專利名稱：多晶硅酸洗廢氣排放處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及的是一種廢氣排放處理設(shè)備，特別涉及的是一種多晶硅酸洗廢 氣排放處理裝置的改進(jìn)。
背景技術(shù)：
多晶硅料在進(jìn)入生產(chǎn)環(huán)節(jié)前需要在酸洗罐內(nèi)進(jìn)行酸洗，酸洗一般采用氫氟酸(HF) 和硝酸(HN03)混合酸液，在酸洗過(guò)程中，氫氟酸和硝酸結(jié)合會(huì)產(chǎn)生一種氮氧化物(NOX)氣 體，因?yàn)榕欧艔U氣中含有大量氮氧化物氣體，而且氮氧化物氣體呈黃顏色，所以排放廢氣也 會(huì)呈現(xiàn)黃顏色，俗稱“黃煙”，黃煙如果直接排到大氣中會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重大氣污染，所以在排放 前必須經(jīng)過(guò)處理。目前，處理黃煙的廢氣排放處理設(shè)備一般由噴淋罐、排放罐和排放煙囪組 成，噴淋罐內(nèi)需連續(xù)不斷地噴淋大量堿性液體對(duì)黃煙進(jìn)行中和處理，處理費(fèi)用大，生產(chǎn)成本 高，另外噴淋罐和排放罐體積大、噴淋機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，一套廢氣排放處理設(shè)備至少需花費(fèi)30 多萬(wàn)人民幣，而且，上述廢氣排放處理設(shè)備對(duì)黃煙的處理效果不好，排入大氣的廢氣中還不 同程度存在黃色氣體，達(dá)不到環(huán)保要求。發(fā)明內(nèi)容鑒于目前公知技術(shù)存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是在于提供一種使 多晶硅酸洗過(guò)程中廢氣的排放符合環(huán)保要求，同時(shí)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、大大降低設(shè)備成本和生產(chǎn)成 本的多晶硅酸洗廢氣排放處理裝置。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型是采取如下技術(shù)方案來(lái)完成的多晶硅酸洗廢氣排放處理裝置，其特征在于多晶硅酸洗廢氣排放處理裝置包括 連接酸洗罐的儲(chǔ)氣罐和排放煙 ，排放煙 的出口設(shè)有抽風(fēng)機(jī)，儲(chǔ)氣罐與酸洗罐、儲(chǔ)氣罐與 排放煙 之間的連接管路上設(shè)有盛放氨水的容器，容器開(kāi)口與管路通道相通。本實(shí)用新型的有益效果是以簡(jiǎn)單的體積較小的儲(chǔ)氣罐代替了現(xiàn)有技術(shù)的噴淋罐 和排放罐，然后在儲(chǔ)氣罐與酸洗罐、儲(chǔ)氣罐與排放煙 之間的連接管路設(shè)置盛放氨水的容 器，因?yàn)榘彼畵]發(fā)快，這樣在設(shè)置氨水容器的管路通道中就會(huì)充滿氨氣，當(dāng)黃煙在抽風(fēng)機(jī)作 用下快速通過(guò)上述段管路通道時(shí)，黃煙與氨氣就會(huì)充分進(jìn)行中和反應(yīng)，有效將氮氧化物成 分吸收，使排放廢氣達(dá)到環(huán)保要求。所以說(shuō)，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、降低了設(shè)備成本和生產(chǎn) 成本，同時(shí)廢氣排放符合環(huán)保要求。
本實(shí)用新型有如下附圖。圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
附圖表示了本實(shí)用新型的技術(shù)方案及其實(shí)施例，下面再結(jié)合附圖進(jìn)一步描述其實(shí)施例的各有關(guān)細(xì)節(jié)及其工作原理。參照附圖1，該種多晶硅酸洗廢氣排放處理裝置，包括與酸洗罐1連接的儲(chǔ)氣罐3、 排放煙囪6和抽風(fēng)機(jī)5，酸洗罐1與儲(chǔ)氣罐3、儲(chǔ)氣罐3與排放煙囪6之間通過(guò)管路2和4 連通，抽風(fēng)機(jī)5設(shè)在排放煙囪6的出口，管路2和4上分別設(shè)有盛放氨水的容器8和7，容器 開(kāi)口與管路通道相通。本實(shí)用新型工作過(guò)程是這樣的多晶硅料在酸洗罐1內(nèi)進(jìn)行酸洗，排放廢氣中含 有大量的氮氧化物(NOX)氣體，排放廢氣在抽風(fēng)機(jī)5的抽風(fēng)作用下快速通過(guò)管路2、儲(chǔ)氣罐 3、管路4后進(jìn)入排放煙@ 6，排放廢氣中的氮氧化物氣體被管路2、4中的氨氣充分中和，抽 風(fēng)速度越快，中和速度也快，氨水揮發(fā)速度也快，所以最后從排放煙 排放到大氣的廢氣中 基本不含氮氧化物氣體，廢氣顏色也不存在黃的顏色，廢氣排放完全達(dá)到環(huán)保要求。
權(quán)利要求1.多晶硅酸洗廢氣排放處理裝置，其特征在于多晶硅酸洗廢氣排放處理裝置包括連 接酸洗罐的儲(chǔ)氣罐和排放煙 ，排放煙 的出口設(shè)有抽風(fēng)機(jī)，儲(chǔ)氣罐與酸洗罐、儲(chǔ)氣罐與排 放煙 之間的連接管路上設(shè)有盛放氨水的容器，容器開(kāi)口與管路通道相通。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅酸洗廢氣排放處理裝置，其特征在于多晶硅酸洗廢氣排放處理裝置包括連接酸洗罐的儲(chǔ)氣罐和排放煙囪，排放煙囪的出口設(shè)有抽風(fēng)機(jī)，儲(chǔ)氣罐與酸洗罐、儲(chǔ)氣罐與排放煙囪之間的連接管路上設(shè)有盛放氨水的容器，容器開(kāi)口與管路通道相通。本實(shí)用新型能使多晶硅酸洗過(guò)程中廢氣的排放符合環(huán)保要求，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，大大降低設(shè)備成本和生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)B01D53/78GK201832554SQ20102059967
公開(kāi)日2011年5月18日 申請(qǐng)日期2010年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月9日
發(fā)明者徐叢輝, 李國(guó)迪, 王剛, 蔣明霞, 馬景超 申請(qǐng)人:浙江瑞迪硅谷新能源科技有限公司