專利名稱：?jiǎn)误w冷捕集器和使用該單體冷捕集器的單體沉積設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備，更具體地說，本發(fā)明涉及一種能夠回收排放到腔室外部的氣體的用于粘附單體的冷捕集器以及使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備。
背景技術(shù)：
有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示裝置是表征為其本身發(fā)光的下一代顯示裝置，并且就視角、對(duì)比度、反應(yīng)速率和功耗來說都優(yōu)于液晶顯示裝置(IXD)。OLED顯示裝置包括以矩陣方式連接在掃描線和數(shù)據(jù)線之間的0LED，以構(gòu)成像素。OLED包括陽極電極、陰極電極以及形成在陽極電極和陰極電極之間的有機(jī)薄膜，該有機(jī)薄膜包括空穴傳輸層、有機(jī)發(fā)光層和電子傳輸層。當(dāng)向陽極電極和陰極電極施加預(yù)定電壓時(shí)，通過陽極電極注入的空穴與通過陰極電極注入的電子在發(fā)射層重新組合，在該過程中產(chǎn)生的能量差導(dǎo)致發(fā)出光。然而，OLED包括有機(jī)材料，因而易受氫或氧的影響，并且陰極電極由金屬形成，因而容易由于空氣中的潮氣而氧化，從而導(dǎo)致電氣特性和發(fā)射特性下降。因此，為了克服這些缺點(diǎn)，將呈罐或杯狀的由金屬形成的容器或由玻璃或塑料形成的包封基板布置成面對(duì)形成OLED的基板，以利用環(huán)氧樹脂或密封劑密封。使用容器或包封基板的技術(shù)不容易應(yīng)用于薄或柔性的OELD顯示裝置。結(jié)果，為了密封薄或柔性的OLED顯示器，已經(jīng)提出了薄膜包封技術(shù)。如圖1所示，作為薄膜包封技術(shù)的示例，一種在0LED2上交替地堆疊有機(jī)層2和無機(jī)層4以形成包封層的方法符合OLED顯示裝置所要求的大約10E —6/g/m2/天的水蒸氣傳輸率(WVTR)的要求，因而獲得廣泛使用。為了以薄膜包封技術(shù)形成有機(jī)層3，使用蒸發(fā)沉積將呈液體狀態(tài)的單體沉積以利用紫外線將其固化，從而形成聚合物，并且固化的聚合物用作有機(jī)層3。參照?qǐng)D2，被轉(zhuǎn)化為蒸氣狀態(tài)的單體m從收納呈液體狀態(tài)的單體的單體箱21供應(yīng)至單體腔室20。當(dāng)基板I在主腔室10中被輸送到單體腔室20的上方時(shí)，閘門30打開，單體m被放出到基板I以被沉積在基板I上。之后，單體m通過UV射線固化而變成聚合物，從而形成有機(jī)層3。這里，為了均勻地維持有機(jī)層3的特性，例如，密度、厚度等，將單體腔室20中的不必要的氣體排出十分必要。這里，所述氣體是指除了形成薄膜材料的單體蒸氣(或單體m蒸氣和源氣體)之外的氣體。也就是說，該氣體包括了從單體腔室20的表面排出的氣體、從單體m材料生成的不必要的氣體和用于凈化經(jīng)由其供應(yīng)單體m的流動(dòng)路徑的氬氣。為了將這些氣體排出，而將真空泵41連接至單體腔室20以將所述氣體排放到外部。然而，安裝在排放單體腔室20中的不必要?dú)怏w的流動(dòng)路徑上的真空泵40除了將氣體排出之外還導(dǎo)致形成薄膜的單體m排出，從而真空泵40短時(shí)間內(nèi)就已經(jīng)被單體污染。真空泵的嚴(yán)重污染致使沉積設(shè)備的操作停止，并且執(zhí)行維護(hù)的次數(shù)增加，從而設(shè)備的生產(chǎn)率降低。