專利名稱：凈化空氣的過濾裝置及方法
技術領域：
本發(fā)明是有關于一種過濾裝置及方法，且特別是有關于一種凈化空氣的過濾裝置及方法。
熟悉半導體產(chǎn)業(yè)者均知，由于以半導體制程制造出的元件尺寸很小，而唯恐空氣中顆粒(particle)不慎掉落在晶片上影響制程的進行，因此半導體工廠中對于潔凈室(clean room)的潔凈度要求相當高。
半導體廠一般是為密閉式的建筑，借助空氣清凈調(diào)節(jié)裝置維持廠內(nèi)空氣的清新，然而空氣清凈調(diào)節(jié)裝置有時并無法完全過濾外界空氣的異味，致使整個廠內(nèi)將會充斥著人員無法忍受的異味。更嚴重的情況是，部分的氣體將與制程中的制程原料反應，導致制程的良率降低。
雖然廠內(nèi)會另外加裝一些偵測器，偵測外界進入廠內(nèi)的空氣是否含有影響制程進行的氣體，然而在人體的嗅覺器官對于某些具有刺激性或其他異味的氣體較偵測器更為敏感之下，常常在偵測器發(fā)出警告(alarm)前，廠內(nèi)人員即已無法容忍，因此只好先行將人員疏散，以確保人員的健康與安全。而人員的疏散，造成部分制程的中斷，同樣地也會降低生產(chǎn)率。
有監(jiān)于此，本發(fā)明的目的就是在提供一種凈化空氣的過濾裝置，藉以凈化外界進入半導體廠的空氣，確保空氣的品質(zhì)，使廠內(nèi)的人員安全受到保障，確保制程良率。
本發(fā)明提供一種凈化空氣的過濾裝置，用以凈化進入一工廠中的外界空氣，其特征在于，包括一水幕式過濾裝置，該水幕式過濾裝置，利用一水幕吸收外界空氣中的異物，一端藉由一第一管路連接至一儲水槽，另一端連接至一第二管路；以及一第一泵，裝設在該水幕式過濾裝置與該儲水槽之間，用以從該儲水槽中加壓產(chǎn)生該水幕式過濾裝置所需的水。
其中該第一泵與該儲水槽之間還包括一加熱裝置，用以加熱該第一管路中的水，增加該水幕式過濾裝置對空氣中異物的溶解度。
其中該第二管路連接至該儲水槽與該加熱裝置之間的第一管路上。
其中該裝置還包括一第二泵，該第二泵裝設在該第二管路連接至該第一管路之前，用以將該第二管路中的水送入該第一管路。
本發(fā)明一種凈化空氣的方法，用以凈化進入一工廠中的外界空氣，其特征在于，包括利用一泵將水經(jīng)由一第一管路，而從一儲水槽中送至一水幕式過濾裝置；以及以該水幕式過濾裝置產(chǎn)生一流動式水幕覆蓋該工廠的一外界空氣入口，藉由該流動式水幕去除外界空氣中的異物。
其中該水幕式過濾裝置還連接至一第二管路，藉由該第二管路將該流動式水幕產(chǎn)生的水導出。
其中還包括在水進入該水幕式過濾裝置前，利用一加熱裝置增加水溫的步驟。
其中該加熱裝置是裝設在該儲水槽與該水幕式過濾裝置之間。
為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征、和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉一較佳實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下圖式的簡單說明

圖1是顯示本發(fā)明較佳實施例凈化空氣的過濾裝置的示意圖。
圖2是顯示圖1中的控制回路108的構成圖。
實施例人體的嗅覺器官對于一些刺激性的味道，例如含氯氣體或是氨等，通常較工廠中一些偵測器更為敏感，而半導體廠因為潔凈室潔凈度的因素，即使在室內(nèi)空氣充滿異味時，仍無法以開啟通風處的方式進行處理，導致當廠中的工作人員無法忍受時，人員需撤離工廠，以確保其安全與健康，然而在這樣的情況下，生產(chǎn)線將需停止操作。此外，在集成電路(IC)的制程，氨氣會與微影制程的光阻材料反應，使得線路解析度變差，而嚴重影響到微影制程的進行，故氨氣在廠區(qū)中的濃度顯得更為重要。因此本發(fā)明的較佳實施例是在提供一種凈化空氣的過濾裝置，用以凈化外界進入工廠中的空氣，以更進一步確保人員安全，更能提升生產(chǎn)線效率。
圖1所示，為根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例凈化空氣的過濾裝置的示意圖，其是在工廠中外界空氣的入口管路100處裝設一水幕式過濾裝置102，水幕式過濾裝置102一端是接往一第一管路104，作為水幕式過濾裝置102需用的水的入口，第一管路104連接至一儲水槽106，槽中是儲存了水幕式過濾裝置102中所需的水。在儲水槽106與水幕式過濾裝置102之間裝設了控制回路108(該控制回路為已有技術，如圖2所示)，包含了水泵(pump)或壓縮機(compressor)，并裝設時間控制器啟動水閥，另利用相對濕度計或氨微量偵測器來管控水幕的開與合。例如為水泵或壓縮機，用以將儲水槽106中的水加壓使水具有適當?shù)膲航?head)，而可將水經(jīng)由第一管路104送至水幕式過濾裝置104的入口。
