專利名稱:硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種凈化裝置,尤其是涉及一種硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置。
背景技術(shù):
硅晶棒切割粉是制作太陽(yáng)能硅片、半導(dǎo)體硅片、工程陶瓷、加熱元件、高級(jí)耐火材 料等產(chǎn)品的重要材料,隨著新材料科學(xué)的大力發(fā)展,對(duì)硅晶棒切割粉的質(zhì)量要求越來(lái)越高。 在高質(zhì)量的硅晶棒切割粉的生產(chǎn)中需要對(duì)硅晶棒切割粉進(jìn)行酸洗,然而酸洗時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量 的酸霧,這些酸霧直接排放出去會(huì)對(duì)環(huán)境產(chǎn)生較大的污染,并且會(huì)對(duì)機(jī)器設(shè)備產(chǎn)生腐蝕,對(duì) 人體健康造成傷害。
發(fā)明內(nèi)容為了克服上述不足,本實(shí)用新型提供了一種硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置,這種 硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置改善了生產(chǎn)環(huán)境,避免了機(jī)器被腐蝕,保護(hù)了人體的健康。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置,包括酸洗反應(yīng)罐、PP管道、引風(fēng)機(jī)、堿水箱和 排氣管,所述酸洗反應(yīng)罐的排氣口通過(guò)PP管道相互連通,所述引風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口與PP管道相 連,所述引風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與堿水箱相連,所述堿水箱頂部開有排氣管。本實(shí)用新型具有的有益效果是這種硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置用引風(fēng)機(jī)能把酸霧吸到堿水箱里中和,再排放 出中性的氣體,改善了生產(chǎn)環(huán)境,避免了機(jī)器被腐蝕,保護(hù)了人體的健康。
圖1為本實(shí)用新型硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。其中酸洗反應(yīng)罐1、PP管道2、引風(fēng)機(jī)3、堿水箱4、排氣管5。
具體實(shí)施方式
如圖1,本實(shí)用新型涉及一種硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置,包括酸洗反應(yīng)罐1、 PP管道2、引風(fēng)機(jī)3、堿水箱4和排氣管5,所述酸洗反應(yīng)罐1的排氣口通過(guò)PP管道2相互 連通,所述引風(fēng)機(jī)3的進(jìn)風(fēng)口與PP管道2相連,所述引風(fēng)機(jī)3的出風(fēng)口與堿水箱4相連,所 述堿水箱4頂部開有排氣管5。
權(quán)利要求一種硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置,包括酸洗反應(yīng)罐(1)、PP管道(2)和排氣管(5),其特征在于它還包括引風(fēng)機(jī)(3)和堿水箱(4),所述酸洗反應(yīng)罐(1)的排氣口通過(guò)PP管道(2)相互連通,所述引風(fēng)機(jī)(3)的進(jìn)風(fēng)口與PP管道(2)相連,所述引風(fēng)機(jī)(3)的出風(fēng)口與堿水箱(4)相連,所述堿水箱(4)頂部開有排氣管(5)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種凈化裝置,尤其是涉及一種硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置。一種硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置一種硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置,包括酸洗反應(yīng)罐(1)、PP管道(2)和排氣管(5),其特征在于它還包括引風(fēng)機(jī)(3)和堿水箱(4),所述酸洗反應(yīng)罐(1)的排氣口通過(guò)PP管道(2)相互連通,所述引風(fēng)機(jī)(3)的進(jìn)風(fēng)口與PP管道(2)相連,所述引風(fēng)機(jī)(3)的出風(fēng)口與堿水箱(4)相連,所述堿水箱(4)頂部開有排氣管(5)。這種硅晶棒切割粉的酸霧凈化裝置改善了生產(chǎn)環(huán)境,避免了機(jī)器被腐蝕,保護(hù)了人體的健康。
文檔編號(hào)B01D53/78GK201719964SQ201020229570
公開日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2010年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月13日
發(fā)明者任建龍, 張國(guó)忠, 李國(guó)清 申請(qǐng)人:江陰浩博科技有限公司