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題因此，為了解決這些缺陷，提供了用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)將不必要?dú)怏w排放到外部的低成本模塊，來代替在沉積過程中被連續(xù)供應(yīng)并排出的單體污染的昂貴的真空泵，從而增強(qiáng)沉積設(shè)備的生產(chǎn)率，并能夠降低更換昂貴的真空泵所帶來的成本。技術(shù)方案在一個(gè)總體方面中，提供了一種用于粘附單體的冷捕集器，該冷捕集器安裝于在沉積過程期間排放氣體和單體的流動(dòng)路徑上，用于粘附單體的該冷捕集器包括:殼體；入口孔，該入口孔被構(gòu)造成抽吸所述氣體和單體；冷卻板，該冷卻板被構(gòu)造成收納在所述殼體中，并包括供制冷劑在其中流過的流動(dòng)路徑、用于粘附單體的表面、和形成為貫穿所述冷卻板的上表面和下表面的通孔；以及出口孔，所述殼體中的氣體通過所述出口孔排出。在所述殼體中可以布置多個(gè)所述冷卻板，并且這些冷卻板被布置成沿著所述氣體和單體的流動(dòng)方向彼此間隔開，所述通孔可被布置使得所述通孔的形成位置沿著所述氣體和單體的流動(dòng)方向布置。形成在所述冷卻板中的所述通孔的開孔面積可以沿著所述殼體中的所述氣體和單體的向下流動(dòng)方向減小。所述冷捕集器可以還包括柵格板，該柵格板被安裝成與所述冷卻板的所述上表面或所述下表面接觸以增加單體粘附的表面面積。所述殼體可以包括形成在所述殼體的壁上的引導(dǎo)凹槽，從而能將所述冷卻板的側(cè)部插入。供制冷劑流過的所述流動(dòng)路徑可以形成在所述殼體的壁中。在另一個(gè)總體方面中，提供了一種單體沉積設(shè)備，該單體沉積設(shè)備包括:主腔室，單體在該主腔室處沉積在基板上；單體腔室，該單體腔室被構(gòu)造成收納處于蒸汽狀態(tài)的單體；閘門，該閘門被構(gòu)造成將所述單體腔室打開，從而將單體從所述單體腔室放出到所述主腔室；以及根據(jù)第一至第六方面中任一項(xiàng)所述的用于粘附單體的冷捕集器，該冷捕集器被構(gòu)造成排放所述單體腔室中的氣體和單體。所述設(shè)備可以進(jìn)一步包括排放通道，該排放通道被構(gòu)造成將用于粘附單體的所述冷捕集器連接至所述主腔室，其中借助用于粘附單體的所述冷捕集器去除了單體的氣體被排放到所述主腔室。有益效果根據(jù)用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)將不必要?dú)怏w排放到外部的低成本模塊，來代替在沉積過程中被連續(xù)供應(yīng)并排出的單體污染的昂貴的真空泵，從而增強(qiáng)沉積設(shè)備的生產(chǎn)率，并能夠降低更換昂貴的真空泵所帶來的成本。根據(jù)用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備，布置了多個(gè)冷卻板，并且通孔的開孔面積根據(jù)氣體和單體的流動(dòng)方向而改變，從而能夠提高單體回收率。而且，根據(jù)用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備，布置了多個(gè)冷卻板，引導(dǎo)凹槽形成為使得所述冷卻板能插入所述殼體中，從而容易將所述冷卻板聯(lián)接至所述殼體和從所述殼體拆下該冷卻板。此外，根據(jù)用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備，能夠簡(jiǎn)化單體回收裝置的維修和修理工作，并且可以實(shí)現(xiàn)其半永久地使用。


圖1是示出了采用了薄膜包封技術(shù)的有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示裝置的示例的圖。圖2是示出了傳統(tǒng)的單體沉積設(shè)備的示例的圖。圖3是示出了單體沉積設(shè)備的示例的圖。圖4是示出了用于粘附單體的冷捕集器的示例的立體圖。圖5是示出了圖4的用于粘附單體的冷捕集器的圖，冷卻板被從該冷捕集器移除。圖6是示出了布置在圖4的用于粘附單體的冷捕集器中的多個(gè)冷卻板的示例的圖。
