一種用于清洗多晶硅棒的超聲波清洗箱的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種清洗設備，具體涉及一種可以提高多晶硅棒清洗效果的超聲波清洗箱。
【背景技術】
[0002]目前，在多晶硅鑄錠生產中，硅錠剖方成硅棒后，由于在剖方工序中要用到砂漿等輔助材料，其中的金剛砂等因素會在硅棒表面形成很多微坑，各種雜質會附著在微坑里及硅棒其他表面上，如不加以清洗潔凈，會對下游的加工工序造成不良影響，進而影響多晶硅片產品的品質。因此，從硅錠剖方成硅棒后，工廠都要對硅棒進行超聲波清洗。當前多晶硅鑄錠工廠通常是將多晶硅棒直接放在普通的超聲波清箱中進行清洗。由于普通的超聲波清箱底部是光滑平坦的，多晶硅棒放入后與其密切接觸，接觸的一面超聲清洗的效果不好，需要操作工經常去翻動硅棒；另外，由于多晶硅棒與箱底密切接觸，在超聲的過程中容易發(fā)熱，造成振子跟箱體脫落，以及電氣元件進水燒掉。同時，普通的超聲波清洗箱是敞口開放的，一旦超聲液中有化學揮發(fā)成分(或者超聲清洗過程中反應產生化學揮發(fā)成分)，則會氣味擴散，甚至會腐蝕超聲波清洗箱或所在環(huán)境中的其他設備儀器，減少其使用壽命。
【發(fā)明內容】
[0003]本實用新型主要是解決上述現(xiàn)有技術所存在的技術問題，提供了一種能提高超聲波清洗效果，并減少操作過程中環(huán)境氣體污染的一種用于清洗多晶硅棒的超聲波清洗箱。
[0004]—種用于清洗多晶硅棒的超聲波清洗箱包括箱體、超聲振子、箱口回水槽、格狀架子、回流孔、蓋子及手柄，所述超聲振子位于箱體的底部的夾層里，箱口設有箱口回水槽、回水槽上設有兩個回流孔，所述格狀架子安裝在箱體底部上，所述箱體上設有蓋子，蓋子上設有手柄。工作時，將硅棒插入格狀架子中，蓋上蓋子，啟動超聲波清洗機開始工作。
[0005]作為優(yōu)選，所述格狀架子的規(guī)格根據(jù)硅棒的大小設計，方便使用。
[0006]作為優(yōu)選，所述格狀架子采用耐酸堿材料制成，經久耐用。
[0007]本實用新型超聲波清洗箱具有以下技術優(yōu)勢:
[0008]1、因超聲波清洗箱底部鋪設有格狀架子，硅棒跟超聲波清洗箱底部不會直接并且密切的接觸，提高了硅棒朝下一面的清洗效果，不需要人工在超聲波清洗過程中翻轉硅棒，提尚生廣效率。
[0009]2、超聲波清洗箱上加有蓋子，可以防止有可能產生的氣味擴散，改善超聲波清洗箱所在環(huán)境，減少環(huán)境中其他設備儀器的腐蝕侵害。
[0010]3、箱口回水槽上設有回流孔，可以防止水滿溢出。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型箱體俯視圖。
[0012]圖2為本實用新型箱體側面剖視圖。
[0013]圖3為本實用新型箱蓋俯視圖。
[0014]圖4為本實用新型箱蓋側視圖。
[0015]附圖標記說明:
[0016]I為格狀架子，2為箱口回水槽，3為箱體，4為超聲振子，5為蓋子，6為手柄，7為回流孔。
【具體實施方式】
[0017]下面通過實施例，并結合附圖，對本實用新型的技術方案作進一步具體的說明。
[0018]實施例:參看圖1-4，一種用于清洗多晶硅棒的超聲波清洗箱包括箱體3、超聲振子4、箱口回水槽2、格狀架子1、回流孔7、蓋子5及手柄6，所述超聲振子4位于箱體3的底部的夾層里，箱口設有箱口回水槽2、箱口回水槽2上設有兩個回流孔7，所述格狀架子I安裝在箱體3底部上，所述箱體3上設有蓋子5，蓋子5上設有手柄6。工作時，將硅棒放入格狀架子I上，蓋上蓋子5，啟動超聲波清洗機開始工作。
[0019]最后，應當指出，以上實施例僅是本實用新型較有代表性的例子。顯然，本實用新型不限于上述實施例，還可以有許多變形。凡是依據(jù)本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均應認為屬于本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種用于清洗多晶硅棒的超聲波清洗箱，包括箱體、超聲振子、箱口回水槽、格狀架子、回流孔、蓋子及手柄，其特征在于所述超聲振子位于箱體的底部的夾層里，箱口設有箱口回水槽、回水槽上設有兩個回流孔，所述格狀架子安裝在箱體底部上，所述箱體上設有蓋子，蓋子上設有手柄。2.根據(jù)權利要求1所述一種用于清洗多晶硅棒的超聲波清洗箱，其特征在于所述格狀架子的規(guī)格根據(jù)硅棒的大小設計。3.根據(jù)權利要求1所述一種用于清洗多晶硅棒的超聲波清洗箱，其特征在于所述格狀架子米用耐酸堿材料制成。
【專利摘要】本實用新型涉及一種用于清洗多晶硅棒的超聲波清洗箱，該超聲波清洗箱包括箱體、超聲振子、箱口回水槽、格狀架子、回流孔、蓋子及手柄，所述超聲振子位于箱體的底部，箱體內設有箱口回水槽，箱口回水槽上設有兩個回流孔，所述格狀架子安裝在超聲振子的上端，所述箱體上設有蓋子，蓋子上設有手柄。本實用新型超聲波清洗箱提高了硅棒朝下一面的清洗效果，不需要人工在超聲波清洗過程中翻轉硅棒；改善超聲波清洗箱所在環(huán)境，減少環(huán)境中其他設備儀器的腐蝕侵害。
【IPC分類】B08B3/12
【公開號】CN204974593
【申請?zhí)枴緾N201520678089
【發(fā)明人】鄭王海, 汪新平, 王文廣
【申請人】浙江晟輝科技有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請日】2015年9月2日