專利名稱：一種液面浮力攪拌器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備，尤其涉及一種液面浮力攪拌器
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工藝中，化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)技術(shù)是機(jī)械削磨和化學(xué)腐蝕組合的技術(shù)，化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)借助超微粒的研磨作用以及漿料的化學(xué)腐蝕作用，在被研磨的介質(zhì)表面上形成光潔平坦的平面。化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)是集成電路 (IC)向細(xì)微化、多層化、薄型化、平坦化工藝發(fā)展的產(chǎn)物，已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造行業(yè)的主流技術(shù)，也是晶片向200mm、300mm乃至更大的直徑過度、提高生產(chǎn)效率、降低制造成本以及襯底全局化平坦化必備的工藝技術(shù)。化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造工藝的中樞技術(shù)。CMP是使用含有氮化硅、氧化硅等研磨粒的研磨液(Slurry)來使半導(dǎo)體晶圓表面平坦化的方法，研磨的對(duì)象包括硅氧化膜、配線、插塞(Plug)等。研磨晶圓的目的是去除晶圓表面的切痕或凹凸不平，使表面加工損傷平整均勻，在化學(xué)腐蝕過程中，其表面腐蝕速率即可均勻一致，在研磨墊和晶圓之間添加研磨液(Slurry)，以提高研磨效率。研磨液靜止放置在空氣中放置極易結(jié)晶，結(jié)晶的研磨液在研磨過程中會(huì)對(duì)晶圓造成劃痕(Scratch)，影響產(chǎn)量?，F(xiàn)有技術(shù)，研磨液放置于集液桶中時(shí)，需要利用攪拌槳以及自身循環(huán)系統(tǒng)幫助研磨液增加一定的攪動(dòng)，減少結(jié)晶的形成。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中液面攪拌器的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，所述液面攪拌器30包括轉(zhuǎn)動(dòng)主軸32和固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸32尾端的攪拌槳34，所述攪拌器30位于盛放研磨液 20的集液桶10中，攪拌槳34浸沒在研磨液20中，轉(zhuǎn)動(dòng)主軸32帶動(dòng)攪拌槳34轉(zhuǎn)動(dòng)不斷攪動(dòng)研磨液20，從而使降低研磨液結(jié)晶的情況。但當(dāng)有較多的研磨液20儲(chǔ)藏于集液桶10中時(shí)，攪拌槳34對(duì)接近空氣的上面接觸處于集液桶10最上層的接近空氣的研磨液20的擾動(dòng)就不明顯了，接近空氣的液面就會(huì)與空氣長(zhǎng)時(shí)間靜止接觸，極易形成結(jié)晶。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是，提供一種能夠增加近液面攪動(dòng)的攪拌器。為解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種液面浮力攪拌器，包括轉(zhuǎn)動(dòng)主軸，以及固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸尾端的固定攪拌槳，還包括浮子和固定于所述浮子下方的浮動(dòng)攪拌槳，所述浮子與浮動(dòng)攪拌槳套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上，并能夠沿著所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸滑動(dòng)。進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上設(shè)置有縱向?qū)к墸龈∽优c浮動(dòng)攪拌槳與所述縱向?qū)к壪噙m配。進(jìn)一步的，所述浮子與所述浮動(dòng)攪拌槳通過連接機(jī)構(gòu)固定相連，所述連接機(jī)構(gòu)套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上，并能夠沿著所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸滑動(dòng)。進(jìn)一步的，所述縱向?qū)к壣舷聝啥嗽O(shè)有卡止部件。進(jìn)一步的，所述液面浮力攪拌器的材質(zhì)為耐腐蝕材料。[0011]綜上所述，本實(shí)用新型所述液面浮力攪拌器的攪拌槳能夠隨液面的高低變化而上下調(diào)整，從而無(wú)論液面的高低，都能夠充分?jǐn)噭?dòng)靠近空氣的液面，從而有效降低靠近空氣的液面結(jié)晶的問題。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中液面攪拌器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中浮動(dòng)攪拌槳的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為圖2所述浮動(dòng)攪拌槳的俯視圖。圖4為圖2所述浮動(dòng)攪拌槳的另一狀態(tài)圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本實(shí)用新型并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。其次，本實(shí)用新型利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)例時(shí)，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。本實(shí)用新型的核心思想是在現(xiàn)有技術(shù)攪拌器的轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上加裝浮子和固定于浮子下方的浮動(dòng)攪拌槳，所述浮子隨液面升降變化上下浮動(dòng)，所述浮動(dòng)攪拌槳設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上，轉(zhuǎn)動(dòng)主軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠帶動(dòng)所述浮動(dòng)攪拌槳水平轉(zhuǎn)動(dòng)，從而攪動(dòng)靠近空氣的液面， 從而達(dá)到防止靠近空氣的液面結(jié)晶的問題。圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中浮動(dòng)攪拌槳的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為圖2所述浮動(dòng)攪拌槳的俯視圖。如圖2和圖3所示，本實(shí)用新型提供一種液面浮力攪拌器300，包括轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320，以及固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320尾端的固定攪拌槳340，還包括浮子360和固定于所述浮子360下方的浮動(dòng)攪拌槳380，所述浮子360與浮動(dòng)攪拌槳380套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸 320上，并能夠沿著所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320滑動(dòng)。