具體實(shí)施例方式將參照附圖詳細(xì)地描述用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備的示例性實(shí)施方式。圖3是示出了單體沉積設(shè)備的示例的圖，圖4是示出了用于粘附單體的冷捕集器的示例的立體圖，圖5是示出了圖4的用于粘附單體的冷捕集器的示例的圖，冷卻板被從該冷捕集器移除，而圖6是示出了布置在圖4的用于粘附單體的冷捕集器中的多個(gè)冷卻板的示例的圖。參照?qǐng)D3至圖6，作為用于將呈蒸氣狀態(tài)的單體沉積在基板上的設(shè)備的單體沉積設(shè)備包括主腔室10、單體腔室20、閘門30和用于粘附單體的冷捕集器100。將描述其中在基板上沉積形成密封有機(jī)發(fā)光二極管2的有機(jī)層3的材料的處于蒸氣狀態(tài)的單體m的情況。主腔室110是用來放置形成有有機(jī)發(fā)光二極管2并沉積用于密封該有機(jī)發(fā)光二極管2的薄膜的空間。在主腔室10中，設(shè)置有支撐基板I的基板支撐器(未示出)和使基板支撐器線性往復(fù)運(yùn)動(dòng)的線性輸送單元(未示出)?；錓安裝在基板支撐器上，基板支撐器由線性輸送單元線性地輸送，并且處于蒸氣狀態(tài)的單體m被放出到基板I。沉積在基板I上的單體m在隨后的過程中由紫外線照射，被紫外線照射的單體m變成以薄膜形式密封有機(jī)發(fā)光二極管2的有機(jī)層3。線性輸送單元可以由本領(lǐng)域技術(shù)人員基于馬達(dá)、滾珠絲杠和線性輸送單元或線性馬達(dá)的組合來實(shí)現(xiàn)，因而將省略對(duì)其進(jìn)行詳細(xì)描述。主腔室10維持其中的真空狀態(tài)，即大約10E —4至10E —7托的真空。用于維持主腔室10的真空狀態(tài)的真空泵被安裝成連接至主腔室10，并由該真空泵抽吸主腔室10中的氣體或單體m。單體腔室20是其中以蒸氣狀態(tài)收納用于薄膜的單體m的空間。收納處于蒸氣狀態(tài)的單體的單體箱21布置在單體腔室20的外部。單體被從單體箱21供應(yīng)向單體腔室20，毛細(xì)管或超聲噴嘴安裝在單體箱21和單體腔室20之間，以引起處于蒸氣狀態(tài)的單體產(chǎn)生壓降，從而將被轉(zhuǎn)化成蒸氣狀態(tài)的單體m供應(yīng)至單體腔室20。
閘門30將單體腔室20打開，使得處于蒸氣狀態(tài)的單體m從單體腔室20被放出到主腔室10。當(dāng)沒有執(zhí)行沉積過程時(shí)，閘門30將單體腔室20的噴嘴22 (該噴嘴22將主腔室10連接至單體腔室20)關(guān)閉，從而使得不會(huì)從單體腔室20向主腔室10供應(yīng)單體m。當(dāng)沉積過程開始時(shí)，即，當(dāng)基板I在主腔室10中移動(dòng)到單體腔室20的上方時(shí)，閘門30將單體腔室的噴嘴22打開，使得單體m從單體腔室20向主腔室10供應(yīng)。之后，當(dāng)基板I被連續(xù)地輸送而離開單體腔室20的上部區(qū)域時(shí)，閘門30將單體腔室的噴嘴22再次關(guān)閉，從而不再從單體腔室20向主腔室10供應(yīng)單體m。如上所述，閘門30只有在執(zhí)行沉積過程行時(shí)才打開單體腔室20，從而將單體腔室20與主腔室10連接，并且將單體m從單體腔室20供應(yīng)至主腔室10。用于粘附單體的冷捕集器100安裝在經(jīng)由其排放單體腔室20中的單體m和氣體的流動(dòng)路徑中，并包括殼體110、入口孔120、冷卻板130、柵格板150和出口孔140。這里，從單體腔室20排放到外部的氣體包括從單體m材料產(chǎn)生的不必要的氣體、從單體腔室20的壁排放的氣體、和用于凈化經(jīng)由其供應(yīng)單體m的流動(dòng)路徑的氬氣。