混合攪拌仰賴攪拌設備)，將二種研磨反應液，一為水性研磨漿液(二氧化硅，業(yè)界英文通稱SLURRY，亦即后稱之晶圓研磨原液)另一為純水先各自額定取量，以最適當?shù)谋壤?，再經攪拌機混合拌勻，而兩種研磨反應液相拌混合完成的研磨產物，于未結晶的固凝前時間內，送往研磨機研磨晶圓，而專用設備的晶圓研磨反應液取用比例就得倚賴晶圓研磨液混合定量筒為之?，F(xiàn)有晶圓研磨液混合定量筒其做為標準計量的筒體下方開孔管接設有閥門控制開通的出料管，且筒頂設有氮氣輸入管及晶圓研磨原液輸入管，借由出料管將晶圓研磨液混合定量筒內應定量取置的晶圓研磨原液下排到攪拌裝置，并借由氮氣輸入管向筒內輸入氮氣，以避免筒內注留計量的晶圓研磨原液產生氧化反應變質，然而，晶圓研磨原液經晶圓研磨原液輸入管注入到晶圓研磨液混合定量筒將快到額定量時，非常不容易在正剛好的瞬間時點就能控制晶圓研磨原液輸入管完全封閉，使管內流量立即截停，仍會因些許的時間差，會有涓滴余流入晶圓研磨液混合定量筒，溢流出晶圓研磨液混合定量筒口造成浪費。

實用新型內容本實用新型所要解決的主要技術問題在于，克服現(xiàn)有技術存在的上述缺陷，而提供一種晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其充分回收利用溢出的晶圓研磨原液，更精確地回流開啟控制，其加設的多個溢流傳感器(例如兩個)得以避免單一溢流傳感器故障時，仍能借由另外的溢流傳感器維持正常感應回送的晶圓研磨原液液流，保障生產作業(yè)進行。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是一種晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其特征在于，包括一晶圓研磨液混合定量筒，用于對晶圓研磨原液計取量后，供應后續(xù)的攪拌設備進行作業(yè)；一盛裝杯，由晶圓研磨液混合定量筒內隔出，盛裝杯一部分與晶圓研磨液混合定量筒筒壁相連，且盛裝杯上緣較晶圓研磨液混合定量筒內頂緣低，而盛裝杯底高于晶圓研磨液混合定量筒底部，并于盛裝杯臨近與晶圓研磨液混合定量筒相連最下方位置開溢流孔；一溢流液暫存器，設于晶圓研磨液混合定量筒外適當處，為側上端開設回收孔下端開設回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器；一導管，該導管一端管接溢流孔另端管接回收孔；一導回管，該導回管一端管接回流孔另端往下通入晶圓研磨液混合定量筒底側，及一開關閥，串設在導回管上適當位置。所述晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其中，該開關閥設在導回管上的設置設在導回管中段位置。所述晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其中，該開關閥設在導回管上的設置設在導回管應對高于研磨晶圓研磨液混合定量筒上方。所述晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其中，該晶圓研磨液混合定量筒頂蓋適當位置開設灌入口，且該晶圓研磨液混合定量筒底開設晶圓研磨原液計量送出口，又在該晶圓研磨液混合定量筒內臨近頂蓋部位吊設定量擠排塊，并將定量擠排塊頂突出形成的中垂軸貫穿出頂蓋，使定量擠排塊偏離盛裝杯，受中垂軸拉引垂直上下排開該筒內晶圓·研磨原液到盛裝杯內。本實用新型解決其技術問題還可采用如下技術方案一種晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其特征在于，包括一晶圓研磨液混合定量筒，用于對晶圓研磨原液計取量后，供應后續(xù)的攪拌設備進行作業(yè)；一盛裝杯，由晶圓研磨液混合定量筒內隔出，盛裝杯一部分與晶圓研磨液混合定量筒筒壁相連，且盛裝杯上緣較晶圓研磨液混合定量筒內頂緣低，而盛裝杯底高于晶圓研磨液混合定量筒底部，并于盛裝杯臨近與晶圓研磨液混合定量筒相連最下方位置開溢流孔；一溢流液暫存器，設于晶圓研磨液混合定量筒外適當處，為側上端開設回收孔下端開設回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器；一導管，該導管一端管接溢流孔另端管接回收孔；一導回管，該導回管一端管接回流孔另端往下通入晶圓研磨液混合定量筒底側；一開關閥，串設在導回管上適當位置，此開關閥為電磁引導開啟的閥體；至少一溢流傳感器，布設在導管上適當位置，及一控制電腦，該控制電腦連接溢流傳感器的晶圓研磨原液溢流訊號，且控制電腦輸出訊號接到開關閥對應接點。