所述液面浮力攪拌器300位于盛放研磨液200 的集液桶100中，所述固定攪拌槳340與浮動(dòng)攪拌槳380浸沒在研磨液200中，分別位于研磨液的底部和靠近空氣的液面處，轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320帶動(dòng)攪拌槳340和浮動(dòng)攪拌槳380轉(zhuǎn)動(dòng)不斷攪動(dòng)研磨液200，從而使降低研磨液200結(jié)晶的情況。進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320上設(shè)置有縱向?qū)к?10 ；圖3為圖2所述浮動(dòng)攪拌槳的俯視圖。請(qǐng)結(jié)合圖3，所述浮子360與浮動(dòng)攪拌槳380的內(nèi)徑形狀與所述縱向?qū)к壪噙m配，進(jìn)一步的，在本實(shí)施例中，所述縱向?qū)к?10為設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320的縱向活動(dòng)鍵，所述浮子360與浮動(dòng)攪拌槳380與縱向活動(dòng)鍵相適配。從而使浮子360及浮動(dòng)攪拌槳380相對(duì)于轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320在水平方向卡持固定，從而使轉(zhuǎn)動(dòng)主軸在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠帶動(dòng)浮動(dòng)攪拌槳380 轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使浮動(dòng)攪拌槳380能夠攪動(dòng)靠近空氣的液面部分，而浮子360與浮動(dòng)攪拌槳380 在豎直方向上可以相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320滑動(dòng)。此外其他能夠滿足上述浮動(dòng)攪拌槳與轉(zhuǎn)動(dòng)主軸運(yùn)動(dòng)關(guān)系的結(jié)構(gòu)都在本實(shí)用新型的思想范圍內(nèi)。 進(jìn)一步的，所述浮子360與所述浮動(dòng)攪拌槳380通過連接機(jī)構(gòu)370固定相連，所述連接機(jī)構(gòu)套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320上，并能夠沿著所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320滑動(dòng)，同樣，所述連接機(jī)構(gòu)的內(nèi)環(huán)與轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320上的縱向?qū)к壪噙m配，從而使連接結(jié)構(gòu)370能夠被轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320帶動(dòng)水平轉(zhuǎn)動(dòng)且連接機(jī)構(gòu)370能夠相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)主軸320縱向活動(dòng)。所述連接機(jī)構(gòu)370能夠更好地固定浮子360和浮動(dòng)攪拌槳380，此外其他固定連接浮子360和浮動(dòng)攪拌槳380的方法都可作為本實(shí)用新型的思想之內(nèi)。進(jìn)一步的，所述縱向?qū)к?10上下兩端設(shè)有卡止部件330。所述卡止部件330能夠防止液面過低時(shí)浮動(dòng)攪拌槳380觸碰到固定攪拌槳340，液面過高時(shí)所述浮子360觸碰到集液桶100頂部，保護(hù)液面浮力攪拌器300，延長(zhǎng)使用壽命。進(jìn)一步的，所述液面浮力攪拌器的材質(zhì)為耐腐蝕材料，所述液面浮力攪拌器300 的材質(zhì)可以為聚四氟乙烯或其他材質(zhì)，能夠不與集液桶中的。圖4為圖2所述浮動(dòng)攪拌槳的另一狀態(tài)圖。請(qǐng)結(jié)合圖2和圖4，所述浮子360和浮動(dòng)攪拌槳380能夠隨著液面的變化沿轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上下浮動(dòng)，并隨轉(zhuǎn)動(dòng)主軸的轉(zhuǎn)動(dòng)攪動(dòng)靠近空氣的液面，從而防止接近空氣的液面長(zhǎng)時(shí)間靜止發(fā)生結(jié)晶。綜上所述，本實(shí)用新型液面浮力攪拌器在轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上加裝浮子和固定于浮子下方的浮動(dòng)攪拌槳，所述浮子隨液面升降變化上下浮動(dòng)，所述浮動(dòng)攪拌槳設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上，轉(zhuǎn)動(dòng)主軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠帶動(dòng)所述浮動(dòng)攪拌槳水平轉(zhuǎn)動(dòng)，從而攪動(dòng)靠近空氣的液面，從而有效防止靠近空氣的液面結(jié)晶的問題。雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種液面浮力攪拌器，包括轉(zhuǎn)動(dòng)主軸，以及固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸尾端的固定攪拌槳， 其特征在于，還包括浮子和固定于所述浮子下方的浮動(dòng)攪拌槳，所述浮子與浮動(dòng)攪拌槳套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上，并能夠沿著所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸滑動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的液面浮力攪拌器，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上設(shè)置有縱向?qū)к?，所述浮子與浮動(dòng)攪拌槳與所述縱向?qū)к壪噙m配。
3.如權(quán)利要求1或2所述的液面浮力攪拌器，其特征在于，所述浮子與所述浮動(dòng)攪拌槳通過連接機(jī)構(gòu)固定相連，所述連接機(jī)構(gòu)套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上，并能夠沿著所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸滑動(dòng)。
4.如權(quán)利要求2所述的液面浮力攪拌器，其特征在于，所述縱向?qū)к壣舷聝啥嗽O(shè)有卡止部件。
5.如權(quán)利要求1所述的液面浮力攪拌器，其特征在于，所述液面浮力攪拌器的材質(zhì)為耐腐蝕材料。
專利摘要本實(shí)用新型揭示了一種液面浮力攪拌器，所述液面浮力攪拌器包括轉(zhuǎn)動(dòng)主軸，以及固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸尾端的固定攪拌槳，還包括浮子和固定于所述浮子下方的浮動(dòng)攪拌槳，所述浮子與浮動(dòng)攪拌槳套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸上，并能夠沿著所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸滑動(dòng)。本實(shí)用新型所述液面攪拌器的攪拌槳能夠隨液面的高低變化而上下調(diào)整，從而無(wú)論液面的高低，都能夠充分?jǐn)噭?dòng)靠近空氣的液面，從而有效降低靠近空氣的液面結(jié)晶的問題。
文檔編號(hào)B01F15/00GK201959757SQ201020644349
公開日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2010年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月6日
發(fā)明者彭名君, 湯曉琛, 沙酉鶴, 洪明杰 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司