殼體110包括將在這里隨后的過程中描述的冷卻板130。制冷劑能夠經(jīng)由其流過的流動(dòng)路徑形成在該殼體的壁111中，從而能夠?qū)碜酝獠康闹评鋭┕?yīng)到殼體壁111內(nèi)。由于殼體110本身通過在殼體壁111內(nèi)流動(dòng)的制冷劑而被冷卻，因此處于蒸氣狀態(tài)的單體m能夠在用于粘附單體的冷捕集器100中更好地凝結(jié)。也就是說，可總體上增強(qiáng)用于粘附單體的冷捕集器100的冷卻效率。在殼體110的下部分處形成制冷劑提供端口 161，制冷劑從外部提供給該制冷劑提供端口 161，并且制冷劑可通過制冷劑軟管162沿著壁111的內(nèi)部流動(dòng)。在殼體壁111上形成引導(dǎo)凹槽112。當(dāng)將要在隨后的過程中描述的冷卻板130插入殼體110中以進(jìn)行聯(lián)接時(shí)，冷卻板143的側(cè)邊可被插入引導(dǎo)凹槽112中，而當(dāng)將冷卻板130從殼體110拆下時(shí)，冷卻板130借助引導(dǎo)凹槽112滑動(dòng)而被從殼體110拆下。如上所述，弓丨導(dǎo)凹槽146方便了將冷卻板130和殼體110彼此聯(lián)接和拆卸。在殼體110的一側(cè)形成有入口孔120，從單體腔室20排出到外部(不是主腔室的內(nèi)部)的單體m或氣體被抽吸而被供應(yīng)到殼體110的內(nèi)部。冷卻板130被收納在殼體110中，并且通過從外部供應(yīng)的制冷劑而被冷卻，從而使單體m粘附于其表面。可供制冷劑流過的流動(dòng)路徑形成在冷卻板130中，流過該流動(dòng)路徑的制冷劑使得冷卻板130本身被冷卻。冷卻板130的低溫使得處于蒸氣狀態(tài)的單體m凝結(jié)并顆?；?，從而使得它們粘附于冷卻板130的表面。冷卻板130回收單體m，而將被去除了單體m的殘余氣體排放到用于粘附單體的冷捕集器100的外部。在冷卻板130中形成通孔131以貫穿冷卻板的上表面和下表面，單體m和殘余氣體通過通孔131穿過冷卻板130而流動(dòng)。在殼體110中形成多個(gè)冷卻板130，并且這些冷卻板被布置成根據(jù)氣體和單體m的流動(dòng)方向A彼此間隔開，從而單體m通過許多步驟被回收。如圖4所示，單體m首先由布置在最上面部分處的冷卻板130回收，并且單體m再次由布置在下面部分處的多個(gè)冷卻板130回收，從而可以提高從單體m和殘余氣體的混合物回收單體的回收率。所述多個(gè)冷卻板130布置成使得通孔131的形成位置根據(jù)冷卻板130中的氣體和單體的流動(dòng)方向A來布置，從而可以使得可能由于通孔131在冷卻板130中的形成位置的混亂引起的流動(dòng)降低最小化。通孔131形成在冷卻板130的中央部分中，并且通孔131布置成上下對(duì)準(zhǔn)以使得單體的流動(dòng)降低最小化。形成在每個(gè)冷卻板130中的通孔131的開孔面積朝向殼體110中的氣體和單體的流動(dòng)方向A的下游方向減小。如圖6所示，布置在最上面部分處的冷卻板130的通孔131的開孔面積最大，布置在最下面部分處的冷卻板130的通孔131的開孔面積最小,介于其間的冷卻板130的通孔131的開孔面積逐漸減小。如上所述，通孔131的開孔面積從氣體和單體的流動(dòng)方向A的上部分開始向下減小，從而單體回收率增加。由于大量的單體m被包含在位于氣體和單體的流動(dòng)方向A的上部分處的混合氣體中，因此即使通孔131的開孔面積較大以增加流動(dòng)速度，也可以回收單體m。然而，在氣體和單體的流動(dòng)方向A的下部分處，單體m由布置在上部分的冷卻板130去除而包含少量單體，從而通孔131的開孔面積減小(流動(dòng)降低被增加)，從而流體的速度被降低以增加單體m的回收率。