所述晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其中，該開關閥設在導回管上的設置設在導回管中段位置。所述晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其中，該開關閥設在導回管上的設置設在導回管應對高于研磨晶圓研磨液混合定量筒上方。所述晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其中，該晶圓研磨液混合定量筒頂蓋適當位置開設灌入口，且該晶圓研磨液混合定量筒底開設晶圓研磨原液計量送出口，又在該晶圓研磨液混合定量筒內臨近頂蓋部位吊設定量擠排塊，并將定量擠排塊頂突出形成的中垂軸貫穿出頂蓋，使定量擠排塊偏離盛裝杯，受中垂軸拉引垂直上下排開該筒內晶圓研磨原液到盛裝杯內。本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其主要由晶圓研磨液混合定量筒內隔出一盛裝杯、一導管、一溢流液緩存器、一開關閥及一導回管所構成，其中該盛裝杯一部分與晶圓研磨液混合定量筒筒壁部分相連，且盛裝杯上緣較晶圓研磨液混合定量筒內頂緣低，而盛裝杯底高于晶圓研磨液混合定量筒底部，使盛裝杯匯集晶圓研磨液混合定量筒注入溢出的溢流晶圓研磨原液，又于盛裝杯臨近與晶圓研磨液混合定量筒相連最下方位置開設溢流孔套接導管通到溢流液緩存器頂開設的回收孔，而溢流液緩存器底開回流孔管接導回管通入晶圓研磨液混合定量筒底側，而導回管上適當位置串接開關閥，借由控制開關閥開啟使溢流液緩存器內的晶圓研磨原液在下一計量作業(yè)開始時，經導回管流補回晶圓研磨液混合定量筒，由此構成，充分回收利用溢出之晶圓研磨原液。又，本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，又可再加設至少一溢流傳感器，及一控制電腦，且該開關閥為電磁引導開啟的閥體，該些溢流傳感器布設在導管上適當位置，而溢流傳感器將晶圓研磨原液溢流訊號接到控制電腦，且控制電腦輸出訊號接到開關閥對應電接點，借由溢流傳感器感應導管內是否有晶圓研磨原液溢流流出，一旦導管流入溢出晶圓研磨液混合定量筒的晶圓研磨原液時，該些溢流傳感器即出感應訊號到控制電腦，讓控制電腦能在下一計量作業(yè)開始晶圓研磨液混合定量筒再次重新注入晶圓研磨原液時，發(fā)訊令開關閥開啟，將溢流液緩存器內集留的晶圓研磨原液經導回管注補回晶圓研磨液混合定量筒，以此達到更精確地回流開啟控制。·[0017]再者，本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其加設的多個溢流傳感器(例如兩個)得以避免單一溢流傳感器故障時，仍能借由另外的溢流傳感器維持正常感應回送的晶圓研磨原液液流，保障生產作業(yè)進行。本實用新型的有益效果是，其充分回收利用溢出的晶圓研磨原液，更精確地回流開啟控制，其加設的多個溢流傳感器(例如兩個)得以避免單一溢流傳感器故障時，仍能借由另外的溢流傳感器維持正常感應回送的晶圓研磨原液液流，保障生產作業(yè)進行。
以下結合附圖
和實施例對本實用新型進一步說明。圖I為本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置立體示意圖。圖2為圖I所示的晶圓研磨液混合定量筒立體剖視圖。圖3為本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置的整體平面剖面圖。圖4為本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置的使用實施簡示意圖
O圖5為本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置的使用實施簡示意圖
--O圖6為本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置的另一構成示意圖。圖中標號說明10晶圓研磨液混合定量筒IOA 頂蓋10B，10C 灌入口IOD晶圓研磨原液計量送出口IOE定量擠排塊IOF晶圓研磨原液輸入管IOG氮氣輸入管IOH中垂軸[0035]11盛裝杯12溢流孔20 導管30溢流液暫存器31回收孔 32回流孔40開關閥50導回管60，61溢流傳感器70控制電腦80，81晶圓研磨原液82 氮氣90攪拌設備
具體實施方式