水幕式過濾裝置102可具有一噴灑狀或噴嘴式的接頭(未繪出)，使從第一管路104流出的水經(jīng)由接頭以水幕狀或霧狀噴灑出，而由于水幕式過濾裝置102是裝設在外界空氣入口100a，因此當水噴灑出時，可將管路100的入口100a整個擋出。因此，當外界空氣進入管路100時，會先經(jīng)由水幕式過濾裝置102，則外界空氣中的廢氣例如含氯氣體或氨等將可溶解在水幕式過濾裝置102產(chǎn)生的水幕中，外界空氣中的懸浮顆粒亦可藉由水幕將其稀釋或去除。
如圖1所示，水幕式過濾裝置102的另一端接往一第二管路110，其作為一汲出管，將從水幕式過濾裝置102流出的水導出。此外，為節(jié)省資源，更可將第二管路110中流出的水回收，利用在第二管路110中裝設一泵112，將水送入第一管路104中進行回收。此外，在第一管路104中還可裝設一加熱裝置114，加熱送入水幕式過濾裝置102的水，則水在經(jīng)過加溫之后，可增加外界空氣中的廢氣或顆粒對水的溶解度，而使水幕式過濾裝置102可吸收外界空氣中更多不必要的物質(zhì)，而達到其過濾的功能。另外，更可將此凈化空氣的過裝置裝設有計時器，在外界空氣較為干凈時，停止此過濾裝置的運作，以節(jié)省資源并降低成本。
本發(fā)明較佳實施例是在工廠中外界空氣的入口裝置一過濾裝置，此過濾裝置產(chǎn)生水幕覆蓋入口，使得當外界空氣進入時，可藉由流動式的水幕吸收空氣中的廢氣、顆粒等，進而將外界空氣的異物排除在廠區(qū)之外。
藉由本發(fā)明較佳實施例，不僅可確保廠區(qū)人員的健康與安全，更可避免外界空氣的異物影響制程，使制程得以順利進行。此外，因事先將外界空氣中的異物過濾，更可延長廠區(qū)中其他過濾裝置例如活性碳吸附器等的使用壽命。
雖然本發(fā)明已以一較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當可作各種的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍當視后附的申請專利范圍所界定者為準。
權利要求
1.一種凈化空氣的過濾裝置，用以凈化進入一工廠中的外界空氣，其特征在于，包括一水幕式過濾裝置，該水幕式過濾裝置，利用一水幕吸收外界空氣中的異物，一端由一第一管路連接至一儲水槽，另一端連接至一第二管路；以及一第一泵，裝設在該水幕式過濾裝置與該儲水槽之間，用以從該儲水槽中加壓產(chǎn)生該水幕式過濾裝置所需的水。
2.根據(jù)權利要求1所述的凈化空氣的過濾裝置，其特征在于，其中該第一泵與該儲水槽之間還包括一加熱裝置，用以加熱該第一管路中的水，增加該水幕式過濾裝置對空氣中異物的溶解度。
3.根據(jù)權利要求1所述的凈化空氣的過濾裝置，其特征在于，其中該第二管路連接至該儲水槽與該加熱裝置之間的第一管路上。
4.根據(jù)權利要求1所述的凈化空氣的過濾裝置，其特征在于，其中該裝置還包括一第二泵，該第二泵裝設在該第二管路連接至該第一管路之前，用以將該第二管路中的水送入該第一管路。
5.一種凈化空氣的方法，用以凈化進入一工廠中的外界空氣，其特征在于，包括利用一泵將水經(jīng)由一第一管路，而從一儲水槽中送至一水幕式過濾裝置；以及以該水幕式過濾裝置產(chǎn)生一流動式水幕覆蓋該工廠的一外界空氣入口，由該流動式水幕去除外界空氣中的異物。
6.根據(jù)權利要求5所述的凈化空氣的方法，其特征在于，其中該水幕式過濾裝置還連接至一第二管路，由該第二管路將該流動式水幕產(chǎn)生的水導出。
7.根據(jù)權利要求5所述的凈化空氣的方法，其特征在于，其中還包括在水進入該水幕式過濾裝置前，利用一加熱裝置增加水溫的步驟。
8.根據(jù)權利要求5所述的凈化空氣的方法，其特征在于，其中該加熱裝置是裝設在該儲水槽與該水幕式過濾裝置之間。
全文摘要
一種凈化空氣的過濾裝置及方法,用以凈化進入一工廠中的外界空氣,該過濾裝置包括裝設于工廠外界空氣入口的一水幕式過濾裝置,其一端藉由一第一管路連接至一儲水槽,而在第一管路中裝設一泵,利用泵產(chǎn)生的壓降將儲水槽中的水送入水幕式過濾裝置產(chǎn)生水幕而覆蓋工廠外界空氣的入口,藉由此水幕吸收外界空氣中的廢氣或顆粒等,而可使進入工廠的空氣較為新鮮。
文檔編號B01D47/06GK1380127SQ0111056
公開日2002年11月20日 申請日期2001年4月12日 優(yōu)先權日2001年4月12日
發(fā)明者梁永昌 申請人:華邦電子股份有限公司