柵格板150被安裝成與冷卻板130的上表面和下表面接觸以增加單體m粘附的表面面積。柵格板150被安裝成與冷卻板130接觸，從而被冷卻成與冷卻板130相同的水平，使得單體m在柵格板150的表面處凝結(jié)而顆?；⒄掣接诖恕误wm粘附的表面面積借助柵格板150而被增加,從而增加了單體回收率。在殼體110的另一側(cè)形成出口孔140，從而殼體110中的單體m被去除的殘余氣體排放到用于粘附單體的冷捕集器100的外部。結(jié)果，可以防止出口孔140和排放通道50被單體m堵塞。排放通道50安裝在出口孔140上以被連接至主腔室10。主腔室10維持大約IOE 一4至IOE —7托的真空，并且單體腔室20維持高于主腔室的、大約10E — 1至10E — 3托的真空。從而以自然方式形成經(jīng)由用于粘附單體的冷捕集器100從單體腔室20連接至主腔室10的單體m和氣體的流動(dòng)路徑。因此，由于出口孔140連接至主腔室10，因此不需要在用于粘附單體的冷捕集器100的下部分處安裝額外的真空泵?？梢园春?jiǎn)單的方式執(zhí)行如上所述構(gòu)成的用于粘附單體的冷捕集器100的維護(hù)。在將冷卻板130和柵格板150從殼體110取下之后,將粘附于冷卻板130和柵格板150的表面的顆粒狀單體去除，從而完成用于粘附單體的冷捕集器100的維護(hù)。因此，用于粘附單體的冷捕集器100可以簡(jiǎn)化單體回收設(shè)備的維護(hù)，并且可以半永久地使用。如上所述，用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備的示例能夠?qū)崿F(xiàn)將不必要?dú)怏w排放到外部的低成本模塊，來代替在沉積過程中被連續(xù)供應(yīng)并排出的單體污染的昂貴的真空泵，從而增強(qiáng)沉積設(shè)備的生產(chǎn)率，并能夠降低更換昂貴的真空泵所帶來的成本。另外，在用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備的示例中，布置了多個(gè)冷卻板，并且通孔的開孔面積根據(jù)氣體和單體的流動(dòng)方向而改變，從而能夠提高單體回收率。此外，在用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備的示例中，引導(dǎo)凹槽形成為使得能將所述冷卻板插入所述殼體中，從而可容易地將冷卻板聯(lián)接至所述殼體和從所述殼體拆下。而且，在用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備的示例中，粘附到冷卻板和柵格板的表面的顆粒狀單體被去除而完成用于粘附單體的冷捕集器的維護(hù)和修理，從而能夠簡(jiǎn)化維護(hù)和修理工作，并且可以實(shí)現(xiàn)冷捕集器的半永久使用。盡管示出并描述了用于粘附單體的冷捕集器的示例具有矩形形狀，并且冷卻板具有四邊形形狀，但是用于粘附單體的冷捕集器可以形成為筒形形狀，并且冷卻板可以形成為筒形板形狀，并且它們可以以各種形式實(shí)現(xiàn)。盡管用于粘附單體的冷捕集器的出口孔連接至主腔室，但是用于粘附單體的冷捕集器的該出口孔可以連接至能夠維持比單體腔室或空間更低的真空狀態(tài)的諸如真空泵之類的各種裝置。以上已經(jīng)描述了許多示例。然而，將理解可以進(jìn)行各種修改。例如，如果以不同的順序執(zhí)行所描述的技術(shù)并且/或者如果以不同的方式組合和/或由其他部件或其等同物來替換或補(bǔ)充所描述的系統(tǒng)、架構(gòu)、裝置或回路中的部件，則可以實(shí)現(xiàn)適當(dāng)?shù)慕Y(jié)果。因而，其他實(shí)現(xiàn)也位于所附的權(quán)利要求的范圍內(nèi)。