如圖I、圖2、圖3所示，本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，主要由晶圓研磨液混合定量筒10內隔出一盛裝杯11、一導管20、一溢流液暫存器30、一開關閥40及一導回管50所構成，其中該盛裝杯11 一部分與晶圓研磨液混合定量筒10筒壁相連，且盛裝杯11上緣較晶圓研磨液混合定量筒10上緣低，而盛裝杯11底高于晶圓研磨液混合定量筒10底部，使盛裝杯11匯集晶圓研磨液混合定量筒10注入溢出的晶圓研磨原液。另且該晶圓研磨液混合定量筒10為頂蓋IOA適當位置開設能套接晶圓研磨原液輸入管IOF引入晶圓研磨原液80，以及氮氣輸入管IOG引入氮氣82的灌入口 10B，10C，且該筒10底開設晶圓研磨原液計量送出口 10D，又在該筒10內臨近頂蓋IOA部位吊設定量擠排塊IOE，并將定量擠排塊IOE頂突出形成的中垂軸IOH貫穿出頂蓋10A，使定量擠排塊IOE偏離盛裝杯11，可受中垂軸IOH拉引垂直上下排開該筒10內晶圓研磨原液到盛裝杯11內的型式。再接著描述盛裝杯11周圍構成情形，又于盛裝杯11臨近與晶圓研磨液混合定量筒10相連最下方位置開設溢流孔12，而溢流液暫存器30設于晶圓研磨液混合定量筒10外適當處，該器30為側上端開設回收孔31下端開設回流孔32且最頂端比溢流孔12低的中空容器，以導管20 —端管接該溢流孔12另端管口管接回收孔31，并以導回管50 —端管接回流孔32導回管50另端往下通入晶圓研磨液混合定量筒10底側，而導回管50上適當位置串接開關閥40，該開關閥40可為電磁引導開啟的閥體，且本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，又可再加設至少一溢流傳感器60，61，及一控制電腦70，將該些溢流傳感器60，61布設在導管20上適當位置，而溢流傳感器60，61將晶圓研磨原液溢流訊號接到控制電腦70，且控制電腦70輸出訊號接到開關閥40對應電接點。作用時，如圖4的使用實施簡示意圖一，當晶圓研磨液混合定量筒10注入的晶圓研磨原液80高度一高過盛裝杯11上緣或定量擠排塊IOE以預定值往下擠排，就使晶圓研磨原液80流入盛裝杯11，再經該溢流孔12向導管20通到溢流液暫存器30內暫留，不使溢出晶圓研磨液混合定量筒10的晶圓研磨原液81向外界任排，使研磨液混合定量筒10內容研磨原液80量一定，且在導管20流入溢流的晶圓研磨原液81當中，溢流傳感器60，61就將晶圓研磨原液81溢流訊號送到控制電腦70等待后續(xù)回流控制。計量一完成該筒10打開研磨原液計量送出口 10D,使筒內晶圓研磨原液80下排送入攪拌設備90再關閉原液計量送出口 10D，再如圖5的使用實施簡示意圖二所示，進行下一計量作業(yè)初始，控制電腦70即依先前收到有儲存溢流的晶圓研磨原液81發(fā)訊令開關閥40開啟，先將溢流液暫存器30內集留的晶圓研磨原液81經導回管50注補回晶圓研磨液混合定量筒10，再發(fā)訊關閉開關閥40從該筒10頂再引入下批晶圓研磨原液80及氮氣82，進入如前圖4能計量儲收溢出晶圓研磨原液80的程序，由此反復處于圖4圖5狀態(tài)就能一批批地定量送出晶圓研磨原液80到后續(xù)逐批攪拌、研磨處理。而本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置亦可如圖6的另一構成示意圖所示，將開關閥40除設在導回管50中段位置，還可設在導回管50對應貼靠晶圓研磨 液混合定量筒10回流的底側壁上。綜上所述，本實用新型晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，確實具有使晶圓研磨液混合定量筒溢出的晶圓研磨原液能回補再利用的效果。本實用新型在結構設計、使用實用性及成本效益上，完全符合產業(yè)發(fā)展所需，且所揭示的結構亦是具有前所未有的創(chuàng)新構造，具有新穎性、創(chuàng)造性、實用性，符合有關新型專利要件的規(guī)定，故依法提起申請。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術方案的范圍內。
權利要求1.一種晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其特征在于，包括 一晶圓研磨液混合定量筒，用于對晶圓研磨原液計取量后，供應后續(xù)的攪拌設備進行作業(yè)； 一盛裝杯，由晶圓研磨液混合定量筒內隔出，盛裝杯一部分與晶圓研磨液混合定量筒筒壁相連，且盛裝杯上緣較晶圓研磨液混合定量筒內頂緣低，而盛裝杯底高于晶圓研磨液混合定量筒底部，并于盛裝杯臨近與晶圓研磨液混合定量筒相連最下方位置開溢流孔； 一溢流液暫存器，設于晶圓研磨液混合定量筒外，為側上端開設回收孔下端開設回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器； 一導管，該導管一端管接溢流孔另端管接回收孔； 一導回管，該導回管一端管接回流孔另端往下通入晶圓研磨液混合定量筒底側，及一開關閥，串設在導回管上。