工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明可以在能夠從排放到腔室外部的氣體和單體中回收單體的用于粘附單體的冷捕集器和使用該冷捕集器的單體沉積設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種用于粘附單體的冷捕集器，該冷捕集器安裝于在沉積過程期間排放氣體和單體的流動(dòng)路徑上，用于粘附單體的該冷捕集器包括: 殼體； 入口孔，該入口孔被構(gòu)造成抽吸所述氣體和單體； 冷卻板，該冷卻板被構(gòu)造成收納在所述殼體中，并包括:供制冷劑在其中流過的流動(dòng)路徑；用于粘附單體的表面；和通孔，所述通孔形成為貫穿所述冷卻板的上表面和下表面；以及 出口孔，所述殼體中的氣體通過所述出口孔排出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷捕集器，其中在所述殼體中布置多個(gè)所述冷卻板，并且這些冷卻板被布置成沿著所述氣體和單體的流動(dòng)方向彼此間隔開，所述通孔被布置成使得所述通孔的形成位置沿著所述氣體和單體的流動(dòng)方向布置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的冷捕集器，其中形成在所述冷卻板中的所述通孔的開孔面積沿著所述殼體中的所述氣體和單體的向下流動(dòng)方向減小。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷捕集器，該冷捕集器還包括柵格板，該柵格板被安裝成與所述冷卻板的所述上表面或所述下表面接觸以增加單體粘附的表面面積。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷捕集器，其中所述殼體包括形成在所述殼體的壁上的引導(dǎo)凹槽，從而能將所述冷卻板的側(cè)部插入。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷捕集器，其中供制冷劑流過的所述流動(dòng)路徑形成在所述殼體的壁中。
7.—種單體沉積設(shè)備，該單體沉積設(shè)備包括: 主腔室，單體在該主腔室處沉積在基板上； 單體腔室，該單體腔室被構(gòu)造成收納處于蒸汽狀態(tài)的單體； 閘門，該閘門被構(gòu)造成將所述單體腔室打開，從而將單體從所述單體腔室放出到所述主腔室；以及 根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的用于粘附單體的冷捕集器，該冷捕集器被構(gòu)造成排放所述單體腔室中的氣體和單體。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的單體沉積設(shè)備，該單體沉積設(shè)備進(jìn)一步包括排放通道，該排放通道被構(gòu)造成將用于粘附單體的所述冷捕集器連接至所述主腔室，其中借助用于粘附單體的所述冷捕集器去除了單體的氣體被排放到所述主腔室。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種單體冷捕集器，該冷捕集器安裝于將在沉積過程中產(chǎn)生的氣體和單體經(jīng)由其排放到外部的路徑上，并且其特征在于包括殼體；入口孔，該入口孔用于抽吸所述氣體和單體；冷卻板，該冷卻板被收納在所述殼體中，并具有形成在內(nèi)部以供制冷劑從其流過的路徑、用于粘附單體的表面、和形成為貫穿上表面和下表面的通孔；以及出口孔，該出口孔用于從所述殼體的內(nèi)部排出氣體。
文檔編號(hào)B01D8/00GK103118753SQ201080069180
公開日2013年5月22日 申請(qǐng)日期2010年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月20日
發(fā)明者尹亨碩, 南宮晟泰, 金壯美, 樸一濬 申請(qǐng)人:Snu 精密股份有限公司