2.根據(jù)權利要求I所述的晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其特征在于，所述開關閥設在導回管上的設置設在導回管中段位置。
3.根據(jù)權利要求I所述的晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其特征在于，所述開關閥設在導回管上的設置設在導回管應對高于研磨晶圓研磨液混合定量筒上方。
4.根據(jù)權利要求I所述的晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其特征在于，所述晶圓研磨液混合定量筒頂蓋適當位置開設灌入口，且該晶圓研磨液混合定量筒底開設晶圓研磨原液計量送出口，又在該晶圓研磨液混合定量筒內臨近頂蓋部位吊設定量擠排塊，并將定量擠排塊頂突出形成的中垂軸貫穿出頂蓋，使定量擠排塊偏離盛裝杯，受中垂軸拉引垂直上下排開該筒內晶圓研磨原液到盛裝杯內。
5.一種晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其特征在于，包括 一晶圓研磨液混合定量筒，用于對晶圓研磨原液計取量后，供應后續(xù)的攪拌設備進行作業(yè)； 一盛裝杯，由晶圓研磨液混合定量筒內隔出，盛裝杯一部分與晶圓研磨液混合定量筒筒壁相連，且盛裝杯上緣較晶圓研磨液混合定量筒內頂緣低，而盛裝杯底高于晶圓研磨液混合定量筒底部，并于盛裝杯臨近與晶圓研磨液混合定量筒相連最下方位置開溢流孔； 一溢流液暫存器，設于晶圓研磨液混合定量筒外，為側上端開設回收孔下端開設回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器； 一導管，該導管一端管接溢流孔另端管接回收孔； 一導回管，該導回管一端管接回流孔另端往下通入晶圓研磨液混合定量筒底側； 一開關閥，串設在導回管上適當位置，此開關閥為電磁引導開啟的閥體； 至少一溢流傳感器，布設在導管上，及一控制電腦，該控制電腦連接溢流傳感器的晶圓研磨原液溢流訊號，且控制電腦輸出訊號接到開關閥對應接點。
6.根據(jù)權利要求5所述的晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其特征在于，所述開關閥設在導回管上的設置設在導回管中段位置。
7.根據(jù)權利要求5所述的晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其特征在于，所述開關閥設在導回管上的設置設在導回管應對高于研磨晶圓研磨液混合定量筒上方。
8.根據(jù)權利要求5所述的晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，其特征在于，所述晶圓研磨液混合定量筒頂蓋適當位置開設灌入口，且該晶圓研磨液混合定量筒底開設晶圓研磨原液計量送出口，又在該晶圓研磨液混合定量筒內臨近頂蓋部位吊設定量擠排塊，并 將定量擠排塊頂突出形成的中垂軸貫穿出頂蓋，使定量擠排塊偏離盛裝杯，受中垂軸拉引垂直上下排開該筒內晶圓研磨原液到盛裝杯內。
專利摘要一種晶圓研磨液混合定量筒的并旁回流裝置，包括晶圓研磨液混合定量筒，用于對晶圓研磨原液計取量后，供應后續(xù)的攪拌設備進行作業(yè)；盛裝杯由晶圓研磨液混合定量筒內隔出，盛裝杯一部分與晶圓研磨液混合定量筒筒壁相連，且盛裝杯上緣較晶圓研磨液混合定量筒內頂緣低，而盛裝杯底高于晶圓研磨液混合定量筒底部；溢流液暫存器設于晶圓研磨液混合定量筒外，為側上端開設回收孔下端開設回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器；導管一端管接溢流孔另端管接回收孔；導回管一端管接回流孔另端往下通入晶圓研磨液混合定量筒底側，及一開關閥，串設在導回管上。本實用新型具有使晶圓研磨液混合定量筒溢出的晶圓研磨原液能回補再利用的效果。
文檔編號B01F15/04GK202725121SQ20122026861
公開日2013年2月13日 申請日期2012年6月8日 優(yōu)先權日2012年6月8日
發(fā)明者黃怡文, 曾義能 申請人:宸沅國際股份有限公司